【課題】
透明基板上に堆積させた透明膜や吸収膜の誘電率テンソルと膜厚を同時に決定できるように改良したラングミュア・ブロジェット膜の膜厚と誘電率分散の同時決定方法を提供する。
【解決手段】
入射面および入射角と偏光状態を変えて基板の透過スペクトルを測定して測定データを得る第１のステップと、入射面および入射角と偏光状態を変えて上記基板の反射スペクトルを測定して測定データを得る第２のステップと、前記第１のステップと同じ条件で上記基板に薄膜を付着させた試料の透過スペクトルを測定して測定データを得る第３のステップと、前記第１のステップと同じ条件で上記試料の反射スペクトルを測定して測定データを得る第４のステップと、上記の各ステップで得られた測定データに最小二乗法による演算処理を実行して膜厚と光学的周波数領域における異方的な誘電率の値及びその分散誘電率を共に決定する第５のステップとからなる。 （もっと読む）

システム（１００）が開示され、当該システムは、（ｉ）検査電磁光線を検査表面（１２４）に、かつ基準電磁光線を基準表面（１２２）に振り向け、次にこれらの電磁光線を合成して干渉パターンを形成するように構成される干渉計であって、電磁光線が共通光源（１０２）から放出される構成の干渉計と、（ｉｉ）マルチエレメント検出器（１３４）と、（ｉｉｉ）干渉パターンを検出器（１３４）に結像させて検出器（１３４）の異なる要素が、検査表面（１２４）を照射する検査電磁光線の異なる照射角に対応するように構成される一つ以上の光学系（１３Ｓ）と、を含む。検出器要素が行なう測定によって、検査表面（１２４）に関する変更解析／反射率データが供給される。開示するシステム（１００）は更に、異なるモード（例えば、形状測定モード）で動作するように再構成することができ、これらの異なるモードでは、検出器（１３４）の異なる要素は検査表面（１２４）の異なる位置に対応する。
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不透明のテスト部品の両側面を測定するために、２つの共通光路干渉計が、１つの測定キャビティを共有する。テスト部品の一方の側面と２つの干渉計のうち第１の干渉計の参照面との間、テスト部品の他方の側面と２つの干渉計のうち第２の干渉計の参照面との間、及び第１の参照面と第２の参照面との間に干渉縞が形成される。２つの干渉計の参照面間の測定により、テスト部品の両側面の測定値を互いに関係付けることが可能になる。
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干渉法を用いて被測定光デバイス（ＤＵＴ）を測定する。ＤＵＴは光ファイバ、光部品、或いは光システムを１つ以上含むものである。ＤＵＴに対する第１の干渉パターンのデータがＤＵＴへの第１の経路に対して得られる。ＤＵＴに対する第２の干渉パターンのデータがＤＵＴへの第２のやや長い経路に対して得られる。この長いほうの長さのゆえに、第２の干渉パターンのデータは第１の干渉パターンのデータから時間的に遅れる。次に、ＤＵＴ干渉パターンデータの時間変化する成分は第１および第２の干渉パターンデータから特定される。特定された時間変化成分は振動などによって生じた時間変化する位相を補償するために、第１または第２の干渉パターンデータを修正する目的で用いられる。そこで、ＤＵＴの１つ以上の光学的特性が修正された干渉パターンデータに基づいて決定される。
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【課題】 光源から対象物までの往復距離がレーザ光の可干渉距離よりも大きい場合でも複合共振を発生する変位検出装置を提供すること。
【解決手段】 レーザ光を出射する光源（レーザ光源１）と、出射されたレーザ光を集光する第１の光学手段（光学部２）と、集光されたレーザ光を変位可能な対象物へ導く導光手段（導光部３）と、導かれたレーザ光を対象物に照射する第２の光学手段（光学部４）と、導光手段の対象物側の端面で反射されたレーザ光と、対象物からの反射光による複合共振による光量に応じた電気信号を出力する受光手段（受光素子６）と、検出される光量に基づき対象物側の端面で反射されたレーザ光と対象物からの反射光との位相差が一定になるようにレーザ光の波長を変化させる制御手段（駆動回路８）と、その変化量に基づき対象物の変位および／または変位量を検出する検出手段（制御回路７）と、を有する。 （もっと読む）

