本発明は基板上の部分透過層、特に炭素に基づく摩耗保護層の層厚の測定のための干渉測定装置に関し、この層を自動的にその深さ方向（Ｚ）に走査する走査装置を有し、この走査装置を用いて層構造に対して相対的に干渉平面（ＬＥ）がシフト可能であり、白色光干渉計（ＷＬＩ）及び/又は波長走査干渉計（ＷＬＳＩ）を有する干渉計部分（ＩＴ）を有する。本発明はさらに相応の評価方法に関する。
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【課題】携帯機器にも搭載可能な省スペースの操作装置を提供する。
【解決手段】距離認識部２０ｂは、ＥＥＰＲＯＭ１４６の受光量−距離曲線とバッファメモリ１３５−２の受光量データｘ３、ｘ４とを参照し、指Ｆの距離Ｌｐ、Ｌｎを認識する。操作認識部２０ｃは、指Ｆの距離が増減していると判断した場合、動作量の入力があったと認識する。これに応じ、動作制御部２０ｅは、指Ｆの距離の増減量ΔＬ＝Ｌｎ−Ｌｐに応じた制御を行う。具体的には、メインＣＰＵ２０は、指Ｆの距離の増減ΔＬに比例した繰出量でレンズ鏡胴６０を移動する指令をモータドライバ６２に出力する。 （もっと読む）

【課題】 点字と文字が重なり合っているような点字面からでも、処理装置の負荷を抑制しながら点字部分を容易に認識できるようにする。
【解決手段】 点字が形成されている点字面１０に対して光を照射する第１照射部１０２と、点字面１０に対して第１照射部１０２とは異なる波長の光を照射する第２照射部１０３と、第1照射部１０２及び第２照射部１０３により照射された点字面１０を撮像し、点字面１０の映像信号を出力する撮像部１０４と、映像信号から、少なくとも点字面１０における第１照射部１０２のみによる照射領域および第２照射部１０３のみによる照射領域を認識することにより点字を認識する点字認識部１０７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 回折光を確実に除去して表面欠陥の検査に必要なＳＮ比を確保できる表面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】 被検面５ａを直線偏光によって照明する照明ユニット１０と、直線偏光によって照明されたときに被検面５ａから出射される散乱光のうち、直線偏光の振動面に垂直な偏光成分を受光する受光ユニット２０とを備える。また、受光ユニットは、直線偏光によって照明されたときに被検面から出射される正反射光の出射角をθｏ、正反射光の開口角をδθｏ、正反射光の光軸Ｃ３から受光ユニットの光軸Ｃ４を見込む角度をθｒ、受光ユニットの開口角をδθｒとして、条件式「δθｏ＜（θｒ−δθｒ）」「θｒ≦１０度」「θｏ≦６０度」を満足するように設定される。 （もっと読む）

【課題】 機械的な駆動機構による被測定物の相対移動を必要としない表面性状測定装置を提供する。
【解決手段】 この表面性状測定装置は、中心波長λｃを中心とした一定の波長幅Δλを有する入射光を出力しその中心波長λｃが所定の可変波長範囲内において可変とされた波長可変光源１１を備えている。参照光路には、光路長に所定の測定レンジ以上の変化を与える平行平面板１４が挿入される。中心波長λｃが変化すると、参照光路の光路長が変化する。測定対象物Ｗ上のある一点の光路長が参照光路の光路長と一致すると、干渉信号が最大値となる。 （もっと読む）

【課題】干渉ノイズを回避しつつ、かつ測定対象物の配置調整が容易となる干渉計を提供する。
【解決手段】波長可変光源２０１は、出射する光の波長λを走査幅Δλの範囲で変更可能とされる。Δλとλとにより、干渉計２００の可干渉距離ΔＬが決定される。制御部３００は、走査幅Δλを適切な大きさに設定して可干渉縞画像をＣＣＤカメラ２０９に撮像させる。このとき、露光時間Ｔｅは、波長走査が行われる時間よりも長く設定される。 （もっと読む）

【課題】複数の撮像素子から得られる干渉縞の干渉縞強度のバイアス及び振幅のバラツキ、並びに位相の設計値からの偏差を、定期的に又は測定の前にユーザが容易に計測することを可能とし、測定の高精度化を達成すると共に、使用環境を選ばない干渉計を提供する。
【解決手段】波長可変レーザ３０１からのレーザ光の波長を、波長シフト量Δλを少なくとも３通りに変化させて、その異なる少なくとも３通りの波長シフト量Δλの場合に関し、１つのＣＣＤカメラ３１６、３１８、又は３２０で異なる干渉縞を撮像し、その干渉縞強度を取得する。これにより、バイアスＢ_ｉ（ｘ、ｙ）、振幅Ａ_ｉ（ｘ、ｙ）、及び位相Ｆ_ｉ（ｘ、ｙ）を計算することができる。 （もっと読む）

