測定軸の方向に整列させられた少なくとも１つのブラッググレーティングを装備した光ファイバの区分、および測定されるべき変形を受けてこの光ファイバの区分にそれを伝達する試験本体を有する１軸性の変形測定装置であって、負、正、またはゼロの予荷重に前記ファイバの区分を晒すこと、および試験本体の伸長をそれに伝達することが可能である固定点が、測定されるべき変形によって試験本体が応力を受けるときに変動（ΔＬ_ｆｉｂ）を有する距離（Ｌ_ｆｉｂ）で離されることと、測定されるべき変形によって試験本体が応力を受けると試験本体の実効長（Ｌ_ｃｅ）が伸長（ΔＬ_ｃｅ）を有することと、光ファイバの区分の縦方向変形（ΔＬ_ｆｉｂ／Ｌ_ｆｉｂ）が試験本体の元々の変形（ΔＬ_ｃｅ／Ｌ_ｃｅ）よりも完全に大きく、したがって１よりも完全に大きくて第１次の商（ΔＬ_ｆｉｂ／Ｌ_ｆｉｂ）／（ΔＬ_ｃｅ／Ｌ_ｃｅ）に等しい増幅因数Ｋを規定するような光ファイバの区分の長さ（Ｌ_ｆｉｂ）および測定本体の実効長（Ｌ_ｃｅ）であることを特徴とする装置。
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【課題】本発明は、測定時の温度が種々変化しても、信頼性の高い測定値が得られる継目無鋼管の外径測定方法を提供することを目的としている。
【解決手段】製造ライン上を軸方向に走行する継目無鋼管から一定距離だけ離隔して、該鋼管に凸面鏡とＣＣＤカメラとを対峙させ、該ＣＣＤカメラで鋼管を撮影すると共に、そのカメラ内に一列に配列した受光素子が受けた光の信号レベルに閾値を設定し、該閾値に相当する受光素子の位置を鋼管の外径として測定する継目無鋼管の外径測定方法を改善した。その内容は、前記閾値を、前記継目無鋼管の測定時温度に応じて変更するものである。 （もっと読む）

【課題】位置計測手段の温度変動による計測誤差を抑制すること。
【解決手段】投影光学系と、原版を保持し移動する原版ステージと、前記投影光学系の光軸に平行な方向において前記原版ステージに保持された原版のパターン面の位置を計測する位置計測手段とを有し、前記位置計測手段の計測結果に基づいて前記投影光学系を介して前記原版のパターンを基板に投影する露光装置を、前記位置計測手段の温度と前記位置計測手段の出力を補償するための補償値とを関係づける補償情報を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された補償情報に基づいて、前記位置計測手段の出力を補償して前記パターン面の位置計測値を得る補償手段とを有するものとする。 （もっと読む）