被検物体の凹凸を測定するために周波数走査干渉法が共通経路干渉計に適用される。被検物体に隣接して配置される基準素子が、ビームスプリッタとしても基準表面としても機能する。測定ビームの第１の部分が基準ビームとして基準素子の基準表面から反射し、測定ビームの第２の部分が対物ビームとして被検物体の表面に向けて、また被検物体の表面から、基準素子を通過する。いずれのビームも、被検物体表面上の異なる横座標に関係付けられる対物ビーム及び基準ビームの局在部分の間の増加的干渉及び減殺的干渉によりつくられる複数の強度変化を記録する検出器に向けて共通経路に沿って送られる。被検物体の表面上及び基準素子の表面上の対応する点の間の経路長差に敏感な変調周波数において生じる、増加的干渉条件と減殺的干渉条件の間の強度変化を変えるに十分な様々な周波数範囲にわたり、測定ビームの光周波数を増分的に変えられる。
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本発明は、ビーム供給部分と、該ビーム供給部分に接続されており、それぞれの測定ビーム（ＭＳ１，ＭＳ２）を配属されている表面個所に送出しかつ表面から戻し反射されたビームを受け取るための複数のプローブ出口（１，…，６）を有しているプローブ装置（ＳＡ）と、表面から戻し反射されたビームに基づいてジオメトリーデータを特定するための後置接続されている評価装置（ＡＥ）とを用いて少なくとも１つの物体（ＢＴ）の表面のジオメトリーデータを捕捉検出するための光学的な測定システムに関する。サーフェスジオメトリー、例えば孔の直径および丸さの非常に正確でかつ機械的にロバストな特定は、プローブ出口（１，…，６）を有しているプローブ装置（ＳＡ）が、表面のジオメトリーデータの他に同時に、相互に固定の位置関係において位置決めされているプローブ出口（１，…，６）を有するプローブ装置（ＳＡ）の、単数または物体に対する相対位置も少なくとも、複数の重要な自由度に関して突き止めることができるように実現されていることによって可能になる。
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【課題】 変位測定のための干渉計システム及びこれを利用した露光装置を提供する。
【解決手段】 この干渉計は光線を発生させる光源、光線を基準光線と測定光線とに分ける光分配器、基準光線の進行方向を変更するための基準ミラー、測定光線の進行方向を変更するための変位変換器及び方向変更された基準光線と測定光線を測定するための検出器を具備する。変位変換器は測定光線の進行方向に垂直の変位を測定光線の経路差に変換させるために透過型格子または反射型格子を利用する。 （もっと読む）

離散ビーム周波数可変レーザと関連して用いられるモードモニタリング装置は、レーザの調節のためまたはレーザの使用にともなうその他の処理のために用いることができる、光フィードバックを提供する。例えば、一層正確な干渉データの収集または処理をサポートするために、周波数偏移干渉計のための周波数可変源の出力をモニタすることができる。測定ビームの相異なる部分が進行する光路長差の所望の測定値をとるための第１の干渉計を測定ビーム自体の測定値をとるための第２の干渉計と連結することができる。追加の干渉データをビームの周波数及び強度の尺度を与えるために発明にしたがって解釈することができる。
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【課題】ＦＢＧをセンサとする超音波計測装置を用いて超音波を検出する際に、ＦＢＧを超音波センサとして用いた場合、センサ部であるグレーティングの被検体への貼り付け方法を工夫することにより、超音波検出感度を向上させ、健全性評価の精度を高める。
【解決手段】従来はＦＢＧセンサ５のセンサ部であるグレーティング８は、その全体が被検体９へ完全に接着する（これを「完全接着」という。）方法が取られている（図１（ａ）参照）のに対して、この本発明では、ＦＢＧセンサ５のグレーティング８両端から両側方に離れた箇所のみを被検体９に接着する方法（これを「ブリッジ接着」と名づけた。）を採用し（図１（ｂ）参照）、ＦＢＧセンサ５の超音波検出感度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 試料の観察像の周辺領域で生じる光量の低下を補うことが可能な共焦点顕微鏡、光源光量を逐次容易に変化させることが可能な共焦点顕微鏡、及び照明光の波長を変化させることが可能な共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】 共焦点顕微鏡を、対物レンズ３の焦点面に共役な面に位置する複数の光源４０からなる光源アレイ３０と、対物レンズ３の焦点面に共役な面に位置し光源アレイ３０の各光源４０に対応する各位置にそれぞれ開口２３を有するピンホールアレイ２２と、を備えて構成する。 （もっと読む）

