【課題】測定対象物と結像光学系の距離にばらつきが生じても、正確に異物の存在を検知できる光学的測定装置を提供する。
【解決手段】搬送される測定対象物の表面の被測定領域にレーザ光を照射する光照射部と、該測定対象物の表面での散乱光を集光する集光光学系と、該集光光学系を介して前記散乱光を受光する受光部と、を有する光学的測定装置において、測定対象物を湾曲させ、レーザ光を測定対象物の接線方向から照射するようにした光学的測定装置とする。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単なカメラを提供すること。
【解決手段】少なくとも２つの孔を有し、孔の配置は、孔それぞれの中心が水平方向の同一直線上になく、前記孔それぞれの中心が鉛直方向の同一直線上にない配置である遮断板５２８と、孔のそれぞれに対して、長手方向の発光面の一部が孔の対面に配置され、互いが平行に近い状態で設置される少なくとも２つのストロボ発光管５２９、５３０と、所定時間内において、ストロボ発光管のいずれか一方のみが発光する制御を行う光源制御手段５３４と、ストロボ発光管から照射される照射光による撮像データの光強度比とストロボ発光管から照射される照射光の角度との関係を用いて、撮像データの奥行き値を求める距離計算部５３５と、を具備し、ストロボ発光管は、その一端が孔と対面し、他端が遮断板５２８の遮断部分と対向している、カメラである。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の上下両側の検査面を検査する場合でも、欠陥検査を迅速に且つ精度良く行うことができる欠陥検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置１は、検査対象物２が載置される支持板３と、この支持板３の左右両側に配置され、支持板３上に載置された検査対象物２を搬送する搬送ユニット４Ａ，４Ｂと、支持板３の上方及び下方に配置され、検査対象物２の上下両側の検査面にレーザ光を照射し各検査面の反射光を受光することにより、検査対象物２の両検査面までの距離をそれぞれ測定する二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂとを備えている。支持板３の中央部には、二次元レーザ変位計５Ｂからのレーザ光を透過させるための検査用開口部６が設けられている。検査対象物２が検査用開口部６（検査領域Ｘ）まで搬送されると、二次元レーザ変位計５Ａ，５Ｂにより検査対象物２の両検査面までの距離を同時に測定する。 （もっと読む）

【課題】スリット平面の式を必要とせず、そのためキャリブレーションにおいても精度を要求される設定準備を不要とした容易に行える３次元形状計測装置のキャリブレーション方法およびこれを使用した３次元形状計測方法を提供する。
【解決手段】相互間の距離が既知で撮像部からの距離が異なる複数の平行な平面にスリットパターンが投影された状態を撮像する第１のステップと、各前記平面毎に該スリットパターンの像の位置と形状を表現する式のパラメータを各スリット像毎に計算する第２のステップと、該スリットパターンの像を観測した平面の高さ座標と関連づけて各スリット毎に該パラメータを記憶する第３のステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物の反射率の変化による３次元形状データの測定精度の悪化を防止または抑制し得る３次元形状測定装置を提供することにある。
【解決手段】 ライン光照射装置１１により波長および強度が異なる複数のライン光が測定対象物ＯＢに照射され、その反射光が第３，第４ダイクロイックミラー１２５，１２６により波長ごとに分離される。分離された各波長の反射光はそれぞれフォトセンサ１２１，１２２，１２３により受光されるとともに受光した反射光に応じた受光信号を出力する。データ演算回路４１１，４１２，４１３はこれらの受光信号から、３次元形状データの測定精度に関する評価データを算出する。この評価データが３次元画像生成装置４２０によって評価されて、３次元形状データの測定精度が良好と判断される受光信号が選択される。そして、選択された受光信号に基づき測定対象物の３次元形状データが作成される。 （もっと読む）

