【課題】 温度変動や波長変動に起因する検出誤差の発生を抑えて、被検面の面位置の変位を高精度に検出することのできる変位検出装置。
【解決手段】 測定対物レンズ（４）を介して被検面（２０ａ）に光源（ＬＳ）からの光を投光し、測定対物レンズを介した被検面からの反射光に基づいて、被検面の面位置の変位を検出する変位検出装置。光源からの光を複数の光に分割し、複数の光のうちの第１の光を測定光として測定光路に沿って導き且つ複数の光のうちの第２の光を参照光として参照光路に沿って導く光分割部材（２）と、被検面で反射された測定光が含む測定情報と参照光が含む参照情報とに基づいて被検面の面位置の変位を検出する検出系（１３，１４）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 例えばガラス基板の表面に付着した異物の影響を抑えて、ガラス基板の面位置の変位を高精度に検出することのできる変位検出装置。
【解決手段】 被検面（２０ａ）の面位置の変位を検出する変位検出装置は、光源（ＬＳ）からの光に基づいて対物レンズ（５）により一旦集光点（Ｐ）を形成した後に被検面としての物体（２０）の表面に照射する照射系（ＩＬ：１，２，３，４，５）と、被検面で反射され且つ対物レンズを経た光に基づいて被検面の面位置の変位を検出する検出系（ＤＳ：５，４，３，６，７，８，９）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 例えばガラス基板の表面に付着した異物の影響を抑えて、その裏面の面位置の変位を高精度に検出することのできる変位検出装置。
【解決手段】 被検面（２０ａ）の面位置の変位を検出する変位検出装置は、第１乃至第３の光（Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３）を被検面の第１乃至第３位置へそれぞれ導いて被検面またはその近傍に第１乃至第３の集光点を形成するための、第１乃至第３の光に共通の光学系（３，４，５）と、被検面で反射された第１乃至第３の光に基づいて第１乃至第３位置における第１乃至第３変位情報をそれぞれ検出し、該３つの変位情報のうちの互いに最も類似した２つの変位情報に基づいて被検面の面位置の変位を検出する検出系（ＤＳ：５，４，３，６，７，８，９）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】搬送中の振動による誤差を補正する。
【解決手段】三次元形状計測システム１は第１基準物１１および第２基準物２２を備えている。三次元形状算出部１８ｂは、測定対象物１０とともに搬送される第１基準物１１および第２基準物２２の像の形状に基づいて、測定対象物表面による反射光の像の形状を式（３）を用いて補正する。このように、測定対象物１０とともに搬送されるものの形状に基づいて補正を行うことにより、本発明によれば、搬送の前後段で配置された例えば生産機械の振動による時間的なデータずれを補正することができる。 （もっと読む）

【課題】３次元測定器と回転台または回転台と対象物のいずれかの位置関係を変更した場合でも、変更前に得た３次元データと変更後に得た３次元データとを可能な範囲で自動的に位置合わせして繋ぎ合わせること。
【解決手段】新たに測定した３次元データＤＴ４を測定済みの３次元データＤＴ１〜３と繋がるように座標変換して位置合わせすることによって３次元データＤＴ４についての位置合わせのための変換情報Ｍを取得し、変換情報Ｍに基づいて得られる３次元データＤＴ４と３次元データＤＴ１〜３との位置合わせの誤差がしきい値ＴＨ以下であるか否かを判断し、位置合わせの誤差がしきい値ＴＨであるときに、３次元データＤＴ４に対して回転台３を回転させることのみによって測定して得られる３次元データＤＴ５〜６に対し、回転台３の回転角度θについての情報と変換情報Ｍとを用いて３次元データＤＴ１〜３との位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】スリット光を用いて被測定物の凹凸表面を検査する際の死角の発生を抑制した凹凸表面検査装置を提供する。
【解決手段】スリット光源ユニット２からのスリット光を照射された凹凸表面をスリット光源ユニットのスリット光軸に対して３０度以下の狭角で交差する撮像光軸で撮像する撮像ユニット３によって取得された画像データに基づいて凹凸表面の３次元形状を算出する評価部８３とからなる。スリット光源ユニットは、スリット光源から出たスリット光をその光軸に平行な平行光とするシリンドリカルレンズを有し、撮像ユニットは、テレセントリックレンズと、合焦範囲を拡大するためにあおり傾斜角でその撮像面が撮像光軸に対して傾けられている撮像部とをする。さらに、撮像面にＳ偏光が入射することを抑制するようにＰ偏光板が配置されている。 （もっと読む）

