【課題】計測精度を向上させた三次形状元計測装置を実現する。
【解決手段】計測対象に投影された、位置に応じて輝度が変化する縞状の光パタンを解析することによって、計測対象１２の三次元形状を計測する三次元形状計測装置１０であって、計測対象１２が配置され、上記光パタンが投影される計測面５２を備えた移動ユニット１１と、上記光パタンを計測対象１２および計測面５２に投影する投光ユニット１３と、上記光パタンを画像として読み取る撮像ユニット１５とを備え、撮像ユニット１５は、計測面５２上のある位置Ｗ_０からレンズ３３までを結んだ線分Ｌ_０Ｗ_０と計測面５２の垂線との間の角度をθ_ｐ、位置Ｗ_０から撮像ユニット１５までを結んだ線分と上記計測面の垂線との間の角度をθ_ｃとする場合に、計測対象となる計測面５２の領域内において、ｔａｎθ_ｃ＋ｔａｎθ_ｐを一定に保つように上記光パタンの縞を投影している。 （もっと読む）

【課題】多重反射の影響を排除して測定精度を向上させた形状測定方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る形状測定方法は、位相シフト法により被検物の三次元形状を測定する形状測定装置を用いた形状測定方法であって、互いに異なる位相を有する縞模様の投影パターンがそれぞれ投影された被検物の複数の画像情報に基づいて、被検物の画像における投影パターンの多重反射の影響を排除する第１のステップ（Ｓ１０１〜Ｓ１０５）と、第１のステップで多重反射の影響を排除した被検物の画像に基づいて、被検物の三次元形状を測定する第２のステップ（Ｓ１０６〜Ｓ１０７）とを有している。 （もっと読む）

【課題】測定対象の三次元の表面反射特性を好適に測定することができる表面反射特性測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明の表面反射特性測定装置は、測定対象１０の光反射特性情報測定手段１Ａと、測定対象１０の三次元形状情報測定手段１Ｂと、測定対象１０の法線情報測定手段１Ｃとを具備する。光反射特性情報測定手段１Ａは、測定対象１０を臨む特定の軌道で移動可能に垂設され測定対象１０に線状の光を照射する可動光源２と、前記軌道に沿って移動させながら可動光源２から測定対象１０に光が照射された状態を撮像するように配設された撮像手段３と、撮像手段３で撮像された測定対象１０の前記状態の画像データに基づいて、測定対象１０の光反射特性情報を求める情報処理手段４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】標的を検出・追跡する方法及び装置が提供される。
【解決手段】１以上のプラットホームに据え付けられた少なくとも２台のカメラ（１０、１２、１４）によって、視界（１６）から画像が捉えられる。これらの画像は分析され、標的位置をフレームからフレームに追跡するのに利用できる画像で標識を確認する。画像は、少なくとも１つのセンサから標的又はプラットホームの位置に関する情報を融合して（１つにまとめて）、標的を検出・追跡する。プラットホームの位置に対する標的位置が表示されるか、あるいは標的に対するプラットホームの位置が表示される。 （もっと読む）

【課題】被検物の測定手順を自動的に設定して被検物との干渉を防止した形状測定方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る形状測定方法は、パターン投影部を利用して投影光より明るい予備投影光を被検物に投影するとともに、撮像部を利用して予備投影光が投影された被検物を撮像し、予備投影光が投影された被検物の画像に基づいて被検物の三次元形状を予備測定する第１のステップ（Ｓ１０１〜Ｓ１０３）と、第１のステップで予備測定した被検物の三次元形状に基づいて、被検物に対する測定手順を設定する第２のステップ（Ｓ１０４）と、第２のステップで設定した測定手順に基づいて、被検物の三次元形状を本測定する第３のステップ（Ｓ１０５）とを有している。 （もっと読む）

【課題】検査対象物に対する光源や撮影装置の相対位置に関わらず、対象物の表面形状を適切に評価可能とすること。
【解決手段】表面形状を評価する際、評価対象物の表面形状を認識する形状認識ステップと、認識した評価対象物の表面形状上から代表点を抽出する代表点抽出ステップと、抽出された代表点を中心とした所定範囲についての形状を特定する形状特定ステップと、各代表点に対して、光源方向ベクトルを定義するベクトル定義ステップと、各代表点のうち、光源方向ベクトルに対応する仮想的な反射ベクトルが、仮想的に定められた方向から所定の範囲内に含まれる代表点のみを選択する代表点選択ステップと、選択した各代表点の集まりであるハイライト点群に基づいて、評価対象物の表面に仮想的に生じたハイライト線を作成するハイライト線作成ステップと、を備え、作成したハイライト線に基づいて評価対象物の表面形状の評価を行う。 （もっと読む）

