【課題】極めて高温の環境化においても、測定対象物の歪み量を正確に検出することができ、製造および布設も容易に行うことができる光ファイバセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】同一の基材２上に歪み検知用光ファイバ３と温度補償用光ファイバ４とが併設された光ファイバセンサ１であって、前記歪み検知用光ファイバ３は、前記基材２上に固定されて配設され、前記温度補償用光ファイバ４は、その外周上において固着されることなく耐熱性を有する繊維５で被覆され、該被覆繊維層５０を前記基材２に固定して、前記基材２上に配設されており、前記温度補償用光ファイバ４が該被覆繊維層５０内側でその長手方向に伸縮可能とされていることを特徴とする光ファイバセンサ１。 （もっと読む）

【課題】 測定時間を短縮すると共に歪を精度良く測定することが可能な光ファイバ歪測定装置を実現する。
【解決手段】 測定対象である光ファイバ内で発生するブリルアン散乱光を用いて光ファイバの歪を測定する光ファイバ歪測定装置において、パルス光を出射する光源と、パルス光を光ファイバの一端に入射させ、光ファイバの一端から出射される後方散乱光を波長帯毎に分岐させて出射させる光分岐手段と、この光分岐手段からブリルアン散乱光を含む波長帯の分岐光が入射されブリルアン散乱光を検出して歪を測定する歪検出手段と、光分岐手段からラマン散乱光を含む波長帯の分岐光が入射されラマン散乱光を検出して温度を測定する温度検出手段と、歪検出手段から歪の測定データを取り込み温度検出手段から温度の測定データを取り込むと共に歪の測定データを温度データで補償する演算制御手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】測定範囲および測定時間のいずれにも制限を受けることがなく、連続して炉幅を測定することができる炉幅測定装置を提供する。
【解決手段】発光素子と受光素子を外装内に収納したレーザ式変位センサ１６，１７と、外装を取り囲むとともに、吸熱面側をその外装に向けて配置される複数のプレート状ペルチェ素子２０ａ〜２０ｄと、上記外装とペルチェ素子の吸熱面との隙間を埋めるアルミブロック１８，１９と、ペルチェ素子の放熱面側に配置される冷却フィン群２１ａ〜２１ｄと、を一体化してセンサユニットＳＵとし、このセンサユニットを、冷却用空気の導入部と、冷却に供せられたその冷却用空気を排出する排出部と、レーザ光を通過させる計測窓２６，２８とを備えた筺体１３内に収納したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転ドラムの設置を要せず、計測範囲に応じて、容易に部材選定等が定まる構造とし、そのコストを安価にして構成できる変位検出装置および伸縮検出装置の提供を目的とする。
【解決手段】傾斜角を有する移動溝が内部に設けられ、かつガイド溝が設けられた装置本体と、可動部と、ガイドピンがガイド溝に遊嵌して平行移動可能とされた帯状曲げひずみ検出センサと、帯状曲げひずみ検出センサを装置本体の前後方向から引張する引張部材と、
を備え、可動部が傾斜移動し、ガイドピンが平行移動するときの帯状曲げひずみ検出センサにおける曲げひずみの値を検出する。 （もっと読む）

【課題】アクティブステレオ方式の３次元形状測定装置において高精度の測定を実現する。
【解決手段】投影光学系によって測定対象の物体表面上に投影された投影パターンを観測し、観測光学系によって得られた投影パターンの像に基づいて、解析処理手段により、測定対象の物体の３次元形状を示す座標データを求めるアクティブステレオ方式の３次元形状測定装置において、投影光学系の射出瞳と観測光学系の入射瞳とを結ぶ基線の長さである基線長Ｌと、基線と測定対象の物体との平均距離Ｙと、基線を含む水平面において、基線方向の座標軸ｘおよびこれに直交する座標軸ｙ方向に測った測定対象の物体の表面上の位置を示すｘ、ｙ座標成分について得るべき誤差ｄｘ、ｄｙとが式(１)で表される関係を満たすように配置する。
ｄｘ（ｍｍ）≧２×１０^−６・（Ｌ^２＋４ｙ^２）／ｙ
ｄｙ（ｍｍ）≧４×１０^−６・（Ｌ^２＋４Ｙ^２）／Ｌ ・・・（１） （もっと読む）

【課題】３次元測定機の姿勢を様々に変化させたときに生じる測定データの誤差を簡便に且つより精度よく補正する。
【解決手段】３次元測定機２を用いて物体の表面の３次元形状の測定を行う３次元測定方法であって、３次元測定機２の姿勢を検出する姿勢センサＳＥ１、および３次元測定機２の姿勢に対応したパラメータを格納したパラメータテーブルを予め設けておき、３次元測定機２により物体を測定して得られた測定データＤ１と、３次元測定機２の測定時の姿勢に対応してパラメータテーブルから読み出されたパラメータとを用いて、物体の３次元形状データを演算する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバを利用した歪・温度分布の観測システムにおいて、データの正確さ，信憑性，システム機能保全性といった信頼性を向上させる。
【解決手段】光ファイバ素線１０，１５における光ファイバ裸線１１と保護被覆１２，１６の複合形態を相互接着か相互非接着かの２種類とし、この２種類を取り混ぜた３本以上の素線群２１〜２３を仕込んだ光ファイバセンサー２０を用いることで、該素線群の各素線データ間の相互支援による信頼性の向上が行えるようにした。 （もっと読む）

