【課題】 撮像画像に生じるボケを補正し正確な欠陥認識を行う。
【解決手段】 フラットパネルディスプレイの既知画像３１をカメラで撮像し各画素位置に対応したカメラ座標３５での濃度値を取得する。フラットパネルディスプレイの各画素位置に対応するＦＰＤ座標４１に、対応するカメラ座標の座標位置を関連付けて座標対応表４２を形成する。このとき、座標を濃度値に基づいて小数点以下の値まで求め、小数点以下の値が同じ値のものを集めて各値毎にサブピクセル座標５１，５２を形成して各サブピクセル座標別に近傍画像濃度分布を形成する。検査時に取得した検査用カメラ座標での濃度値を対応表４１に基づいてフラットパネルディスプレイの各画素位置に対応した検査用対応座標に変換し、近傍濃度分布によりフラットパネルディスプレイの発光輝度に対応する推定画像を形成して欠陥検査を行う。 （もっと読む）

本発明は、光源（１）からの光を入力光路を介して受光し、測定光路と参照光路に分割するビームスプリッタ（２）と、測定対象（４）と参照（６）から反射されて干渉の生じた光が出力光路を介して電気的な信号に変換されるために供給される画像記録装置（９）と、前記信号から表面形状を検出するための評価回路と、光強度または干渉光から得られた信号を適合するための適応装置（３，５）とを用いて、測定対象を三次元的に形状測定するための干渉測定装置に関する。測定精度を高めるために、測定装置の少なくとも横方向の解像度を超えて広がる表面の平面状の領域を測定するための測定装置が構成されており、光および／またはこの光から得られる信号の強度を、測定光学系に関して表面の局所的に異なる反射特性に依存して適合させるために適応装置（３，５）が構成されている措置が寄与する。
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【課題】 検査対象からの反射光もしくは回折光が検査対象のパターン密度に応じて変化する光学条件においても検出視野内でのイメージセンサの感度を均一にする。
【解決手段】 検査対象からの反射光もしくは回折光成分の分布を変更可能な複数の光学条件を任意に選択可能で、かつ、一次元もしくは二次元の光電変換イメージセンサを有し、検査対象を搭載したステージを走査するかもしくはイメージセンサを走査することにより光学的に画像を取得し、画像処理等により検査対象の欠陥等を検査する検査装置において、光学条件（照明光学系、検出光学系、走査方向等）毎に検査対象試料を撮像して取得したイメージセンサ検出視野内での光量分布とコントラストから、イメージセンサ出力補正データを生成し、イメージセンサ出力の補正を行う。 （もっと読む）

【課題】 大きい物体、形状が複雑な測定対象物でも、運動パラメータを簡単かつ高精度に求め、高精度の三次元形状を得る計測システム等を提供する。
【解決手段】 測定対象物１６３に正弦波格子パターンを投射する格子パターン投射手段１０１と、格子パターン投射手段を一定の方向に一定量ずつ移動させる格子駆動手段と、独自の原点と座標軸からなる座標系を有し、正弦波格子パターンが投射された測定対象物の画像を撮影する画像撮影手段１００と、画像撮影手段を移動させる移動手段と、測定対象物に正弦波格子パターンを投射する補助的な第２の格子パターン投射手段１６２と、第２の格子パターン投射手段を一定の方向に一定量ずつ移動させる第２の格子駆動手段と、移動前後の画像撮影手段の各々の座標系を一致させる統合キャリブレーション手段とを備える三次元形状計測システム等。 （もっと読む）

【課題】高精度な露光を実現する。
【解決手段】ステップ４１１では、ステップ４０５で計測された今回の計測結果のみによりＥＧＡ演算を行って算出されたパラメータａ_jkに従うモデルＭのペナルティ付き対数尤度ＰＬ（Ｍ）を算出する。ステップ４１９では、行列Ｔを参照し、ζより大きいＴ_jkに対応するパラメータａ_jkの重み付け平均値ａ’_jk^(s)を式（１）に適用した場合のペナルティ付き対数尤度ＰＬ（Ｍ’）の値を算出する。そして、ステップ４２１においてＰＬ（Ｍ’）＜ＰＬ（Ｍ）が否定されるか、ζ＝０となるまで、ζを１デクリメントし、ステップ４２５においてモデルＭをモデルＭ’に置換し、上記処理を繰り返し、最終的にＰＬの値が良好であったモデルを、最適モデルとして選択する。ステップ４３３では、重み付け平均値が選択されなかった重みｗを０に初期化する。 （もっと読む）

