【課題】
格子パターンの繰り返しピッチを自在に変更することで多種の被測定対象に対応でき、、また、繰り返しピッチが異なる複数の格子パターンによるコントラストの検出結果を利用して、精度が高い距離検出が可能な三次元形状計測装置および三次元形状計測方法を提供する。
【解決手段】
液晶ストライプ格子の開口を制御して空間上での繰り返しパターンを形成でき、かつ繰り返しパターンの繰り返しピッチを変更できる制御部を備えた液晶装置１１と、液晶ストライプ格子を介して被測定対象に前記繰り返しパターンを投影する光源装置１２と、被測定対象上に投影された前記繰り返しパターンにかかる画像を取得する撮影装置１３と、撮影装置により撮影された画像のコントラスト値を検出し、基準位置から前記被測定対象までの距離を測定する距離測定装置１３と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表面にパターンが形成された試料の場合でも前記パターンの影響を受けず、かつ、高さ情報の分解能に比べて広い有効計測面積が可能となる表面測定装置を提供すること。
【解決手段】表面測定装置は、試料３に光を照射するための光源１と、前記試料３と前記光源１との間の光路中に設けられ、光を直進する第１の光束と一方向に回折する第２の光束との２つに分割するための非対称回折格子パターンを含む非対称回折格子パターン素子１０と、前記試料３の表面で反射した前記第１および第２の光束に基づいて、前記試料３の前記表面の高さ情報を取得するための手段４，５とを具備している。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で撮像装置の受光感度を上昇させ、精度の高い位置および指示方向計測を実現することができる位置および指示方向計測システムを提供する。
【解決手段】 位置および指示方向計測システムは、同心円状の縞模様光１１を投射する投射装置１２と、投射装置から射出された縞模様光１１を撮像する撮像装置１３，１４と、撮像装置から得られた縞画像に基づいて投射装置１２の位置および指示方向を求める演算装置１５とを備える。撮像装置１３，１４は、縞模様光１１を集光するための集光レンズ１６，１７と、集光レンズを介して得られた縞模様光を縞画像に変換する画像センサ１８，１９とを有する。画像センサの受光面は集光レンズの合焦位置を除く位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】手振れによる影響を低減する手持ち可能な３次元計測装置を提供する。
【解決手段】この３次元計測装置１は、測定すべき対象物体２に所定角度ずつ位相をずらした１組の縞パターンを投影する投影部４と、物体２上の１組の縞パターンの画像を撮影して各々の画素について１組の輝度値を得る撮影部５と、各々の画素について１組の輝度値から復元位相値を算出する位相復元手段６１、及び復元位相値から絶対位相値を求める位相接続手段６２、を有する画像処理部６と、を備えることによって物体２の表面形状を計測するものにおいて、投影部４は、１個の画像の撮影のために撮影部５が必要とする露光時間を複数回分割して得られるスライス時間ごとに１組の縞パターンの各々を順次切り換えて繰り返し投影し、撮影部５は、スライス時間ごとに１組の縞パターンの各々の画像を１組の受光素子５１、５２、５３に順次取り込んでそれを繰り返す。 （もっと読む）

【課題】 スループットの低下を招くことなく、位置合わせ精度を向上する。
【解決手段】 ウエハ上に配列された複数のショット領域の各々を、所定の露光位置に対して位置合わせする位置合わせ方法において、ショット領域について形成された複数の実マークの位置及び傾きを計測する計測ステップ（Ｓ１１）と、計測ステップで計測された実マークの計測位置情報及び計測傾き情報並びに該実マークの設計位置情報を含む演算パラメータに基づいて、所定の統計演算によりショット領域の配列に関する配列情報を算出する算出ステップ（Ｓ１４，Ｓ１５）と、算出ステップで算出された配列情報に基づいて、位置合わせを行う位置合わせステップ（Ｓ１６）とを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】 被測定物による影を安価に低減させることができるとともに、測定の精度の向上を可能にした格子パターン投影法による３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】 光源装置８からの光が照射される格子パターン６０４を有する光学変調素子６０５により形成される格子パターン像を標本３に対し所定角度傾けて投影するとともに、投影角度切換え部６１５により格子パターン像の傾き角度を変更可能にした。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で使い勝手が良く、高速走行させても高い精度でタイヤ形状を測定できる三次元形状測定システム、三次元形状測定方法、及び、撮影装置の設置状態補正方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 三次元形状測定システム１１は、連続的に発光する発光源を用いて、転動するタイヤに格子状の光マークを投射する液晶プロジェクター１４と、投射された光マークを撮影する２台のビデオカメラ１６、１８と、を備えている。更に、三次元形状測定システム１１は、ビデオカメラ１６、１８で撮影された画像データを演算処理することにより、光マークを構成する格子点の各三次元座標を算出し、算出した各三次元座標に基づいてサイドウォール部の形状を表示するデータ処理装置２０を備えている。液晶プロジェクター１４の設置位置から、すなわち固定された位置から光マークを投射するので、タイヤの走行速度が上昇しても、光マークによる格子点と撮影装置との相対速度がほとんどゼロである。 （もっと読む）

