【課題】軟包装材フィルムのパッケージの表面状態を高感度で検査することができ、シールの部特定とシール幅不良のある箇所の検出が精度良くかつ高速でできるような包装体のシール幅測定装置の提供を課題とする。
【解決手段】被検査物である包装袋を保持して搬送する搬送手段と、被検査物に線状光を照射する光源と、被検査物上の前記光源からの線状光が照射された領域を撮像する撮像手段と、前記撮像手段が撮像した画像を記憶する記憶手段と、前記記憶手段により記憶された画像に対して画像処理を行い被検査物の表面状態を判定する判定手段と、を備えることを特徴とする包装袋のシール幅測定装置。 （もっと読む）

【課題】内管の周囲に巻き付けられたワイヤの巻き付け不良をタイムリーに検出する。
【解決手段】ワイヤＷを内管ゴム１４の周囲に巻き付けるワイヤ巻き付け装置２０にはワイヤ補強層検査装置１０が設けられている。ワイヤ補強層検査装置１０は、ワイヤ補強層１６の表面形状を測定する表面形状測定装置５０と、その表面形状に基づきワイヤ補強層１６の巻き付け不良を検出するコントローラ７０とを備えている。表面形状測定装置５０は、ワイヤ補強層１６にレーザ光５４を照射するレーザ光射出部５２と、反射したレーザ光５５をイメージセンサに結像させてワイヤ補強層１６の表面形状を測定する測定部５６とを備えている。回転盤２４が９０度回転する毎に、表面形状測定装置５０でワイヤ補強層１６の表面形状を測定し、コントローラ７０に取り込まれた最新の画像データと直近の画像データとを比較することで、ワイヤＷの巻き付け不良を検出する。 （もっと読む）

【課題】 電圧を印加しても泳動させることができない粒子群の粒子径を算出することができる粒子径測定装置及び粒子径測定方法を提供する。
【解決手段】 媒体が第一設定方向に通過する測定セル１と、複数の導入口１６ａが、第二設定方向で設定間隔となるように形成されており、複数の導入口１６ａから、被測定粒子群を媒体中に含有する試料を測定セル１内に導入する導入口群１６と、測定セル１内の被測定粒子群に対して、第三設定方向に測定光を照射する光源４ａと、測定セル１内の被測定粒子群に測定光を照射することにより発生する回折光による回折光強度を検出する検出器５０とを備え、被測定粒子群を測定セル１内の第一設定方向に通過させながら、媒体中で被測定粒子群を第二設定方向に拡散させていく粒子径測定装置１０であって、第一設定方向での回折光強度の変化に基づいて、被測定粒子群の粒子径を算出する粒子径算出部３５を備える。 （もっと読む）

【課題】インク液滴の着弾位置を計測する検査において、インクジェット記録ヘッドの吐出性能に起因しない計測誤差を生じず、より高精度に着弾位置を計測するインクジェット記録ヘッド検査装置およびインクジェット記録ヘッド検査方法を提供する。
【解決手段】記録ヘッドに備えられたノズルからインク液滴を吐出して記録媒体に記録を行なうインクジェット記録装置の前記記録ヘッドの吐出性能を検査する記録ヘッド検査装置であって、薄板状の第１光束を生成する第１光束生成手段と、薄板状の第２光束を生成する第２光束生成手段と、前記第１光束と前記第２光束とが、対向かつ重複するように前記第一光束および前記第二光束の生成位置を調整する光束位置調整手段と、前記記録ヘッドから吐出されたインク液滴が、前記第１光束と前記第２光束とを通過するときに発する輝点を画像に捉える撮像手段と、前記輝点の画像に基づき輝点の座標を算出する着弾位置算出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】明るさの分布を有する照明光の全体の明るさが低下するのを抑制することが可能な位相シフト画像撮像装置を提供する。
【解決手段】この部品撮像装置６０（位相シフト画像撮像装置）は、それぞれＡ方向に延びるとともにＢ方向に間隔ｄ２で略平行に配置され、それぞれ線状パターンに発光する複数の発光素子列６２ａを含み、複数の発光素子列６２ａの少なくとも一部を発光させることによりＢ方向への明るさの分布を有する照明光を生成して部品１２０に対して照射する照明部６１と、照明部６１からの照明光を用いて部品１２０を撮像する撮像素子６３とを備え、照明部６１は、発光させる発光素子列６２ａを変更することにより部品１２０に照射する照明光の明るさの分布の位置をＢ方向へ変更可能に構成されている。 （もっと読む）

