【課題】クラック等の局所歪発生時の経時的変化を改善したモルタル・コンクリート剥離検出センサーの提供。
【解決手段】歪検出用光ファイバと、温度補償用光ファイバと、抗張力体とを撚り合わせ、これらをケーブルシースで覆ってなり、歪検出用光ファイバとケーブルシースとが密着し、且つ、温度補償用光ファイバとケーブルシースとが密着していない構造を有するか、或いは、歪検出用光ファイバとケーブルシースとの密着力が２００ｇｆ以上であり、且つ、温度補償用光ファイバとケーブルシースとの密着力が５０ｇｆ未満であることを特徴とするモルタル・コンクリート剥離検出センサー。 （もっと読む）

【課題】コンクリートやモルタル構造物などの埋設対象物との間の密着性に優れ、かつ製造が容易な歪みセンシング用光ケーブルの提供。
【解決手段】温度補償用光ファイバコードと、歪検出用光ファイバ心線と、抗張力体とを有するケーブルであって、それらの線材を撚り合わせ、その上に少なくとも１種類以上の樹脂を１層以上押出し被覆することで、ケーブル外被上に撚り目を形成し、該撚り目の撚りピッチを１０ｍｍ〜７００ｍｍの範囲としたことを特徴とする歪みセンシング用光ケーブル。 （もっと読む）

【課題】光が進行する空間の環境変動に起因する計測性能の劣化を抑制できる干渉計システムを提供する。
【解決手段】干渉計システムは、第１光を射出する第１射出部を有し、第１反射面に照射した第１光を受光して、第１光に基づく干渉情報を取得する第１干渉計と、第２光を射出する第２射出部を有し、第２反射面に照射した第２光を受光して、第２光に基づく干渉情報を取得する第２干渉計と、第１干渉計で取得した情報に基づいて、第１光が進行する所定空間の環境変動に応じた補正量を導出する補正装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の雰囲気温度を反映させて高精度に形状測定ができるようにする。
【解決手段】光の強度が周期的に変化する縞状の光パターンを検査対象物１００の表面上に照射する光パターン照射装置２と、光パターンが照射された検査対象物１００の画像を撮影する撮影カメラ３と、検査対象物１００と光パターンとの相対位置関係を変化させる変位装置４と、検査対象物１００の雰囲気温度を制御可能な温度制御装置５と、撮影カメラ３及び温度制御装置５からの情報に基づいて検査対象物１００の各部位の高さ情報を算出する形状計測手段２１とを備え、形状計測手段２１は、温度制御装置５により検査対象物１００の雰囲気温度が予め決められた温度となった状態で、撮影カメラ３により検査対象物１００の画像を撮影させ、その少なくとも３つの画像上の光の強度分布に基づいて位相シフト法により検査対象物１００の各部位の高さ情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】ズーム及びフォーカス機能を有するステレオカメラを用いた3次元計測装置において、ズーム及びフォーカスが変化した場合でも精度のよい3次元計測を行うこと。
【解決手段】ズーム及びフォーカスが可変な撮像手段を1つ以上含む複数の撮像手段と、ズーミング及びフォーカシングの制御手段と、複数の撮像手段が出力した撮像画像をステレオ画像処理し３次元情報を計測するステレオ画像処理手段と、ステレオ画像処理を行うために必要なカメラ情報を格納するカメラ情報格納手段と、を有する3次元計測装置によって構成される。 カメラ情報格納手段は各撮像手段のズームの状態及びフォーカスの状態に依存して変化するカメラ情報については、その状態に応じた複数のカメラ情報を持ち、ステレオ画像処理手段が各撮像手段のズームの状態及びフォーカスの状態を取得して、カメラ情報格納部から対応するカメラ情報を取得し、ステレオ画像処理に用いる。 （もっと読む）

