【課題】外観検査において、全体の欠陥捕捉率を高く維持しながら虚報を抑制することにより実質感度を向上する技術を提供することにある。
【解決手段】外観検査において、予備検査を行って、欠陥候補の検出と同時に少なくとも１ダイ分の画像情報（背景情報）を取得し、該取得した画像情報と検出された欠陥候補のダイ内座標位置情報を重ねて表示し、それらの情報（背景の類似と欠陥候補の密集状態）を基に虚報のグループを推定して非検査領域あるいは感度低下領域を設定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】帯状被検査体に開口を設けたり、溶接線を利用したりして検査性能を診断する場合の不具合を避け、ラインを停止させることなく安定的に検査性能を診断できるようにする。
【解決手段】搬送される鋼板１０２の表面に光を照射する光源１０３と、鋼板１０２からの反射光を受光して撮像するカメラ１０７と、光源１０３と鋼板１０２との間に配置され、光源１０３の光の透過率を変化させることのできる液晶パネル１０５とを備える。表面検査システムの検査性能を診断するときに、鋼板１０２の搬送速度に応じて液晶パネル１０５による投影時間を変えたり、液晶パネル１０５による透過率を変化させて影の輝度を変えたりすれば、様々な大きさや形状、輝度の疵に対する検査性能を保証することができる。 （もっと読む）

【課題】 被検出体の姿勢が変化する場合においても、被検出体の位置や姿勢を高い精度で検出することができる位置検出装置および天秤装置を提供する
【解決手段】 被検出体における所定領域に向けて照明光を出射する複数の発光素子を有する照明部１３Ｙ−１，１３Ｙ−２，１３Ｚ−１，１３Ｚ−２と、所定領域における照度分布が均一になるように、複数の発光素子から出射される照明光の光量を制御する光量制御部２７と、所定領域の画像を撮像する撮像部１１Ｙ，１１Ｚと、撮像部１１Ｙ，１１Ｚにより撮像された画像に基づいて、被検出体の位置および姿勢の少なくとも一方を検出する検出部２１と、が設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 表面欠陥の良否判別をより詳細に実施する表面検査装置を提供する
【解決手段】 本発明の表面検査装置は、偏光観察状態では、偏光方向の異なる２つの偏光素子を照明光路と受光光路にそれぞれ設け、照明光の振動面に対して被検基板のパターンを斜め向きに設定する。この状態で受光光路の光束を結像して光強度信号を生成する。この光強度信号の第１信号レベルを、予め記憶する良否の判定条件（第１条件）で良否判定する。一方、本発明の表面検査装置は、偏光素子の少なくとも一方を光路から外してオープン観察状態とする。この状態で得られる光強度信号の第２信号レベルを、予め記憶する良否の判定条件（第２条件）で良否判定する。この２種類の良否判定によって被検基板の良否判定を一段と詳細に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】高密度の被計測物群を精度良く計測することができるディジタルホログラフィ計測装置を提供する。
【解決手段】ディジタルホログラム像再生を用いて、３次元空間内での微小な被計測物の物理量を計測するディジタルホログラフィ計測装置において、光源からの再生光の照射方向に対して垂直な撮像面を備えた撮像手段により生成されたホログラム画像に対して再生光を数値的に照射しつつ、該ホログラム画像に対して垂直な奥行き方向におけるそれぞれ異なる位置での各再生面上での光振幅分布を算出し、算出された各光振幅分布の位相を、上記各再生面上での基準位相に対する相対位相として算出し、算出された各相対位相の分布に基づき、上記被計測物の物理量を計測する。 （もっと読む）