光ファイバー歪みセンサー、その製造方法および歪みを検知する方法。その中に形成された少なくとも第１および第２のファイバーブラッグ回析格子（FBG）を有する光ファイバーを、第１FBGでの回析格子周期が圧縮しおよび第２FBGでの回析格子周期が拡大するように、歪み誘導力に付し；次いで第１および第２FBGに光学的に問合わせて、各々、第１および第２FBGのピーク反射波長を決定しうる；それによって、第１および第２FBGのピーク反射波長間の分離が誘導された歪みの代表となることを供することを含む、歪み検知方法。
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その遠位端に少なくとも２つの光ファイバ・センサが配置された変形体（５）が、器官または血管の壁組織との接触から生じる遠位端の曲がりによって生じる、光ファイバ・センサの光学特性の変化が検出されるのに応答して、多次元力ベクトルを計算するようにプログラムされたプロセシングロジック（６）に結合されている、器官または血管を診断または治療するための装置が提供される。力ベクトルは、ロボット・システム（３）を用いて、直接または自動的な変形体の操作を容易にするのに利用可能である。
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（ｉ）第１の偏光および第１の周波数を有する第１のビーム成分と、第１の偏光と異なる第２の偏光および第２の周波数を有する第２のビーム成分を含むビームを、光接続を使用して干渉計ヘッドに向ける工程と、（ｉｉ）第１のビーム成分の偏光を第２の偏光まで回転させる工程と、（ｉｉｉ）第２のビーム成分の偏光を第１の偏光まで回転させる工程と、（ｉｖ）光接続を使用して、回転された偏光を有するビームを干渉計ヘッドから戻す工程と、を含む方法。例えば、この向ける工程は、第１のビーム成分を光接続の第１のファイバに向ける工程と、第２のビーム成分を光接続の第２のファイバに向ける工程とを含んでもよい。第１のビーム成分は、第２のファイバを使用して戻してもよく、第２のビーム成分は、第１のファイバを使用して戻してもよい。
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レーザ干渉計位置決めシステムは、第１の位相計と第２の位相計とを備える第１のボードを含む。第１の位相計はアナログ基準電気信号とクロック信号とに基づいてディジタル基準位相信号を出力する。ディジタル基準位相信号はシステム内のレーザヘッドに関する唯一のディジタル基準信号である。第２の位相計は測定電気信号とクロック信号とに基づいてディジタル測定位相信号を出力する。第１のボードはバックプレーン内に挿入される。バックプレーンは、ディジタル基準位相信号とディジタル測定位相信号とを第２のボードに運ぶバスを含む。第２のボードはディジタル基準位相信号を、多数の第１のボードから受信したディジタル測定位相信号から減算する。
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【課題】半導体光センサチップに温度センサを内蔵してレンズの温度をほぼ正確に測定可能とした半導体光センサデバイス、及びこのデバイスを用いた測距方法を実現する。
【解決手段】被写体からの光を集光するレンズと、このレンズを介して被写体が結像される半導体光センサチップと、前記レンズと前記光センサチップとの間に充填され、かつ熱伝導率が高い透明充填剤と、を備えた半導体光センサデバイスと、このデバイスを用いた測距方法に関する。光センサチップ７が半導体温度センサを備えており、この温度センサにより透明充填剤（シリコーンゲル９）を介してレンズ３ａの温度を測定可能とする。また、測定温度と基準温度との差を用いて光センサチップ上の受光位置を補正し、補正後の受光位置を、三角測量原理によるレンズから被写体までの距離の測定に用いる。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は固定側と回転側間の信号伝達を非接触で行うことのできる検出器回転型の表面性状測定装置を提供することにある。
【解決手段】 固定側（１２）に対して非接触で回転運動する回転側（１４，１６）に設置され、被測定物の表面の凹凸による変位情報を検知する変位検知手段（１８）と、
固定側（１２）に設置され、光源（２２）からの光を測定光と参照光とに分割し、測定光を変位検知手段へと送り、光路長変化として変位情報を取得した変位測定光と参照光とを干渉させて光路長情報を取得する光波干渉手段（２０）と、
回転側（１４，１６）に設置され、変位検知手段と光波干渉手段とを結ぶ光の通路となる導光路と、を備え、
光波干渉手段からの測定光は導光路を通り変位検知手段へと至り、変位検知手段にて前記変位情報を取得した変位測定光とされ、変位測定光は再び導光路を通り光波干渉手段へと戻り、そこで検知した干渉縞情報から変位情報を得ることを特徴とする表面性状測定装置（１０）。 （もっと読む）

【課題】 簡便かつ安価であり、温度変化に対して測定精度を維持する距離測定装置を提供する。
【解決手段】色分散合焦素子３０は、共鳴型外部共振器の中の半導体レーザー発振媒体１０とターゲット面４０との間に配置される。共鳴型外部共振器の一端はターゲット面４０であり、もう一方の端は半導体発振媒体の遠位面１２である。多重波長の要素を有してもよい光の合焦に色分散合焦素子３０を使用し、光の単独波長要素をターゲット面４０に正確に合焦する。ターゲット面４０に合焦された光の波長は、レーザー発振媒体１０の導波路へのフィードバック信号として、もっとも効果的に結合又は反射される。誘導放出プロセスを通じて、レーザーの出力の波長が色分散合焦素子３０とターゲット面４０の間の絶対距離に対応し、それによってターゲット面４０と色分散合焦素子３０の間の絶対距離の測定値を提供する。 （もっと読む）