【課題】モアレ縞を観察することにより、画素オーダー以下の精度で、容易に画素合わせや位置合わせを行なうことを目的とする。
【解決手段】
ピッチが２画素のテストパターンを表示もしくは貼付したパターンを画素が２次元に配列している撮像素子により撮影し、撮影された画像に対して隣り合う上下左右の４画素との差の絶対値の和を計算する画像処理を行い、所定のモアレ縞本数を具えるモアレパターンが得ることにより、光学系のずれ、パターンの回転及び位置のずれを検出する。 （もっと読む）

【課題】 小型軽量に構成し、かつ、レンズの移動距離を正確に検出できる機構を備えたカメラモジュールとそのカメラモジュールを備えた携帯端末を提供することが課題である。
【解決手段】 レンズ保持部１０に駆動側軸部材２１とガイド軸部材２２とを挿通し、レンズ保持部１０を光軸方向に移動可能に構成したカメラモジュール２０において、モアレ縞でレンズ保持部１０の移動量を検出する検出部を設け、その検出部を、検出部と駆動側軸部材２１までの距離がガイド軸部材２２までの距離より小である位置に設置し、かつ、カメラモジュール本体側スケール部材２の収容部周辺の少なくとも一部を、レンズ保持部側スケール部材１側に突出させて、レンズ保持部側スケール部材１が当接してスケール部材同士の間隔を一定とできるようにする間隔設定手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】温度環境の変化により光学系の支持体が膨張、収縮することの影響を排除して、常に高精度な測定結果を得ることが可能な三角測量方式の光測定装置を得る。
【解決手段】２つの光学系（投影系２０Ａおよび観察系２０Ｂ）を支持するベース板１１の温度を計測する温度検出部３０と、計測された温度とベース板１１を形成する材料の線膨張率とに基づき、計測された温度下での基線の実長を求める基線長算出部４３とが設けられている。演算解析部４２は、基線長の初期設定値を基準長算出部４３において求められた基線の実長値に置き換えるとともに、２つの光学系により得られた観察データを用いて、基線の実長と被観察点との位置関係に基づく演算を行ない、被検体５の３次元形状を解析するように構成されている。 （もっと読む）

本発明は、物体２の表面部１の表面トポロジを再構成する方法に関する。表面プロファイルの勾配を表す測定値（勾配値）を取得する方法又は干渉法のような従来の方法は、ウエハのような広く平坦な物体の場合、限定された高さ解像度しか示さない。この問題を解消するために、物体の表面部がより小さな領域に細分化され、各々の領域から最適な装置パラメータで勾配値が得られる。それから、領域はともにつなぎ合わされ、３Ｄトポグラフィが再構成される。
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【課題】 バイナリパターンを被測定物体に投影することにより変形格子像に含まれる高調波を除去可能な3次元計測装置を提供する。
【解決手段】 被測定物体に明暗のバイナリパターンを投影して形成される複数の変形格子像を撮像する撮像装置350、複数の変形格子像から複数の光強度関数を取得する光強度取得部310、複数の光強度関数に対し被測定物体が複数の変形格子像に与えるモアレ位相と同値の位相差がある三角関数を乗じ複数の余弦関数を算出する余弦関数算出部412、複数の光強度関数に対し９０度からモアレ位相の値を差し引いた位相差がある三角関数を乗じ複数の正弦関数を算出する正弦関数算出部421、複数の余弦関数の和である実部関数及び複数の正弦関数の和である虚部関数を算出し複数の正余弦関数に含まれる高調波を除去する高調波除去部411、及び虚部関数を実部関数から抽出されるモアレ位相から被測定物体の高さを算出する高さ算出部316を備える。 （もっと読む）

【課題】物体にパターン光を投影する技術において、光源からの光をパターン光に光学的に変換する光変換体の構造を安価でかつ高精度の製造に好適であるように改良する。
【解決手段】投影部１２に、光源６８と、その光源からの光を少なくとも部分的に、角度的または光度分布的に変調して出射する光変調体２００と、その出射光の複数の角度成分のうち、予め定められた入射開口に適合する放射角特性を有するものを選択的に通過させる光学系３２とを設ける。光変調体は、入射光に対し、光変調体の表面形状に依存した光学的変調を行う。光変調体は、表面形状が互いに異なる２つの部分を少なくとも１組有し、それら２つの部分のうちの一方からは、入射開口角に適合する放射角特性を有する角度成分が、その後に光学系を通過する成分として出射し、他方からは、入射開口角に適合しない放射角特性を有する角度成分が、その後に光学系を通過しない成分として出射する。 （もっと読む）

