【課題】計測精度を向上する。
【解決手段】形状測定装置は、光源からの光に照らされている被検物を撮像する撮像素子と、撮像素子の受光面（Ａ１７）と共役な共役面（Ａ０）を受光面と非平行になるように形成する結像光学系と、撮像素子による撮像の結果から光に照らされている部分の像の位置を検出することにより、被検物の形状に関する情報を取得する形状情報取得部と、を備える。結像光学系は、像を形成する光束が通る範囲において、受光面を含む面と共役面を含む面との交線に直交する直交面上の像面の略中心と物体面の略中心とを直線で結んだときの軸に関して断面形状が非対称であり、かつ交線から最も遠い部分と、交線から最も近い部分とについて、遠い部分から近い部分に向うにつれて直交面上の断面形状の寸法が縮小又は拡大するレンズ要素（５２、５３）を含むレンズ群（５０）を有する。 （もっと読む）

【課題】波長差に起因する計測誤差を低減して高精度な位置検出を行う位置検出装置を提供する。
【解決手段】基準マークＳＭを利用して被検出体ＷＭの位置を検出する位置検出装置であって、第１の波長帯域を有する計測光を用いて被検出体ＷＭを照明する第１の照明光学系５と、第２の波長帯域を有する基準光を用いて基準マークＳＭを照明する第２の照明光学系１３と、被検出体ＷＭからの光束および基準マークＳＭからの光束を検出する検出光学系１０と、検出光学系１０で検出された光束に基づいて被検出体ＷＭの位置を検出する位置検出部４８とを有し、基準光の第２の波長帯域は、計測光の第１の波長帯域の上限と下限との間に設定されている。 （もっと読む）

【課題】撮像素子の受光面とその前方に配置されたカバーガラス等の透明体の前面及び背面のうちのいずれかの表面に存在する異物の位置、大きさ、形状を特定することができる撮像素子の異物検出方法及びその装置を提供する
【解決手段】本発明に係る異物検出装置は、撮像素子パッケージ２を装着部５０に装着し、光源部６０から照明光を照射して、撮像素子１０の受光面の像を撮像する。光源部６０から受光面１０Ａに照射する照明光は、例えば、平行光と、点光源からの拡散光とで切り替えられ、各々の照明光により照明している状態で撮像した撮影画像を制御・検査部８０に取り込み、それらの画像を比較することによって、異物の３次元的な位置、大きさ、形状を特定する。 （もっと読む）

【課題】物体表面の反射特性に鏡面反射成分を含むことを必要とせず、物体表面までの距離の計測も必要とせずに面法線を計測する。
【解決手段】面法線計測システム１は、ガイドレールＲｘ，Ｒｙに沿って、互いに直行する平面内を移動して物体ＯＢＪに対する照明方向を変化させる照明装置３０と、物体ＯＢＪを撮影する撮影装置４０と、撮影装置４０によって撮影された画像に基づいて物体ＯＢＪの表面の面法線を計測する面法線計測装置１０とを備える。面法線計測装置１０は、物体ＯＢＪの画像を２値化し、画素ごとに、照明方向と明暗とが対応付けられた陰影ベクトルを作成し、予め形状が既知の参照物体について作成した参照陰影ベクトルと面法線とが対応付けられたデータベースを参照して、物体ＯＢＪの陰影ベクトルと最も類似する参照陰影ベクトルに対応付けられた面法線を、その画素における面法線と推定する。 （もっと読む）

【課題】被加工物の厚みを正確に検出することができる非接触式の厚み検出装置および厚み検出装置を装備した研削機を提供する。
【解決手段】被加工物に対して透過性を有する所定の波長領域を有する発光体と、集光器とを備えた検出光照射手段と、検出光照射手段によって照射されチャックテーブルに保持された被加工物の上面および下面で反射した反射光を集光する集光レンズと、集光レンズによって集光された反射光の干渉を回折する回折格子と、回折格子によって回折した反射光の所定の波長域における光強度を検出するイメージセンサーと、イメージセンサーからの検出信号に基づいて分光干渉波形を求め、被加工物の上面で反射した反射光の光路長と被加工物の下面で反射した反射光の光路長との光路長差に基づいて被加工物の厚みを求める制御手段とを具備し、検出光照射手段は、P偏光を被加工物の上面に対して所定の入射角をもって照射する。 （もっと読む）

【課題】計測結果が計測対象物のどの部分のどの計測結果であるのかを使用者が的確に把握することができる画像計測装置及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】撮像手段で取得した計測対象物の画像を表示し、表示された画像上で特徴画像、及び計測位置の指定を受け付ける。指定を受け付けた特徴画像と、計測位置及び該計測位置を示す寸法線の表示位置を表す、特徴画像に対する相対位置に関する情報とを記憶しておく。新たに取得した計測対象物の画像と記憶してある特徴画像とを照合し、計測対象物の画像の姿勢及び位置に関する情報を特定する。姿勢及び位置が特定された計測対象物の画像に対して計測位置を設定し、該計測位置のエッジ部分を検出して、所定の物理量を計測する。記憶された寸法線を表示する特徴画像に対する相対位置に関する情報に基づいて、計測位置を示す寸法線及び計測結果を所定の位置に表示する。 （もっと読む）