【課題】 レーザ素子の自己結合効果を利用した距離計測を信頼性良く、しかも無駄なく実行することのできるレーザ測長器を提供する。
【解決手段】 計測対象物に向けて波長変調したレーザ光を照射すると共に、上記計測対象物にて反射した上記レーザ光が導入される自己結合型のレーザ素子を備え、このレーザ素子におけるレーザ光の自己結合効果により生じた変調レーザ光を周波数分析して前記計測対象物までの距離を測定するレーザ測長器であって、前記変調レーザ光を周波数分析して求める周波数成分の検出範囲を制限することで前記計測対象物の検出距離領域を規定する手段（ハイパスフィルタおよび／またはローパスフィルタからなるフィルタ回路）を備える。 （もっと読む）

【課題】自己結合型のレーザ計測器の利点を活かしつつ、測定対象との距離と測定対象の速度を計測する。
【解決手段】距離・速度計は、半導体レーザ１と、半導体レーザ１に、発振波長が連続的に増加する第１の発振期間と発振波長が連続的に減少する第２の発振期間とを交互に繰り返させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１の光出力を電気信号に変換するフォトダイオード２と、フォトダイオード２の出力に含まれる、半導体レーザ１の出力光と測定対象１１からの戻り光との半導体レーザ１内での干渉に基づくパルスの数を、第１の発振期間と第２の発振期間の各々について数える計数手段５〜８と、半導体レーザ１の最小発振波長と最大発振波長と計数手段の計数結果から測定対象１１との距離及び測定対象１１の速度を算出する演算手段９とを有する。 （もっと読む）

【課題】波長可変光源を往復掃引させ、その掃引方向の違いによって生じる波長ずれの差を検出することによって、例えＦＢＧまでの光路長が不明な場合であっても測定対象の歪み測定を高速かつ正確に行えるとともに、ＦＢＧまでの光路長の測定をも可能にしたＦＢＧ歪センサシステムを提供する。
【解決手段】波長可変光源１０が短波から長波へ掃引している期間に受光器１４から出力される電気信号ｂと波長可変光源１０の発振波長からＦＢＧ１３ａ〜ｃの反射波長を第１の仮の反射波長λ_TUとして測定し、かつ、波長可変光源１０が長波から短波へ掃引している期間に受光器１４から出力される電気信号ｂと波長可変光源１０の発振波長からＦＢＧ１３ａ〜ｃの反射波長を第２の仮の反射波長λ_TDとして測定して、この第１の仮の反射波長λ_TU及び第２の仮の反射波長λ_TDと波長可変光源１０の発振波長の掃引特性とに基づいてＦＢＧ１３ａ〜ｃの反射波長λ_Fを求める。 （もっと読む）

【課題】 計測地点の数が多い場合でも、正確な計測を行うためのＦＢＧセンサモジュール及び同モジュールを用いた低コストな監視システムを得ることを目的とする。
【解決手段】 ＦＢＧセンサモジュール１３は、天板４と、設置面に接地されて天板４を支持する支持体５と、天板４がたわんだ場合に天板４に当接することで所定のたわみ量となるように調整するストッパ８と、天板４に取り付けられたＦＢＧセンサ６、７を備えている。天板４のたわみ量に応じてＦＢＧセンサ６、７が歪み、ＦＢＧセンサ６、７の反射波長が所定量分だけ変化する。 （もっと読む）

【課題】 フェムト秒レーザー等を用いない低コストな位置センシング装置が強く望まれていた。
【解決手段】 そこで、本発明は物体の位置を検出するための装置であって、前記物体に連続する電磁波を照射するための照射部と、前記照射部から照射される電磁波のうち前記物体から反射される電磁波を検出するための検出部と、前記検出部で検出される情報から振幅強度の変化又は位相の変化を出力する出力部を備え、前記出力される情報をもとに前記物体の位置を検知する位置センシング装置を提供するものである。 （もっと読む）