【課題】配線間の底部のショートに対する検査感度を向上させ、微細化されたパターンであり、平行に並んだ複数の配線間の底部におけるパターンショートであっても検出可能な欠陥検査方法を実現する。
【解決手段】欠陥検出を行なう被対象物である試料に照射する光の偏光（アルファ）（ｓ偏光からの角度（アルファ））を、試料の回路パターンの条件、照射光の方位角及び入射角を所定の計算式に代入して算出する。偏光（アルファ）は、ｐ偏光とｓ偏光との間にある。算出した偏光（アルファ）の光を試料に照射して欠陥を検査する。これにより、配線間の底部のショートに対する検査感度を向上させ、微細化されたパターンであり、平行に並んだ複数の配線間の底部におけるパターンショートであっても検出可能な欠陥検査方法を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、既存の遮断器に対して容易に取り付け可能な位置検出装置を用いた開閉動作特性計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 遮断器の開閉動作時に可動接触子５のストローク動作に連動して直動する主軸６に反射板１３を固着し、光を円錐状に放射する光源を備える照明光学系により前記反射板１３の直動可能範囲を照明し、受光光学系で前記反射板によって反射された光を受光して受光量に基づいた検出信号を出力するようにした。さらに、前記検出信号に基づいて前記反射板１３の位置信号を信号処理部が出力し、前記位置信号の時系列データに基づいてモニタリング部１５が開閉動作特性を計測するようにした。 （もっと読む）

【課題】３次元計測装置などによって得られた３次元データについて、ユーザがその信頼性の範囲を調整しながら３次元データをリアルタイムで確認することを可能とし、最適な３次元データを容易に得られるようにすること。
【解決手段】被測定物に測定光を投射し被測定物上で反射した測定光を受光することによって得られる被測定物の表面上の各点の３次元位置座標を示す３次元データを処理する３次元処理装置ＳＳＴにおける３次元データの表示制御方法において、各点の３次元データに対応して、それぞれの３次元データＤＺの信頼性の指標となる信頼性データＤＰを取得し、信頼性の範囲を指定するためのしきい値ｔｈをユーザによって調整可能としておき、ユーザによって調整されたしきい値ｔｈで示される範囲内の信頼性に対応する３次元データＤＺ１を、それ以外の３次元データＤＺ２とユーザによる識別が可能な状態で、表示装置３ｂの表示面ＨＧに表示する。 （もっと読む）

【課題】光切断法による三次元形状計測において、ワークに照射されるスリット光について存在する曲がり等の形状歪みに対する処置をシステマチックにすることができるとともに、スリット光の形状歪みに起因する計測誤差を低減することができ、計測の安定性や汎用性を向上することができる三次元形状計測方法を提供すること。
【解決手段】基準平面３１を有する平面基準板３０を用い、基準平面３１に対して一定のスリット光１１を照射した状態で、基準平面３１に形成されるスリット断面線２２の撮像を、平面基準板３０の様々な位置姿勢について行うことにより、各位置姿勢についてのスリット断面線２２を取得し、これら複数のスリット断面線２２が近似的に適合する共通の曲面を導き、スリット光１１のスリット面形状を前記曲面としてモデル化し、ワークの三次元形状を計測するに際し、スリット光１１のスリット面形状を、モデル化した前記曲面とする。 （もっと読む）

