【課題】搬送角度を容易に求めることが可能な画像検査装置、画像検査方法および検査用画像作成方法を提供する。
【解決手段】一方向を長手とする複数のレンズを有するレンズシートＬに印刷されている検査用画像を用いて搬送角度を算出する画像検査装置であって、検査用画像は、特定のラインを基準ラインとし、この基準ラインから一方側および他方側のそれぞれに向かって離間するラインごとに、当該基準ラインに対する傾斜角度が所定の角度ずつ増大するように、各ラインが配置されていて、この検査用画像が印刷されているレンズシートＬに光を照射し、このレンズシートＬから反射される光を読み取って、該レンズシートＬに対応する読み取り画像を出力するスキャナ手段１１Ｂと、読み取り画像から、レンズシートＬの搬送角度を算出する算出手段１１Ｃと、を具備している。 （もっと読む）

少なくとも部分的に正反射性の挙動を示し、露光領域内に位置する対象物（２）の構造細部の反射による観察のための装置であって、放射線の流れを放射する少なくとも２つの別個の領域（２６、２７）を有する放射面（６）を伴い、少なくとも１つの特性が１つの領域と隣の領域とで異なる少なくとも１つの放射線源と、露光領域に対して放射線源と一直線を成して放射線の経路に位置する光学投影系と、光学投影系の入口絞り（１４）と放射面（６）とを光学的にリンクさせるようになっている光学露光系（１８）と、露光領域内の対象物と光学的にリンクされるとともに、その受けられる放射線が対象物（２）における偏向に依存する投影面（１０）とを含む装置。 （もっと読む）

【課題】レーザ光のビーム断面の光強度分布を調整して液滴に照射させることにより、液滴の体積や速度や位置を正確に測定すること。
【解決手段】液滴測定装置において、第１レーザ光源と、吐出される液滴に対し前記第１レーザ光源からのレーザ光を照射させる位置で、前記レーザ光のビーム断面について前記液滴の吐出方向のビーム幅に対して前記液滴の吐出方向に垂直な方向のビーム幅が大きくなるようにするものであって、前記液滴の吐出方向に垂直な方向における前記液滴の吐出位置のばらつきが生じる範囲内で前記レーザ光の光強度を所定の範囲に収める第１光学手段と、前記第１光学手段により前記液滴に対し照射された前記レーザ光を受光して検出信号を生成する第１受光手段と、前記第１受光手段で生成する前記検出信号から前記液滴の体積や速度を演算する第１液滴特性演算手段と、を有する。 （もっと読む）

超高分解能走査光学測定装置が開示され、該走査光学測定装置は、光源と、光源から照射された光を集束させる第１レンズと、第１レンズの次に配される第１ピンホールと、第１ピンホールを通過した光を発散させる第２レンズと、第２レンズを通過した光を走査するための走査ユニットと、第２レンズと走査ユニットとの間に配された第１ビームスプリッタと、走査ユニットから出てきた光を第１経路上に配させるものであり、被検体をスキャニングするためのスキャニング・ユニットと、スキャニング・ユニットを通過した光を被検体に集束するための対物レンズと、被検体が置かれるスライドと、光源から照射された後、被検体を通過した光を反射させる光学探針と、スキャニング・ユニットと対物レンズとの間に配された第２ビームスプリッタと、被検体と光学探針とから反射され、第１ビームスプリッタを経由した光を検出するための第１光検出器と、第１ビームスプリッタと第１光検出器との間に配された第２ピンホールと、被検体と光学探針とから反射され、第２ビームスプリッタを経由した光を検出するための第２光検出器とを含む。
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部品を光学的に検査するための方法及びシステムが提供されている。本方法は、測定軸に沿って部品を支持するステップを有している。本方法は、部品が、軸に沿って間隔を空けた各放射面を遮って放射面の未遮蔽の平坦部の配列を形成するように、間隔を空けた放射面の配列を具えたパーツを走査するステップを有している。未遮蔽の平坦部のそれぞれは、パーツそれぞれの幾何学的寸法を示す放射量を含んでいる。さらに、本方法は、未遮蔽の平坦部のそれぞれの中に存在する放射量を測定して測定信号を取得するステップを有している。本方法は、測定信号を処理して生データを取得するステップを有している。さらに、本方法は、較正データを提供するステップと、較正データ及び生データを処理してパーツの測定値を取得するステップを有している。 （もっと読む）