【課題】より正確な歪計測が可能であり、しかも水圧測定用と温度補償用とを１本の光ファイバで兼用させることで、低コスト化が可能な分布型水圧センサの提供。
【解決手段】長手方向に沿って連続的に又は断続的に光ファイバを収納可能な溝が設けられた管状体と、該管状体の外周に撚り合わされた光ファイバとを備え、前記管状体の外周に光ファイバが撚り合わされた撚り部と、前記管状体内に光ファイバが収納された直線部とが、前記管状体の長手方向に沿って交互に設けられ、前記管状体の先端部に設けられた撚り部又は直線部の先端側の光ファイバを折り返して管状体内に導入する折り返し部が設けられるとともに、該折り返し部から基端側に向かう光ファイバが管状体内に直線的に収納されて温度補償部が形成されてなる分布型水圧センサ。 （もっと読む）

【課題】移動体計測用干渉計の測定精度を向上させること。
【解決手段】ステージ装置１０１は、ステージ１０の位置又は姿勢を計測するＸ軸レーザ干渉計２及びＹ軸レーザ干渉計３と、Ｘ軸レーザ干渉計２及びＹ軸レーザ干渉計３のレーザビームの波長変化を補償する波長補償器１と、温度制御された気体を供給する温調器１２に接続され、Ｘ軸レーザ干渉計２の光軸及びＹ軸レーザ干渉計３の光軸に前記温度制御された気体を供給するための送風ダクト１４ｘ、１４ｙと、温調器１２に接続され、波長補償器１に前記温度制御された気体を供給するための送風ダクト１４ｃと、を備える。前記温度制御された気体が送風ダクト１４ｘ、１４ｙを経由して温調器１２からＸ軸レーザ干渉計２の光軸及びＹ軸レーザ干渉計３の光軸に到達するまでの時間と、前記温度制御された気体が送風ダクト１４ｃを経由して温調器１２から波長補償器１に到達するまでの時間と、は同一である。 （もっと読む）

【課題】空調装置で生じた空気振動の、位置計測用のレーザ干渉計のレーザ光軸での位相と、波長センサによる波長検出位置での位相とのずれに起因する補正誤差を低減する。
【解決手段】位置計測システムは、レーザ光の干渉を利用して測定対象の位置を計測するレーザ干渉計と、レーザ光の波長の変化を検出する波長検出器とを有する。そして、位相補正器は、空調装置の空気振動源から波長検出器までの空気振動が伝わる第１経路と、空気振動源からレーザ干渉計の光路までの空気振動が伝わる第２経路との長さの差に基づいて決定された、波長検出器と光路における空気振動の位相差に基づいて、波長検出器で検出される波長変化を補正する。位置計測器は、補正された波長変化に基づいてレーザ干渉計による計測値を補正する。ここで、位置計測システムは、上記第２経路の長さよりも、第１経路の長さの方が短く構成されている。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で、ステージ近傍の発熱したケーブルによる光路上の温度揺らぎを低減し、計測精度を高める位置決め装置、これを用いる露光装置、その露光装置を用いるデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の位置決め装置は、ステージ３に接続されてステージ定盤上のステージ３の移動に引き回されるケーブルをカバーするケーブルカバー７と、ステージ３の反射ミラー５から反射するレーザービームＬＢを受光してステージ３の位置を計測する干渉計とを有し、さらに、ケーブルカバー７が移動されることにより発生されるケーブルカバー７周囲の気流の上昇を防ぐ整流板８を用いて、干渉計の光路下でケーブルカバー７全体を覆って成る。 （もっと読む）

