【課題】オートコリメータを使用したレンズの偏心測定精度を改善する。
【解決手段】オートコリメータ１００を用い、かつ光軸を有する光学素子１を回転させて上記光学素子における上記光軸と回転軸との偏心を調整する偏心調整方法であって、光源１３０が発する光束から回折光学素子１１２によりそれぞれ異なる次数の回折光１３１，１３２を上記光学素子の光学作用面１ａ及びフランジ面１ｃに照射し、受光部１２０で検出された検出結果から、上記光学作用面における光軸と上記光学素子の上記回転軸とが一致するように上記光学素子を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】オブジェクト表面上のポイントの三次元位置情報を測定する好適な装置および方法を提供すること。
【解決手段】一実施形態において、上記方法は、スペクトル分布を有する２つの放射ソースを提供する工程と、上記ソースの各々で上記表面を照射して第１の縞パターンを生成する工程と、上記第１の縞パターンを第２の位置に移動させる工程と、第１のラップされたサイクルマップを生成する工程と、該第１の縞パターン中の縞数を推定する工程と、該第１の縞パターンを変化させる工程と、該第２の縞パターンを第２の位置に移動させる工程と、第２のラップされたサイクルマップを生成する工程と、該第２の縞パターン中の縞数を推定する工程と、上記第２の縞パターンおよび上記第２のラップされたサイクルマップ中の推定された縞数に応答して位置情報を判定する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】縞感度の正確な値を容易に得ることができ、高精度に測定できる斜入射干渉計を提供すること。
【解決手段】プリズム底面１４１に対する予備測定用光の入射角θ_ｉを変更し、撮像手段１６にて検出される合成光の参照光領域の強度に基づいて入射角θ_ｉが臨界角θ_Ｃ１となる状態を検出する。続いてプリズム底面１４１に対する入射角θ_ｉを前記臨界角θ_Ｃ１に固定する。この臨界角θ_Ｃ１でプリズム底面１４１に測定用光を入射する。測定用光は予備測定用光より波長が長いので、一部の光がプリズム底面１４１を透過し合成光が形成される。この合成光に基づいて被測定面Ｓを測定する。縞感度の値は、予備測定用光および測定用光の波長から正確に定まるので、被測定面Ｓに対する入射角θ_ｔを直接測定する必要がなく、容易に該縞感度の正確な値を得ることができる。該縞感度で測定することで高精度に測定できる。 （もっと読む）

【課題】白色干渉法を用いた非接触測定器において、長さが１メートル以上あるくびれ形状を持つような細い管内の内面形状をミクロンオーダの高精度で計測できる測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】白色光源３を参照光と測定光に分割して参照光を参照光路長スキャナ部７に送り測定光をセンサー部８に送る光カプラ４と、参照光路長スキャナ部から返った参照光とセンサー部から返った測定光の白色干渉を検出する光検出器５とからなり、測定対象の細管内に通した透明管内でセンサー部を移動させることで、透明管を透過する測定光により非接触で前記細管の内面形状を測定することを特徴とする白色干渉法による管内面の形状測定装置１の構成とした。 （もっと読む）

【課題】被測定物の奥行き方向の空間分解能を低下させずに測定範囲を拡大できる三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】色が規則的に経時変化するチャープ光パルスを生成する第１パルス光源３０と、所定の波長の単波長光パルスを生成する第２パルス光源３２と、ワーク２４から反射されたチャープ光パルス１１０ａ、１１０ｂの第１反射光像を取得する反射光像取得部７８と、前記第２反射光像の二次元情報を参照し、ワーク２４から反射された単波長光パルス１１２の第２反射光像を取得する反射光像取得部７８と、前記第１反射光像の二次元情報及び色情報を用いてワーク２４の三次元情報を取得する三次元情報取得部８０と、前記チャープ光パルスをワーク２４に向けて照射するタイミングと、前記単波長光パルスをワーク２４に向けて照射するタイミングとを調整するタイミング制御部７０とを有する。 （もっと読む）