【課題】スペックルに基づく像相関変位センサの精度を改善する。
【解決手段】 動きがない状態でスペックル像が経時的に変化しないことを保証することによって超高精度を提供する。スペックル像は、レーザダイオードの波長変化を低減または補償することによって安定化される。波長を安定化させる種々の方法は、熱電的温度制御、いずれかの適格な手段によって波長を測定および補正すること、または、外部格子からの光フィードバックの特定の波長を付与することを含む。像安定化はまた、システムのウォームアッププロセスを監視することによっても達成され得る。システムがウォームアッププロセスを完了したと決定されると、システムが使用の準備ができたことを指示するために指標がユーザに提示される。波長関連誤差を低減または排除するセンサの幾何学的構成もまた開示されている。 （もっと読む）

【課題】高速道路等の橋桁の３軸方向のズレの変位を監視し、変位が許容値を超えたかどうかの判定を容易に行う。
【解決手段】本発明における第１、第２の変位センサ本体Ｓ１、Ｓ２は、それぞれＺ軸変位センサ用プローブ４を監視対象物である第１、第２の橋桁１ａ、１ｂの下面に向けて配設されている。
第１、第２の橋桁１ａ、１ｂの対向する端縁部近傍の下面には、それぞれ平板状の第１、第２段差部材１７ａ、１７ｂが取り付けられており、第１の段差部材１７ａの下面には第１の変位センサ本体Ｓ１のＺ軸変位センサ用プローブ４の先端部が、第２の段差部材１７ｂの下面には第２の変位センサ本体Ｓ２のＺ軸変位センサ用プローブ４の先端部がそれぞれ所定の弾力を維持して当接されている。 （もっと読む）

【課題】 雰囲気温度の変動に伴う反射面の形状変化や可動部の加減速に伴う反射鏡の傾きを有効に防止して計測誤差を小さくする。
【解決手段】 移動可能な試料台５０と、試料台５０の位置又は姿勢を測定する干渉計システムと、試料台５０に固定され干渉計システムから射出された計測光を反射する反射面を備えた反射鏡１００とを有し、反射鏡１００は、干渉計システムから射出された第１計測光を反射する第１反射面１０３と、第１反射面１０３に垂直であり且つ干渉計システムから射出された第２計測光を反射する第２反射面１０４とを備えた第１部材１０１と、第１部材１０１の第１反射面１０３と反対側の面に突出するように第１部材１０１と一体的に設けられ、且つ第２反射面１０４に実質的に平行であり試料台５０に当接固定される取付面１０５を備えた第２部材１０２とを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】 温度補正の精度が高いＦＢＧセンサ用光ケーブルを提供する。
【解決手段】 測定対象物に沿って布設されるセンサ用光ファイバ４２に、測定対象物の変位を検出するためのセンサ用ＦＢＧ４４を書き込んだＦＢＧセンサ用光ケーブル１において、センサ用光ファイバ４２に沿って温度補正用光ファイバ２を設け、その温度補正用光ファイバ２に、センサ用ＦＢＧ４４を温度補正するための温度補正用ＦＢＧ３を、センサ用ＦＢＧ４４と同じ位置に書き込んだものである。 （もっと読む）