【課題】空調管理された空間で用いられるレーザー干渉計の測定精度を上げること。
【解決手段】本発明は、対象物（３０）の位置の測定装置に関する。この測定装置は、少なくとも１つの方向への対象物の位置移動を求めるとともに、２つのレーザー軸を定義する少なくとも１つのレーザー干渉計システム（２９）と、少なくとも１つのレーザー干渉計システム（２９）を対象物（３０）とともに収容し、吸気口をもつ領域（４２）と排気口をもつ領域（４４）を有する空調管理室（４０）と、空調管理室（４０）を通る気流（４６）の少なくとも一部を、少なくとも１つのレーザー干渉計システム（２９）のレーザー軸（５２，５４）の領域に向ける操作をする案内手段と、を備える。 （もっと読む）

可動物体に対する距離計測値を与えるための干渉計測装置を提供する。温度の変動に起因する空気乱流は、空気の屈折率を変化させるので干渉計測にノイズを誘起する。この温度誘起ノイズを補償するために補償値が生成される。この目的のために、計測装置は、可動物体と基準物体の間で音波パルスを伝送し、伝送されたパルスを受信して飛行時間値を出力する音響システムを含む。各々の飛行時間値に関連する経路長が、複数の補間された干渉距離計測値に基づいて推定される。補償システムは、少なくとも１つの飛行時間値とそれに関連する複数の干渉距離計測値とから導出された補償値を生成する。
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【課題】 本発明は、いわゆるＦＢＧ方式（ファイバグレーティング方式）の光ファイバセンサのみで、例えば地盤内任意点の３次元変位を精度良く計測でき、しかもそのコストを安価にして構成できる変位計測装置および変位計測システムを提供することを目的とするものである。
【解決手段】 本発明は、柔軟性を有する棒状計測基体と、棒状計測基体の外周面上で、棒状計測基体の軸方向略対称となる２箇所位置に設置された一組の第１ファイバグレーティング部と、第１ファイバグレーティング部の設置位置より棒状計測基体の軸回りへ回転させた位置で、かつ棒状計測基体の軸方向略対称となる２箇所位置に設置された第２ファイバグレーティング部と、第１ファイバグレーティング部と第２ファイバグレーティング部とを連結する光ファイバとを備えて形成された計測部と、光ファイバをファイバグレーティング部の両側で固定する固定具と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光コヒーレンストモグラフィー計測において、測定開始位置の調整を短時間かつ簡便に行う。
【解決手段】制御手段７０は、測定開始位置調整モードと画像取得モードとを切り替える機能を有している。制御手段７０は、画像取得モード時には光源ユニット１０が第１低コヒーレンス光源１０Ａから第１低コヒーレンス光Ｌを射出し、画像取得手段５０が低コヒーレンス光Ｌによる干渉光Ｌ４から断層画像信号を取得するように制御する。一方、測定開始位置調整モード時には制御手段７０は光源ユニット１０の低コヒーレンス光源１０Ｂが第２低コヒーレンス光Ｌ１０を射出し、画像取得手段５０が第２低コヒーレンス光Ｌ１０による干渉光Ｌ４を検出から断層画像信号を取得するように制御する。 （もっと読む）

【課題】周囲温度や電源電圧などの影響を受けにくい光学式角度検出装置を提供する。
【解決手段】光学測距ユニット１は、光軸方位に光束を投光する投光部２と、測定部位から反射した光束を受光して測定部位までの距離を表す測距信号を出力する受光部３とを有する。光軸方位切換部は、光学測距ユニット１に相対して第１位置と第２位置との間を移動可能に取り付けられたレンズ部材と、これを駆動する駆動部材とを含み、レンズ部材が第１位置にあるとき、光学測距ユニット１は第１の光軸方位にある測定部位Ａに対応した第１の測距信号を出力し、レンズ部材が第２位置にあるとき第１の光軸方位を第２の光軸方位に切り換え、光学測距ユニット１は第２の光軸方位にある測定部位Ｂに対応した第２の測距信号を出力する。制御部は、第１及び第２の光軸方位と該第１及び第２の測距信号とに基づき、スクリーン２０の一方向の傾斜角を算出する。 （もっと読む）

【課題】レーザの光軸調整作業を容易化しつつ、鏡体の変位に影響されない試料位置管理を実現することで、高精度な描画（露光）が可能となる回路パターン製造装置を提供する。
【解決手段】鏡体支持部材である試料室２に連結された基準部材４に参照鏡２１を取付けて、ステージ３上のバーミラー２２と共にレーザ測長することで得られる基準部材４を基準としたステージ位置情報と、基準部材４と鏡体１との距離変動を測定する静電容量センサ５０の情報を演算して、鏡体基準のステージ位置情報を得る。 （もっと読む）

