本願発明は物体の三次元測定のための装置に関し、その装置は移動可能な第一のパターンを物体に投影する第一の赤外線光源を有する第一の投影装置、および赤外線スペクトル領域において物体の画像を記録する少なくとも一つの画像記録装置により構成される。本願発明はさらに物体の三次元測定のための方法に関し、その方法は物体(5)を三次元測定する方法で、第一の赤外線光源(1a)を備える第一の投影装置(1)により第一の赤外線パターンを物体に投影し、赤外線放射を感受する最低一つの画像記録装置(3)でその物体の映像を記録し、そのパターンは映像の記録のたびに移動する、というステップにより構成される。
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【課題】外乱光の影響を抑制し、物体の形状の測定精度を向上する。
【解決手段】物体にパタンを投影して、その像を撮像素子６０により撮像することによって物体の形状を測定する形状測定装置の制御部６１のFFT部１０２は、A/D変換部１０１を介してフォトセンサ５９から取得した受光信号に基づいて、撮像素子６０に入射する入射光の周波数成分を検出する。ピーク検出部１１１は、周波数成分の検出結果に基づいて、撮像素子６０への入射光に含まれる外乱光の光量が所定の閾値以上かつ最大となる周波数fpを検出する。露光時間設定部１１３は、周波数fpに対応する周期Tpの倍数に撮像素子６０の露光時間を設定する。本発明は、例えば、光学式の形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】曲率半径測定方法および装置において、被測定物の温度が曲率半径測定の測定基準温度と異なる場合でも迅速に曲率半径を測定することができるようにする。
【解決手段】被検レンズ２のレンズ面２ａの球心位置および面頂位置の間の距離を測定することにより、レンズ面２ａの曲率半径を測定する曲率半径測定方法であって、少なくともレンズ面２ａの球心位置の測定時における被検レンズ２の温度を測定する温度測定工程と、この温度測定工程で測定された被検レンズ２の温度、および被検レンズ２の線膨張係数を用いて、レンズ面２ａの球心位置と面頂位置の間の距離を曲率半径測定の測定基準温度での距離に換算して、レンズ面２ａの曲率半径を算出する曲率半径算出工程とを備える方法を用いる。このため、曲率半径測定装置５０は、被検レンズ２の温度を測定するサーモグラフィ６を備える。 （もっと読む）

インプリント・リソグラフィは、インプリントの際にテンプレートと基板間の正確なアライメントから利益を得る。テンプレートと基板上の表示から生じるモアレ信号が、高帯域幅の低遅延信号を提供するライン走査カメラとデジタル・マイクロミラー装置（ＤＭＤ）を含むシステムによって取得される。取得した後、モアレ信号をそのまま使用して、個別の位置／角度エンコーダの必要なしにテンプレートと基板を位置合わせすることができる。
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【課題】 ３次元形状の測定方法及び測定装置を提供すること。
【解決手段】 本発明の３次元形状の測定方法は、データベースからフィーチャー情報を読み出し、ボードを測定位置に移動し、測定ヘッドをボードの検査領域に移動し、３次元測定のための第１光と２次元測定のための第２光とを検査領域に照射して、反射された第１反射イメージと第２反射イメージとを撮影し、フィーチャー情報と、第１反射イメージおよび第２反射イメージのうち少なくとも一つ以上とを比較して検査領域の歪曲を検査し、検査領域を再設定し、再設定された検査領域を検査することを含むことを特徴とする。本発明の測定方法によれば、３次元形状を正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】ゲル状物の表面に形成されたなだらかな凹凸であっても検出することができるゲル状物の表面凹凸検査方法を提供する。
【解決手段】検査位置４１に液晶パネル７１を設け、バックライト７２からの光を液晶表示部７３でマスクして縞模様の照明をシャーレ２の底面１１側から照射したり、面発光した状態の照明をマスクすることなくシャーレ２の底面１１側から照射できるように構成する。制御装置７４は、液晶パネル７１を全面発光した状態でシャーレ２の平面画像を取得して画像解析することで、シャーレ２の分離壁１３の延在方向を検出した後、検出した分離壁１３の延在方向に合わせた縞模様を液晶パネル７１に表示して、寒天３表面４での凹凸を検査する。 （もっと読む）

