【課題】被測定物が移動をする場合であっても適切に被測定物の変位を測定することができるレーザ干渉計の提供。
【解決手段】レーザ干渉計１は、所定の周波数を有する変調信号にてレーザ光を変調することでレーザ光の中心波長を安定化して射出するレーザ光源２と、参照鏡４と、測定鏡５と、参照鏡４、及び測定鏡５にて反射される光の干渉光に基づいて、測定鏡５の変位を検出する変位検出装置６とを備える。変位検出装置６は、干渉光における干渉縞の波数を取得する干渉縞取得手段６１と、レーザ光の波長を取得する波長取得手段６２と、干渉縞の波数と、干渉縞の波数を取得したときのレーザ光の波長とに基づいて、測定鏡５の変位を算出する変位算出手段６５とを備える。 （もっと読む）

【課題】光路長差のスキャン範囲の幅を縮小して測定の効率化を図るのに適した構成の低コヒーレンス干渉計を提供する。
【解決手段】本発明を例示する低コヒーレンス干渉計の一態様は、測定対象となる距離範囲を低コヒーレンス干渉法で測定するための光周波数幅を有し、かつその光周波数方向にかけて強度変調された広帯域変調光を生成する光源部（１、２１）と、前記光源部が生成した広帯域変調光を分岐して測定対象物（１２）と参照物（１５）との双方へ導くと共に、前記測定対象物からの測定光と前記参照物からの参照光とを干渉させて干渉信号を生成する光学系（９、１８）とを備える。 （もっと読む）

【課題】物体の変位や速度を高い分解能で計測し、計測に要する時間を短縮する。
【解決手段】物理量センサは、物体１０にレーザ光を放射する半導体レーザ１と、発振波長が増加する第１の発振期間と発振波長が減少する第２の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように半導体レーザ１を動作させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１０からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード２および電流−電圧変換増幅部５と、電流−電圧変換増幅部５の出力信号に含まれる干渉波形の周期を干渉波形が入力される度に計測する信号抽出部７と、信号抽出部７が計測した個々の周期に基づいて物体１０の変位と速度のうち少なくとも一方を算出する演算部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】ウェハ表面全体のような広い領域の膜厚分布を高速に測定可能な膜厚測定方法および装置を提供する。
【解決手段】表面に薄膜を有する基板を支持するステージと、基板を略平行光で照明する照明部と、略平行光で照明された前記基板の正反射像を一括して撮像する撮像部と、正反射像と、前記基板上のいずれかの位置における膜厚情報とに基づいて、前記一括して撮影された範囲の前記薄膜の膜厚分布を求める膜厚分布検出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】広帯域光源を使用してオブジェクト表面の特徴を求める干渉計システムを提供する。
【解決手段】システム１００は、検査電磁光線を検査表面１２４に、かつ基準電磁光線を基準表面１２２に振り向け、次にこれらの電磁光線を合成して干渉パターンを形成するように構成される干渉計であって、電磁光線が共通光源１０２から放出される構成の干渉計と、マルチエレメント検出器１３４と、干渉パターンを検出器に結像させて検出器の異なる要素が、検査表面を照射する検査電磁光線の異なる照射角に対応するように構成される一つ以上の光学系と、を含む。検出器要素が行なう測定によって、検査表面に関する変更解析／反射率データが供給される。システムは更に、異なるモード（例えば、形状測定モード）で動作するように再構成することができ、これらの異なるモードでは、検出器の異なる要素は検査表面の異なる位置に対応する。 （もっと読む）

【課題】物体の変位や速度を高い分解能で計測し、計測に要する時間を短縮する。
【解決手段】物理量センサは、物体１０にレーザ光を放射する半導体レーザ１と、発振波長が増加する第１の発振期間と発振波長が減少する第２の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように半導体レーザ１を動作させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１０からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード２および電流−電圧変換増幅部５と、電流−電圧変換増幅部５の出力信号に含まれる干渉波形の周期を計測する信号抽出部７と、信号抽出部７の計測結果を基準周期と比較することにより補正し、補正した個々の周期に基づいて物体１０の変位と速度のうち少なくとも一方を算出する演算部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】自動的な光ファイバ伝送路測定を可能にして、保守効率の向上を図る。
【解決手段】送信部１ａは、光ファイバ伝送路の測定に使用する測定用パケットを生成し、光ファイバ伝送路を介して対向装置３へ送信する。受信部１ｂは、光ファイバ伝送路を介して対向装置３から折り返し戻ってきた測定用パケットを検出する。計測部１ｃは、測定用パケットの生成から検出するまでに要する時間であるパケット伝送時間を計測する。測定部１ｄは、パケット伝送時間にもとづいて、少なくとも光ファイバ伝送路の長さに関する、光ファイバ伝送路の測定制御を行う。折り返し部３ａは、測定用パケットを測定装置１０へ折り返し出力する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、安価な構造で温度とひずみを同時に計測できる光ファイバセンサ装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、ＯＦＤＲ方式に適用される光ファイバセンサ装置であって、光ファイバのコアに形成したＦＢＧからなるひずみ検知用のセンサ部３と、該ひずみ検知用のセンサ部に接続されてその端部に反射部を備えた温度検知用光ファイバからなる温度検知用のセンサ部７とを具備した光ファイバセンサＳと、参照用反射端１６と、光源１２と、受光器１３とが備えられ、前記温度検知用光ファイバの光路長の変化量から温度変化を計測し、前記ＦＢＧのブラッグ波長のシフト量から前記計測された温度変化に相当するブラッグ波長のシフト量を減算することによりひずみを計測する。 （もっと読む）

