【課題】高い感度を有し、相対的に濃縮された懸濁液に応答する単独粒子光センサ。
【解決手段】光学感知ゾーンを不均一に照明するために、相対的に幅の狭い光ビームを使用する。センサが流路を通って流れる粒子の総数のうちのごく一部に応答するように、ゾーンは流路より小さくなっており、どの関連粒径の粒子についても、統計的に意味ある数の粒子を検出する。異なる強さで照明されるゾーンの様々に異なる部分を様々に異なる粒子の軌跡が通過して流れるため、結果をデコンボリュートすることが必要である。修正行列反転と、逐次減算という２つのデコンボリューション方法が使用される。２つの方法は、共に、実験に基づいて測定されるか又は理論モデルから計算される少数の基本ベクトルを使用し、残る基本ベクトルはそれらの少数の基本ベクトルから取り出されるセンサは、濁りに関して補償される。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェーハを検査するための検査システム。
【解決手段】 この検査システムは、広帯域照明を供給するための照明設定を備える。広帯域照明は、異なるコントラスト、例えば明視野および暗視野広帯域照明であることができる。検査システムは、第１の画像収集装置および第２の画像収集装置を更に備え、半導体ウェーハが動く間、各々が半導体ウェーハの画像を収集するために広帯域照明を受け取るために構成される。システムは、広帯域照明の平行を可能にするための複数のチューブレンズを備える。システムはさらに、安定化メカニズムおよび対物レンズ組立体を備える。システムは、細線照明エミッタ、および半導体ウェーハの３次元画像をそれによって収集するために細線照明を受け取るための第３の画像収集装置を更に備える。システムは、第３の画像収集装置が、複数の方向に半導体ウェーハから反射される照明を受け取ることを可能にするための反射器組立体を備える。 （もっと読む）

【課題】短時間にスペクトル測定を行うことができる光学顕微鏡、及びスペクトル測定方法を提供すること。
【解決手段】本発明の第１の態様にかかる光学顕微鏡は、対物レンズ２３を介してレーザ光を試料２４に照射するステップと、対物レンズ２３を介して、試料で反射した反射光を検出するステップと、レーザ光の焦点位置を光軸方向に変化させるステップと、レーザ光の焦点位置を変化させたときの反射光の検出結果に基づいて、スペクトル測定を行う焦点位置を抽出するステップと、抽出された焦点位置になるように調整するステップと、焦点位置を調整した状態で、レーザ光の照射により試料から出射される出射光をレーザ光から分岐するステップと、レーザ光から分岐された出射光のスペクトルを分光器３１で測定するステップと、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】外光の影響を排除し処理時間の短縮も可能な形状計測装置を構成する。
【解決手段】レーザ投光器Ａと、デジタルカメラＢの光電変換面と、光学レンズとをシャインフリュークの条件に従って配置する。計測対象物Ｍにレーザ投光器Ａからスリット状のレーザ光を照射し、計測対象物ＭをデジタルカメラＢで撮影して画像データを取得する。この画像データをマスク処理手段２３の１次元マスクでの処理で外光を排除し、この画像データから表面形状を抽出する。この後、複数の表面形状のデータから３次元形状データ生成手段２７が３次元形状データを生成する。 （もっと読む）

【課題】表面の一部に傾斜面あるいは曲面が存在する計測対象物体、あるいは傾いた計測対象物体に対して高精度な計測を可能とする光学式計測装置を提供する。
【解決手段】遮光部２１２は、拡散反射光５７の受光中心軸５６に対する入射角度範囲を規定するように構成される。すなわち開口２１２ａの径によって、拡散反射光５７が遮光部２１２の開口２１２ａを通過するときに拡散反射光５７の進行方向と受光中心軸５６とがなす最大角度θが規定される。また、投光部２０２は、計測対象物体５の表面５Ａで正反射された投光ビーム（すなわち反射光ビーム５６）のうちレンズ部２１１により集光される成分について、受光中心軸５６上での集光位置Ｐが受光中心軸５６上における遮光部２１２の範囲内に含まれるように投光ビーム５３を投光する。 （もっと読む）