波長分散や光路長等の光学特性を高速に評価することのできる検出装置、光路長測定装置、光学部材評価方法等を提供することを目的とする。 また、他の目的は、化学・生体反応および温熱効果を高精度に評価できる検出装置、温度変化検出方法を提供することにある。 検出装置１０Ａでは、被測定物Ｓの波長分散を受けたゼロ次光Ｂ０と、周波数をシフトさせた一次光Ｂ１とを重ね合わせ、これによって低周波のビートを発生させ、そのビート位相の波長依存性を測定するようにした。さらに、周波数シフター１２からの交流電気信号を位相基準信号とし、測定信号の相対的な位相を検出するようにした。また、互いに波長が異なる測定光と参照光をそれぞれ周波数シフトさせ、測定光のビート位相を、参照光のビート位相を基準として相対的に求めるようにすることも有効である。
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【課題】波長走査の前後に基準面を機械駆動する機構を付加することにより、被測定体の表面に半波長以上の高さの段差が存在しても、不確定さなしに二次元表面形状を決定可能とする。
【解決手段】出力光の波長λを時間的に変化させ得るレーザ光源１と、レーザ光源１からの光束を平行光束とした後、基準板４の基準面４’上、被測定面７上および既知の段差Hのゲージブロック８の上面９上に導くコリメータレンズ３と、基準板４の基準面４’を光束に平行に波長の数分の一ずつ平行移動させる駆動機構５と、基準面４’、被測定面７およびゲージブロック８からの光束の光干渉により得られた干渉縞情報を撮像するＣＣＤカメラ１２とを備えた干渉計装置を用いて干渉縞による形状・段差を測定する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、種々の測定対象に対応して、高精度の測定が可能で、かつ工数と時間ロスを低減できる光学的測定装置を提供することである。
【解決手段】光源の光を測定対象に投光して測定対象の材質、厚さ、成分、水分などの性状を測定する光学的測定装置において、前記測定対象の形状に対応した開口形状の複数のスリットを有する投光スポット制御手段を前記光源からの光の結像位置に配置した。測定対象の形状に相当するスポットとすることで、測定対象の必要部分からの無駄のない大きな測定光量が得られ、測定精度の向上が図れる。 （もっと読む）

【課題】薄膜の反射率を求める際。波長分散式を使うと、おなじ反射率データから使用した分散式の数だけデータが発生してしまい、どの分散式がもっとも適しているかがわからなくなるという問題点があった。
【解決手段】差分方程式を解くことより各波長でのdnを求め、dnの差分式と、dRの実測データよりnLを変数としてフィッティング解析を行うことによって薄膜の屈折率n、膜厚Lを求め、分散モデルを使わずに一意的に膜厚を求めることが可能である。また屈折率が膜厚と独立して計算式内に存在するため、屈折率と膜厚を分けたフィッティングを行うことも可能である。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、高精度の測定が可能な光学的測定装置を提供することである。
【解決手段】光源の光を測定対象に投光して測定対象の材質、厚さ、成分、水分などの性状を測定する光学的測定装置において、測定対象の形状に対応した開口形状を有するスリットを回転セクタの光学フィルタ上に設け、スリットは光源からの光の結像位置に配置した。このことにより、スリット用のスペースが不要となり、回転セクタ用の設置部品と共用することでスリット設置専用の部品などが不要となり、簡易な装置構成となる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を測定対象物に照射し測定対象物からの反射光を受光することにより測定対象物の３次元画像情報を取得する装置であって、測定対象物までの絶対的な距離とともに３次元画像を高速に取得する。
【解決手段】３次元画像情報取得装置は、時間変調レーザ光を照射するレーザ光出射部と、測定対象物からの反射光を受光する光電変換器と、複数のマイクロミラーを有し、選択されたマイクロミラーの反射面を制御してレーザ光を光電変換器に導く空間変調素子と、光電変換器で受光されたレーザ光の位相ずれ情報を含む信号情報を取得するデータ処理部と、を有し、マイクロミラーのＯＮ状態の制御パターンを固定した状態で、レーザ光の変調周波数を変更して計測することにより、測定対象物までの距離を求める第１の計測モードと、マイクロミラーのＯＮ状態の制御パターンを順次切り換えつつ所定の変調周波数のレーザ光を用いて計測する第２の計測モードと、を備える。 （もっと読む）

【課題】 半導体素子などに於ける膜の化学的組成、屈折率、厚さ、体積空隙率を試料に非接触且つ非破壊で簡便且つ正確に、しかも、高速に測定できるようにする。
【解決手段】 赤外光源１と、赤外光の波長を選択する光学系２と、波長選択した赤外光の試料３への入射角を変化させるために照射点を中心にして試料３を第１のステージ６と、試料３からの反射光を観測するために試料の回動に連動して照射点を中心にして試料回動角の２倍分の円運動を行う第２のステージ７をもち且つＳ偏光成分とＰ偏光成分とを区別して検出するために赤外光路中に１直角の回動が可能な偏光子をもつ赤外光検出系５とを備えてなる装置で膜の分析を行う。 （もっと読む）

【要 約】
【課 題】簡易な構成で、種々の測定対象に対応して、高精度の測定が可能で、かつ工数を低減し時間ロスの少ない光学的測定装置を提供することである。
【解決手段】光源の光を測定対象に投光して測定対象の材質、厚さ、成分、水分等の性状を測定する光学的測定装置において、測定対象の形状に対応した開口形状を有する複数種類のスリットを回転セクタの光学フィルタに近接して設け、スリットの位置は光源から出た光の結像位置に配置した。 （もっと読む）