本発明は、放出された電磁スペクトルを分析することにより、反射性の共振器長を測定する方法およびシステムを提供する。放出されたスペクトルは、第１の空洞長さの概算に使用される。この概算は後に、スペクトルについて少なくとも１つの干渉数を最初に計算し、この数値を共振器の構成などに応じて整数または半整数に調整し、調整された干渉数の数値を用いて共振器長を再計算することによって修正される。これは、共振器の物理特性の測定における精度を向上させる効果的な方法である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ひずみや温度変化が生じた光ファイバ位置を高い空間分解能で特定できる光ファイバセンサとその測定方法と光ファイバセンサ装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、光ファイバのコアに形成したＦＢＧをセンサとし、該センサからのブラッグ反射光と参照用の反射端からの反射光の干渉強度の周期的変化から、前記センサの位置を特定するとともに、前記センサからのブラッグ反射光の波長の変化量から検知部のひずみや温度変化を計測する光周波数領域反射測定（ＯＦＤＲ）方式に用いられる光ファイバセンサであって、ＦＢＧからなるひずみや温度変化を計測するための複数のセンシング部１と、これら複数のセンシング部の間に設けられ、ひずみや温度変化をセンシングした光ファイバ位置を特定するための光学マーキング部３を具備してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安定度の高いレーザや、高精度に波長を可変できるレーザを使用せず、広いレンジの干渉変位測定装置を実現する。
【解決手段】複数の波長のレーザ光により、各波長で測定される干渉測定値を得て、各波長の組み合わせからレーザ光の波長よりも等価的に長い合成波長で測定レンジを拡大して、干渉計本体から対象物１１０までの距離または変位を干渉測定する際に、複数のレーザ光の波長を、光コム１０４を用いて測定する。ここで、光コムを用いて波長可変レーザ１０１の発振波長を測定してフィードバック制御をかけることにより所定の複数の波長のレーザ光を得たり、波長可変レーザを任意の波長で発振させて、複数の波長での干渉測定値を得て、各干渉測定値を得た際のレーザ光の波長（周波数）を光コムで測定したり、複数のレーザ４１６、４１７を用いて、各レーザから発振されるレーザ光の波長を光コムで測定しながら干渉測定することができる。 （もっと読む）

【課題】空気屈折率の影響を低減した幾何学距離の干渉測定に際し、安定度の高いレーザを使用せずに、安価な装置を実現する。
【解決手段】干渉計本体からターゲット１１０までの幾何学距離Ｌを、複数の波長λ₁、λ₂のレーザ光を用いた光波干渉測定により求めた距離測定値Ｄ₁、Ｄ₂から、空気の屈折率を補正して高精度に測定する際に、光コム１０４を用いて複数のレーザ光の波長を測定する。その際、光コムを用いて波長可変レーザ１０１の発振波長を測定してフィードバック制御をかけることにより、所定の複数の波長のレーザ光を得たり、波長可変レーザを任意の複数波長で発振させて複数の距離測定値を得、各距離測定値を得た時のレーザ光の波長（周波数）を光コムで測定し、幾何学距離の演算に用いたり、複数のレーザ４１６、４１７を用い、各レーザから発振されるレーザ光の波長を光コムで測定しながら距離測定値を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハ表面全体のような広い領域の膜厚分布を高速に測定可能な膜厚測定方法および装置を提供する。
【解決手段】固体の表面に形成された薄膜の膜厚を計測する方法であって、薄膜の表面について、光学条件の異なる複数の反射像を取得する取得手順と、反射像を構成する各画素について個々の光学条件に対応して得られた輝度値と、光学条件に対応する多層膜干渉式とのフィッティング計算によって、固定表面の反射像に対応する領域の２次元の膜厚分布を算出する算出手順とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来、分光器を用いて断層を計測する手法においては、離散フーリエ変換を用いていたため、断層の値は離散的な値しか表現できなかった。そのため、断層の計測精度の向上が求められていた。
【解決手段】本発明に係る断層像計測方法は、波数スペクトルから、層厚の光学距離に対応した情報を計算する第１の工程と、前記光学距離に対応した情報から、各層の情報を分離して抽出する第２の工程と、各層の情報をそれぞれ再度波数スペクトルに変換する第３の工程と、第３の工程の結果から干渉波数を求める第４の工程と、干渉波数と各層の光学距離とから干渉次数を算出する第５の工程と、干渉次数が整数であることを利用して各層の光学距離を計算する第６の工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】平行平面板の被測定面に対して高精度な測定を行うことが可能な干渉測定方法を提供する。
【解決手段】所定の参照面６ａおよび平行平面板５の被測定面５ａに、互いに干渉しない異なる波長を有する２種類の可干渉光を照射する第１のステップと、２種類の可干渉光が照射された参照面６ａおよび被測定面５ａからの反射光に基づいて形成される干渉縞を検出する第２のステップと、検出した干渉縞の光強度分布に基づいて被測定面５ａの高さを測定する第３のステップとを有し、平行平面板５における被測定面５ａと反対側の面５ｂからの反射光の影響を排除するように２種類の可干渉光における波長の関係および、参照面６ａと被測定面５ａとの間の光学距離を調整するようになっている。 （もっと読む）