板ガラスの形状を測定する方法が提供される。この方法は、板ガラスを流体と接触させて配置することと、板ガラスの表面上の複数の位置において、センサと板ガラスの表面との間の距離を測定することとを含む。この方法は、板ガラスの形状を、円筒形や球形等といった少なくとも１つの単純な形状要素にデコンボリューションすることを更に含み得ると共に、この少なくとも１つの形状要素に基づき、ガラス製造プロセスにおける加熱器アレイの温度プロファイルを変更することを更に含み得る。
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【課題】線膨張率の小さい特殊な材料を用いず温度変化に対して測定誤差を小さくできる厚み測定機を提供する。
【解決手段】ほぼ同じ構造体の上に測定光用光学系と参照光用光学系を重ねて設ける。測定光は被測定物の表面及び裏面で反射して検出部に入射する。参照光は被測定物の表面及び裏面の近傍に設けられたミラーで反射して検出部に入射する。検出部では、参照光と測定光を干渉させて被測定物の厚み変化を検出する。参照光と測定光の光路長はほぼ同じなので温度変化による影響を同じように受けるため、たとえ温度により光路長が変化しても被測定物の厚みの変化だけを検出できる。 （もっと読む）

【課題】自動的にゼロ点を補正できる厚さ測定機を提供する。
【解決手段】厚み測定機は、対向配置された２つのセンサ要素２，６から構成される。センサ要素２のレーザ光源３からのレーザ光はセンサ要素６の位置検出素子（受光素子）８で受光され、センサ要素６のレーザ光源７からのレーザ光はセンサ要素２の位置検出素子（受光素子）４で受光される。このときの出力電圧Ｖ１，Ｖ２が厚みのゼロ点となる。被測定体をセンサ要素２，６の間に挿入し、表面で反射したレーザ光を位置検出素子４，８で受光する。被測定体の厚さに応じて出力電圧Ｖ１，Ｖ２が変化し、Ｖ１＋Ｖ２により厚さを測定する。 （もっと読む）

【課題】温度特性の良い反射型光ギャップセンサを実現する。
【解決手段】発光ダイオード１からの射出光は、第１格子１１で等ピッチの線状光線に変換され、反射面５を照射する。反射面５からの反射光は、第２格子１２で制限され、第３格子上１３に像を形成する。検出部６と反射面５間のギャップが変化すると像ピッチが変化する。第３格子１３を通して像ピッチの変化に伴う位相変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】レーザ素子の波長変化率特性の変化に拘わらず、レーザ素子の自己結合効果を利用した距離計測を信頼性良く高精度に実行することのできるレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ素子から出力される波長変調したレーザ光と、このレーザ光の予め設定された基準点からの反射光との自己結合効果により生じた変調レーザ光成分の情報に基づいて、該変調レーザ光成分を一定に保つように前記レーザ素子の駆動条件をフィードバック制御する。例えば理論的に計算される補正係数に基づいてレーザ素子の駆動電流を補正したり、或いはレーザ光を波長変調するべく周期的に増減される駆動電流の振幅またはその周期をフィードバック制御する。 （もっと読む）

【課題】温度、気圧等の外部影響因子の変化等の生成にも拘わらず、高精度な（相対）位置測定を可能にする位置決めテーブルの相対位置を求めるための測定装置及び方法。
【解決手段】干渉測定装置２５、２７は、少なくとも１つの波長を有するレーザ２２のレーザ光によって作動可能に構成され、周囲影響因子に基づいた前記レーザ光の波長の変化を顧慮して前記測定結果を評価するために、干渉較正装置２９、３２が、前記位置決めテーブル１８の位置決め運動中における前記レーザ光の実際に存在する（含まれる）波長を（帰納的に）導出することが可能な較正結果（複数）を生成するよう構成された測定装置において、前記干渉較正装置２９、３２は、前記干渉測定装置２５、２７に対し空間的に近接して配されること、及び前記空間的近接は、前記位置決めテーブル１８の前記最大走行路（Ｘｍａｘ、Ｙｍａｘ）の予め設定可能な部分に相応することを特徴とする。 （もっと読む）

磁気エレメント又は電磁エレメントと、磁気ひずみ材料の１つ又は複数のセグメントと、ファイバ・ブラッグ回折格子センサと、磁界を通さない材料のロッドと、光ファイバとを備えた光ファイバ位置変換器である。複数のセンサのうちの１つ又は複数は、ロッドに固定された磁気ひずみ材料のセグメントの上に固定されており、縦方向にのみ変位させることができる。ファイバ・ブラッグ回折格子センサは異なる波長を有しており、同じ光ファイバでできている。含まれている磁気エレメント又は電磁エレメントは、ＮｄＦｅＢ（ネオジミウム−鉄−ボロン）又はＴＸ、テルフェノール−ＤなどのＴｂＤｙＦｅ（テルビウム−ジスプロシウム−鉄）の金属合金を使用して構築することができる。光ファイバ位置変換器は、油井内の制御流量弁に適用され、また、変換器の位置を較正する方法に関している。
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