【課題】少ないサンプリング数で干渉縞又は投影格子の位相を解析することができる位相解析方法を提供する。
【解決手段】ｆとｆ_ｓａｍを自然数とし、ｆ_ｓａｍ＜２Ｎとして、投影格子の位相を２πｆ変化させる間にｆ_ｓａｍ回撮影して得た画像から前記投影格子の位相を解析する投影格子の位相解析方法であって、ｋを任意の自然数として、ｆ’＝ｆ±ｋｆ_ｓａｍによって与えられるエイリアシングによって生じる周波数をフーリエ変換して得て、その周波数成分の複素数の偏角として前記投影格子の位相を得る。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、画像化される対象物の表面トポグラフィを再構成するために、画像化システムに構造光源を組み込む。構造光源は、或る角度から前記対象物上に１組の線を伝達するための機構を備える。それらの線は、マウスなど、限られた高さを有する対象物に当たると、変位、すなわち、位相シフトされる。この位相シフトは、対象物の構造光情報を提供する。カメラが、この構造光情報を取得する。構造光解析を用いるソフトウェアにより、線の位相シフトから、対象物の表面トポグラフィデータが決定される。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】口腔内レーザデジタイザシステムによって、例えば歯科アイテムなど実在の物体の三次元可視画像を、レーザによるデジタル化を介して、得ることができる。該レーザデジタイザは、露光時間に、該物体の複数の部分を走査することによって、該物体の画像を捕捉する。該口腔内デジタイザは、例えば歯、歯列、又は歯群など、歯科アイテムの画像を捕捉するために、口腔内（生体の）に挿入することができる。捕捉された画像は、三次元可視画像を生成するように処理される。
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【課題】 簡単な装置構成で一括に物体の高精度な形状計測を行うことができる３次元形状計測方法および装置を提供する。
【解決手段】 ３次元形状計測装置は、物体１に同心円状の縞模様２を投影する投影装置３と、縞模様２を撮影する撮像装置４と、縞模様２の撮影情報から取得した物体１までの距離情報に基づいて物体１の３次元形状計測を行う演算処理装置５とを備える。同心円状の縞模様２は、例えばプロジェクタあるいは半導体レーザを用いた光干渉投射装置を用いて形成することができる。演算処理装置５は、縞模様２の撮影画像濃度の極小値または極大値を表わす画素ナンバーに基づいて距離情報を取得することができる。 （もっと読む）

【課題】回転テーブルに載置された被写体を撮像してその被写体の３次元形状を測定する３次元形状測定装置において、測定ヘッドによる撮像が可能な撮像可能領域を縮小してその測定ヘッドに課される負担を軽減するとともに、ユーザの使い勝手を向上させる。
【解決手段】被写体Ｓの３次元形状を測定する３次元形状測定装置１０を、（ａ）回転テーブル１８４を有する回転テーブルユニットＲＴと、（ｂ）回転テーブルに載置された状態で被写体を撮像してその被写体の３次元形状を測定する測定ヘッドＭＨと、（ｃ）その測定ヘッドに装着される一方、回転テーブルユニットを保持する、変形可能なホルダＨＤとを含むものとする。そのホルダは、自身の変形により、回転テーブルユニットが測定ヘッドに対して展開される展開状態と格納される格納状態とを選択的に実現し、展開状態において、被写体が回転テーブルに載置されて測定ヘッドによって撮像される。 （もっと読む）

【課題】 基板の欠陥を、簡便かつ高い精度で検知する。
【解決手段】 基板１の表面を検査する表面検査装置１００であって、暗部と明部とを交互に平行に配列させたストライプパターンを、被検査面１ａに照射するパターン照射部３と、検知しようとする欠陥の高さと比べて浅い被写体深度で、ストライプパターンが形成された被検査面１ａの画像を撮像する撮像部４と、撮像部４により撮像された画像における暗部の像の消失を検知することにより、被検査面上の欠陥を検知する欠陥検知部６とを備える。 （もっと読む）

放射線エミッタの位置を測定するタッチパッドのような方法及びシステムであり、放射線エミッタはスタイラス、ペン、ポインタ等の能動的に放射線を放射するものでも、受動的な放射線を散乱／反射／拡散する要素でもよい。放射線はバーコード要素で変調され、少なくとも１次元のセンサ上に供給される。検出器の出力から、放射線エミッタの位置が測定される。このシステムは、標準的なタッチパッド、壁ないしは黒板やホイワイトボード上で使用するマーカのような外部のエミッタの位置の検出用、又はタッチパッド等の「内部」位置について使用できる。
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