【課題】太陽電池ウェハの表面全体の画像から，前記ソーマークの像のみを的確に抽出することにより，太陽電池ウェハの表面全体の前記ソーマークの形成状態を精緻な空間分解能で高速かつ定量的に検査できるようにすること。
【解決手段】太陽電池ウェハの表面の撮像により得られた入力画像データに対しソーマークの像の長手方向に直交する方向におけるエッジ強調処理を施してエッジ強調画像データを生成し（Ｓ２），そのエッジ強調画像データに対しソーマークの像の長手方向に平行な方向におけるハイパスフィルタリングを施してハイパス画像データを生成し（Ｓ３），エッジ強調画像データからハイパス強調画像データを差し引くことによりソーマークの像が抽出された検査用画像データを生成し（Ｓ４），検査用画像データに基づいてソーマークの形成状態の評価値を算出する（Ｓ５）。 （もっと読む）

【課題】被検査物の移動部位が前記測定光の光軸方向に移動した位置情報を検出するに際し、精度を劣化させず、装置の簡素化と低価格化を図ることが可能な光断層画像撮像装置を提供する。
【解決手段】被検査物によって反射あるいは散乱された測定光による戻り光と、参照ミラーによって反射された参照光とを用い、前記被検査物の断層画像を撮像する光断層画像撮像装置であって、
参照ミラーの反射位置を制御する反射位置制御手段と、
照明用の光学系によって照明された被検査物の移動部位を、シャインプルーフの原理に基づいてエリアセンサに結像させて観察する移動部位観察用の光学系を備え、該移動部位が前記測定光の光軸方向に移動した際の位置情報を検出する移動部位の位置検出手段と、
移動部位の位置検出手段によって検出された位置情報を元に、前記反射位置制御手段を駆動して参照光の光路長を制御する手段と、を有する構成とする。 （もっと読む）

周波数走査型干渉計(１０)が検査対象物(１２)の広い推定オフセット範囲にわたる多重表面(１４,１５,１６)を同時に測定するために構成される。合成測定波長(λ_実効)に基づくアンビギュイティインターバル(Ｕ)内の中心に検査表面をおくために、検査表面の推定位置の知見が一連のアンビギュイティインターバルと比較される。
（もっと読む）

本発明は光路長差判定及び光干渉断層撮影の方法に関し、次の各工程、つまり、空間単一モードにて発光するか、適切な手段（Ｆ）により発光が空間単一モードに制限される光源（ＳＱ、ＢＱ）により空間コヒーレントな光を発生させる工程と、前記光源からの光の少なくとも一部を２つの空間的に離れた光路に分割する工程と、少なくとも２つの検出器（Ｄ）か少なくとも２つの検出素子（Ｄ）を有する１つの検出器（Ｄ、Ａ）及び光線を誘導するための他の手段（Ｓ、Ｔ、ＢＰ、Ｆ、Ｑ、Ｌ、Ｇ、Ｚ）を用い、参照光路及び測定光路の光を検出器／検出素子（Ｄ）に導いて干渉させる工程と、検出器／検出素子（Ｄ）における光強度を受け取り分析してデータセットを得る工程と、データセットの数値的分析及び表示を行い、試料（Ｐ）又は試料（Ｐ）内の構造における空間的位置及び反射又は散乱の強度の両方を求める工程とを有する。
（もっと読む）

光イメージング装置は、光周波数領域測定法（ＯＦＤＭ）に基づいて、ＤＵＴの内部またはＤＵＴ上の複数の位置における散乱データを時間の関数として収集する。光源は検査対象デバイス（ＤＵＴ）の中に光を投入し、ＤＵＴはＤＵＴに沿った１つ以上の位置で光を散乱する。光検出器は、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれで散乱された光の一部を検出する。データはＯＦＤＭデータ処理を使用して決定される。これらのデータは、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれにおいて収集された時間の関数として表された光量に対応する。データは、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれに対して記憶される。記憶された時間領域データに基づいて、ＤＵＴに沿った複数の位置のそれぞれにおいて散乱された光量を示すユーザ情報が提供される。ＯＦＤＭ処理によって、精細な時間分解能（例えば、０．１ピコ秒）が得られ、それによって、小さな光遅延距離（例えば、３０ミクロン）を分解することができる。また、精細な時間分解能と同時に、検出するべき少量の散乱（例えば、１０^−１２）の正確な検出が可能になる。
（もっと読む）