【課題】 装置を大型化させずに、形状データが取得されない死角領域の範囲を狭めることが可能な３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】 ３次元形状測定装置１００は、レーザー照射器１２から出射して測定対象物ＯＢに照射されるライン光の経路中に設けられ、ライン光の進行方向を測定対象物に向かう方向に変更する第１ミラー２０を備える。このため第１ミラー２０によりライン光の進路が変更する分だけライン光の進行距離が延びる。したがって、ライン光が測定対象物ＯＢに向かって広がる角度が小さくなり、測定対象物ＯＢに形成される死角領域の範囲を狭めることができる。よって、装置を大型化せずに測定対象物の死角領域の形成範囲を狭めることができる。 （もっと読む）

【課題】照明装置の熱の影響を受けない、微細な構造のマスク及び基板の検査装置を提供すること。
【解決手段】対象（２）上の構造（３）の座標システムに関する位置測定装置であって、対象（２）はブロック（２５）が規定する平面（２５ａ）を移動可能な測定テーブル（２０）に載置され、１以上の光学装置（４０、５０）が落射光照明及び／又は透過光照明のため配設されている。光学装置（４０、５０）は落射光照明及び／又は透過光照明のための照明装置（４１、５１）及び１以上の第１又は第２の光学要素（９ａ、９ｂ）を含み、１以上の第１又は第２の光学要素（９ａ、９ｂ）の少なくとも一部はブロック（２５）と光学システムサポート（１００）の間のスペースに延在している。ブロック（２５）及び／又は光学システムサポート（１００）は測定テーブル（２０）が可動な平面から照明装置（４１、５１）を空間的に分離している。 （もっと読む）

【課題】検査対象の複数の検査部位の表面高さを共焦点法により一括して測定する際に、各検査部位からの反射光線の干渉を防止できる。
【解決手段】広帯域波長の光線を複数に分割する伝送手段２と、分割された各光線の波長を異ならせるように選択する第１波長選択手段３と、波長選択された各光線を各検査部位に集光し、反射光線を受光する送受信手段５と、各検査部位からの反射光線を集光させる集光手段７ａ、７ｂと、集光された各反射光線を通過させる開口手段８と、各反射光線の波長を選択して他との干渉を避ける第２波長選択手段１０と、波長選択後の各反射光線の光量を検出する光検出器１１と、共焦点の原理により、検査部位の位置が送受信手段の焦点と一致した場合に反射光線の集光径が最小となり、光量が最大となるため、検出光量が最大となる送受信手段の位置を表面高さとして、各検査部位の表面高さを求める表面高さ演算手段１２とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】冷延鋼板のストリップの耳伸び・腹伸びに関する形状不良を安価にかつ精度良く検出することができるストリップ形状検出方法および装置を提供することを目的とする。
【解決手段】搬送中のストリップの一方の幅方向端部側から他方の幅方向端部側に向けて、少なくとも３つのレーザー平面光を前記ストリップの幅方向内の所定位置で互いに交差し、かつ交差角度を異にするように照射し、照射されたレーザー平面光を前記他方の幅方向端部側で受光し、該受光信号に基づいて前記ストリップの形状不良の判定およびその形状を検出する。 （もっと読む）

【課題】被測定光束の光束断面形状や光束径のばらつき等の影響を受けることなく、被測定光束の平行度を高精度に測定し得る光束平行度測定装置を得る。
【解決手段】コリメートされた被測定光束が入射される非点収差レンズ系２と、４個の光検出領域に分割された受光面３１を有する分割センサ３とが、光軸Ｐ上において互いに共軸に配されるとともに、上記非点収差レンズ系３の前段に、入射された被測定光束の光束周縁部を遮光し得る大きさの円形の開口部を有する絞り手段１が、光軸Ｐ上に共軸に配される。 （もっと読む）

