【課題】高精度なウエハテーブルの位置計測及び駆動制御を実現する。
【解決手段】
エンコーダシステムを構成する光源１６Ｘａ，１６Ｙａから、テーブルＷＴＢの一側面を介してその上面に設けられたグレーティングに計測光Ｌｘ１，Ｌｙ２を入射させ、これらの計測光に由来する回折光Ｌｘ２，Ｌｙ２を光検出器１６Ｘｂ，１６Ｙｂを用いて受光して、テーブルＷＴＢの位置情報を計測する。それにより、テーブルＷＴＢの周辺雰囲気の揺らぎの影響が小さいため、高精度なテーブルの位置計測が可能になる。干渉計システムを用いてエンコーダシステムの計測誤差を補正する補正データを作成し、その補正データを用いてエンコーダシステムの計測結果を補正し、補正された計測結果に基づいてテーブルＷＴＢを駆動することができるので、高精度なテーブルの駆動制御が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 温度変動や波長変動に起因する検出誤差の発生を抑えて、被検面の面位置の変位を高精度に検出することのできる変位検出装置。
【解決手段】 測定対物レンズ（４）を介して被検面（２０ａ）に光源（ＬＳ）からの光を投光し、測定対物レンズを介した被検面からの反射光に基づいて、被検面の面位置の変位を検出する変位検出装置。光源からの光を複数の光に分割し、複数の光のうちの第１の光を測定光として測定光路に沿って導き且つ複数の光のうちの第２の光を参照光として参照光路に沿って導く光分割部材（２）と、被検面で反射された測定光が含む測定情報と参照光が含む参照情報とに基づいて被検面の面位置の変位を検出する検出系（１３，１４）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】正確な圧力値を測定でき、かつ低コストに製造が可能な光ファイバセンサユニットを提供する。
【解決手段】光ファイバセンサユニット１０は、互いに並列して配置した２本の光ファイバセンサケーブル１１，１１どうしを、所定の間隔を開けて接続部１２によって接続（連結）してなる。コア２１の外周面２１ａは、中間層（スキン層）２４によって被覆されている。この中間層（スキン層）２４は、保護層２６との間で圧力測定用光ファイバ２５を保持する。中間層２４の外周面２４ａには、圧力測定用光ファイバ２５が螺旋状に巻回される。 （もっと読む）

【課題】温度補償するFBGセンサ用のひずみ計測装置及びその計測方法を提供する。
【解決手段】FBGセンサ１を配置する光ファイバ２と、FBGセンサ１のブラッグ波長範囲を含む広帯域の光源３と、反射光を分離する光サーキュレータ４と、反射光を処理する処理手段５とを備え、
処理手段５は、ひずみと温度変化の両方で生じた、反射光におけるブラッグ波長のシフト量の時間履歴データを取得し、時間履歴データからブラッグ波長の長時間の移動平均量を算出して温度変化に相当するブラッグ波長の変化量を求め、更に反射光のブラッグ波長の時間履歴から前記温度変化に相当するブラッグ波長の変化量を減算し、
温度変化に相当するブラッグ波長の変化量のみを計測するためのFBGセンサ１を用いることなく、ひずみと温度変化の両方を計測するFBGセンサ１により、温度補償されたひずみを計測するように構成される。 （もっと読む）