【課題】 ２次元光電変換素子を利用した光切断方式の３次元形状測定において、高精度な測定を行うこと。
【解決手段】 スリット形状を有し、かつ、スリットの長手方向と垂直な方向の強度がガウス分布を有する光ビームを、被検物体に対して第１の方向から投光する投光手段と、投光手段と被検物体との相対位置を変更する変更手段と、少なくとも一部の領域の光電変換に対数特性を有する２次元光電変換素子を有し、被検物体から反射した光ビームの像を、第１の方向と異なる方向から２次元光電変換素子により撮像する第１の撮像手段と、第１の撮像手段の出力に基づいて、被検物上における光ビームの位置を検出する検出手段と、複数の異なる相対位置における検出手段による検出結果に基づいて、被検物体の３次元形状を演算する演算手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 被検物体の表面のテキスチャによる影響を抑え、高精度な測定を行うこと。
【解決手段】 所定のパターンを有するパターン光を、被検物体に対して第１の方向から投光する投光手段と、２次元光電変換素子を備え、被検物体から反射したパターン光の像を、第１の方向と異なる方向から２次元光電変換素子により撮像する撮像手段と、被検物体の表面の凹凸に起因するテキスチャを推定する推定手段と、撮像手段により生成した画像を、推定手段により推定したテキスチャに基づいて補正する補正手段と、補正手段による補正後の補正画像に基づいて、被検物体の３次元形状を演算する演算手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】人手による作業を減らし、保管棚のＸ座標、Ｙ座標、Ｚ座標、奥行き方向の傾き角度θの４つの位置情報の計測を短時間で、高精度で、再現性よく行うことができる創薬用自動保管庫に用いられる棚位置自動ティーチング装置を提供する。
【解決手段】創薬研究用のワークを恒温・恒湿・冷凍などの環境のもとで保管管理する垂直及び水平方向に並んだ複数の保管棚と、この保管棚に対してワークの出し入れを行う移載ハンドと、保管棚の最下段及び／又は最上段に挿入される計測用プレート３００とを有する創薬用自動保管庫に用いられる棚位置自動ティーチング装置において、計測用プレート３００が、保管棚の幅に適合した水平板３１０と、この水平板３１０の前面に垂設された垂直板３２０を有し、この垂直板３２０が、その中央部に三角形状の凸部３３０を有していることにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】被検査体における被検査面の立体形状を高速かつ高精度に把握することが可能な被検査体の検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査システムにおいて、第１走査ユニット３０のラインセンサ３８は、テレセントリックレンズ４０を介して基板２の被検査面を垂直に見た映像を走査する。第２走査ユニット３２のラインセンサ３８は、被検査面と垂直な方向から第１角度αだけ第１方向側に傾いた角度で基板２の被検査面を見た映像を走査する。第３走査ユニット３４のラインセンサ３８は、被検査面と垂直な方向から第２角度βだけ第２方向側に傾いた角度で基板２の被検査面を見た映像を走査する。判定部は、第１走査ユニット３０、第２走査ユニット３２、および第３走査ユニット３４によって取得された画像データを利用して基板２の被検査面の高さを算出する。 （もっと読む）