【課題】１台のカメラで同時に撮像した被写体の２次元画像群を基にして被写体の３次元情報を検出することを図る。
【解決手段】空間的又は時間的に強度変調された強度変調光を発生する距離検出用光源部１０と、被写体で強度変調光が反射された反射光を透過する複数のレンズ１５が多眼的に配置されたレンズアレイ１４と、複数のレンズ１５の各々を透過した透過光を２次元撮像素子の結像面で各々結像させて、複数のレンズ１５の各々に対応する被写体画像群を撮像し、該被写体画像群に基づいて被写体の３次元情報を検出する３次元カメラ１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板の歪みを簡便に計測する方法および装置。
【解決手段】複数の素子を有する基板に、処理が実行される前に、一定の周期を有する周期パターンを形成するパターン形成段階と、他の基板に、一定の周期を有する周期パターンを形成して参照基板を作製する参照基板準備段階と、処理を実行された基板を参照基板に重ねて、周期パターンの重なりにより生じる縞を観測する観測段階と、観測段階における観測結果から基板の歪を計測する計測段階とを備える。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法を用いる３次元形状計測方法および装置において、簡単な構成により、表面に文字や柄などによる反射率の異なる領域が混在する被計測物体についても計測精度を向上可能とする。
【解決手段】本装置１は、最良の計測結果を選択して決定するため、被計測物体の計測領域１０に縞パターンを投影する２つの縞パターン投影部２ａ，２ｂと、撮像部３と、撮像部３からのデータを基に計測領域１０の３次元形状を求める３次元計測処理部４とを備える。縞パターン投影部２ａ，２ｂが、撮像部３を挟んで向かい合うように、かつ撮像部３の光軸３０に対して線対称に配置され、縞パターン投影部２ａ，２ｂから同じ縞パターンＳＰを投影する。各縞パターン投影部２ａ，２ｂからそれぞれ独立に縞パターンを投影して２種類の３次元座標を求め、撮像部３の撮像素子上の１点に対応して得られる２種類の３次元座標の平均値を計測結果として計測精度を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で材料および構造物などの物体の変位や形状やひずみを高精度で検出することができる位相解析方法を提供する。
【解決手段】 撮影された画像の元の輝度値（ａ）の左もしくは右から（縦方向の場合、上もしくは下から）１番目のスタート点から整数倍画素Ｎ（Ｎは３以上）毎に間引き（ｂ）、左から２番目のスタート点からＮ画素毎に間引き（ｃ）、左から３番目のスタート点からＮ画素毎に間引き（ｄ）、抜けた画像データを線形補間することによって、元の画像を同じ解像度の画像を得る。 （もっと読む）

【課題】 被検体の表面形状を高精度に測定する。
【解決手段】 被検体又は該被検体が載置されたステージの少なくとも一方を、間隔が異なるように、予め設定された複数の検査位置のそれぞれの位置に移動させる移動工程と、各検査位置に移動した被検体に向けて、位相の異なる複数のパターン光を順次照射する照射工程と、複数のパターン光が照射された被検体をそれぞれ撮像する撮像工程と、各検査位置における合焦領域を、撮像された画像から求める領域決定工程と、複数のパターン光の位相情報と撮像された画像とを用いて合焦領域における被検体の形状を検査位置毎に特定し、各検査位置において特定された被写体の形状をそれぞれ合成する形状合成工程と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 測定精度の向上を可能とする三次元測定装置を提供する。
【解決手段】 三次元形状測定装置（１００）は、所定のパターン光を被検査物に投影する投影光学部（２０）と、被検査物上への所定のパターン光の投影により生じるパターン像を撮像し、さらに被検査物上への均一照明光の投影により生じる均一像を撮像する撮像部（３０）と、撮像部からのパターン像の画像データを記憶する記憶部（４３）と、撮像部からの均一像に基づいて記憶部に記憶された画像データのうち信頼性の低い画像データを除去する信号除去部（４４）と、信号除去部で除去されなかった画像データに基づいて被検査物の形状の情報を求める演算処理部（４２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】大がかりな構成を必要とせず、間違いの少ない自動化された部品検査を可能とする欠品検査方法および装置を提供する。
【解決手段】物品５３が封入された封入体５２が所定の収容体５１に入っているか否かを検査する欠品検査方法である。そして、封入体５２には少なくとも２つの領域に互いに異なる角度方向に伸びる縦縞模様をそれぞれ付すとともに、収容体５１には一方向に伸びる縦縞模様を付しておき、搬入された前記収容体を撮像し、撮像データから撮像画像中のモアレ縞の有無を分析し、この分析結果に基づいて収容体５１に封入体５２が入っているか否か判別を行う。 （もっと読む）