【課題】特殊な波長測定の機構を必要とせず、レーザ光源の劣化を検出することができる位置決め装置を実現する。
【解決手段】プラテン上に配置されたスライダの原点位置からのＸ方向及びＹ方向の移動距離をレーザ干渉計により測定して位置制御する位置決め装置において、
前記スライダをＸ方向またはＹ方向に移動させながら、前記レーザ干渉計のレーザ温度またはレーザ駆動電流の少なくともいずれかを所定範囲で変動させた時のレーザ干渉計の受信信号の振幅変化を検出し、その振幅変化が所定の閾値を超えた場合にレーザ干渉計が異常と判断する診断部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 正確な位相計算により測定精度の向上を可能とする三次元計測装置を提供する。
【解決手段】 三次元計測装置（１００）は、光源から出力された光を所定のパターン光に整形して被検査物に投影する投影光学部（２３）と、被検査物上に投影される所定のパターン光を位相シフトさせる走査部（２２）と、被検査物上への所定のパターン光の走査投影により生じるパターン像を結像する結像光学部（３１）と、結像光学部により結像されたパターン像を撮像する撮像部（３２）と、画像データを補正するとともに、この補正された画像データに基づいて前記被検査物の形状の情報を求める制御部（４０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定試料を変えるたびごとに測定点の位置補正を行う必要がなく、更に、測定試料上の同一点についての複数種類の特性の測定を、同一検査装置を用いて行なうことができる検査装置を提供する。
【解決手段】試料を載置するためのステージ３と、１又は複数の検査機器６、７を支持可能な検査機器支持用ヘッド５と、ステージ及び／又は検査機器支持用ヘッドを支持している移動機構２３、４３と、ステージ上の基準点の実座標と目標座標との偏差を格納する偏差格納部と、複数の検査機器の測定点間のオフセット値を格納するオフセット値格納部と、格納された偏差及びオフセット値を参照して、複数の検査機器のうちのいずれか１つの検査機器の測定点と他の検査機器の測定点とが一致するように、ステージ及び／又は前記検査機器支持用ヘッドを移動させる位置制御部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】温度補償の誤差をなくし、測定対象物の変形、減肉等に起因する歪みのみを分布的に安定して検知することが可能であるとともに、光ファイバを外的応力による外傷から保護し、歪み計測に支障を与えることがなく、さらに、光ファイバを断線させることなく容易に口出しすることが可能な光ファイバセンサを提供すること。
【解決手段】本発明に係る光ファイバセンサ１Ａ（１）は、同一の基材２上に歪み検知用の第一光ファイバ３と、温度補償用の第二光ファイバ４とが併設された光ファイバセンサであって、前記第一光ファイバは、前記基材上に固定されて配設され、前記第二光ファイバが、前記第一光ファイバの直近において、前記基材上に形成された空隙部５Ａの内部に配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基材が測定対象物に触れることを確実に防止し、測定対象物と基材とが異なる金属材料からなる場合でも、異種金属接触によるガルバニック腐食を確実に防止することが可能であるとともに、光ファイバを断線させることなく容易に口出しすることが可能な光ファイバセンサを提供すること。
【解決手段】本発明に係る光ファイバセンサ１は、同一の基材２の一面上に歪み検知用光ファイバ３と温度補償用光ファイバ４とが併設された光ファイバセンサであって、前記歪み検知用光ファイバは、前記基材の一面上に固定されて配設され、前記温度補償用光ファイバが、前記歪み検知用光ファイバの直近において、前記基材の一面上に配設されており、前記基材、前記歪み検知用光ファイバ及び前記温度補償用光ファイバが、絶縁性フィルム８によりフォーミングされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度補償の誤差をなくし、測定対象物の変形、減肉等に起因する歪みのみを分布的に安定して検知することが可能な光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】本発明に係る光ファイバセンサ１は、同一の基材２上に歪み検知用光ファイバ３と温度補償用光ファイバ４とが併設された光ファイバセンサであって、前記歪み検知用光ファイバは、前記基材上に固定されて配設され、前記温度補償用光ファイバが、前記歪み検知用光ファイバの直近において、前記基材上に固定されて配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＡＦ検出系の検出光の光路上の屈折率が変化しても精度良く基板面位置情報を検出してデバイスを製造できる露光方法を提供する。
【解決手段】マスクのパターンの像を投影光学系により基板上に投影して、基板を露光する露光方法であって、基板表面に複数の検出光を異なる入射角で投射するとともに、基板表面からの反射光を受光することによって、検出光及び反射光の光路の屈折率情報を検出することと、マスクのパターンの像を投影光学系により基板上に投影することを含む。 （もっと読む）

【課題】クラック等の局所歪応力を分散させ、かつセンシングを可能とする光ファイバセンサケーブルを提供する。
【解決手段】少なくとも１本の歪検出用光ファイバ１１と、少なくとも１本の温度補償用光ファイバ１２を収納するルースチューブ１４と、少なくとも１対の抗張力体１５とが、タイトに一括被覆されてなる光ファイバセンサケーブル１０において、歪検出用光ファイバ１１の周囲を発泡層１７で被覆する。 （もっと読む）

【課題】モルタル等の歪み測定対象物に生じた０．１ｍｍ程度の微小クラックをも検出可能な歪み検出用光ケーブルの提供。
【解決手段】歪み測定対象物に埋設されるケーブル外被内に、少なくとも歪み検出用光ファイバが設けられた歪み検出用光ケーブルであって、ケーブル外被外面に、長手方向に沿って所定間隔毎に、ケーブル外被と異なる合成樹脂又は接着剤からなる複数の突起部が設けられたことを特徴とする歪み検出用光ケーブル。 （もっと読む）