【課題】位相シフトデジタルホログラフィを用いた変位計測において、3次元変位計測を一挙に且つ短時間で行う手法を提供する。また、変位計測手法によって得られた変位分布からひずみ分布を算出する手法も提供する。
【解決手段】a) 計測物体に３つの異なる方向から同一波長の物体光を照射し、b) 物体光と同一波長を有する３つの参照光と計測物体からの反射光との干渉像を、各参照光の位相を互いに異なる速度で物体光に対して変化させつつ複数枚、２次元撮像素子で撮影し、c) フーリエ変換を用いて位相変化速度の異なる干渉成分を抽出することにより３つの物体光による干渉像を分離し、d) 各干渉像より、各物体光の照射方向に応じた方向の計測物体の変位分布を計測することにより計測物体の３次元変位を計測する。 （もっと読む）

【課題】 被検体の計測における光の利用効率を向上させるとともに、波長依存性を無くして光学系の構成を簡略化した光干渉装置を提供すること。
【解決手段】 光出射部１はコントローラ４からの駆動信号に基づいて光発生器１０から異なる特定波長を有する近赤外線可干渉光を光干渉部２に出射する。光干渉部２は、透過孔２１ｄによって低反射領域が形成されたビームスプリッタ２１により、入射した近赤外線可干渉光の大部分を被検体に透過するとともに一部を可動ミラー２２に反射する。そして、ビームスプリッタ２１は、被検体で反射した計測光と可動ミラー２２で反射した参照光とを干渉させ、干渉した干渉光を光検出部３に出射する。光検出部３は入射した干渉光を受光するとともに同干渉光の光量分布を用いて被検体に関する所定の情報を算出する。そして、表示部５は算出された所定の情報を所定の態様で表示する。 （もっと読む）

【課題】 被検面の面位置を正確に検出することができる面位置検出装置を提供する。
【解決手段】 光源１ａから供給される検出光を被検面Ｗ上に斜め方向から送光する送光光学系ＳＬと、前記被検面Ｗで反射された前記検出光を受光する受光光学系ＲＬと、前記受光光学系ＲＬを介した前記検出光を検出する検出器３８とを備え、前記検出器３８の出力に基づいて前記被検面Ｗの面位置を検出する面位置検出装置２において、前記検出光の波長は、近赤外波長を含む。 （もっと読む）

【課題】温度変化や振動等の環境に強い光画像計測装置を提供する。
【解決手段】光カプラ４は、直線偏光の低コヒーレンス光Ｌ０を、それと同じ偏光軸方向を有する直線偏光の信号光ＬＳと参照光ＬＲとに分割する。信号光ＬＳは、ＰＭファイバ６により偏光軸方向を保持しつつ被検眼Ｅに導光され、眼底Ｅｒを経由後、このＰＭファイバ６を通じて光カプラ４に戻ってくる。参照光ＬＲは、ＰＭファイバ５により偏光軸方向を保持しつつ参照ミラー１４に導光され、参照ミラー１４に反射された後、このＰＭファイバ５を通じて光カプラ４に戻ってくる。光カプラ４に戻ってきた信号光ＬＳと参照光ＬＲは、互いに重畳されて干渉光ＬＣを生成する。干渉光ＬＣは、スペクトロメータ３０により検出され、その検出信号に基づいてコンピュータ４０が被検眼Ｅの画像を形成する。 （もっと読む）

【課題】シリコンウエーハの終端縁部あるいは終端縁部に設けられるノッチなどの立体的な鏡面状の表面の欠陥検査を行う表面欠陥検査装置の場合、精密な画像を得ようとすると、多数台の撮像カメラが必要となる。本発明は、シリコンウエーハの終端縁部あるいは終端縁部に設けられたノッチ部のような立体的な部位の撮像検査において、装置の構成を簡単化するとともに、装置にかかる費用の削減を図ることを目的とする。
【解決手段】 検査対象物を撮像する１台の撮像手段と、扁平光源照明装置などの広い角度で入射する均一な拡散光照明手段と、前記撮像手段の光学系の光軸と同軸に照射する第２の拡散光照明手段と、撮像手段と正対しない撮像対象部位を撮像する光路屈折手段と、前記撮像手段の撮像データを演算処理する画像処理手段とから構成され、立体的形状の検査対象物の複数の部位を１台の撮像手段で同時に撮像する。 （もっと読む）

