【課題】 高感度、かつ高精度なマイケルソン光干渉計及びこのマイケルソン光干渉系を用いた熱膨張計を提供する。
【解決手段】 マイケルソン干渉計を、レーザー発振器２１と、このレーザー発振器２１から発せられ、試料面Ｓ１及び基準面４５１でそれぞれ反射したレーザー光Ｌ１１、Ｌ１２を相互に干渉させ、その干渉光Ｌ４を照射面２８に照射して複数の明暗パターンからなる干渉縞Ｉを生じさせる干渉縞発生手段とを有するマイケルソン光干渉計において、レーザー発振器４１と干渉縞発生手段との間に光路差発生手段２４を設け、この光路差発生手段２４に入射された各レーザー光Ｌ１１、Ｌ１２を基準面２５１及び試料面Ｓ１との間で４往復させるように光路差発生手段２４を構成し、この光路差発生手段２４からレーザー光Ｌ１１、Ｌ１２を干渉させるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 酸化膜などの透明膜が存在する被検査対象に対して、回路パターンに起因するノイズを低減させることで、実害になる異物又は欠陥を高感度に検出可能とする。
【解決手段】 基板試料を載置してＸ-Ｙ-Ｚ-θの各方向へ任意に移動可能なステージ部と、回路パターンを斜方から照射する照明系と、照明された検査領域を上方および斜方から検出器上に結像する結像光学系とを有し、該照明系の照射により前記回路パターン上に発生する散乱光および回折光を集光する。更に、回路パターンの直線部分からの回折光を遮光するためにフーリエ変換面上に設けた空間フィルタを有する。更に、上記検出器で受光された上記照射された試料上からの散乱反射光を電気信号に変換し、該変換された電気信号を繰り返すチップ間で比較して不一致により試料上の異物として検査する。 （もっと読む）

【課題】従来、人間によって指定又は調整を行なわなければならず問題であった基準マークの登録、ＸＹθステージと同上システムとの間の座標軸の自由度調整、カメラの配置位置がＸＹθステージの表裏どちら側かの判定・調整および基準マークのカメラ視野内への捕捉を完全に自動化したＸＹθステージ位置アライメントシステムを提供する。
【解決手段】カメラの視野から幾何学的に特徴的なパターンを特別な画像処理アルゴリズムにより基準マークとして抽出・登録し、ＸＹθステージの所定の動作に対するカメラの撮像画像上での動きを計測してＸＹθステージの座標軸の方向・符号と位置アライメントシステムのそれとの関係の調整と、カメラのＸＹθステージに対する配置位置がＸＹθステージの表裏どちら側にあるかの判定・同上システムでの調整を行い、また独自の視野移動方法で基準マーク含む探索パターンのカメラ視野内への捕捉を自動的に行う。 （もっと読む）

【課題】 マーカーが小さくても発見や認識が容易で、撮像における被写体フレームから多少はみ出してもマーカー中心位置を知るための方法と装置を提供すること。
【解決手段】 光学式モーションキャプチャシステムにおいて、被写体に対向する受光手段の前面に配設される合焦調整手段によって、受光手段で受けるマーカー像を非合焦状態、または波長によって合焦・非合焦状態を選択させることで、マーカー像を通常の合焦状態はもとより非合焦状態によるより大きな像として撮像し、それ故に得られた撮像画像中のマーカー発見を容易にしたり、またマーカー中心位置が多少被写体フレームからはみ出したとしても中心を含まないマーカー像からマーカー像の中心位置を算出し、その位置がマーカーの位置に対応すると特定する。 （もっと読む）

【課題】
レーザードップラーを用いた速度測定装置において、速度測定装置とレーザー光源とを分離して、速度測定措置のみを飛しょう体に搭載することによって、製造コスト削減、及び、小型化を目的とした速度測定装置。
【解決手段】
被測定物にレーザー光を照射し、ドップラーシフトした被測定物からの投光ビームの反射光の強度を反射光の周波数に応じた強度に変換し、変換された強度と投光ビームとの強度とから速度を算出することを特徴とする速度測定方法。さらに、その速度分布情報から被測定物の形状を識別する。 （もっと読む）

【課題】照明光を短波長化しなくても、確実に繰り返しピッチの微細化に対応できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】本発明の表面検査装置は、被検査基板を照明するための直線偏光の発散光束を射出する光源手段と、前記直線偏光の発散光束を該光束の主光線が所定の入射角を有するように入射して前記被検査基板に導く光学部材と、前記検査基板からの光束のうち前記直線偏光とは偏光方向が直交する直線偏光を受光する受光手段と、前記光源手段と前記受光手段との間の光路中に配置され、前記光学部材に起因して発生する偏光面の乱れを解消する少なくとも１つの偏光補正部材と、を有し、前記受光手段で受光した光に基づいて前記被検査基板の表面の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構成で露光装置のスループットを向上可能な位置計測方法及び位置計測装置を提供する。高集積度のデバイスを効率及び歩留まりよく製造可能な露光方法及び露光装置、デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 複数のフォーカス位置で、各フォーカス位置毎にＲＡマークＲＭの中心線パターンＲＭｃの像を撮像して得られた複数のマーク信号に基づいて、ＲＡマークＲＭの位置を計測するのに最適なフォーカス状態を特定する。複数のマーク信号の中から、特定された最適なフォーカス状態下もしくはその近傍のフォーカス状態下に相当するマーク信号を抽出し、該抽出されたマーク信号に基づいてＲＡマークＲＭの位置計測を行う （もっと読む）

