【課題】欠陥検査装置では検出倍率を上げて微細欠陥検出感度を向上させるため、焦点深
度が浅くなり、環境変動によって結像位置がずれ、欠陥検出感度が不安定になる課題があ
る。
【解決手段】被検査基板を搭載して所定方向に走査するＸＹステージと、被検査基板上の
欠陥を斜めから照明し、その欠陥を上方に配した検出光学系で検出する方式で、この結像
状態を最良の状態に保つために、温度及び気圧の変化に対して、結像位置変化を補正する
機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】被加工物の上面位置を計測する高さ位置計測装置およびレーザー加工機を提供する。
【解決手段】発光源からの光を第１の経路に導き、反射光を第２の経路に導く光分岐手段と、第１の経路に導かれた光を平行光に形成するコリメーションレンズによって平行光に形成された光を被加工物に導く対物レンズと、コリメーションレンズと対物レンズとの間に配設され、対物レンズ側の端面に反射ミラーが形成され、光路長を伸ばす透明体からなる円筒状の基準光路長設定部材と、反射ミラーによって反射し第１の光分岐手段から第２の経路に導かれた反射光と、被加工物で反射し第１の光分岐手段から第２の経路に導かれた反射光との干渉を回折する回折格子と、回折した反射光の所定の波長域における光強度を検出するイメージセンサーからの検出信号に基づいてチャックテーブルの表面から被加工物の上面までの距離を求める制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】レーザ干渉計の計測精度を改善する。
【解決手段】露光装置は、投影光学系ＵＬと、原版Ｒまたは基板Ｗを保持して移動可能なステージ１ｒ、１ｗと、ステージを支持する定盤４と、原版または基板の表面の高さ及び傾きを検出する検出手段７と、投影光学系と検出手段とを支持する架台８と、定盤と架台との間における、ステージを含む空間の空調を行う空調手段と、該空間内に光路を有してステージの位置を計測するレーザ干渉計６と、を有する。上記検出手段は、光電検出手段２７と、パターンを投影する投光光学系と、原版または基板上に投影された上記パターンの像を光電検出手段に再結像させる受光光学系とを有する。光電検出手段を含む検出手段の第１の部分は、上記空間の外において架台に支持され、検出手段の第２の部分は、上記空間内において架台に支持され、第１の部分と第２の部分とは、受光光学系の瞳面と像面との間で分割されている。 （もっと読む）

【課題】加工部片の寸法測定を容易にかつ小作業域で、できるようにする。
【解決手段】測定する部片を主軸台５７と心押し台６０との間に維持するため、固定された主軸台５７と、固定された主軸台に対向し、主軸台５７に近付くか、離れて移動するために線形軸に沿って移動可能である、移動可能な心押し台６０とが取り付けられた基準支持４０と、測定下の部片によって遮られるコリメート光のビームをｘ軸にわたって誘導するための光源１１０を担持し、さらに、光源１１０と整列し、測定下の部片によって遮られなかったコリメート光のビームの残留光を受けるように配置されている、光学検出器１２０を担持している、線形軸に沿って移動可能な可動往復台１００とを有す。 （もっと読む）

【課題】測定対象の特性を簡易に測定可能な測定システムを提供する。
【解決手段】蛍光を発する蛍光体２と、蛍光体２から発せられた後に測定対象である膜１００の特性に依存する変調を波長選択的に与えられた蛍光を受光する光学系１０と、変調を与えられた蛍光の減衰特性を測定する減衰特性測定部３０１と、減衰特性に基づいて、測定対象である膜１００の特性を特定する特定部３０２と、を備える測定システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】工事進捗に応じた構造物のたわみ量を算定することができる光ファイバセンサを備えた構造物のたわみ量の算定方法および装置を提供する。
【解決手段】構造物の上側のひずみと下側のひずみとを光ファイバセンサで計測し、光ファイバセンサで計測した上側のひずみと下側ひずみとの差を構造物の上下方向の高さで除算してたわみ量を規定するたわみ曲率を求め、たわみ曲率を構造物の水平方向に関して２回積分して任意の積分定数を含む数式からなる基本たわみ量を求め、基本たわみ量に対して構造物の所定の工事進捗における境界条件を適用して積分定数の値を決定し、決定した積分定数の値が代入された基本たわみ量に基づいて構造物の所定の工事進捗におけるたわみ量を算定するようにする。 （もっと読む）