【課題】対象物の表面に光パターンを投影することにより付与した空間符号を誤りなく抽出することを可能にし、しかも少数の光パターンによって高い空間分解能を得る。
【解決手段】対象物の表面に投影手段１１により複数種類の光パターンを規定の順で投影し、投影方向とは異なる方向から光パターンの投影毎に撮像手段１２により対象物の表面を撮像する。画像処理装置１０は、撮像手段１２により得た濃淡画像内で光パターンの各領域に対応する画素の位置を求め３次元形状を計測する。投影手段１１が投影する光パターンは、複数の縞状の領域に分割され、全領域においてそれぞれ選択されるすべての強度レベルが１回ずつ出現するという条件と、各領域ごとに強度レベルの変化順序が異なるという条件とを満たすように規定した順序で対象物の表面に投影される。符号付与部１５は、画素の明度の変化順序と明度の大小関係とから画素ごとの空間符号を抽出する。 （もっと読む）

【課題】多数の基準面を格子の投影に利用して、輝度分布が余弦波状でない格子や不等間隔格子でも精度良く形状計測を行い得る形状計測方法および形状計測装置を提供する。
【解決手段】本発明の形状計測装置は、基準面１２を含む基準平板１１と、基準平板１１を法線方向に移動させるステージ１３と、平行移動の各位置で格子パターンを投影するプロジェクタ１４と、各位置で基準面１２に形成される格子を撮影した第１撮影画像と、各位置で基準面１２の投影格子を撮影した第２撮影画像と、試料物体１７に投影した格子を撮影した第３撮影画像を得るカメラ１５と、第１撮影画像の格子および第２撮影画像の投影格子の解析をそれぞれ画素毎に行って、基準平板１１の移動量と格子の２次元座標とから成る空間座標と投影格子の位相θとを対応付けたテーブルを形成し、該テーブルと前記第３撮影画像とに基づいて試料物体１７の空間座標を求める解析装置１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】多方向からパターン照明を検査対象物に照射する多方向映写式モアレ干渉計及びこれを用いた検査方法を提供する。
【解決手段】この干渉計は、検査対象物（１）をＸ、Ｙ方向に移動させるＸ−Ｙステージ(１０)と、Ｘ−Ｙステージに位置した検査対象物(１)で反射されるパターン映像を撮影する結像部(１１０)と、パターン照明を照射受けて光経路を変更させて照射する第１回転鏡部(１２０)並びに第２回転鏡部(１３０)と、第１並びに第２回転鏡部から夫々照射されるパターン照明を検査対象物に照射する多数の第１並びに第２固定鏡部(１４０,１５０、１６０,１７０)と、第１及び第２回転鏡部(１２０,１３０)にパターン照明を照射させるパターン照明を発生する第１パターン照明発生部(１８０)と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 位相シフト法により測定対象物の３次元形状を測定する場合において、測定対象物の反射率が場所によって異なっても精度よく形状測定を行うこと。
【解決手段】 ３次元形状測定装置１は、複数の強度の光を測定対象物ＯＢに照射してそれぞれの強度の光ごとに測定対象物ＯＢ上に縞模様を形成し、形成された縞模様から複数の強度の光で照射した各々の場合ごとに位相値および評価データを算出する。評価データを評価することによって、各々の強度の照射光で照射された場合について算出された位相値の中から、その照射光の照射位置における反射率に最も見合った強度の照射光で照射された場合に算出された位相値を選択する。このように選択した位相値を用いて測定対象物の３次元形状を測定することにより、測定対象物ＯＢの反射率の変化による３次元形状データの測定精度の悪化を防止あるいは抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】レンズを使用することなく立体形状を計測する装置を提供する。
【解決手段】立体形状計測装置は、波長λの光を発する光源１１０と、第１のピッチｐ_１を有する第１の格子２１０と、第１の格子２１０から第１の距離Ｌ_１だけ離れて配置される第２のピッチｐ_２を有する第２の格子２２０と、画像センサ１２０とを備える。第１の距離と第１のピッチと波長との関係は、Ｌ_１≒ν（ｐ_１）^２／λ（νは整数）である。 （もっと読む）