【課題】光ファイバの温度分布と歪み分布とを一度に測定可能な光ファイバ測定方法、光ファイバ測定システムおよび光ファイバ測定装置を提供すること。
【解決手段】２本の光ファイバ６，７を同じ温度環境下で並列に設置し、このうち一方の光ファイバ６だけに歪み分布が与えられるように、他方の光ファイバ７をフリーな状態で設置する。そして２本の光ファイバにＢ−ＯＴＤＲ測定を行って各ファイバ６，７のブリルアン周波数シフトΔｆ₁，Δｆ₂を求める。得られた２つのブリルアン周波数シフトのうち値の小さいほう（Δｆ₂）を温度依存性係数Ｃ_Tで割ることで温度分布を算出し、２つのブリルアン周波数シフトの差（Δｆ₁−Δｆ₂）を歪み依存性係数Ｃ_εで割ることで歪み分布を算出する。 （もっと読む）

【課題】コンクリート、モルタル構造物、土壌等の埋設対象物との間の密着性に優れ、かつ製造が容易な光ファイバセンサケーブルを提供する。
【解決手段】断面外形が略矩形状のシース１５と、シース１５内に充実押出しされた歪検知用光ファイバ１１と、シース１５内に形成された空隙１６内に抗張力繊維１３とともにルースに収納された温度補償用光ファイバ１２と、シース１５内に設けられたテンションメンバ１４とからなり、シース１５は、長辺側１５ａに、幅Ｗが一定で、高さＨが長手方向にわたって変化する少なくとも一つの突出部１７Ａを有する光ファイバセンサケーブル１０Ａ。 （もっと読む）

【課題】コンクリート、モルタル構造物、土壌等の埋設対象物との間の密着性に優れ、かつ製造が容易な光ファイバセンサケーブルを提供する。
【解決手段】断面外形が略矩形状のシース１５と、シース１５内に充実押出しされた歪検知用光ファイバ１１と、シース１５内に形成された空隙１６内に抗張力繊維１３とともにルースに収納された温度補償用光ファイバ１２と、シース１５内に設けられたテンションメンバ１４とからなり、シース１５は、長辺側１５ａに、高さＨが一定で、幅Ｗ_１、Ｗ_２が長手方向にわたって変化する少なくとも一つの突出部１７Ａを有する光ファイバセンサケーブル１０Ａ。 （もっと読む）

【課題】被検物の温度管理を行って高精度の形状測定が行える計測装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍの形状を測定する計測装置であって、前記被検物の形状情報を採取する検出手段（形状センサ２０）と、前記検出手段が形状情報を採取する前記被検物の温度を計測する温度計測部（赤外線カメラ３０、温度測定回路４３）と、前記温度計測部からの情報に基づき前記検出手段から検出された情報を基に出力する内容を変える制御手段（ＣＰＵ４０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基準レンズを必要とせずコンパクトであって振動等の外乱の影響を受けにくく非球面レンズ（自由形状レンズ）の測定を低コストで実現できる干渉縞生成方法および干渉計を提供する。
【解決手段】光源２から出た光Ｓ０を複屈折光学素子７で出射角度が微小に異なる２つの光束Ｓ１，Ｓ２に分割して第一，第二の検査光として被検体１３の被検面１３ａに垂直に照射し、その反射光を照射時の経路に沿って逆行する向きで複屈折光学素子７に透過させることで再び重ね合わせ、重ね合わせた光を受光面１２に投影することで干渉縞を生成する。第一，第二の検査光と其の反射光の往復経路が光源２から受光面１２に至る区間で完全に共通となり振動等に対しては相対運動が行われるので測定精度が向上し、温度差や空気の揺らぎ等による光路の微妙な変化、あるいは、干渉計の設置環境下で生じる振動や光学部品の経年変化等の影響を受けにくくなり、干渉縞の生成と維持が容易となって特殊な防振対策も不要となり簡単なもので済むようになる。 （もっと読む）

【課題】建築物に埋設して正確に変形を検出でき、耐久性に優れ、コンクリート中でもケーブルが移動せずに長時間の歪モニタリングが可能な光ファイバセンサケーブルの提供。
【解決手段】歪検出用光ファイバと、温度補償用光ファイバがルースに収納された保護管と、抗張力体とをケーブル外被により一括被覆してなり、該ケーブル外被は、前記歪検出用光ファイバと前記保護管とが埋設された測定部と、前記抗張力体が埋設された抗張力体収納部とが、首部を介して連結された断面形状をなし、且つ前記首部には長手方向に沿って多数の窓部が形成されていることを特徴とする光ファイバセンサケーブル。 （もっと読む）

【課題】温度補償用光ファイバをケーブル内に配置することなく正確な歪測定値を得ることができ、長尺製造が可能な光ファイバセンサケーブルの提供。
【解決手段】ケーブル外被に埋設された少なくとも１本以上の歪検出用光ファイバと、ケーブル外被内又は外側に設けられ、内部に温度調節した流体を流すことで前記歪検出用光ファイバを恒温に保持する可撓性の温度調節用流体流路とを有することを特徴とする光ファイバセンサケーブル。 （もっと読む）