【課題】試料表面のパターン形状の良否を、環境温度変化の影響を受けることなく判定する表面検査方法を提供する。
【解決手段】偏光子７及び対物レンズ９を含み、ウェハ１０の表面を照明する照明光学系２１と、ウェハ１０の表面からの反射光を、対物レンズ９を介して集光し、偏光子７とクロスニコル条件を満たすように配置された検光子１２を通して対物レンズ９の瞳面の像を結像する検出光学系２２と、瞳面の像を検出する第１の撮像素子１７と、を有する表面検査装置１００による表面検査方法は、第１の基準像を取得する第１のステップと、検査像を取得する第２のステップと、第２の基準像を取得する第３のステップと、第１及び第２の基準像の階調値の差を求め、当該差が所定値を越えたときに、検査像の階調値を補正する第４のステップと、補正後の検査像及び第１若しくは第２の基準像の階調値を用いてウェハ１０の欠陥を検出する第５のステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】赤外光を用いた場合であっても、測定用マークの位置を高精度に測定することができる技術を提供する。
【解決手段】赤外光を測定マークに照射し、測定用マークの像を撮像素子の撮像面に形成する光学系を用いて、測定用マークの位置を測定する測定方法であって、前記光学系によって赤外光を前記測定用マークに予め定められた時間照射した後、赤外光の照射を遮断した状態において、前記光学系の光学素子から放射される赤外光による画像を撮像する第１の撮像ステップと、赤外光を照射した状態において、前記光学系の光学素子及び前記測定用マークで反射された赤外光にる画像を撮像する第２の撮像ステップと、前記第２の撮像ステップで撮像した第２の画像から前記第１の撮像ステップで撮像した第１の画像を差し引いた第３の画像を生成する生成ステップと、第３の画像に基づいて、前記測定用マークの位置を算出する算出ステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】エンコーダ等の位置計測装置を使用した基板ステージの位置決めを行う際に、スケールの形状に依存する誤差を最小限に抑える露光装置を提供する。
【解決手段】基板５を保持する基板ステージ６と、該基板ステージ６の位置を計測する光学式計測部７と、該光学式計測部７からの計測光の反射対象となるスケール８とを備える露光装置５０であって、基板ステージ６が設置された空間内を温度調節するための温調エアを供給する供給系と排気する排気系を有し、供給系は、基板ステージの走査部周辺に温調エアを供給する第１の供給系１１、排気系１４と、スケール８の設置部周辺に温調エアを供給する第２の供給系１３、排気系１５とを備える。 （もっと読む）

物体（３）の表面の歪みを測定するための装置であって、中心セクション（６）と、中心セクション（６）の両側に配置された２つの端部セクション（８）とが設けられたキャリア（５）を有する。歪み要素（１０）が、キャリア（５）に接続され、この歪み要素（１０）には、歪みセンサ（１１）が設けられている。歪みを測定するための装置（１）は、所定の距離離れて物体（３）の表面に直接取着されることができる２つの支持脚（９）を有する。キャリア（５）の２つの端部セクション（８）は、各セクションで１つの支持脚（９）に着脱可能に接続されている。
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【課題】鉄道車両用車輪の踏面部及びフランジ部の形状や、車輪直径、フランジ高さ、フランジ厚さ、左右車輪間隔の距離等の車輪寸法を迅速、正確に計測する車輪形状測定装置を提供する。
【解決手段】車両が走行する線路近傍に、車輪が計測位置に到達したことを検出する車輪計測位置検出センサー、該センサーの信号をトリガーとし車輪の内側からフランジ部と基準溝に向けて帯状の広がりを有するレーザー光を照射して車輪の半径方向の形状測定を行う内側面レーザー変位計及び前記センサーの信号をトリガーとし車輪の外側から踏面部とフランジ部に向けて帯状の広がりを有するレーザー光を照射して車輪の半径方向の形状測定を行う踏面レーザー変位計を設けると共に、前記２つのレーザー変位計により形状測定されたデータを受信し補正処理を行い記録保存する計算機部を有してなる車輪形状測定装置。 （もっと読む）