【課題】紙葉類、たとえば紙幣の厚みを非接触で検出したり、紙幣にテープ等の異物が貼られていることを非接触で検査できる方法および検査装置が望まれていた。
【解決手段】この発明では、紙幣１４の厚さを非接触で検査するのに、テラヘルツ光１２を用いる。テラヘルツ光１２は、紙幣１４の厚さの数分の１〜数倍の波長のものを使用する。テラヘルツ光１２を紙幣１２の片面側１４１から照射し、紙幣１４の表面１４１および裏面１４２で反射されるテラヘルツ反射光１２１、１２４を検出する。検出したテラヘルツ反射光は、表面で反射された反射光１２１および裏面で反射された反射光１２４を含んでいるから位相差を有する。そして位相差は干渉の強さとして検知できる。その結果、紙幣の厚さを正しく、非接触で検出することができる。 （もっと読む）

【課題】0.9〜1.2μｍの中心波長の光を発光する、高出力化可能な光半導体素子を得る。
【解決手段】 GaAs基板1と、該GaAs基板1の上方に設けられた、InGaAsからなる２層以上の量子井戸層を有する多重量子井戸構造5とを備えてなる、発光ストライプ幅が４μｍ以下の光半導体素子において、レーザ発振を抑制するレーザ発振抑制機構を有し、多重量子井戸構造5に、少なくとも、1.05μｍ以上の第１の中心波長の光を発光する量子井戸層5a₁と、第１の中心波長とは異なる第２の中心波長の光を発光する量子井戸層5a₂と、該量子井戸層間に設けられた、30ｎｍ以上、50ｎｍ以下の厚みの、GaAs基板に格子整合する組成の障壁層5bとを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】物体表面の形状を特定することができる画像処理システムを提供すること。
【解決手段】画像処理システムであって、照射光を物体に照射する光照射部と、照射光が照射された物体の表面の画像である表面画像を取得する画像取得部と、照射光の照射方向を算出する照射方向算出部と、表面画像の画像内容、および照射方向算出部が算出した照射光の照射方向に基づいて、照射光が照射された物体の表面の形状を算出する形状算出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＯＣＴ分析におけるプローブに対する機械的な運動および歪みの影響を最小限にする、光コヒーレンス・トモグラフィ（ＯＣＴ）のプローブおよびシステムを提供する。
【解決手段】光コヒーレンス・トモグラフィ（ＯＣＴ）のプローブ１００の干渉信号ファイバカプラ１１２が、コヒーレンス・トモグラフィ（ＯＣＴ）分析システムから光コヒーレンス・トモグラフィ（ＯＣＴ）信号を受信し、このＯＣＴ信号を参照光ファイバアーム１３０と信号光ファイバアーム１３２に分配する。 （もっと読む）

【解決手段】１つの実施形態において、干渉計システムは、平行化された放射線ビームの波長を変化させ、複数個の表面により形成されるインタフェログラムを記録し、多重位相マップを生成するために複数個の各表面の各インタフェログラムの位相を抽出し、対応するインタフェログラムから各マップを決定し、各マップから急な勾配を有する局所関心領域を決定し、急な勾配の関心領域の測定を可能にするためウェハホルダを傾斜させ、急な勾配領域を含む対象物の全表面に及ぶ測定を行うための２個の不等パス干渉計アセンブリを備える。 （もっと読む）