【課題】
計測対象物の色や光沢に左右されることなく、計測対象物を撮像した画像における計測対象物と背景とのコントラストの差を簡易な構成で確実に大きくし、計測対象物の位置および姿勢を高精度に計測すること。
【解決手段】
計測対象物を撮像するカメラと、カメラ側から計測対象物に向けて発光する第１照明と、前記計測対象物を挟んで前記第１照明と反対側に設けられた第２照明と、計測対象物の輪郭より大きな開口部を備え、遮光部材によって第２照明を覆うカバーと、第１照明の点灯および消灯を制御する第１照明制御部と前記第２照明の点灯および消灯を制御する第２照明制御部と撮像画像に基づいて画像処理により、計測対象物の位置および姿勢を計測する。 （もっと読む）

【課題】被測定膜の厚さを簡便に測定可能とするレーザ変位計を提供する。
【解決手段】レーザ変位計は、波長可変レーザ光源１１と、軸上色収差光学系１３と、被測定膜ＳＡの表面及び裏面にて反射されたレーザ光を軸上色収差光学系１３を介して受光してレーザ光の被測定膜ＳＡの表面及び裏面上での結像状態を検出する光検出部１４と、波長可変レーザ光源を制御して出力されるレーザ光の波長を変化させる制御部２１とを備える。制御部２１は、光検出部１４により被測定膜ＳＡの表面及び裏面上でのレーザ光の合焦が検出された場合におけるレーザ光の波長に基づき被測定膜ＳＡの表面位置ｈｓ及び仮の裏面位置ｈｂｄを求め、表面位置ｈｓ及び仮の裏面位置ｈｂｄから被測定膜ＳＡの仮の厚さＴｄを特定する。制御部２１は、被測定膜ＳＡの膜種、仮の裏面位置ｈｂｄ、仮の厚さＴｄに基づき被測定膜ＳＡの真の厚さを特定する。 （もっと読む）

【課題】層構造を有する測定対象の構造情報から層領域の連続性が容易に識別でき、また浅い層領域にある構造物により深部の不明瞭化した層領域の構造情報を確実に抽出する。
【解決手段】信号処理部９３は、光立体構造像生成部１２０、特定層抽出手段及びノイズ領域消去手段としての特定層抽出／ノイズ除去部１２１、欠落領域抽出手段としての欠落領域抽出部１２２、欠落領域範囲算出手段としての欠落領域範囲算出部１２３、関心領域分類手段としての関心領域分類部１２４、閾値／基準値格納部１２５、属性付加手段及び属性制御手段としての属性付加／制御部１２６及びコンピュータグラフィック画像構築手段としてのレンダリング部１２７を備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】動的明条件の影響を受けることがより少なく、及び／又は三次元の対象物の動き及び／又は存在に対する感度がより高い対象物検出システムを提供する。
【解決手段】１つ又はそれより多いパターンを監視範囲上に投影し、当該監視範囲の１つ又はそれより多い生の像を捕捉し、且つ生の像内の１つ又はそれより多いパターンの変化を検出する。パターンの変化は、監視範囲内の地形的変化を、従って監視範囲内の対象物の侵入又は動きを指示し得る。パターンが監視範囲上に投影されるので、周囲の照明条件の変化は、対象物検出システムの効力への影響がより少ない。監視範囲内の対象物を検出するのを支援するため、モアレ干渉パターンが用いられる。モアレ干渉パターンは特に、そのモアレ干渉パターンを生成するのに用いられる２つ又はそれより多い基となるパターン間の相対的動きに対して感度が高い。 （もっと読む）

【課題】照明光の光量を安定させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、照明部が所定の波長領域の光を透過させるバンドパスフィルターが設けられた波長選択機構７０，７５を有し、当該バンドパスフィルターを透過して得られた所定の波長領域の光を照明光として被検基板の表面に照射する。紫外光を遮断するＵＶカットフィルター６５がランプハウス６１と波長選択機構７０，７５との間の光路上に挿抜可能に設けられ、非検査時にＵＶカットフィルター６５が光路上に挿入されて、ＵＶカットフィルター６５を透過した光が前記バンドパスフィルターに照射されると共に、熱線反射部材が前記バンドパスフィルターの後段の光路上に挿抜可能に設けられ、前記被検基板の非検査時に前記熱線反射部材が前記光路上に挿入されて、前記バンドパスフィルターを透過した熱線が前記熱線反射部材により反射されて前記バンドパスフィルターに照射される。 （もっと読む）