物体（８）の、特に、半透明な物体の少なくとも１つの部分の形状、例えば、歯の部分の形状を、好ましくは広帯域スペクトルを有する光を発生させるための光源（１）と、多焦点の照射パターンを作成するための装置（３）と、照射パターンの複数の焦点を物体に結像するための、大きな色収差を有する対物レンズ（６）と、対物レンズを介して物体に共焦点に結像される複数の焦点の波長スペクトルを決定するための検出装置（１０）とを用いて、測定するための方法であって、各々の波長スペクトルから、各々の焦点のスペクトルのピーク位置を決定し、該ピーク位置から、結像光線（Ｚ座標）の方向における物体の広がりを計算し、多焦点の照射パターンを、光源（１）と、大きな色収差を有する対物レンズ（６）との間に設けられた複数のライトガイド（５）によって形成し、対物レンズ（６）は、ライトガイドの、物体側の端部を物体に結像し、物体から反射された光を、ライトガイドの物体側の端部に結像し、ライトガイドによって導かれかつ反射された光を、検出装置（１２）へ向ける。構造的に簡単な措置によって極めて正確な測定を行なうことができ、サンプル上の測定点のできる限り良好な分布のみならず、検出装置における最適なスペクトル分布を可能にすることが意図されることを達成するために、物体側の照射パターンは、物体側の測定点分布が、照射側および検出側のマイクロレンズの分布またはピンホールの分布に依存していないように、ライトガイド（５）を介して、形成されることが提案される。 （もっと読む）

【課題】剛体電車線の幅方向の摩耗に関する情報を得ることが可能で、剛体電車線の状態を高精度で簡易に測定する剛体電車線測定装置を提供する。
【解決手段】本発明は、レール上を移動する保守用車に搭載されて剛体電車線１０の測定を行う剛体電車線測定装置であって、ローラー支持部材１３１によって回動可能に支持されると共に、前記剛体電車線１０に接触し前記保守用車の移動に伴い回転する摺接ローラー１３２と、前記摺接ローラー１３２の回転を検出するロータリーエンコーダー１３３と、前記剛体電車線１０の幅方向にわたる形状を計測するラインレーザ型２次元形状計測センサ１４０と、前記ラインレーザ型２次元形状計測センサ１４０を移動可能に搭載するリニアレール１４１と、前記ローラー支持部材１３１と前記リニアレール１４１とが搭載される計測基台１３０と、前記摺接ローラー１３２を一定の荷重で前記剛体電車線１０に接触させる定荷重バネ１２３と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多様な表面状態を有する計測対象物に対して、高速に精度よく変位を計測する。
【解決手段】対物レンズ６を光軸に沿って移動させる共焦点光学系を備える変位センサにおいて、レーザダイオード１からの投射光を、シリンドリカルレンズ４によってスリットビームとし、光軸と直行するＹ軸側が計測対象物９０表面で集光するように絞られ、光軸と直行するＸ軸が表面からの反射光成分を平均化するために引き伸ばされた態様で照射する。計測対象物９０の表面からの反射光はレーザダイオード１と共役な位置に配置された開口５ａを通してフォトダイオード２で受光する。開口５ａは、Ｙ軸が短く且つＸ軸が長い形状のスリットである。受光信号がピークとなる対物レンズ６の位置から表面の変位を計測する。 （もっと読む）

本願発明は、１つのマイクロキャビティ測定法、および微小焦点距離コリメーションに基づく２種類の検出装置を含み、不規則なマイクロキャビティ、特に"サブマクロ"なマイクロキャビティの測定に使用することができる。本願発明においては、微小焦点距離を有する円筒レンズまたは球面レンズがファイバプローブと組み合わされて点光源の平行光結像光学システムを形成し、ファイバプローブの２次元または３次元の動きを超高感度で像の変化に変換する。本願発明は、微小測定力、高アスペクト比、および小型化の容易さ等の利点のみならず、高検出分解能、検出システムの単純な構造、および高速測定といった利点も有する。 （もっと読む）