【課題】二光束の光路長差が安定に一定となる構成を備えることにより光源波長の変動をｐｍ以下の精度、分解能で測定可能な波長ずれ測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の波長ずれ測定装置は、光源から射出される光束の波長の変動量を測定する波長ずれ検出センサＷＬＣＤ１であって、光源から射出された光束を複数の光束に分割し、複数の光束のうち二光束を合成して干渉光を生成するビームスプリッタＢＳ２と、ビームスプリッタＢＳ２により分割された二光束の光路長差が一定になるように設けられたスペーサ部材ＳＰと、ビームスプリッタＢＳ２により生成された干渉光を検出する複数の光電センサＰＤＡ＋、ＰＤＢ＋とを有し、複数の光電センサＰＤＡ＋、ＰＤＢ＋は、干渉光に基づいて互いに位相がずれた複数の干渉信号を出力し、複数の干渉信号を用いて波長ずれ量を算出する。 （もっと読む）

【課題】曲率半径測定方法および装置において、被測定物の温度が曲率半径測定の測定基準温度と異なる場合でも迅速に曲率半径を測定することができるようにする。
【解決手段】被検レンズ２のレンズ面２ａの球心位置および面頂位置の間の距離を測定することにより、レンズ面２ａの曲率半径を測定する曲率半径測定方法であって、少なくともレンズ面２ａの球心位置の測定時における被検レンズ２の温度を測定する温度測定工程と、この温度測定工程で測定された被検レンズ２の温度、および被検レンズ２の線膨張係数を用いて、レンズ面２ａの球心位置と面頂位置の間の距離を曲率半径測定の測定基準温度での距離に換算して、レンズ面２ａの曲率半径を算出する曲率半径算出工程とを備える方法を用いる。このため、曲率半径測定装置５０は、被検レンズ２の温度を測定するサーモグラフィ６を備える。 （もっと読む）

【課題】精密な変形を計測する光ファイバ格子センサを使用して地盤の傾きが感知できるようにした地中変位測定装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの測定手段Ｑを含み、測定手段Ｑは内側に収容部を持つ本体２、本体２内に挿入されるフレーム６、フレーム６の内側に挿入されて一端がヒンジ結合され、本体２の傾きに連動して回転される重量部材７、本体２及びフレーム６を貫通して挿入され、重量部材７に一端部が固定された光ファイバ５、光ファイバ５の他端部を固定させるようにフレーム６内に設けられた固定部材７５、及び光ファイバ５に備えられたＦＢＧセンサ５２を含む。 （もっと読む）

【課題】高価な装置を用いずに、干渉縞のバイアス、振幅および位相を、ユーザが使用環境において容易に校正でき、測定精度を向上できる形状測定装置を提供すること。
【解決手段】同時撮像型の斜入射干渉計である形状測定装置１は、光の波長を変えられる波長可変光源１１を備える。また、光源１１からの波長を変化させる光源制御部と、撮像部３５Ａ〜３５Ｃごとに光源１１の波長を変化させて取得された複数の干渉縞に基づき、当該バイアス、振幅および位相の各情報を校正する校正用制御部と、測定対象物２０の形状を測定する際に、撮像部３５Ａ〜３５Ｃで同時に取得され異なる位相差を付与された複数の干渉縞と、前記バイアス、振幅および位相の各情報とに基づいて、測定対象物２０の形状情報を解析する解析部とを有する測定制御部４０を備える。 （もっと読む）