【課題】光ファイバの温度特性と光ファイバの歪み特性とを分離して測定する。
【解決手段】ブリルアン散乱光から得られるブリルアン周波数シフト量と、レイリー散乱光から得られるレイリー散乱波形に関する相関ピーク周波数シフト量とに基づいて、光ファイバの温度特性と光ファイバの歪み特性とを分離して測定する。 （もっと読む）

【課題】腺管構造の３次元的な構造を解析し、該腺管構造を有する計測対象の内部状態を所望の色調を反映させたカラー画像により容易に診断する。
【解決手段】ＯＣＴプロセッサの処理部２２は、光構造情報検出部２２０、腺腔抽出手段及び色調切り替え手段としての腺腔抽出部２２１、閾値格納部２２２、抽出領域設定手段としての抽出領域設定部２２３、領域情報演算手段としての領域情報演算部２２４、平行断層画像生成手段としての平行断層画像生成部２２５、カラーマップ格納部２２６、色調編集手段としての色調編集部２２７、表示制御部２２８及びＩ／Ｆ部２２９を備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】レンズの外形中心に対する光学面中心の偏芯情報が迅速かつ高精度で取得できるレンズ偏芯測定方法と、光学面中心の偏芯による影響を低減でき、所望の光学性能を達成できるレンズ組立方法を提供する
【解決手段】レンズ偏芯測定方法は、干渉計を用いてレンズの干渉縞情報を取得し、該情報に基づいてレンズの光学面中心を求めるステップと、レンズの外形中心を検出するステップと、得られた外形中心を基準として、光学面中心の偏芯情報（例えば、偏心量および偏心方向）を算出するステップとを含む。 （もっと読む）