【課題】 誤検出や検出誤差を抑えて、測定精度および測定繰り返し性能を向上させること。
【解決手段】 パターン光を、被検物体に対して特定の方向から投射する投射手段と、被検物体上におけるパターン光の投射位置と、被検物体との相対位置を変更する変更手段と、パターン光が投射された被検物体の像を、特定の方向と異なる方向から撮像して画像を生成する撮像手段と、相対位置に対する、撮像手段による受光光量を示すプロファイルを、受光光量と所定の閾値とを比較することにより複数のプロファイルに分割する分割手段と、複数のプロファイルのうち、検出に用いる１つのプロファイルを選択する選択手段と、選択手段により選択した１つのプロファイルに基づいて、被検物上におけるパターン光の位置を検出する検出手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 畑に栽培されたアスパラガスが収穫に適した所定長さ以上に成長したものを、走行車に搭載した装置により自動的に判定し、且つその切断するアスパラガスの位置情報を出力して自動収穫装置・切断把持装置を作動させ易くする。
【解決手段】 畑を走行する走行車１０に、畑のアスパラガスに向けて上下巾が狭く且つ走行方向の前後に所定巾をもった略水平な光を投射する上下一対の投光器１１，１２と、アスパラガスを撮影する撮影装置１４と、同撮影装置の撮影画像のアスパラガスの表面にあらわれる受光ラインＬ_１，Ｌ_２の上側受光ラインＬ_２と下側受光ラインＬ_１の位置を算出し且つ同一アスパラガスの上下の受光ラインのものかの関連性を判定し、判定結果と位置情報とを出力するコンピュータによる判定位置計算回路１９を備える。 （もっと読む）

【課題】一つの情景中の全ての画素から実質的に同時に深度情報を得る、改善された測距カメラを提供する。
【解決手段】情景中の被写体までの距離を示す画像を生成する装置であって、第１変調関数を有し、放射波を情景に向かわせる変調された放射波源と、検知変調器を含み、第２変調関数を有するとともに、検知アレイを有し、該アレイが複数の検知要素を含んでおり、情景内で複数の平行な間隔を有するセグメントから反射された放射を検知するとともに、上記検知された放射波に応じて、上記情景の領域までの距離に応答する信号を発生させる検知器と、間隔を有する複数のセグメントの少なくともいくつかを含むとともに上記装置から被写体までの距離を示す強度分布を有する画像を形成するプロセッサと、を含み、複数の間隔を有するセグメントの各々が上記装置に関して距離限界を有しており、該距離限界が上記検知変調器により決定され、複数の間隔を有するセグメントの少なくとも一つが少なくとも一つの他の間隔を有するセグメントの限界と異なる距離限界を有している。 （もっと読む）

【課題】焦点楕円計測部で試片の特性を高速で測定した後に、特異点が現れる位置を精密測定部でより詳細に測定する高速大面積の精密測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】偏光された光を試片に集中照射した後、前記試片で反射した光を検出して前記試片の光学的特性を高速で測定する焦点楕円計測部；及び前記試片の光学的特性の中で特異点が現れる位置を再び原子単位まで測定する精密測定部；とを含む。 （もっと読む）

【課題】対象物までの距離の正確な制御を必要とせずに対象物の動きを測定する小型で低価格のセンサを提供する。
【解決手段】反復式光学構造が、照明されて移動する対象物により出射される反復光学信号の形成に用いられる。反復式光学構造は光源によって照明され、フリンジパターン（レーザドプラー風力測定法に似た）を形成し、そして／又は対象物が光源により照明され、反復式光学構造は、照明された対象物からの光を光センサの上へ導く。スペックルパターンは照明によって対象物の上に形成される。スペックルパターンは対象物の移動に伴って移動し、スペックルパターンの移動は、反復式光学構造上に対象物を結像させる必要なしに測定される。スペックルパターンは光学部材上に結合されないので、対象物と光学部材間の、距離と可能な距離変化はシステムの性能に実質的に影響しない。 （もっと読む）

【課題】ＡＦ検出系の検出光の光路上の屈折率が変化しても精度良く基板面位置情報を検出してデバイスを製造できる露光方法を提供する。
【解決手段】マスクのパターンの像を投影光学系により基板上に投影して、基板を露光する露光方法であって、基板表面に複数の検出光を異なる入射角で投射するとともに、基板表面からの反射光を受光することによって、検出光及び反射光の光路の屈折率情報を検出することと、マスクのパターンの像を投影光学系により基板上に投影することを含む。 （もっと読む）