【課題】照度の低い環境において、コントラストが低い移動面上を移動する移動体の位置及び姿勢、並びにその移動面の形状を検出する。
【解決手段】移動体及び移動面検出システム１は、移動体３と、移動体３上に配置された発光部４と、移動体３を俯瞰する位置に設けられたステレオカメラ５及び測距センサ６と、ステレオカメラ５及び測距センサ６の出力を処理する処理部７と、処理部７の出力を表示する表示部８とを備える。ステレオカメラ５は、発光部４のステレオ画像を撮像する。測距センサ６は、移動面に光を出射し、移動面で反射されて戻ってくる光の飛行時間に基づいて移動面を測距する。処理部７は、ステレオカメラ５が撮像したステレオ画像に基づいて移動体３の位置及び姿勢を検出するとともに、測距センサ６の出力に基づいて移動面の形状を検出し、移動体３の位置及び姿勢と、移動面の形状とを表示部８に表示する。 （もっと読む）

【課題】 記録材からの透過光を検知することにより記録材の厚さを判別する方法では、記録材の白色度の違いにより記録材の厚みを精度良く判別できない可能性があった。
【解決手段】 カラーセンサにより記録材の白色度又は色度を検知し、記録材の白色度又は色度と透過光量に基づいて、記録材の厚さの判別を行うことにより、記録材の白色度又は色度に関わらず、記録材の判別精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】基板の膜種、表面状態等に影響されることなく、基板の保持状態を正確に検出することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を処理する基板処理装置において、基板が載置される載置台３２と、載置台３２に載置されている基板の周縁部を保持する保持部４４と、保持部４４に光を照射する光源９８と、保持部４４からの光の光量を検出することによって、保持部に保持されている基板の保持状態を検出する検出部９９とを有する。 （もっと読む）

【課題】検出空間を拡張した場合でも、装置を大型化せずに対象物体の位置を精度よく検出することができる光学式位置検出装置、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、光源部１２から検出光を出射した際、受光部１３は対象物体Ｏｂからの反射光を第１受光素子１３１および第２受光素子１３２で受光する。第１受光素子１３１および第２受光素子１３２は、第１受光素子１３１の受光面１３１ａに対する法線方向と第２受光素子１３２の受光面１３２ａに対する法線方向との交差角度θｃが９０°を超え、１８０°未満となる値、好ましくは、１２０°を超え、１４０°未満となる値に設定されている。 （もっと読む）

【課題】光軸方向に交差する方向に配列した複数の発光素子から光軸方向と配列方向とによって規定される仮想面に沿って光を出射した場合でも、発光素子の配列方向で光強度が急激に変化しない光源装置、光学式位置検出装置、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０に用いた光源部１２（光源装置）では、複数の発光素子１２０を発光素子１２０の光軸に交差する方向に配列したため、光軸方向と配列方向とによって規定されるＸＹ面（仮想面）に沿う広い範囲にわたって検出光Ｌ２を十分な強度をもって出射することができる。複数の発光素子１２０の光軸方向の出射側には、レンズフィルム１９０（シート状光学部材）が配置されており、かかるレンズフィルム１９０は、ＸＹ面内方向における発光素子１２０からの出射光Ｌ１の発散角を拡大させるパワーを備え、Ｚ軸方向には光を拡散させるパワーを有していない。 （もっと読む）

【課題】部品点数を低減するとともに、単純な構成の導光体を利用可能にする。
【解決手段】搬送中の移動体を検知する移動体検知部Ｄ１，Ｄ２を有し、移動体検知部は、搬送路５に臨む発光部Ｓ１，Ｓ３と、搬送路に臨む受光部Ｓ２，Ｓ４と、搬送路を介して発光部及び受光部に対向しており、発光部が放射した光を受光部に導く導光体Ｐ１，Ｐ２とによって構成されており、かつ、発光部及び受光部が移動体のサイズを区分するために予め設定された仮想上の境界線の両側に配置されるように、境界線の上に、境界線に対して傾斜して配置されている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で距離を測定可能なレーザ変位計を提供する。
【解決手段】レーザ光を出射する光源部１１、出射光の光束径を拡張し、拡張後の出射光が反射手段３０で反射された反射光を集光する光束径変更部１４、反射光を受光する受光部１６、出射光と反射光を用い、反射手段３０までの距離を算出する算出部１８、その距離の変位を検出する変位検出部２１、検出された変位に関する出力を行う変位出力部２２、拡張前の出射光と、光束径変更部１４からの反射光との一方を透過させ、他方を反射させることによって、光源部１１からの出射光を、中心領域を介して光束径変更部１４に透過または反射させ、光束径変更部１４からの反射光を、中心領域の外側の領域である外側領域を介して受光部１６に反射または透過させる反射部１７ａを備え、光束径変更部１４は、反射光に対する有効口径が出射光の光束径より大きい。 （もっと読む）