【課題】配管に温度変化がある場合にも、適切に歪を検知することができる歪検知用システム及びこれを用いた歪検知方法を提供する。
【解決手段】配管Ｍに、当該配管の温度及び歪による温度・歪値を計測するための歪検出用光ファイバケーブル１と、上記温度に相当する温度補正値を計測するための温度補償用光ファイバケーブル３とを固設し、かつ歪検出用光ファイバケーブル及びこの一端部にパルス光を入射させるとともに、他端部に連続光を入射させる光源並びにブリルアン散乱光を検出する検出器を有するＰＰＰ−ＢＯＴＤＡ原理に基づいた歪検出用センサと、温度補償用光ファイバケーブル及びこの一端部にパルス光を入射させるとともに、他端部に連続光を入射させる光源並びにブリルアン散乱光を検出する検出器を有するＰＰＰ−ＢＯＴＤＡ原理に基づいた温度補償用センサとを設けた。 （もっと読む）

【課題】精度良く、シリンダライナとピストンとの間における油膜の膜厚を計測することのできる膜厚計測装置を提供する。
【解決手段】ピストンにおけるピストンリング摺動面とシリンダライナの壁面との間の膜厚については静電容量方式により計測された膜厚データを選択し、ピストンにおけるピストンリング摺動面とシリンダライナの壁面との間以外のピストンの壁面とシリンダライナの壁面との間の膜厚についてはレーザ誘起蛍光法により計測された膜厚データを選択する。そして、選択した膜厚データを記録する。 （もっと読む）

【課題】高いスループットと高い重ね合わせ精度を有する露光装置を提供する。
【解決手段】１枚のレチクル２を用いて、各モジュールでショット形状或いはフォーカス成分を測定し、その測定結果を用いて重ね合わせ露光を行うマルチモジュール型露光装置１００を提供する。レチクル２及び投影光学系３の熱的変化成分を測定して個々の変動成分を合わせることによって、高精度な重ね合わせやフォーカス制御が可能となり、高スループット且つ高精度な位置合わせが可能となる。 （もっと読む）

【課題】熱間鍛造等のような高温環境において寸法計測の基準ワークとして使用できる高温用の基準ワーク、及び同基準ワークを用いた高温物寸法計測用形状計測器の精度検証方法を提供する。
【解決手段】半円形断面形状が一定間隔で一方向に複数個並設された、熱膨張係数が既知で耐酸化性を有する高融点の金属材により高温用の基準ワークを得る。この基準ワークの熱膨張係数と半円形断面形状並設方向の表面形状の寸法の常温での測定値とから検証目標高温時での上記表面形状の寸法を理論値として求めておく。同基準ワークを検証目標高温まで加熱し、その際の上記表面形状の寸法を精度検証対象である非接触型の形状計測器により計測し、上記表面形状中の複数の半円形断面形状について円形状のフィッティング処理を行い、上記表面形状の寸法を実測値として求める。この実測値と上記理論値との比較値を得て高温物寸法計測用の上記形状計測器の精度を検証する。 （もっと読む）

【課題】光源の波長変動に関係なく、高い安定性で高精度に被測定面の変位を検出する。
【解決手段】光源１０２から射出された射出光Ｌは偏光ビームスプリッタ１０８等を介して第１の色消しレンズ１５０Ａに入射される。第１の色消しレンズ１５０Ａでは射出光Ｌの波長変動によって生じた焦点距離のずれが補正される。被測定面ＴＧで反射された反射光Ｌrは偏光ビームスプリッタ１０８等を介して第２の色消しレンズ１５０Ｂに入射される。第２の色消しレンズ１５０Ｂでは、射出光Ｌや反射光Ｌrの波長変動によって生じた焦点位置のずれが補正される。これにより、対物レンズを含む光路上のレンズによって生じる色収差を補正することができ、高い安定性かつ高精度に被測定面の変位を検出することができる。 （もっと読む）