周波数走査型干渉計(１０)が検査対象物(１２)の広い推定オフセット範囲にわたる多重表面(１４,１５,１６)を同時に測定するために構成される。合成測定波長(λ_実効)に基づくアンビギュイティインターバル(Ｕ)内の中心に検査表面をおくために、検査表面の推定位置の知見が一連のアンビギュイティインターバルと比較される。
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本発明は光路長差判定及び光干渉断層撮影の方法に関し、次の各工程、つまり、空間単一モードにて発光するか、適切な手段（Ｆ）により発光が空間単一モードに制限される光源（ＳＱ、ＢＱ）により空間コヒーレントな光を発生させる工程と、前記光源からの光の少なくとも一部を２つの空間的に離れた光路に分割する工程と、少なくとも２つの検出器（Ｄ）か少なくとも２つの検出素子（Ｄ）を有する１つの検出器（Ｄ、Ａ）及び光線を誘導するための他の手段（Ｓ、Ｔ、ＢＰ、Ｆ、Ｑ、Ｌ、Ｇ、Ｚ）を用い、参照光路及び測定光路の光を検出器／検出素子（Ｄ）に導いて干渉させる工程と、検出器／検出素子（Ｄ）における光強度を受け取り分析してデータセットを得る工程と、データセットの数値的分析及び表示を行い、試料（Ｐ）又は試料（Ｐ）内の構造における空間的位置及び反射又は散乱の強度の両方を求める工程とを有する。
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波長選択器５が広帯域光源４の波長を選択する。光導波器ＢＳ１、ＢＳ２が、波長選択器からの光を測定経路に沿ってサンプル表面の領域に向けて誘導すると共に基準経路に沿って基準表面に向けて誘導し、サンプル表面の領域によって反射された光及び基準表面によって反射された光が干渉してインターフェログラムを生成するようにしている。コントローラ２０が、波長選択器を制御して、波長選択器によって選択される波長を変更する。記録器６３が、連続した画像を記録し、各画像は、波長選択器によって選択された波長のそれぞれ１つによって生成されたインターフェログラムを表す。データプロセッサ１８、１８０が、記録された画像を処理して、サンプル表面の少なくとも一部の表面プロファイル及び表面高マップのうちの少なくとも一方を作成する。基準経路を制御して、振動、熱的効果及び乱流のような環境影響を補償することができる。データプロセッサは、グラフィックス処理装置を用いて、ピクセルデータを並列に処理することを可能にすることができる。
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光イメージング装置は、光周波数領域測定法（ＯＦＤＭ）に基づいて、ＤＵＴの内部またはＤＵＴ上の複数の位置における散乱データを時間の関数として収集する。光源は検査対象デバイス（ＤＵＴ）の中に光を投入し、ＤＵＴはＤＵＴに沿った１つ以上の位置で光を散乱する。光検出器は、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれで散乱された光の一部を検出する。データはＯＦＤＭデータ処理を使用して決定される。これらのデータは、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれにおいて収集された時間の関数として表された光量に対応する。データは、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれに対して記憶される。記憶された時間領域データに基づいて、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれにおいて散乱された光量を示すユーザ情報が提供される。ＯＦＤＭ処理によって、精細な時間分解能（例えば、０．１ピコ秒）が得られ、それによって、小さな光遅延距離（例えば、３０ミクロン）を分解することができる。また、精細な時間分解能と同時に、検出するべき少量の散乱（例えば、１０^−１２）の正確な検出が可能になる。
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計測ターゲット設計が、計測ターゲット設計情報、基板情報、プロセス情報および計測システム情報を含む入力を用いて最適化される。測定システムによる測定信号の獲得が、計測ターゲットの１または複数の光学的特徴を生成するために入力を用いてモデル化される。計測システムによりなされた計測ターゲットの測定の予測精度および正確さを決定するために計測アルゴリズムが特徴に適用される。計測ターゲット設計に関する情報の一部が修正され、また、信号のモデル化および計測アルゴリズムが、１または複数の測定の精度および正確さを最適化するために、繰り返される。計測ターゲット設計が、精度および正確さが最適化された後に表示または格納される。 （もっと読む）

【課題】データ高速処理装置を不要として小型化できる光センサ計測装置を提供する。
【解決手段】複数のＦＢＧセンサ３１，３２，３ｎからそれぞれ得られる反射光スペクトルが閾値以上となるデータに基づいて各反射光スペクトルの中心を求める演算回路４１と、複数のＦＢＧセンサ３１，３２，３ｎの各々からの反射光スペクトルの中心を求めるための最適な閾値をそれぞれ保存する閾値保存用レジスタアレイ４３と、複数のＦＢＧセンサ３１，３２，３ｎからそれぞれ得られる反射光スペクトルのデータと閾値保存用レジスタアレイ４３で保存されている最適な閾値とを比較して演算回路４１に各反射光スペクトルに応じた最適な閾値を出力する比較回路４４とを備えた。各ＦＢＧセンサ３１，３２，３ｎから反射される反射光スペクトルの中心を演算回路４１で計算するために必要な閾値を、予め閾値保存用レジスタアレイ４３で記憶された複数の最適な閾値から１つ選択する。 （もっと読む）

【課題】被検面としての非球面の形状を高精度に測定することができる測定方法を提供する。
【解決手段】球面波を形成する光束を用いて非球面を有する被検面を照明し、前記被検面の形状を測定する測定方法であって、球面波の曲率中心が前記非球面の非球面軸上にある状態で前記非球面軸の方向に前記被検面を駆動して複数の位置に順に位置決めし、前記複数の位置のそれぞれにおいて、前記被検面からの光束と参照面からの光束との干渉パターンを検出する第１の検出ステップと、前記複数の位置のそれぞれから前記非球面軸に垂直な方向に前記被検面を既知の量だけシフトした複数のシフト位置のそれぞれに位置決めし、前記複数のシフト位置のそれぞれにおいて、前記被検面からの光束と前記参照面からの光束との干渉パターンを検出する第２の検出ステップと、を有することを特徴とする測定方法を提供する。 （もっと読む）