【課題】正確な三次元形状測定を行うことができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】パタン投影系２０が、投影パターンの投影方向を、第１の投影方向Ａ１と、第１の投影方向に対して撮像系の光軸を中心に１８０度回転対称となる第２の投影方向Ａ２とで切り替える投影方向切替手段３０を有して構成され、形状測定部５０は、被検物の表面上における同一の測定点に対し、第１の投影方向Ａ１で投影された投影パターンが基準線に対して変形した量から求まる測定点の第１の高さ情報と、第２の投影方向で投影された投影パターンが基準線に対して変形した量から求まる第２の高さ情報との差から算出可能な撮像系のディストーションに因り発生する高さ情報を、第１又は第２の高さ情報から除いて、測定点の高さを測定する。 （もっと読む）

【課題】 ＤＭＤのようにパターンを可変的に表示するパターン表示素子を用いる構成において、被検面の面位置を高精度に且つ安定的に検出することのできる位置検出装置。
【解決手段】 本発明の位置検出装置では、被検面（Ｗａ）上に斜め方向から光束を投射する投射系（１〜８）と、被検面で反射された光束を受光する受光系（９〜１５）とを備え、この受光系の出力に基づいて被検面の位置を検出する。投射系は、パターンを可変的に表示するパターン表示素子（４）と、このパターン表示素子のパターンの像を被検面上に形成するための結像光学系（６，８）と、パターン表示素子への入射光の入射角度を被検面への入射光の入射角度よりも実質的に小さく変更するための入射角変更素子（７）とを有する。 （もっと読む）

【課題】コークス炉の炭化室における微小な炉壁の変化を、長期間に亘って連続的に且つ高精度に測定できるようにする。
【解決手段】炭化室１１ｂ内の炉壁１４に対して、レーザ光２１を鋭角に投射するに際し、そのレーザ光２１の画像を鉛直上方向（石炭装入口１３ｂの方向）に映し出す耐熱ミラー３を炭化室１１ｂ内で懸垂させておく。従って、耐熱ミラー３により映し出された画像の撮像結果を用いてレーザ光２１の移動量ΔＨを求めることにより、炉壁１４の変位量ΔＤをサブミリ単位で高精度に識別することが可能になる。更に、大掛かりな冷却装置を用いなくても、長期間（例えば、隣接する炭化室に石炭が装入されてから、その石炭の乾留が完了するまでの約２０時間）に亘って耐熱ミラー３を炭化室１１ｂ内で懸垂させておくことができる。 （もっと読む）

【課題】 スケーリング作業を不要化し、小型化を図るコイルばねの寸法測定装置を実現する。
【解決手段】 測定手段８を、測定光源１１，コリメータレンズ１２，第１反射ミラー１４，第２反射ミラー１５，結像レンズ１６，ラインＣＣＤ１７の光学系要素で構成する。寸法測定装置本体１０の第１反射ミラー１４と第２反射ミラー１５との間に測定用凹部１８を設ける。測定用凹部１８にコイルばね５を収容配置する。測定光源１１からの測定光は、コリメータレンズ１２を透過して第１反射ミラー１４で反射した後、コイルばね５を照射する。コイルばね５の陰影像が第２反射ミラー１５に入射し、その方向を変更して反射する。反射した測定光は、結像レンズ１６を透過するとき拡大する。拡大した陰影像をラインＣＣＤ１７に投影し、検出したビット値をｍｍ数値に自動変換してＰＣ４に表示する。ラインＣＣＤ１７の代わりに二次元ＣＣＤ２１でもよい。 （もっと読む）

【課題】 物体表面の粗面として、入射光の波長より十分に大きい数十ミクロン程度の粗さを持ち、一定以上の面積を持つ粗面について、高精度に、迅速に検出することができる表面状態検査装置を得ること。
【解決手段】 光源と、
該光源からの光を偏向する偏向器と、
該偏向器で偏向された光を被検査面に導光する走査光学系と、
該偏向器で偏向された光で被検査面上を主走査方向に走査したとき、該被検査面から生ずる回折光の一部を検出する検出器と、を有し、
該検出器は、該回折光を検出する検出開口が主走査方向に平行となるように設置されており、
副走査断面内において、被検査面の表面粗さに基づいて発生する回折光の回折分布の相対変化に対応して該検出開口の該被検査面に対する検出角度が調整できるように構成されていること。 （もっと読む）