【課題】鏡面乃至半鏡面状の測定対象表面上の、観察可能なあらゆる場所における、面歪の分布を、測定対象の3次元形状の影響を受けることなく、光学的手段を用いて定量的に、また高速・高精度に測定および評価できる、面歪の測定装置及び方法を提供することを課題とする。
【解決手段】複数種の明暗パタンを切替えて表示することが可能なパタン表示手段と、鏡面乃至半鏡面状の測定対象表面上に写る前記パタン表示手段に表示された複数の明暗パタンの鏡像を、撮影する撮影手段と、撮影された複数の明暗パタンの鏡像画像を画像処理して前記測定対象表面の面歪分布を演算する面歪分布演算手段とを備えたことを特徴とする鏡面乃至半鏡面上の面歪の測定装置において、前記測定対象のマクロ3次元形状を測定するマクロ形状測定手段と、測定されたマクロ3次元形状に基づいて、演算された面歪分布を補正するマクロ形状補正手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】スリット平面の式を必要とせず、そのためキャリブレーションにおいても精度を要求される設定準備を不要とした容易に行える３次元形状計測装置のキャリブレーション方法およびこれを使用した３次元形状計測方法を提供する。
【解決手段】相互間の距離が既知で撮像部からの距離が異なる複数の平行な平面にスリットパターンが投影された状態を撮像する第１のステップと、各前記平面毎に該スリットパターンの像の位置と形状を表現する式のパラメータを各スリット像毎に計算する第２のステップと、該スリットパターンの像を観測した平面の高さ座標と関連づけて各スリット毎に該パラメータを記憶する第３のステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、例えば平面鏡と曲面鏡をミラー等の反射面の歪みを、従来よりも高精度に検査する方法及び歪み検査装置に関するものであり、歪み量の検査とともに、歪みの方向も検査することができ、又、周辺部においても細かい検査を行うことができる歪み検査方法およびゆがみ検査装置を提供することにある。
【解決手段】前記検査対象に対して複数の平行線パターンを投射する投射手段と、前記投射手段により投射された平行線パターンによって検査対象から反射された反射平行線パターンを読み取る読取手段と、前記読取手段による反射平行線パターンに基づいて作成した測定パターンデータと予め定めた基準パターンデータとを比較演算するデータ処理手段と、前記データ処理手段の結果に基づいて前記検査対象の状態を判定するようにした判定手段を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高精度でありながら、構造が簡単で、低価格な内径計測方法およびその装置および内径計測装置用リング光照射器を目的とする。
【解決手段】干渉性の高い光ビームを発散球面波にして該発散球面波から同心円状多光束干渉縞を得て、その一つをリング光として計測対象孔内に照射し、その反射リング光を撮影して得たリング像に基づいて計測対象孔の内径を計測する内径計測方法と、光源２と、発散球面波を得るレンズ３、ピンホール４と、同心円状多光束干渉縞を得るエタロン５と、一つのリング光を得るマスク６とを備えたリング光照射器１と、計測対象孔内の反射リング光を撮影する撮像器８と、撮影リング像から内径を算出する演算器１０とからなる内径計測装置と、光源２と、発散球面波を得るレンズ３、ピンホール４と、同心円状多光束干渉縞を得るエタロン５と、一つのリング光を得るマスク６とからなる内径計測装置用リング光照射器。 （もっと読む）

【課題】正確な表面形状測定を行うことができる形状測定方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る形状測定方法は、被検物と撮像光学系との間の光軸方向距離を変化させて、光軸方向距離に応じた複数の被検物の測定画像を撮像取得するステップ（プＳ１０１〜Ｓ１０３）と、前記ステップで取得した複数の測定画像に基づいてそれぞれ、被検物の表面の高さを複数算出するステップ（Ｓ１０４）と、前記ステップで複数算出した被検物の表面の高さに基づいて、複数の測定画像の中から、撮像光学系が被検物に対して合焦状態となる光軸方向距離に対応した合焦測定画像を決定するステップ（Ｓ１０５〜Ｓ１０６）と、前記ステップで決定した合焦測定画像に基づいて被検物の表面の高さを算出する第４のステップ（Ｓ１０７〜Ｓ１０８）とを有している。 （もっと読む）