本発明により、両面微細構造化製品を製造する方法、及びこの方法のために使用することができる位置決め構造が提供される。この方法には、基板シート５０の第１の表面に一次製品フィーチャ８０を提供するステップ８００と、反対側の表面に二次製品フィーチャ９０を提供するステップ８１０と、位置合わせパラメータを推定するために、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ８０、９０の相互位置合わせを表示するステップ８２０と、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ８０、９０の準備を位置合わせさせるステップ８３０が含まれている。位置決め構造は、第１の表面に集束エレメント２０の位置決めアレイを備えており、また、反対側の表面に、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ８０、９０と位置合わせされた、製品フィーチャの８０、９０の位置合わせを推定するために基準オブジェクト３０のホログラフィ表現１０を提供する、基準オブジェクト３０の位置決めアレイを備えている。
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【課題】コスト上昇を抑えながら比較的に短時間で被計測物の３次元形状を計測する。
【解決手段】位相シフト法を利用した３次元形状計測において必須となる正弦波状の縞パターンの各々において、１周期毎に正弦波の振幅Ａ_ｎを変化させた投影パターンを生成して被計測物Ｍに投影して撮像する。振幅の違いから周期を推定して相対位相を位相接続できることから、特許文献２に記載されている従来例のように高価な投影装置や撮像装置を用いる必要が無く、その結果、表面に段差や孔のある物体の３次元形状をコスト上昇を抑えながら少ない撮像回数で計測することができる。 （もっと読む）

表示装置の近くの物体を取り込み測定するための、一体型の物体取り込みシステム及び表示装置並びに関連方法を提供する。物体取り込みシステムは、構造化光パターンを物体の表面上に投影するための少なくとも１つの投影装置と、物体の表面上に作用する構造化光パターンの少なくとも１つの画像を取り込むための少なくとも１つの検出装置と、取り込んだ画像に関する測定を求めるためのコンピューティング装置とを含むことが可能である。表示装置は、物体に対する位置を提供して物体取り込みシステムに関して仮定することが可能である。物体取り込みシステムは、表示装置と一体化されても、その装置に取り付けられても、又はそうではなくその装置と並んで位置決めされてもよい。測定は絶えず処理可能であり、表示装置、表示装置に接続されたコンピュータ、又は表示装置に接続された任意の装置の使用のレベルを求めることが可能である。
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【課題】モアレ縞発生器を適用した位相遷移映写式３次元形状測定装置及びその方法を提供する。
【解決手段】この装置は、光源（１１１）及びＬＥＤ光源（１２１）の光をそれぞれ用いて格子イメージを生成し、補正面位相と測定対象物（２４０）の物体位相を獲得できるようにする第１及び第２投影格子（１１４，１２４）と、第１及び第２投影格子（１１４，１２４）で生成された格子イメージがそれぞれ透過されるようにし、測定対象物（２４０）の高さ算出のための格子イメージを得るようにする第１及び第２投影部（１１６，１２６）と、測定対象物（２４０）から反射される格子イメージを受光して映像を獲得する映像獲得部（３００）と、映像獲得部（３００）で獲得された映像に対してアンラッピングされた物体の高さを算出する中央制御部（５００）と、を含む。 （もっと読む）

スキャンをプレビュすべく開示されるシステムおよび方法は、スキャンされる物体の近くに３次元（３Ｄ）スキャナプローブを配置するステップと；物体の一部分をスキャンし、このスキャンされた物体の一部分の３Ｄモデルを生成するステップと；３Ｄモデルのライブ３Ｄプレビュとして、この一部分の３Ｄモデルを表示するステップであって、ライブ３Ｄプレビュは、物体に関してプローブの位置および向きにフィードバックを提供するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】撮影と略同時に外乱光を測定することにより、外乱光の影響を可及的に排除して被検物の３次元形状を精度良く測定することができる形状測定装置を提供すること。
【解決手段】被検物４に測定光（パターン光）を照射し、該被検物で反射した光を受光して該被検物の形状を測定する形状測定装置である。前記照射時に前記反射した光を含む前記被検物からの光を検出し、前記照射をしない非照射時に前記反射した光を含まない前記被検物からの光を検出する光検出部（第１光検出部６、第２光検出部１０）と、前記光検出部が前記照射時に検出した前記反射した光を含む前記被検物からの光検出成分から前記非照射時に検出した前記反射した光を含まない前記被検物からの光検出成分を除去する演算処理部７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基準面と撮像ユニットとの位置関係の校正を容易に行う。
【解決手段】基準面に載置された撮影対象の撮影を行う撮像ユニット１５に関して、撮像ユニット１５の光軸方向を校正するための校正用ターゲット２０である。校正用ターゲット２０は、基準面との接触面となる底面と、交線が底面と平行である２つの傾斜面とを有している。２つの傾斜面には、底面に正射影したパタンが同じである校正用パタンがそれぞれ形成されている。撮像ユニット１５によって撮影された校正用ターゲット２０の撮影画像を、画像解析・処理ユニット１６は、２つの傾斜面にそれぞれ形成された２つの校正用パタンを認識し、認識した２つの校正用パタンの寸法を算出し、算出した２つの校正用パタンの寸法に基づいて、校正のための校正情報を作成する。 （もっと読む）