【課題】 基板上に形成された膜厚が巨視的に見てなだらかに傾斜している場合でも、光の波長帯に依存せず、検出感度の良いムラ検査装置、およびムラ検査方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】 基板９の上面に形成された膜９２に対して異なる波長帯の光を照射し、それぞれの波長帯の光により膜９２の膜厚の変動を示すムラ画像を取得する。ムラ画像からムラを含む領域を選択し、それぞれの領域を合成することにより、基板全面において膜厚ムラが高感度に検出されたムラ画像を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】生産性を低下させることなく、精度の向上した電子写真感光体の検査方法を提供する。
【解決手段】光学検査第一工程で、電子写真感光体に白色の光を照射し、その反射光を測定し測定された電流値に基づいて、感光体の被疑欠陥の有無を判定し、電気検査第一工程で、感光体表面に導電性ローラを圧接して感光体を回転させながら直流電圧を印加し、導電性ローラから感光体へ流れる電流を測定し、測定された電流値に基づいて、感光体の欠陥の有無を判定する。検査した感光体のうち、光学検査第一工程で被疑欠陥が検出され電気検査第一工程で欠陥が検出されなかった感光体のみに対して、レーザー光を照射し、その光の反射光を測定し、測定された電流値に基づいて、感光体の被疑欠陥の有無を判定する光学検査第二工程を実施する。 （もっと読む）

本発明は、配置検出システム内で使用するための、光源によって放出された信号を検出するための光センサであって、この光センサは、ピクセル（２１）から構成されるピクセルライン（２０）を含む検出ラインを有するラインセンサと、ラインセンサの検出ラインに対して交差方向である光ストリップ上へと光源の光を映し出す光学的画像化手段（１７）であり、ラインセンサからある距離で配列され、光ストリップが検出ラインの方向において両端のそれぞれにストリップ境界遷移部を有する、光学的画像化手段（１７）とを備える。本発明の光センサは、検出ラインが、隣接するピクセル（２１）間にギャップがあるピクセルライン（２０）を含み、光センサは、ストリップ境界遷移部のうちの少なくとも一方がピクセル（２１）上へと少なくとも部分的に常に当たることを確実にする検出範囲を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】カラーライン撮像装置のライン撮像部の傾きと回転ドラムの軸方向とを容易且つ正確に調整することができる粉粒体異物検査装置を提供する。
【解決手段】粉粒体を搬送しながら平準化する粉粒体搬送機構３と、該粉粒体搬送機構から落下する粉粒体を外周面で受けて滑落位置まで搬送する透光性の回転ドラム１１と、回転ドラム１１の粉粒体落下位置から前記滑落位置までの間で、少なくとも回転ドラムを軸方向に延長するライン状照明領域１２で照明する照明機構１３と、ライン状照明領域１２を撮像するカラーライン撮像装置１４と、回転ドラム１１の外周面に着脱自在に載置する傾き検出用パターンを表示した校正部材と、前記校正部材を回転ドラムに載置した状態で、カラーライン撮像装置１４で撮像したカラー画像情報に基づいて少なくともカラーライン撮像装置１４の傾きを検出する撮像装置傾き検出部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面の３次元形状を短時間で測定できるようにした３次元形状測定装置及び３次元形状測定方法を提供する。
【解決手段】測定対象物ＯＢの表面にライン状のレーザ光を照射するレーザ照射装置と、測定対象物ＯＢの表面に照射されたライン状のレーザ光における散乱光の一部である反射光を受光する複数の受光素子からなるエリアセンサとを有する測定カメラ２０を備え、測定対象物ＯＢの表面をライン状のレーザ光によって走査する。エリアセンサの各受光素子によって受光された反射光の受光強度をそれぞれ表す受光データは、ライン状のレーザ光の照射位置ごとに記憶され、エリアセンサにおけるライン状のレーザ光の反射光による直線状の受光ラインを設定して、受光ラインの両側においてエリアセンサの幅よりも狭い所定幅内に属する受光素子による受光データのみを抽出し、３次元形状データを測定する。 （もっと読む）

【課題】欠陥散乱光の偏光特性に依存されずに欠陥像を顕在化する空間フィルタリング技術と正常パターンの明るさ飽和を抑制して欠陥捕捉率を向上する欠陥検査方法とその欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検出光路を偏光分岐して少なくても一つ以上の光路にてアレイ状の空間フィルタを配置し、正常パターンからの回折光や散乱光をフィルタリングすることを特徴とする。また、正常パターンの散乱光量に応じて照明光量或いは／及び検出効率を画像検出中に制御することにより明るさの飽和を抑制した画像を得る。 （もっと読む）