【課題】測定装置の測定技術上の条件から、特定の測定領域でその測定誤差が大きくなるような場合においても測定点群と基準点群との合同変換が適正に行われ、その結果、測定対象物の物体形状評価が適正に行われる物体形状評価装置を提供する。
【解決手段】 測定対象物の形状に対応する多数の測定点と、測定対象物の基準形状に対応する多数の基準点との間の距離を逐次収束させる逐次収束処理に基づいて測定点と基準点とを位置合わせし、位置合わせ後の測定点データと基準点データとに基づいて測定対象物の形状を評価する物体形状評価装置。位置合わせ処理において、隣接する前記測定点の間の隣接点間距離又は隣接する前記基準点の間の隣接点間距離に基づいて隣接点間距離重み係数を決定し、当該隣接点間距離重み係数が逐次収束処理における逐次収束評価値を求める際に用いられる。 （もっと読む）

【課題】容易な調整作業によって複数の撮像装置で同じ波長帯の光を受光できる光学フィルタ調整方法およびムラ検査装置を提供する。
【解決手段】薄膜に対して光を照射することによって、当該薄膜の上面および下面でそれぞれ反射する反射光の干渉による像の一部を少なくとも含む第１領域を撮像する。また、第１領域と重複する重複領域を有し、当該重複領域に上記像の一部が少なくとも含まれる第２領域を撮像する。薄膜に照射されてその反射光がそれぞれ撮像されるまでの光路上に第１光学フィルタおよび第２光学フィルタをそれぞれ配置して、特定の波長帯の光を透過させる。それぞれ撮像された重複領域の像を用いて、第１光学フィルタの透過波長帯と第２光学フィルタの透過波長帯との相対的な関係を示すパラメータを算出する。算出されたパラメータに基づいて、第１光学フィルタおよび第２光学フィルタの少なくとも一方の光路に対する傾きを変更する。 （もっと読む）

【課題】 穴の全体形状だけでなく、穴の壁面に形成された微細な凹凸形状をも精度良く測定する。
【解決手段】 管状プローブ８０からレーザ光を測定対象穴の壁面に照射し、レーザ光の焦点位置と壁面における反射位置とのずれ量（焦点ずれ量）に応じたフォーカスエラー信号を生成するフォーカスエラー信号生成回路１１１，１１２を備える。コントローラ１００は、管状プローブ８０を回転させながらＺ方向（管状プローブの中心軸方向）に移動させて、レーザ光を測定対象穴の壁面に螺旋状に照射する。そして、管状プローブ８０のＺ方向位置と、管状プローブ８０の回転角度と、フォーカスエラー信号から得た焦点ずれ量とに基づいて測定対象穴の３次元形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】凹面部と凸面部と軸外停留点部を有する被検面の形状を測定できるようにする。
【解決手段】被検面８０の凹面部８１を測定する場合には、球面波からなる測定光が一旦収束した後に発散しながら凹面部８１に照射されるように、凸面部８２を測定する場合には、球面波からなる測定光が収束しながら凸面部８２に照射されるように、干渉光学系２に対する被検面８０の測定光軸Ｌ方向の位置をサンプルステージ用いて変化させる。また、軸外停留点部８３を測定する場合には、平面波からなる測定光が軸外停留点部８３に照射されるようにする。 （もっと読む）

【課題】光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を電子顕微鏡等で詳細に観察する装置において、観察対象の欠陥を確実に電子顕微鏡等の視野内に入れることができ、かつ装置規模を小さくできる装置を提供する。
【解決手段】光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を観察する電子顕微鏡5において、欠陥を再検出する光学顕微鏡14を搭載し、この光学顕微鏡14で暗視野観察する際に瞳面に分布偏光素子及び空間フィルタを挿入する構成とする。 （もっと読む）