【課題】光学的コヒーレンストモグラフィにおいて機械的運動に影響されることなく、短時間で高品位の解像度の二次元画像を得る。
【解決手段】本発明は、ために、光源およびリニアビーム形成システムが採用された光学的コヒーレンストモグラフィに関する。かかる目的のために、光学的リニアビーム形成システム（２０）は、周波数領域の光学的コヒーレンストモグラフィを実施するよう、半円筒形レンズ（２１）と、凸レンズ（２２）と、スリット（２３）とを備える。光源からの平行な光ビームは、半円筒形レンズ（２１）の表面に入射し、この凸レンズ（２２）の前方には半円筒形レンズ（２１）の焦点ラインが位置している。凸レンズ（２２）は平行な光成分が収束する短焦点と、発散する光成分が収束する長焦点とを有し、短焦点と長焦点との間にスロット（２３）が位置する。 （もっと読む）

【課題】吸着ノズル等で保持された電子部品にライン光を投光して三次元測定する際、該部品にライン光を細かい間隔で投光する場合でも、短時間で確実に測定できるようにする。
【解決手段】保持手段１０により保持された電子部品Ｐに、ライン光を投光した際の光切断線を撮像し、得られる画像データに基づいて、該電子部品を三次元測定する電子部品の三次元測定装置において、色が異なる複数のライン光Ｒ、Ｇ、Ｂを所定の間隔で前記電子部品に投光するライン光発生手段１５、１９等と、前記電子部品に投光されたライン光の反射光を分別受光して撮像する撮像手段２１とを備えた。 （もっと読む）

【課題】表面状態に影響されずに、測定対象の表面形状を正確且つ簡便に測定する。
【解決手段】測定対象物の表面に板状のスリット光を照射して、表面に形成された照射像を二次元撮像手段によって検出する。二次元撮像手段には、受光感度の異なる複数種類の走査線が隣接して設けられている。受光感度の違いによって各走査線で得られる受光量は異なるが、光感度が所定の許容範囲外にある走査線は除いて、許容範囲内の走査線で得られた出力から、照射像の受光位置を走査線毎に検出する。そして、各走査線で得られた受光位置に基づいて測定対象物の形状を測定する。こうすれば、少なくとも何れかの受光感度の走査線では受光位置を検出できるので、受光位置が検出できた走査線を用いて測定することで、測定対象物の表面状態に、より影響されることなく形状を測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、測定環境の明暗に依存することなくモニタ表示およびＦＯＶ表示をより良好に行うことができる三次元形状測定装置および該方法を提供する。
【解決手段】本発明における測定対象物の三次元形状を非接触で測定する三次元形状測定装置Ｄｉは、モニタ表示用の投光パターンを含む複数の投光パターンで光を投光する投光部１と、複数の投光パターンのうちの１つの投光パターンで光を投光するように投光部１の投光パターンを制御する投光制御部５１と、投光制御部５１が投光部１にモニタ表示用の投光パターンで光を投光させている場合に、撮像面に結像した光像を撮像する受光部２を備える。 （もっと読む）