【課題】被測定物の広い面積（例えば全体またはほぼ全体）を測定するのに有利な形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被測定物８を載せる載置面２０をもちレーザ光を透過可能な透過部材２を保持する透過部材保持部３と、透過部材に載せられている被測定物８にレーザ光を投光する投光部４と、投光部４から投光されたレーザ光の照射部分の反射光を撮像する撮像部５と、撮像部５で撮像された撮像データを格納する撮像データ格納部６と、透過部材の載置面２０の仮想線の回りに沿って投光部４を回動させ、回動に伴い被測定物８に対して投光部４を相対移動させる第１駆動部７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】変位感度を減少させること無く、スペックルの影響を大幅に低減することができる距離測定装置および距離測定方法を提供する。
【解決手段】焦点面において集光した照射光を照射スポットＳとして測定対象面Ｗａに照射する照射光学系１１と、測定対象面Ｗａから反射した反射光を共焦点面において集光し、集光した反射光の共焦点面に設置されたピンホール３６を介して光検出器１３に入射させる反射光学系１２と、光検出器１３に入射した反射光に基づいて変位信号Ｅｓｎを検出し、変位信号Ｅｓｎに基づいて測定対象面Ｗａからの距離を測定する距離測定手段と、を備え、測定対象面Ｗａに照射する照射スポットＳを楕円状とした。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で液滴の位置ズレを演算する。
【解決手段】位置ズレのない基準計測線Ｌ１において、計測面k1を通過してから計測面k2を通過する時間t0を計測し、移動速度vとともに予め記憶しておく。実際の計測時に、計測線Ｌ２にて計測面k1、k2を通過し、通過する時間t1であった場合、以下の式（１） によって、ズレ量Lxを演算することができる。
Lx＝（t0-t1)v/tanθ_１・・・（１）
計測面k2を傾けることにより、計測面k1を通過してから計測面k2を通過するまでの時間差によりx方向のズレ量Lxを演算することができる。 （もっと読む）

【課題】十分なSN比で、物体内部深さ方向における異なるレベル面の物体情報を比較的簡便且つ高速に取得することができる物体情報取得装置及び方法を提供する。
【解決手段】物体の内部の情報を取得するための物体情報取得装置は、テラヘルツ波を出力可能で出力強度を変化できる電磁波発生手段6と、電磁波を物体に照射する照射手段と、走査手段と、電磁波を物体に照射する検出手段7を含む。走査手段は、照射される電磁波と物体の相対位置を変化させる。検出手段7は、物体と電磁波が相互作用することで物体を透過もしくは反射した電磁波を検出する。物体情報取得装置は、走査手段で相対位置を変化させる動作と電磁波発生手段6で電磁波強度を段階的に変化させる動作を組み合わせて、物体の所望領域内で、内部深さ方向に異なるレベル面の断層情報を、検出手段7で検出される信号に基づいて取得する。 （もっと読む）

【課題】電子部品の形状分析のための指標を、ライン光の走査位置に依存せず常に一定に維持することができ、カメラによる撮像光の分析をより正確且つ適正に行なう。
【解決手段】電子部品Ｐに対してライン光Ｌを照射すると共に該ライン光Ｌを当該ライン光の照射ライン方向と交差する方向（ｘ方向）に走査し、この拡散光（反射光）Ｌｒを撮像カメラ２３にて取得することによって電子部品Ｐの走査面の形状または高さを測定する電子部品Ｐの三次元測定装置１４において、ライン光Ｌの走査位置Ｘ（Ｘ１、Ｘｃ、Ｘ２）に依存して、該ライン光Ｌの前記電子部品Ｐの走査面への入射方向に対して前記カメラに向かう散乱光の出射方向のなす角度α（α１、αｃ、α２）が変化することに起因する前記カメラでの受光量の変化を補正する補正手段を備える。 （もっと読む）