【課題】基準レンズがなくても被検光学素子の面形状誤差、面間偏心誤差、屈折率分布等を一度の測定で検知し、被検光学素子の合否を判定できる検査装置。
【解決手段】光源１１と、光源１１からの光束を被検光束Ｍと参照光束Ｒに分割する光束分割手段１８と、被検光学素子２２が配置される被検光束Ｍ中に配置され、設計値に基づく被検光学素子２２の透過波面を略平面に変換する補正光学系２３と、補正光学系２３を透過した被検光束Ｍと被検光束Ｍとは異なる光路を経て平行光束とされた参照光束Ｒとを合成する光束合成手段２６と、光束合成手段２６を透過した光束を撮像する撮像手段２８と、撮像手段２８によって形成された干渉縞に基づいて被検光学素子２２を透過した波面に係るパラメータを算出するパラメータ算出手段３１と、パラメータに基づいて被検光学素子２２の評価値を算出する評価値演算手段３１とを備えた光学素子検査装置。 （もっと読む）

【課題】３次元形状の測定の際生じる影領域を除去する。
【解決手段】３次元形状測定装置はＸ−Ｙステージと、第１及び第２照明と、前記第１及び第２照明の一側に設置される複数個の投影レンズと、前記照明と前記投影レンズの間に複数個の格子が形成される格子板と、前記格子板を前記第１及び第２照明の照射方向と垂直な方向に移動さる投影部移送手段と、からなる投影部と、前記投影部の一側に位置して互いに一定な間隔を置いて設置される多数個のミラーと、前記多数個のミラーの下側に設置され多数個のミラーを経由した光の特性を調節して透過させる第１及び第２フィルタと、前記フィルタの間に設置され検査対象物に光を照射する第３照明からなる光経路変換器と、第３フィルタと、前記第３フィルタを経由した光を結像するために第３フィルタの上側に設置される結像レンズと、前記結像レンズを透過した映像を撮影する結像カメラと、からなる結像部を具備する。 （もっと読む）

【課題】走査光学系の光学特性である倍率誤差、走査線曲がり量及びビームスポット径を高精度に短時間で計測でき、その計測結果と設定された公差に基づいて被検査対象の走査レンズを良否判定して走査レンズの品質を検査する検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１は、主走査方向及び副走査方向に移動可能な二軸構成の移動ステージ上に搭載されたビーム計測部１７と、計測部ＣＰＵ２３とを備える。計測部ＣＰＵ２３は、主走査方向ビーム位置算出部３７、副走査方向ビーム位置算出部３８、ビーム径算出部３９、光学特性算出部４０及び良否判定部３５を備え、光学特性算出部４０は、ビーム位置と偏向角回転手段１１の偏向角度とビーム径とから倍率誤差、走査線曲がり量及びビームスポット径を算出し、良否判定部３５は、その算出結果及び設定公差に基づき良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】 分光光学系で光学部材の位置ずれが生じても、信頼性の高い断層画像や光学表面プロファイルを得る。
【解決手段】 参照光と測定光の反射光とを合成し干渉させる干渉光学系と、得られた干渉光を周波数毎に分光し，分光された干渉光を受光手段に受光させる分光光学系と、受光手段からの受光信号に基づいて被検眼の画像情報を取得する眼科装置において、分光光学系の各光学部材が所定の位置関係にある分光光学系に対して前記キャリブレーション用の光束を導光し，導光されたキャリブレーション用の光束を分光光学系を介して前記受光手段に受光させることによって得られる分光情報を予め基準分光情報として予め記憶し、基準分光情報が記憶された状態でキャリブレーション用の光束を受光手段に受光させることによって得られる分光情報と前記基準分光情報とに基づいて受光手段と分光光学系に設けられた他の光学部材との相対的な位置関係を調整する。 （もっと読む）