【課題】被検物の反射率の小さい部分についても精度良く計測することができるようにする。
【解決手段】ステップＳ１１で、ユーザによって指定された測定部分であると判定された場合には、ステップＳ１２において、形状測定装置は、ステップＳ９で撮像された画像の輝度から、ユーザにより指定された測定精度を満足するための積算枚数を演算により決定する。ステップＳ１３において、形状測定装置は、決定された枚数分の被検物の撮像を行い、ステップＳ１４において、必要な枚数だけ撮像された画像を積算し、その結果得られる積算画像を求める。本発明は、例えば、被検物の形状を測定する形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】容易に計測を行うことができ、計測時間を短縮化できる計測方法、形状計測方法、計測装置及び形状計測装置を提供すること。
【解決手段】第１光量で前記被検物に光を照射する工程と、前記被検物上で散乱された第１散乱光の第１画像を画像取得装置によって取得する工程と、前記第１画像に基づいて、前記被検物のうち他の領域に比べて前記第１散乱光の光量が小さい第１領域を検出する工程とを含み、前記第１光量は、前記被検物のうち前記他の領域において、前記第１散乱光の光量が前記画像取得装置の検出可能な光量よりも大きくなるような光量である。 （もっと読む）

【課題】テレセントリック光学系を用いた検査光学系において、うねりや微妙な凹凸や異物、傷のような欠陥と同時に、色むら欠陥も同時に感度良く検出できる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】白色点光源からの照射光を検査対象物に導き、検査対象物表面から戻って来た反射光を集束するための光学素子と、光学素子の後像空間焦平面位置に配設される開口絞りと、開口絞りを通過した反射光の像を検出する像検出手段と、を備えた検査装置において、開口絞りは、透過波長帯域の異なる複数のカラーフィルターを同心円状に配置した構成であり、像検出手段は、複数のカラーフィルターを透過した光を分離した状態で受光し、像検出手段によって得られた単独の画像及び組み合わせた画像から欠陥を検出する欠陥検出手段を有する。 （もっと読む）

【課題】透明性を有する材料によって形成された被加工物であってもチャックテーブルに保持された被加工物の上面高さ位置を確実に検出する。
【解決手段】レーザー光線発振手段と、レーザー光線のスポット形状を環状に形成する環状スポット形成手段と、環状に形成されたレーザー光線を第１の経路に導く第１のビームスプリッターと、集光して被加工物に照射する集光器と、被加工物で反射したレーザー光線が第１のビームスプリッターによって分光される第２の経路に配設されたピンホールマスクと、ピンホールマスクを通過した反射光を第３の経路と第４の経路に分光する第２のビームスプリッターと、第３の経路に分光された反射光を受光する第1の受光素子と、第４の経路に分光された反射光の受光領域を規制する手段と第２の受光素子とを備え、第1の受光素子が受光した光量と第２の受光素子が受光した光量との比に基いて被加工物の上面高さ位置を求める。 （もっと読む）

【課題】面位置計測システムの異常発生時にも、移動体を継続して駆動する。
【解決手段】位置計測システム、例えばＺヘッド７２ｂ，７２ｄ等を用いて、ウエハステージＷＳＴのＺ軸方向とＸＹ平面に対する傾斜方向（例えばθｙ方向）の位置情報を計測し、その計測結果に基づいてウエハステージを駆動制御する。同時に、干渉計システム、例えばＺ干渉計４３Ａ，４３Ｂを用いて、ウエハステージの位置情報を計測する。位置計測システムの異常が検知された際、又はウエハステージが位置計測システムの計測領域から外れた際には、干渉計システムの計測結果に基づく駆動制御に切り換える。これにより、位置計測システムの異常発生時においても、ウエハステージを継続的に駆動することができる。 （もっと読む）