【課題】複数の基板テーブルまたはマスクテーブルがあるリソグラフィ投影装置に於いて、複数のステーションでこの基板またはマスクの高さを測定する装置間の原点を関係付ける必要をなくすること。
【解決手段】基板Ｗを基板テーブルＷＴに装填してから、測定ステーション（図８の右）で、レベルセンサ１０を使って、物理的参照面の垂直位置および基板表面の垂直位置Ｚ_LSを複数の点で測定し、並びにＺ干渉計Ｚ_IFを使ってこの基板テーブルの垂直位置Ｚ_IFを同じ点で同時に測定し、基板表面高さ、Ｚ_Wefer＝Ｚ_LS＋Ｚ_IFをマップにする。次に、この基板を坦持する基板テーブルを露出ステーション（図８の左）へ移し、物理的参照面の垂直位置を再び決定する。次に露出プロセス中に基板を正しい垂直位置に位置決めする際にこの高さマップを参照する。このプロセスは、マスクにも適用可能である。 （もっと読む）

【課題】
クラリネットやサクソフォーン等のシングルリード楽器のリードは様々なメーカから市販されているが、その多くは演奏会でそのまま使用できるものは少なく、不満足なものが大半であった。
【解決手段】
鳴りの良いリードは振動先端領域の厚さがリードの中心軸に対してほぼ左右対称で、且つなだらかに分布している。
従来この厚さ分布状況は厚さ計で多数点計測すれば得ることはできたが、非常に手数と時間を要し、頻繁に行うことや、多数のリードを対象に計測することは難しかった。 本発明は従来リードに利用されたことのないモアレ現象を適用したコンパクトな厚さ分布検査装置であり、装置にリードを置けば即座に厚さ分布を可視化し把握できる。厚さ条件から外れるものに関しては検査を繰り返しながら対称になるまで厚い方を削り込めばよい。これによって極めて高い成功率で鳴りの良いリードに調整できる。
（もっと読む）

【課題】 ＰＳＭ技術を改良すること。
【解決手段】 発明は、物体に縞を投影し、位相シフト法を使用して前記物体の外面をレリーフとして３次元測定するコンピュータ化された光学的方法に関し、縞の物体への４つの投影軸が使用され、各投影軸の原点は事実上の四面体の４つの頂点のそれぞれに実質的に位置する照明点とみなされ、物体は前記四面体の中心に実質的に配置され、撮影は４つの撮影軸に沿って実質的に位置する４つの撮影点から行われ、撮影軸のそれぞれは４つの三つ組投影軸により形成される４つの三面体の１つの中線であり、４つの撮影点は、各撮影点において、各像が三つ組投影軸の３つの照明点により照明できる物体の３つの表面のそれぞれの少なくとも一部を含むような物体からの距離に位置し、三つ組投影軸の中線は前記撮影点の撮影軸を定め、６対の照明点により照明されかつ定められる６つの表面のそれぞれの像の組はコンピュータ装置に取り込まれる。発明はまたそれに対応するシステムに関する。 （もっと読む）

【課題】成形ガラス板若しくはパネルの光学的ひずみを定量的に分析するための光電子的な方法を提供する。
【解決手段】本発明の方法は、反復模様がその表面に配された平坦な剛性表面から入射され光電子装置へ反射される光線によって成形ガラス板上に形成された前記模様のデジタル画像を、前記光電子装置を使用して取得するステップと、前記成形ガラス板の表面上に形成された前記模様の前記デジタル画像を、少なくとも１つのアルゴリズムによりプログラムされ、前記光電子装置からデジタル化された像を受信することが可能なコンピュータへ電子的に送信するステップとを含み、前記少なくとも１つのアルゴリズムが、前記分析のために選択された領域での、前記平坦な垂直表面上に配された前記反復模様のうちの隣接する所定数の模様から成る集団における見掛け上の模様のばらつきの最大変化率を計算することを特徴とする。 （もっと読む）