レーザビームの焦点位置を検出するために、まずレーザビーム（４）により複数のラインパターン（Ｌ１〜Ｌ９）をパターン基板（５）の表面に形成し、このときレーザと基板表面との間隔（Ｚ）をステップごとに変化する。その後、個々のライン（Ｌ）の幅（ｂ）を測定し、幅（ｂ５）が最小のライン（Ｌ５）を検出する。最小のライン幅に所属する高さ調整を機械の焦点調整として評価し、記憶する。
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【課題】
多モード発振するように共振器長を長くすることによって、擬似的にモードホップフリーとした波長可変光源を提供する。
【解決手段】
半導体レーザ（ＬＤ）１と、ＬＤ１のＡＲコートされている端面から出射された光をコリメートするコリメートレンズ２と、コリメートレンズ２から出射されたコリメート光を受けて波長に応じた角度で回折させる回折格子３と、回折格子３から出射されたコリメート光に対する回折光を受けて回折格子３に反射させるミラー４と、ミラー４からの反射光が回折格子３に入射されて再び回折され、それによって得られた回折光がコリメートレンズ２を介してＬＤ１に入射されるとき、ＬＤ１に入射される回折光が所望の波長の光となるようにミラー４の角度を変化させる角度調整手段５とを備えた波長可変光源において、ＬＤ１とコリメートレンズ２との間に所定の長さの光ファイバ６を備えて多モード発振するように共振器長を長くした。 （もっと読む）

【課題】 簡便かつ安価であり、温度変化に対して測定精度を維持する距離測定装置を提供する。
【解決手段】色分散合焦素子３０は、共鳴型外部共振器の中の半導体レーザー発振媒体１０とターゲット面４０との間に配置される。共鳴型外部共振器の一端はターゲット面４０であり、もう一方の端は半導体発振媒体の遠位面１２である。多重波長の要素を有してもよい光の合焦に色分散合焦素子３０を使用し、光の単独波長要素をターゲット面４０に正確に合焦する。ターゲット面４０に合焦された光の波長は、レーザー発振媒体１０の導波路へのフィードバック信号として、もっとも効果的に結合又は反射される。誘導放出プロセスを通じて、レーザーの出力の波長が色分散合焦素子３０とターゲット面４０の間の絶対距離に対応し、それによってターゲット面４０と色分散合焦素子３０の間の絶対距離の測定値を提供する。 （もっと読む）

【課題】従来のシステムより計測点数が多く、リアルタイムな計測ができる光ファイバセンシングシステムを提供する
【解決手段】光源と、受光部と、歪みを受け屈曲すると透過光が減衰する光ファイバセンサとを備えた光ファイバセンシングシステムにおいて、前記光ファイバの両端にそれぞれ異なる波長帯域の光を透過または反射する光学フィルタを備え、これら光学フィルタの透過光または反射光の光量の差分を光ファイバに掛かる歪み量として計測する。 （もっと読む）

【課題】標本の三次元像中の任意の三次元領域を指定することにより、光刺激やフォトブリーチを、標本中の対応する領域に正確に行うことができ、立体構造を有する標本の光刺激後の挙動解析を正確に行うことができるようにする。
【解決手段】立体標本９の光学的断面画像を取得する走査光学系Ａ及び検出光学系Ｂと、これにより取得された光学的断面画像から三次元像を構築する処理や、構築された三次元像中の所望の三次元領域を指定する処理や、指定された三次元領域に基づき励起光又は刺激光を照射するための断面領域を取得する処理や、取得された断面領域に対応する立体標本９の領域に励起光又は刺激光を照射する処理等を行うコントロールユニット１４等を有するよう、共焦点観察システムである共焦点レーザ顕微鏡装置を構成する。 （もっと読む）

材料の中の歪みの測定のための装置。この装置は、受動的な光ファイバのリングと、予め決められて形状をもち、前記のリングと一列に配置され、基板に組み合わされる、少なくとも１つのセンサと、(i)放射源により放出された放射の一部を前記の受動的な光ファイバのリングの中に導入し、そして、(ii)受動的な光ファイバのリングにおいて共鳴する放射の一部を受け取る、結合手段と、結合手段により受け取られた放射のレベルを検出し、それに対応した信号を生成する検出器と、検出器に結合され、受動的な光ファイバのリングにおける放射の減衰の割合に基づいて、基板に誘起された歪みのレベルを決定するプロセッサとからなる。
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