【課題】環境光の影響を除去するように差分をとった振幅画像を用い、受光出力の飽和を抑制することで、有意の振幅画像が得られる空間情報の検出装置を提供することにある。
【解決手段】投光手段２は点灯と消灯とを交互に繰り返し対象物Ｏｂに信号光を照射する。撮像手段１は対象物Ｏｂで反射された信号光を受光し、各画素ごとに受光光量の変化に応じた受光出力を発生する。差分演算手段４は、変調信号に同期して点灯期間と消灯期間との受光出力の差分を各画素ごとに求め、振幅画像生成手段５は差分演算手段４で求めた各画素の差分を画素値に持つ振幅画像を生成する。飽和判定手段６は点灯期間の受光出力と飽和閾値との大小を比較する。受光出力が飽和閾値より大きいと判断されると、差分演算手段４の出力値が最大になり、領域指定手段７、輝度検出手段８、補正処理手段９を通して受光出力が低下するように受光光学系１１または光照射手段２１を調節する。 （もっと読む）

記載無し。 （もっと読む）

【課題】物体の面内・面外変位を同時に計測することができる、位相シフトデジタルホログラフィを用いた変位計測方法及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】２光束を異なった方向から同じ入射角度で順番に変位前後の物体に投影し、参照光の位相を所定量だけ順次シフトさせながらＣＣＤカメラで撮影し、それぞれの入射光で変位によって生じた位相分布を求め、その位相分布の差を求めることで面内変位を表す位相分布を得て、和を求めることで面外変位を表す位相分布を得る。 （もっと読む）

【課題】球面波参照光を用いた位相シフトデジタルホログラフィの再生方法と、球面波参照光を用いた位相シフトデジタルホログラフィを用いる変位分布計測方法を提供する。
【解決手段】物体の変位前後で球面波参照光の位相を所定量だけ順次シフトさせながら物体の像をＣＣＤカメラで各々５回撮像して各々５つの干渉縞をデジタルホログラフィとして記録し、このようにして得られた各５つの干渉縞に等速位相シフト法を用いて変位前後のＣＣＤ面上での複素振幅分布を得て、これらの変位前後のＣＣＤ面上での複素振幅分布からフレネル変換によって変位前後の物体面の複素振幅分布を得て、変位前後の物体面の複素振幅分布から位相差分布を得る。 （もっと読む）

【課題】計測範囲を拡大した位相シフトデジタルホログラフィ変位分布計測装置を提供する。
【解決手段】平行なレーザ光を発生するレーザ光源手段と、前記レーザ光源手段が発生したレーザ光を２方向に分割するビーム分割手段と、前記ビーム分割手段によって分割されたレーザ光の一方から参照光を形成する参照光形成手段と、撮像手段とを具え、前記ビーム分割手段によって分割されたレーザ光の他方は、物体に反射され、物体光として前記撮像手段に入射し、前記参照光も前記撮像手段に入射し、前記撮像手段は前記物体光と前記参照光からデジタルホログラムを形成するように構成された変位分布計測装置において、前記撮像手段と物体との間に、前記物体光が通過する凹レンズを配置した。 （もっと読む）

【課題】
暗視野照明・反射散乱光検出を備えた欠陥検査装置において、検出器の変更のみで検査装置の感度を向上させる方法を提供すること。
【解決手段】
一次元もしくは二次元の光電変換イメージセンサの前段もしくは後段に電子増倍手段を有する検出器を有し、照明光を検査対象の斜方より照明する照明手段と検査対象からの反射散乱光を斜方もしくは上方に配した検出器で受光する検出手段を有し、検査対象を搭載したステージを走査するかもしくは検出器を走査することにより光学的に画像を取得し、画像処理等により検査対象の欠陥等を検査する。 （もっと読む）