この装置は、試料（２）の少なくとも１つの表面（１）の歪みが温度に対して測定されることを可能とする。所定の平面、例えば表面（１）の平面に垂直な方向の歪みが、合成像によって測定される。前記平面における歪みが、画像相関によって測定される。画像相関と合成像とによる測定は、共通の可視光検出カメラ（３）を使用する。試料（２）は、可視光（Ｌ）を少なくとも局所的に通す透明格納容器（６）内に配置される。少なくとも１つの赤外線発光器（９）が、大部分がカメラ（３）によって検出されないスペクトル帯の赤外光が発生されることを可能とする。
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光学部材を備えた可動ステージの構造を複雑にすることなく、その光学部材の温度を制御できるステージ装置である。レチクル（Ｒ）を保持するレチクルステージ本体（２２）をＹ軸リニアモータ（７６Ａ，７８Ａ，７６Ｂ，７８Ｂ）を用いてレチクルベース（１６）上でＹ方向に駆動する。レチクルステージ本体（２２）の端部の光学部材支持部（２４Ｂ２）上の光学系（３２）を介して、レチクルベース（１６）上に固定された固定鏡（ＭＸ）に計測用レーザビームを照射して、レチクルステージ本体（２２）のＸ方向の位置を計測する。光学系（３２）の温度を安定化するために、光学部材支持部（２４Ｂ２）の底面に空気層（３５）を介してロッド部材（２７）を固定し、ロッド部材（２７）内に温度制御された冷媒を供給する。
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例えばレーザに基づく座標測定装置、レーザトラッカ、又はその他の座標測定装置であり得る座標測定装置を補償する装置及び方法が提供される。一つの例示的な方法では、そのような補償は、埋め込まれたトラッカターゲットによるペイロードパラメータの自己補償を包含する。別の例示的な実施形態では、そのような補償は、埋め込まれた温度センサによるペイロード、アジマスポスト、軸、又はＲ0パラメータの自己補償を包含する。
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表面上にレーザテンプレートを投影するレーザイメージングシステムと方法とは、外部計測装置を使用して表面の位置と方向とを独立して決定する工程と、計測装置を使用してレーザ投影装置の位置と方向とを独立して決定する工程と、レーザテンプレートを投影するために、計測装置からコンピュータへの信号を生成し、表面に対してレーザ投影装置の方向を定める工程とを含む。装置は、固定された場所にある複数の計測発信装置と、表面に対して固定された位置にある複数の計測受信装置と、レーザ投影装置の視界の範囲内にあり、且つ、レーザ投影装置かレーザターゲットのどちらか一方に対して固定された位置にある複数の計測受信装置とを含む。レーザ投影装置とフレームとからなるアセンブリもまた開示されており、計測受信装置はフレーム上に配置され、フレームはレーザドリフトを修正するためのレーザターゲットを含む。計測受信装置のための可動支柱は独立したレーザ追尾装置と同様に開示されている。
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一態様において、本発明は方法に特徴があり、その方法は、干渉分光法システムにおける干渉計を用いて、第１ビーム経路と第２ビーム経路との間の光路差に関係づけられる位相を含む出力ビームを生成することであって、第１ビームは第１の箇所における測定物体に接触し、第１ビームまたは第２ビームは第２の箇所における測定物体に接触し、第１の箇所および第２の箇所は異なる、出力ビームを生成すること、第１の箇所における測定物体の不完全性に起因し、かつ第２の箇所における測定物体の不完全性に起因するずれであって、第１ビーム経路または第２ビーム経路の公称ビーム経路からのずれによって生じる光路差への影響に対処する事前校正済み情報を提供すること、出力ビームから得られる情報および事前校正済み情報に基づいて、少なくとも１つの自由度について測定物体の位置を決定すること、を含む。
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走査システムは、対象物（４０）の定性的及び定量的不規則性を検出する１以上の立体カメラ（１０）を有する。各立体カメラセット（１０）は、２つのカメラ（１２，１４）と投影器（１６）とを有する、各カメラ（１２，１４）は、ＣＣＤマトリックス配列（１８）の配列不良による歪みと光学システムの欠損とを補正するために較正される。投影器（１６）は、測定されるべき対象物（４０）に絶対符号パターン（３２，３４，３６）を投影し、赤外、可視、紫外スペクトルの電磁気エネルギーを放射可能である。複数のカメラセット（１０）は、３次元空間（２６）の対象物（４０）の不規則性を検出可能な走査システムマトリックス（４２，４４）と結合され得る。３次元空間（２６）は、立体カメラセット（１０）の数に応じて、任意の所望の寸法であり得る。カメラ（１２，１４）からのデータは、測定の表示用にデジタル信号プロセッサ（６６）を介してコンピュータインターフェース（６４）に送信される前に、ゲートアレイ（６２）により予備処理される。結果的に、送信されるデータ量は、簡素化され、従って動作時間を減少させ、走査システムが非常に短い時間で対象物（４０）の不規則性を非常に正確に測定することを可能にする。
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