受け取る光の強度に応じた出力信号を出力する撮像デバイスの位置を検出する位置検出装置であって、光を発生する光源と、光源が発生する光を、撮像デバイスの上に照射する照射レンズと、照射レンズを介して受光した光に応じて撮像デバイスが出力する出力信号に基づいて、照射レンズに対する撮像デバイスの相対位置を検出する位置検出部と、位置検出部が検出した相対位置に基づき、撮像デバイス及び照射レンズの少なくとも一方を移動させることにより、撮像デバイスの相対位置を、予め定められた位置に変化させる移動部とを備える。
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【課題】
欠陥を高い精度で分類することができる検査装置を提供することにある。
【解決手段】
明るさが近いダイ間の画像信号同士の差分画像信号に対して欠陥検出しきい値と該欠陥検出しきい値よりも低い特徴量抽出のしきい値とを設けることで、欠陥の各種特徴量を精度よく抽出する検査装置。 （もっと読む）

【課題】
固体と液体との界面の位置あるいは表面形状を正確に測定することができる測定方法及び測定装置を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる測定装置は、光源１１からの光を分岐して第１の可干渉光６１と第２の可干渉光６２とを生成するＰＢＳ３２と、第１の可干渉光６１及び第２の可干渉光６２を容器の固体が取り付けられた面から容器の内側に入射させるレンズ４２であって、第１の可干渉光６１を参照面に集光して照射し、第２の可干渉光６２を界面に集光して照射するレンズ４２と、ＰＢＳ３２によって合成された光を共焦点光学系を介して検出し、干渉光の強度に応じた検出信号を出力する検出器７２と、検出信号に基づいて第１の可干渉光６１と第２の可干渉光６２との位相差を求め、位相差に基づいて界面の位置を測定する処理装置５９とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単なカメラを提供すること。
【解決手段】特定の輻射パターンを持つ投射光を被写体に照射するストロボ５０５、５０６を有し、ストロボ５０５、５０６の被写体反射光を撮像し、撮像した画像の光強度を用いて奥行き画像を得る、形状計測用または被写体抽出用のカメラであって、ストロボ５０５、５０６の発光なしの状態にて動画像を撮像し記録メディアに録画できるビデオカメラ５３３を兼ねており、ストロボ５０５、５０６が発光した時に撮像した画像データにインデックス信号を付加しておき、インデックス信号が付加された特定の画像のみを用いて奥行き画像を算出する。 （もっと読む）

【課題】 精密計測装置に用いることができる計測素子を提供する。
【解決手段】低コヒーレント光を含む光源と、該光源からの光線を２本の光線に分岐する光分岐／合流部と、分岐された光線の一方が照射される対象物が設置されるステージ部と、前記光分岐／合流部と前記ステージ部との光路の間に設けられた光を集光する集光部と、分岐された光線の他の一方が照射されるミラー部とを有し、前記対象物からの反射光（１）と前記ミラーからの反射光（２）を前記光分岐／合流部により再度合流させて干渉させ、前記対象物またはミラーの位置を、移動させることにより、前記対象物からの反射光（２）の光路長が同一となる位置を、光路長が同一の時に振幅が最大になる干渉波形の包絡線にフィッティングした理論曲線のピークの位置から求め、さらに、前記干渉波形の位相差から対象物の位置を特定することを特徴とする、計測素子。 （もっと読む）

【課題】 高速回転する回転工具の振れが，加工形状精度の劣化を来すため，回転工具の切れ刃稜の振れを高精度に測定可能にし，この振れを補正できるようにする．
【解決手段】 光源モジュールと，回転工具の切れ刃稜の中心と，共焦点をもつ２個のレンズと，撮像素子を，共通する一つの光軸上にこの順に並べ，該レンズの他の２つの焦点のうち，光源モジュール側の焦点には切れ刃稜のボール中心を，もう一方の焦点には撮像素子を，また共焦点にはアンチピンホールフィルタを配置し，撮像素子から得られた電気信号をパソコンに導入して，切れ刃稜のエッジ像の鮮明度を向上させている． （もっと読む）