拡散性基準表面を備えるように周波数走査型干渉計が改変される。照明システムが拡大する測定ビームをつくり、測定ビームの部分が被検物体表面及び拡散性基準表面から反射して、収斂経路上を像映システムに向かう。物体表面を基準表面に対して測定するために、重なり合う物体表面の像と基準表面の像の間の干渉パターンが複数の周波数で収集される。
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【課題】 対象物の位置に感度が依存せず、対象物の動きを正確に把握することができる動き検出装置を提供する。
【解決手段】 対象領域に複数の輝点を投影する投影装置１１と、複数の輝点が投影された対象領域を撮像する撮像装置１２と、撮像された像上の複数の輝点の移動に基づいて、対象領域に存在する対象物の動きを測定する測定手段１４と、対象領域内の平面上で複数の輝点の隣り合う輝点の各間隔が等しくない場合に、対象物の動きを当該輝点又は当該輝点を含む領域の撮像された位置に応じて補正する補正手段２４、２４ａとを備えるので、対象物の位置に感度が依存せず、対象物の動きを正確に把握することができる動き検出装置を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 モニタ用のカメラと三角測量用のカメラで同じカメラパラメータを採用できるようにする。
【解決手段】 プロジェクタ１０からのパターン光がハーフミラー４０で反射され被写体５０に投影される。被写体５０からの投影光はハーフミラー４０を透過してモニター用の第１カメラ２０に案内される。被写体５０からの投影光はＮＤフィルタ３１を介して三角測量用の第２カメラ３０に案内される。ハーフミラー４０の透過率とＮＤフィルタ３１の透過率を実質的に同じにして第１カメラ２０の画像および第２カメラ３０の画像の明るさが実質的に等しくなるようにする。カメラパラメータを同一にしても両者の明るさが同じであるのでダイナミックレンジを揃えて計測を最適化できる。 （もっと読む）

【課題】 検出光量（強度）分布の均一化された光学式座標入力装置を提供する。
【解決手段】 光路上に、発光手段近傍或いは受光検出手段近傍或いは、発光手段且つ受光検出手段近傍、或いは、反射手段近傍に、各々の光路方向により光路に対する面の傾斜角度が異なる複数の面を有する透光部材を配置する。 （もっと読む）

【課題】ベースラインを精度を維持しつつ高スループットなベースライン管理を可能にする。
【解決手段】パターンが形成されたレチクルに対して照射される照明光の照射に関する情報と、所定のモデル式とに基づいて、割り込み処理によりマーク検出系のベースラインの変動量を推定する。そして、複数枚のウエハに対する露光処理を連続的に行う場合に、所定枚数のおきにウエハの露光開始に先立って基準となるベースラインを計測しておく（ステップ１２４）。そして、そのベースライン計測間隔では、実際にベースラインを計測することなく、ウエハの上の各ショット領域の露光開始直前毎に、推定されたベースラインの変動量と基準となるベースラインとに基づいて、ベースライン推定値を精度良く算出する（ステップ１４９）。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で測定精度の高い光学式物理量測定装置とすることができる。
【解決手段】 光源１１からの光をスラント型グレーティング１３で受光して波長が長くなるのに応じて傾斜波長範囲内で透過光強度が傾斜状に変化するようにし、スラント型グレーティング１３からの光をブラッググレーティング１５で受光して傾斜波長範囲内で所定波長幅の透過特性が１つある光を透過させ、ブラッググレーティング１５からの光を受光部１７で受光して受光強度に変換することで、ブラッググレーティング１５に加わる物理量の変動を受光部１７により受光強度に変換する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、干渉縞の測定に際し、光強度の異なる箇所が同一視野内に混在している場合においても、Ｓ／Ｎ比よく位相情報を抽出することができる干渉画像測定装置を提供することにある。
【解決手段】 干渉光を検出して干渉縞画像を撮像する画像検出手段１２を備え、撮像した干渉縞画像に基づいて位相情報を取得する干渉画像測定装置１０であって、
検出する干渉光の領域毎の光強度振幅情報と、該領域の空間的な配置情報とに基き、前記画像検出手段１２に入射する光量を調整、もしくは前記画像検出手段１２の信号レベル範囲を調整して干渉縞画像を撮像することによって、
同一視野内の領域ごとに異なる光強度振幅を有する干渉光から、各領域での光強度振幅の範囲を画像検出手段の信号レベル範囲と適合するように調整された一つの干渉縞画像を取得することを特徴とする干渉画像測定装置。 （もっと読む）

サンプルを検査する装置は、サンプルの表面のエリアに光学放射を向けるように適応された放射ソースと、複数の像センサとを備えている。各像センサは、上記エリアから異なる各々の角度範囲へ散乱された放射を受け取って、上記エリアの各像を形成するように構成される。像プロセッサは、各像の少なくとも１つを処理して表面上の欠陥を検出するように適応される。
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表面に対して斜めのビュー角度に沿って表面のエリアを像形成するための装置は、ビュー角度に向けられた光学軸に沿ってエリアから光学放射を収集することによりエリアの初期傾斜像を形成するように適応された無限焦点光学リレー(192)を備えている。傾斜補正ユニット(194)が、初期像の傾斜を補正するように結合されて、実質的に無歪の中間像を形成する。中間像を像検出器に収束するために拡大モジュール(198)が結合される。
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位相感知分光的符号化撮像を使用する、三次元表面測定値を得るための方法および装置が記述される。横方向および深度の両者についての情報は、単一モード光ファイバを介して送信され、本手法を小型プローブへの組み込むことが可能となる。
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