【課題】凹面部と凸面部を有してなる被検面の形状を光干渉計測できるようにする。
【解決手段】被検面８０の凹面部８１を測定する場合には、測定光が一旦収束した後に発散しながら凹面部８１に照射されるように、凸面部８２を測定する場合には、測定光が収束しながら凸面部８２に照射されるように、干渉光学系２に対する被検面８０の測定光軸Ｌ方向の位置をサンプルステージ６を用いて変更する。また、被検面８０に測定光が照射されたときに被検面８０の一部領域から反射されて撮像系４に入射する不要光の発生を防止するために、所定の遮光パターンを被検面８０に投影する透過型液晶表示素子７０を、光源部２０と分岐光学素子３との間の光路上に配置する。 （もっと読む）

【課題】スポット光を表面に照射し、その反射光をレンズによりＰＳＤ上に結像することにより表面の高さを三角測量法の原理で検知し、またスポット光を表面上で走査することにより表面の断面形状を測定する、小型軽量でありかつレンズ収差の影響を受けない高精度な光学式位置角度検出装置を提供する。
【解決手段】光源１より出射された光を対象表面上に集光（および走査）する投光手段と、走査光による表面からの反射光を結像する前側球面レンズ１６ａおよび後側球面レンズ１６ｂ、１６ｃと、反射光を２系統に分けるハーフミラー２１と、光軸距離が互いに異なる２個の光位置検知手段１８ａ、１８ｂと、該検知手段からの検知信号と各球面レンズ１６ａ、１６ｂ、１６ｃのレンズデータから光線追跡を逆に行うことより該表面上の反射点の位置と角度を算出して表面形状の測定を行う演算部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】無撚りの糸条が綾角をなして巻回されたパッケージ上の糸条幅を、パッケージ上にて、自動かつ高精度に検出することができ、また糸条幅測定作業の時間短縮ならびに作業工数の削減を図ることができる糸条幅測定方法を提供する。
【解決手段】無撚りの糸条が綾角をなして巻回されたパッケージ３を照明し、最外層の糸条５と最外層の糸条５の下に巻回されかつ表面に露出している糸条６から反射光を受光してパッケージ３の画像を撮像するとともに、得られた画像において高光量部を特定し、該高光量部の幅を測定することで前記糸条と糸条の少なくとも一方の糸条幅を算出する。 （もっと読む）

【課題】安定且つ高精度な移動体の駆動制御を可能にする。
【解決手段】 複数のＺヘッドそれぞれの計測ビームの照射点がスケール３９Ｙ_１上のフォーカスサーボ一時停止領域（ＦＳＵ₁，ＦＳＵ₂）以外の領域内に位置するときには、そのヘッドを、計測面のＺ位置の変化に応じた位置情報を出力するフォーカスサーボ状態とし、照射点がスケール外又はフォーカスサーボ一時停止領域に位置するときには、所定の位置情報の目標値の出力を維持するスケールサーボ状態とする。ここで、スケール３９Ｙ_１上のフォーカスサーボ一時停止領域として、例えばスケール端部、スケール上に形成された回折格子が損傷している領域、異物が付着した領域、位置出しパターンの近傍などを選ぶことにより、ヘッドの不安定動作を回避し、面位置計測システムの安定な稼動、ひいてはウエハステージの安定な駆動制御が可能となる。 （もっと読む）

【課題】
微細な欠陥から散乱した光の取込範囲を拡大し信号強度を高める欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】
被検査基板１を搭載して光学系に対し相対移動可能なステージ部３００と、被検査基板１上の検査領域４を照明する照明光学系１００と、被検査基板１の検査領域４からの光を検出する検出光学系２００と、検出光学系２００によって結像された像を信号に変換するイメージセンサ２０５と、イメージセンサ２０５の信号を処理し欠陥を検出する信号処理部４０２と、検出光学系２００と被検査基板１の間に配置され、被検査基板１上からの光を検出光学系２００に伝達する平面反射鏡５０１とを備える。 （もっと読む）