バンド付き領域及び非バンド付き領域を含有するシガレット紙を検査するためのシステム。システムは、シガレット紙の特性を表す電気信号を形成する短波赤外線カメラ（２２４）と、電気信号を解析して解析結果を提供するプロセッサとを含み、プロセッサは、各連続ピクセルが非バンド付き領域又はバンド付き領域に対応するか否かを判断するためにピクセルを連続的に調べるための論理と、連続的に調べるための論理によって提供された結果に基づいて、シガレット紙上の隣接するバンド付き領域間の間隔を計算するための論理と、連続的に調べるための論理によって提供された結果に基づいて、シガレット紙上のバンド付き領域の幅を計算するための論理とを含む。バンド付き領域及び非バンド付き領域を含有する紙を検査するためのオンライン方法も提供する。 （もっと読む）

【課題】
コヒーレント照明イメージング・システムにおいて、スペックル雑音による画像の劣化を低減する。
【解決手段】
コヒーレント光源により照明されたオブジェクトの画像や、干渉縞パターンにより照明されたオブジェクトの画像等におけるスペックル雑音を低減する方法及び装置について記述した。一の方法では、投影軸に沿って投影されたコヒーレント放射の構造的な照明パターンによりオブジェクトが照明される。上記投影軸の角度方向が、画像取得期間に或る角度範囲において変調される。好ましくは、画像取得の間は、オブジェクトの表面に投影された構造的な照明パターンの形状特徴は変化せず、スペックル雑音の低減された画像が取得される。構造的な照明パターンとして、照明されたオブジェクトの表面情報を取得する３Ｄ測定システムにより生成される干渉縞パターンなどの縞パターンを用いることができる。 （もっと読む）

【課題】光切断法による形状検査において、検査設備からの計測器の取外し等を必要とせず、検査精度に影響する検査設備についての誤差を確認・評価することができるステータコイルの形状検査方法を提供すること。
【解決手段】光切断法によるステータコイルの形状検査方法であって、撮像画像の取得に適した表面処理が施され、ステータコアに対するコイルエンドの形状に倣い所定の基準面（端面部３１ｂ）に対して略円環状に突出する部分として形成されるコイルエンド部３２を有するマスターワーク３０を用い、マスターワーク３０を検査設備にセットした状態で、スリット部５１を用い、スリット光１１がスリット５１ａに重なることを基準として、スリット光１１の照射位置の調整を行い、頂点形成部５２を用い、頂点形成部５２についての画像における頂点に対応する位置が撮像素子の中心の位置に重なることを基準として、撮像画像の撮像位置の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】被検査物の移動部位が前記測定光の光軸方向に移動した位置情報を検出するに際し、精度を劣化させず、装置の簡素化と低価格化を図ることが可能な光断層画像撮像装置を提供する。
【解決手段】被検査物によって反射あるいは散乱された測定光による戻り光と、参照ミラーによって反射された参照光とを用い、前記被検査物の断層画像を撮像する光断層画像撮像装置であって、
参照ミラーの反射位置を制御する反射位置制御手段と、
照明用の光学系によって照明された被検査物の移動部位を、シャインプルーフの原理に基づいてエリアセンサに結像させて観察する移動部位観察用の光学系を備え、該移動部位が前記測定光の光軸方向に移動した際の位置情報を検出する移動部位の位置検出手段と、
移動部位の位置検出手段によって検出された位置情報を元に、前記反射位置制御手段を駆動して参照光の光路長を制御する手段と、を有する構成とする。 （もっと読む）

本発明は光路長差判定及び光干渉断層撮影の方法に関し、次の各工程、つまり、空間単一モードにて発光するか、適切な手段（Ｆ）により発光が空間単一モードに制限される光源（ＳＱ、ＢＱ）により空間コヒーレントな光を発生させる工程と、前記光源からの光の少なくとも一部を２つの空間的に離れた光路に分割する工程と、少なくとも２つの検出器（Ｄ）か少なくとも２つの検出素子（Ｄ）を有する１つの検出器（Ｄ、Ａ）及び光線を誘導するための他の手段（Ｓ、Ｔ、ＢＰ、Ｆ、Ｑ、Ｌ、Ｇ、Ｚ）を用い、参照光路及び測定光路の光を検出器／検出素子（Ｄ）に導いて干渉させる工程と、検出器／検出素子（Ｄ）における光強度を受け取り分析してデータセットを得る工程と、データセットの数値的分析及び表示を行い、試料（Ｐ）又は試料（Ｐ）内の構造における空間的位置及び反射又は散乱の強度の両方を求める工程とを有する。
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