【課題】簡単且つ低コストな構成で温度補償の問題を解決し得る上に、測定対象物に溶接等することによりその測定対象物に加わる引張力、及び曲げ力等を高精度に検出し得る光ファイバ式ひずみゲージを提供する。
【解決手段】光ファイバ式ひずみゲージ１００は、空隙部１３が形成されたゲージベース１０と、連続的に形成された第１溝部１４Ａ、１４Ｂ及び第２溝部１５Ａ、１５Ｂと、この両溝部に固定される光ファイバ１１と、光ファイバに形成されたＦＢＧ１１１と、ゲージベース１０と測定対象物とを固定する、両溝部と直交する方向に延びる第１固着部１２Ａ１、１２Ｂ１と、両溝部と平行に延びる第２固着部１２Ａ２、１２Ｂ２とにより形成されており、ゲージベース１０を、２方向に固定できるので、測定対象物に強固に固定して面外に変形することを防止することが可能となり、曲げ力等によって発生する測定対象物のひずみを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】計測が正しく行なわれないというトラブルが生じた場合に、そのトラブルの原因を迅速に究明できるようにする。
【解決手段】計測が行われると、計測結果および干渉波形のファイルを作成するとともに、その計測に用いた各種のパラメータのファイルのパラメータ内容をコピーしたコピーファイルを作成し、計測日付および計測単位毎の追い番を含むファイル名を付与するとともに、計測結果および干渉波形のファイルには、作成した日時をタイムスタンプとして付与する一方、コピーファイルには、元のパラメータのファイルの作成または更新に日時をタイムスタンプとして付与して保存するようにしている。 （もっと読む）

【課題】レーザ式変位計測装置およびそれを用いた寸法変化測定方法において、被検物の周囲の環境変動があっても、良好な測定精度を保つことができるようにする。
【解決手段】レーザ式変位計測装置２が、端部に変位測定板６を設けたコンクリート供試体５に対して出射部から出射光９ａを出射しその反射光９ｂを受光部で受光して、変位測定板６までの距離を測定するレーザ式変位センサ８と、レーザ式変位センサ８の出射部および受光部から、変位測定板６の近傍までの空間を覆う管状部１０ａを有するカバーケース１０を備えるようにする。そして、レーザ式変位計測装置２を用いてコンクリート供試体５の寸法変化を測定する。 （もっと読む）

【課題】寸法測定装置において測定過程に発生するステージ温度上昇の影響を補正し、対象基板のマーク位置を高精度にかつ迅速に測定すること。
【解決手段】被測定基板の面内歪みまたはディストーションを解析するために基板に形成したマーク位置を測定する場合、基板上において温度補正を行うための代表点を予め設定し、代表点の位置情報と温度補正情報とを予め取得しておく。そして、基板のマーク位置を測定する際に発生する寸法測定装置のステージ温度上昇分を上記代表点の伸縮量から予測し、予測した温度上昇分を基に、基板のマーク位置の測定値の温度補正を行う。代表点は、温度変化に対して基板上の各マーク位置の伸縮特性を求め、その伸縮特性が特異な挙動を示す点から選択して決定する。 （もっと読む）

【課題】上記事情を鑑みてなされたものであって、レーザ干渉計のレーザ光路への温度影響を低減させることにより、構造が簡単で、安定した光学的測長システムを供給するものである。
【解決手段】発熱部を有する光学的測長機本体と、該光学的測長機本体を内部に配置したチャンバと、該チャンバ内に下降流の空気を供給する装置とを備えた光学的測長システムにおいて、前記発熱部を収納し、下端部が下方に向かって開口し、上端部が前記下端部の開口部より小さく開口するカバーと、該カバーの上端部の開口部に接続され、該カバー内の空気を前記チャンバ外に排出する排気手段と、を備えたことを特徴としている。 （もっと読む）