【課題】対象物上に形成された膜の膜厚測定において、複数の測定点における膜厚を迅速に求める。
【解決手段】膜厚測定装置１では、光学定数が既知である膜９２について、複数の検査波長に対応する複数の反射特性が予め記憶されており、検査波長を切り替えつつ膜９２を撮像することにより取得された複数の検査波長に対応する複数の検査画像と上記複数の反射特性に基づいて、膜厚演算部７３により、膜９２上の各測定点における複数の検査画像の複数の画素値と、各膜厚における複数の反射特性が示す複数の理論反射率との一致度に基づいて各測定点における膜厚が求められる。したがって、測定点数が増加した場合であっても膜厚演算部７３による演算量が僅かに増加するだけであり、基板９上の複数の測定点における膜厚を迅速に求めることができる。その結果、基板９上における広い範囲の膜厚分布が高精度かつ高分解能にて取得される。 （もっと読む）

【課題】微小な物体とそれに近接する透光性の物体との距離、または物体表面の微小領域とそれに近接する透光性の物体との距離を測定する。
【解決手段】透光性の基板とそれに近接する物体との距離を光学的に測定する微小距離測定方法および装置は、レンズで集光した光を基板を通過させて物体に投光し、その際に基板の表面に斜め角度で前記光を入射させ、物体の表面で反射して基板を通過した光を受光し、受光した光の振動方向の異なる偏光成分の位相差を検出し、検出した位相差に基づいて基板と物体との距離を決定する。基板を通過した光の非点収差に因る物体上の照射スポットの拡がりを低減する透光性部材がレンズと基板との間の光路内に挿入され、透光性部材と基板とを通過した光が物体に入射する。 （もっと読む）

【解決手段】バーコード読み取り装置および方法であって、そこではプローブ光のスペクトルがまず空間にフーリエ変換され、バーコード上に導かれ、そしてフーリエ変換され、スペクトル的に符号化されたバーコードパターンを時間ドメインの波形に変換する。ある実装では、スペクトルドメインから空間ドメインへのフーリエ変換は分散要素によって行われ、一方でスペクトル的に符号化されたバーコードパターンから時間ドメインの波形へのフーリエ変換は群速度分散（ＧＶＤ）によって行われる。時間的に符号化されたバーコードパターンは光ディテクタによって検出され、デジタイザによってデジタル化され、およびデジタル信号プロセッサによって解析される。本発明は、１および２次元バーコードの読み取りや変位検知や表面測定や幅およびギャップの測定やフローサイトメトリや光メディアの読み取りや存在または非存在検出や他の関連分野を含む複数の分野に適用可能である。 （もっと読む）

【課題】簡単な装置構造で、目視検査に近い多数の条件にて外観異常部と表面深さ異常部を総括的に評価して検査できる。
【解決手段】円柱周面検査装置１０は、円柱体１の周面に明視野から暗視野の縞模様を映す照明部１２と、円柱周面に投光するラインレーザ投光器と、円柱周面を撮像するカメラ１４と、撮像画像データから円柱体１の異常部を抽出する画像処理装置３０を備えている。画像処理装置３０は、照明条件及び撮像角の違う複数の展開画像を位置を合わせて仮想画面階層配列に再構成し、層別画像データより円柱体１の外観異常部を抽出する外観異常検査部と、画像データよりラインレーザ光が投光された円柱周面の位置を割り出して表面深さ異常部を抽出し、位置を合わせて階層の仮想画面配列にマッピングする表面深さ異常検査部と、目視検査に似せて異常抽出条件の違った多数のデータから総括的に円柱体１の合否判定する判定部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】システムの設置性と保守性を向上させるとともに、車両判別のための特徴量の検出精度を高めることのできるレーザ車両検出システムを得る。
【解決手段】強度変調後のレーザ光を車両が通過する所定領域に照射する送信光学系を有する投光部と、所定領域に照射されたレーザ光の反射光を収集する受信光学系を有し、収集した反射光に基づいて所定領域の２次元光強度を検出する受光部と、投光部から所定領域に照射されたレーザ光と受光部で検出された２次元光強度との位相差あるいは遅延時間を検出する比較手段９と、比較手段により検出された位相差あるいは遅延時間に基づいて所定領域を通過する車両の３次元的な立体形状を示す距離画像を生成する第１の信号演算部１２と、第１の信号演算部で生成された距離画像を画像処理することにより所定領域を通過する車両の特徴量を抽出する第２の信号演算部１３とを備える。 （もっと読む）