【課題】 極低速回転から１００，０００／ｍｉｎ以上の高速回転領域において，回転工具の切れ刃稜の振れをサブミクロン精度で測定可能にすることにある．
【解決手段】 回転工具の切れ刃稜とレンズＢの前側焦点が一致するようにレンズＢを配置し，レンズＢの後側焦点に減光フィルタを配置し，レンズＣの前側焦点をレンズＢの後側焦点と一致させ，レンズＣの後側焦点に撮像素子を配置することにより，該撮像素子より切れ刃稜のフラウンフォファ像または陰影回折像を取得し，回転工具のボール中心位置の算出精度を向上させ，振れを計算している． （もっと読む）

【課題】
微細なパターンを高い分解能で検出する欠陥検査方法、その装置及び半導体基板を高歩留まりで製造する方法を提供する。
【解決手段】
Ｘｅランプ３、楕円鏡４、マスク５とからなる輪帯状の照明を形成するランプハウス２４は、輪帯状の照明光を、ＸＹＺステージ２上に載置された微細パターンを形成したウエハ（被検査対象物）１を、コリメータレンズ６、光量調整用フイルタ１４及びコンデンサレンズ７を介して、円又は楕円偏光変換素子により円又は楕円偏光させて、対物レンズ９を介して照明し、その反射光をハーフミラー８ａ、８ｂ、ズームレンズ１３を介し、反射光の画像をイメージセンサ１２ａにより検出する。ステージＸＹＺを移動させ、センサ１２ａにより走査し画像信号を得る。この画像出力をＡ／Ｄ変換器１５ａにより変換して基準画像と比較して不一致を欠陥として検出するものである。 （もっと読む）

【課題】円筒体９０に対する表面検査と回転フレ検査とを並行して行う。
【解決手段】円筒体９０に計測光４３を照射する発光部４１、および前記発光部４１による計測光４３を受光する受光部４２を有し、前記円筒体９０の回転フレ量を計測する回転フレ計測手段４と、前記円筒体９０の外表面を照明する照明１０、および前記照明１０により照明された前記円筒体９０の外表面を撮影するカメラ３０を有し、前記円筒体９０の表面状態を計測する表面状態計測手段５と、を備える。前記照明１０の照明光に、前記受光部４２の受光波長域の光を含まないことにより、回転フレ量を検出する受光部４２は、表面状態の検出のための照明光の影響を受けることを防止する。 （もっと読む）

【課題】円筒体検査装置の設備状態を高い精度で評価する。
【解決手段】円筒体の外表面を照明する照明と円筒体との間に配置したスリット体により、円筒体の表面に明暗縞を形成し、カメラによりこの明暗縞各部の明暗階調を検出する。明暗縞の複数の暗部の最低階調の変化の傾向をマスターデータと比較し、設備状態の良否を評価する。 （もっと読む）

本ステレオ光学モジュールは、前玉ユニット（２０ａ）の略後方であり、１次偏向ミラー（２１ａ）と２次偏向ミラー（２２ａ）の上方に存在する回路配置スペース（２７ａ）、又は前玉ユニット（２０ｂ）の略後方であり、１次偏向ミラー（２１ｂ）と２次偏向ミラー（２２ｂ）の下方に存在する回路配置スペース（２７ｂ）の少なくとも何れか一方の空間領域に構成部材を配置する。
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【課題】光干渉計など振動信号を抽出する装置を一切必要とせずに、被測定物の実時間振動計測を無調整且つ超高感度で達成することのできるレーザ振動計を提供すること。
【解決手段】本発明のレーザ振動計は、レーザ発振器と、前記レーザ発振器から出射する出力光の一部を通過させる周波数シフターであって、前記出力光の一部の一往復の周波数シフト量を前記レーザ固有の緩和振動周波数に一致させて共鳴させる周波数シフターと、前記周波数シフターを通過した前記出力光の一部を被測定物に入射させ、前記被測定物からの戻り光を前記光周波数シフターを介して前記レーザ発振器に帰還させ、前記戻り光と前記出力光との干渉により誘起される光感度が向上し共鳴的に周波数変調されたレーザ出力を処理する光検出器、周波数変調波復調器及び信号処理装置とを備え、前記被測定物の振動状態を実時間にて計測することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 ガラス素材のような透明なディスク基板において、両面に加工された微小な凹
凸であるテクスチャの有無、均一性の判断を検査する装置を提供する。
【解決手段】 ガラス素材のディスク基板の両面に形成された、円周方向のテクスチャに
対し、レーザ光を照射して、該ディスク基板の表面粗さを測定する方法・装置において、
上記レーザ光を集束し、ディスク基板の表面に入射するレーザ光の光軸と、テクスチャの
角度を直角とし、ディスク基板表面からの散乱光とディスク基板裏面からの散乱光をセン
サ上に受光し、受光信号から散乱光強度出力を算出し、散乱光強度出力を表示するように
した。 （もっと読む）