本発明は、橋梁やトンネルの内空変位など、被測定対象物の傾き及び加速度などを精密に測定するための光ファイバー格子（Fiber Bragg Grating；ＦＢＧ）センサを用いた内空変位計測装置及びこれを用いた計測方法に関するものであって、被測定対象物に設けられる本体と、上記本体の前面に固定されるように設けられた固定体と、上記固定体と所定距離離隔して水平になるように設けられ、ベアリング結合により回転可能に設けられた回転体と、上記固定体の上部外側面に接着され、上記回転体の上部外側面に接着されて緊張状態を維持するように水平に設けられ、その両端部に光端子が各々設けられた光ファイバーと、上記固定体と回転体との間の光ファイバー上に設けられる光ファイバー格子センサと、上記回転体の下部と所定長さの支持台により連結されて垂直状態に設けられた錘とから構成された計測装置を基準値に設定した後、被測定対象物に設け、地盤の変動に従う変位量を計算することによって、角度及び重力加速度の変位値を計測することができる。
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【課題】いわゆる回転円盤とＦＢＧ方式の光ファイバセンサを有して伸縮計等の変位量検出装置を構成することにより、広域にわたる同時計測の場合であっても、例えば敷設する伝送ケーブル本数を少なくでき、伝送最大距離をも容易に延長することができ、敷設コストを安価にして構成できる変位量検出装置の提供を目的とする。
【解決手段】一端が揺動する被検出部材に接続され、他端側は回転円盤外周面に巻回され、被検出部材の揺動を円盤の回転量に変換するひも状回転変換部材と、軸心部に接続取り付けされ円盤の回転量を軸心方向への移動に変換する移動変換部材と、一端側が移動変換部材に取り付けられ、他端側は基部として固定された、移動変換部材長手方向と略直角方向に延出して設置された揺動検出部材とを備え、揺動検出部材には表裏面に曲げひずみを検出するＦＢＧ光ファイバセンサが各々設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハに付着した異物を検査する異物検査装置において、気圧および気温といった気象条件の変化によって感度変動が生じた場合、高感度を維持するために行う煩雑な焦点調整作業を不要とし、常に最高の感度を維持し、装置の稼働率の向上を実現する。
【解決手段】信号強度が最大となる最適なＺ座標を探索し、その時点の気圧（気圧基準値）と、気温（気温基準値）と、最適なＺ座標（Ｚ基準値）の３つを基準値とする。任意の時点での気圧と、気温を計測し、各々基準値との変動分をとって、予め求めておいた換算係数を掛けて、変動分をＺ座標に換算する。変動分のＺ座標換算値を、Ｚ基準値に足しこめば、変動を補正して最大感度を得ることができる。これにより、単に気圧と気温の変動を補正してＺ座標を安定化するという点にとどまらず、常に最大感度を得るようにＺ座標を補正し続ける。 （もっと読む）

【課題】 実装部品の温度変化による干渉計測長誤差を抑制し、ステージの位置決め精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】 定盤上を非接触に移動可能なステージ可動部と、前記ステージ可動部の位置を計測する干渉計と、前記ステージ可動部に接続された配管または配線を備えるステージ装置であって、前記配管または配線から前記干渉計の計測光が通過する空間に伝わる熱を低減するように配置された断熱材または熱回収ユニットを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被測定物の有効範囲全域の干渉縞画像を１度に取得可能とすることで、短時間で被測定物の形状測定を行うことにより、高精度かつ安価に被測定物の形状を評価することができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の形状測定装置は、干渉計１０で干渉縞画像を取得する干渉縞取得手段と、取得した干渉縞画像より形状データを算出する形状算出手段とを備え、前記段差の所定の高さをｄ、干渉計用光源の波長をλ、ｎを２以上の整数としたとき、
｜２ｄ−ｎλ｜＜λ／３ ・・・(1)
の関係を満たすことを特徴する。これにより、その表面に所定の高さの段差を多数含む被測定物の有効範囲全域の干渉縞画像を取得することが可能となり、短時間で形状を測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】複雑な構成を取らなくとも、ＰＳＤの暗電流を検出してこれをキャンセルし、信頼性の高い光照射装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ４に搭載されたＬＥＤ５における暗電流を検出する際に、ＬＥＤ５の発光強度を少なくとも２段階に変化させ、それぞれの発光強度に対してＰＳＤ６より流れる電流と、それぞれの発光強度においてＬＥＤ５に流した電流とから、ＰＳＤ６の暗電流を算出すると共に、この暗電流の値を保持し、アクチュエータ４の移動量を検出する際にＰＳＤ６に流れる総電流から保持しておいた暗電流の値を差し引くことにより、暗電流をキャンセルする。 （もっと読む）