【課題】計測対象面の凹凸に起因する面位置センサの計測誤差の補正データを作成し、該補正データを用いて計測精度が改善される面位置センサを用いて、移動体を高精度に２次元駆動する。
【解決手段】 Ｘ干渉計１２７、Ｙ干渉計１６を用いて位置を監視しながらウエハステージＷＳＴを移動させ、センサ７２ａ〜７２ｄを用いてウエハステージ上面に設けられたＹスケール３９Ｙ_１，３９Ｙ_２のＺ位置を計測する。ここで、例えば、２つの面位置センサ７２ａ，７２ｂの計測結果の差より、Ｙスケール３９Ｙ_２のＹ軸方向の傾きが得られる。Ｙスケール３９Ｙ_１，３９Ｙ_２の全面について傾きを計測することにより、それらの２次元凹凸データが作成される。この凹凸データを用いてセンサの計測結果を補正し、該補正済みの計測結果を用いることにより、高精度にウエハステージを２次元駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】被走査面上を移動するビームスポットの主走査ラインの曲がりや副走査方向の変動を正確に測定することができるようにする。
【解決手段】両リニアエンコーダ８２Ａ、８２Ｂの検知位置の差Δｔと、両リニアエンコーダの間隔Ｌから、Ｙステージの角度誤差変位Δθを求め、各像高での受光装置７１による受光部位置を計算する。読み取りヘッド部８０Ａ、８０ＢはＹステージのガイド部７３の端部下面に固定されており、読み取りヘッド部８０の近傍に配置された図示しない調整手段により、スケール部８１に対する読み取りヘッド部８０の最適位置調整（アジマス調整）がなされるようになっている。これにより、受光装置７１の移動範囲全体に亘って読み取りヘッド部８０の良好な出力を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】
光学系中に設置した被検体測定面の高さ方向の差を検出し測定する。
【解決手段】
レーザ光源１からの光をコリメータレンズ２で平行光束としポリゴンミラー３に向かわせる。ポリゴンミラー３で反射した光束をｆθレンズ４で被検体５の測定面６に集光すると共に、ポリゴンミラー３反射面を入射瞳として光センサ７に集光し、集光位置の変化で被検体測定面の高さ方向の差を検出する。被検体５と光センサ７間には被検体５測定面６の走査方向が稜線方向となるようにしたシリンドリカルレンズ８を設置し、被検体５測定面６の走査方向と直角方向が受光面長手方向となるようにして設置した前記光センサ７に光束を向かわせ集光する。光センサ７の検出結果は制御部９を経て表示部１０に表示する。


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【課題】被走査面上を移動するビームスポットの主走査ラインの曲がりや副走査方向の変動を正確に測定することが可能な光学特性測定装置を提供する。
【解決手段】ＸステージＸＳＴとしてリニアガイド方式のＸステージを使用する。ＸステージＸＳＴとしてリニアガイド方式のＸステージを使用する場合には、従来のシャフトアンドスライドブッシュ方式のように、支持部材８１の表面８１ｂと移動台７３の底面７３ａとの間に隙間Ｄが形成されないので、ＹステージＹＳＴのモーメントＭの発生が抑制され第１の移動台７２上に受光装置７１に撓みｄの発生が抑制され、真の走査線曲がり特性を測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】
光学的手法を用いて、被検査体面の長手方向に生じる微小凹凸状欠点を精度良く検出することを可能とする検査装置を提供すること。
【解決手段】
被検査体である連続走行しているシート状物の一面に高指向性の光照射手段、他面に受光手段を、光照射手段からの照射軸と受光手段の受光軸が被検査体で一致するように配設し、受光手段の開口角を光照射手段からの照射軸と受光手段の受光軸との角度θの２倍より小さくすることにより、受光手段で受光した透過光に基づいて、被検査体表面に存在する微小凹凸欠点を高精度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】ゴースト像の影響を低減して測定精度を向上させた形状測定方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る形状測定方法は、光切断法による被検物の形状測定方法であって、光切断を行うためのシート光を被検物に投影する第１のステップ（Ｓ１０１）と、第１のステップでシート光が投影された被検物の表面を撮像する第２のステップ（Ｓ１０２）と、第２のステップで撮像した画像に対しシート光の延在方向と交差する方向に走査して、輝度のピーク位置を検出する第３のステップ（Ｓ１０３）と、ピーク位置が複数検出されたとき、複数のピーク位置から画像におけるシート光の多重反射による像を特定する第４のステップ（Ｓ１０４）とを有している。 （もっと読む）