【課題】二次元平面を構成する基準面を複数用いて物体の三次元形状を計測する形状計測装置及び形状計測方法を提供する。
【解決手段】本発明の形状計測装置１００は、物体を照射する第１の光源２０と、物体を照射する第２の光源３０と、物体を撮像するための複数の画素を有するカメラ１０と、第１の光源２０及び第２の光源３０の各々で得られる画素毎の輝度比を各基準面の高さと対応付けた画素毎の画素別輝度比・三次元座標変換テーブルを予め保持するメモリ７０と、物体を撮像して得られるそれぞれの画像信号の画素毎の輝度比を算出し、該輝度比の値から画素別輝度比・三次元座標変換テーブルを参照して当該物体の三次元座標を決定する制御ユニット５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】安定した３次元認識画像を形成して正しい部品認識結果を得ることができる画像形成装置および画像形成方法ならびに部品実装装置を提供する。
【解決手段】計測対象面への入射方向を挟んで対称に配置され受光面の計測対象面に対する傾斜角度が各対毎に相異なる２対の位置検出素子群２５Ａ，２５Ｂを有し、走査光の計測対象面からの反射光の受光位置を検出する位置検出部２５と、各位置検出素子が受光する光量が所定の範囲内にあるか否かを判定する受光量判定部３４と、同一の位置検出素子群に属する位置検出素子による反射光の受光位置検出結果の差異の大きさが所定の基準値以下であるか否かを判定する受光位置検出結果判定部３５とを備え、位置検出部２５の受光位置検出結果に基づき受光量判定部３４および受光位置検出結果判定部３５の判定結果を加味して計測対象面の３次元認識画像を形成する構成とする。 （もっと読む）

【課題】コスト高を招来することなく、簡単な構成により、自動的にセンサーの感度を調整することができるマーク検出装置およびマーク検出方法ならびに画像作成および切り抜き装置を提供しようとする。
【解決手段】投光手段から投光された光の反射光を受光手段により受光し、受光量に応じた検出電圧を出力するセンサーを備え、上記センサーにより検出した検出電圧を基準電圧と比較することにより、媒体上に形成されたマークを検出するマーク検出装置において、上記センサーにおける基準電圧を設定することが可能であるとともに、設定した基準電圧を出力する基準電圧出力手段と、上記基準電圧出力手段より出力された基準電圧と、上記センサーに出力された検出電圧との差分を増幅して出力する電位差出力手段とを有するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】車両に搭載された車載装置にて取得される車両の世界座標系と路側装置にて取得される車両のカメラ座標系との対応テーブルを作成する処理の効率化を図る。
【解決手段】車両の世界座標系の位置座標データを取得するとともに、光源／熱源を、その間隔が不均等となるパターンで間欠出力する車載装置２０と、車両を撮影する路側装置１０と、車載装置２０における光源／熱源の出力タイミング情報と、路側装置１０にて撮影された画像に含まれる光源／熱源の出力タイミングとに基づいて、車両の世界座標系の位置座標データと車両のカメラ座標系の位置座標データとを時刻同期させ、車両についての世界座標系の位置座標データとカメラ系座標の位置座標データとの対応テーブルを作成する位置対応テーブル作成部３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】鎖錠桿に塗布されたグリースの一部が移動スリット保持体、または固定スリット保持体のスリットを塞いでしまうことによる誤検出を防止し得るロック狂い検出装置を提供する。
【解決手段】ロック狂い検出装置１は、転てつ機２の鎖錠桿４ａ，４ｂが出入りする鎖錠桿案内部と、鎖錠桿４ａ，４ｂに取り付けられた移動スリット保持体とともにロック狂いの検出に用いられる固定スリット保持体の間に、特徴的なパッキン部が設けられている。パッキン部の先端は、鎖錠桿４ａ，４ｂの進入ごとに鎖錠桿４ａ，４ｂの表面を擦るため、鎖錠桿４ａ，４ｂの表面に塗布されたグリースなどの潤滑剤は、パッキン部に遮られて、固定スリット保持体または移動スリット保持体が設けられた領域へ侵入することがない。 （もっと読む）

【課題】受光素子に対する電気ノイズに対する影響を阻止することにより、誤検出の発生を防止することのできる光学式位置検出装置、および当該光学式位置検出装置を備えた入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置において、受光部１３は、検出光が放射状に出射された検出対象空間に位置する対象物体で反射した検出光を受光する。受光部１３には、受光素子１３０の受光面１３１を部分的に覆うシールド部材１４が設けられている。シールド部材１４において、入射部１４０は、受光面１３１に対する法線方向から一方側および反対側に傾くに伴って幅広になっている。従って、受光素子１３０での受光強度は、受光面１３１に対する法線方向から入射した検出光と、受光面１３１に対する法線方向から傾いた斜め方向から入射した検出光とにおいて差が小さい。 （もっと読む）

【課題】移動体の曲面からの信号に関してデフォーカスによる信号振幅減少を低減し、移動情報の検出精度の低下を抑制する。
【解決手段】光源と、移動方向に曲面を備える移動体と、前記曲面からの集光された反射光または透過光を受講する受光素子と、を有する移動情報測定装置において、前記曲面が移動方向に複数種の曲率を備える。 （もっと読む）