波長選択器５が広帯域光源４の波長を選択する。光導波器ＢＳ１、ＢＳ２が、波長選択器からの光を測定経路に沿ってサンプル表面の領域に向けて誘導すると共に基準経路に沿って基準表面に向けて誘導し、サンプル表面の領域によって反射された光及び基準表面によって反射された光が干渉してインターフェログラムを生成するようにしている。コントローラ２０が、波長選択器を制御して、波長選択器によって選択される波長を変更する。記録器６３が、連続した画像を記録し、各画像は、波長選択器によって選択された波長のそれぞれ１つによって生成されたインターフェログラムを表す。データプロセッサ１８、１８０が、記録された画像を処理して、サンプル表面の少なくとも一部の表面プロファイル及び表面高マップのうちの少なくとも一方を作成する。基準経路を制御して、振動、熱的効果及び乱流のような環境影響を補償することができる。データプロセッサは、グラフィックス処理装置を用いて、ピクセルデータを並列に処理することを可能にすることができる。
（もっと読む）

本発明は、光学式距離計に関係し、光学式距離計は、光検出部自身へ投影された画像を電子画像に変換する光検出部と、物体の画像を上記光検出部に投影する、上記光検出部上の画像を形成する入射した光ビームを調整する結像システムと、上記光検出部上の画像を形成する入射光を調整する光学系と、上記画像の空間スペクトルを提供する手段と、そして、上記画像の焦点ずれの程度に基づき、物体から当該光学式距離計までの距離を導き出す手段とを、備え、上記光学系は、焦点画像面に相関した光検出部上の画像の焦点ずれの程度が、結果として基準パターンに相関した上記画像の空間スペクトルの変位になるように、入射光を調整し、そして、上記距離計は、変位の上記程度から、焦点ずれの程度を導き出す手段を備えている。
（もっと読む）

【課題】計算負荷が低く、処理時間が短くて済む周波数推定方法、周波数推定装置、表面形状測定方法及び表面形状測定装置を提供すること。
【解決手段】干渉縞や電気信号などの有周期性の観測データにおける周波数を推定する周波数推定方法であって、観測データを取得するステップと、仮定した任意周波数の正弦波状関数をモデル信号として前記観測データに適合させるステップと、前記観測データと前記モデル信号との部分的な位相のずれ量を求めるステップと、前記モデル信号の周波数と、前記位相のずれ量についての位相勾配とに基づいて、前記観測データの周波数を算出するステップとを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被写体の３次元形状を仮想３次元形状モデルとして復元する３次元形状復元装置及びプログラムを提供する。
【解決手段】３次元形状復元装置１は、被写体を囲む一定間隔の多数の格子点を設定し、被写体の多視点画像から抽出した複数のシルエット画像を用いて、当該被写体の３次元近似形状データを生成する３次元近似形状復元部４と、被写体形状に含まれる識別番号を有する格子点における表面格子点について位相限定相関を施して、３次元近似形状の表面頂点を抽出する表面格子点抽出部５と、多視点画像のうち隣接する２点から撮影されたペア画像を複数組選定し、各組毎のペア画像の位相限定相関情報に基づいて前記３次元近似形状を補正して復元する３次元形状復元部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検査物の所定の部位における測定感度及び横分解能が高く、簡単な構成の光断層画像撮像装置および光断層画像の撮像方法を提供する。
【解決手段】光源からの光を測定光と参照光とに分割し、前記測定光を被検査物に導くと共に前記参照光を参照ミラーに導き、前記測定光による戻り光と、前記参照ミラーによって反射された参照光とを用い、
前記被検査物の断層画像を撮像するフーリエドメイン方式による光断層画像撮像装置であって、
前記参照光の光路長を調整する光路長調整手段と、
前記被検査物に前記測定光を集光させる集光手段の位置を調整する位置調整手段と、
前記被検査物の撮像を予定する部位に関し予め取得された情報に基づいて、前記光路長調整手段と前記位置調整手段とを制御する制御手段と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】分解能の高い非接触膜厚測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】膜厚測定対象物に照射して反射されるテラヘルツエコーパルス光Ｌteの計測時系列波形を取得する計測時系列波形取得手段４１と、膜厚測定対象物に代えて表面反射鏡を配置した状態で、発生手段４から発生されて検出されるテラヘルツパルス光Ｌtの基準時系列波形と前記計測時系列波形とから、膜厚測定対象物固有の時系列波形を演算する固有時系列波形演算手段４２とを備え、固有時系列波形演算手段４２は前記計測時系列波形をフーリエ変換して得た計測電場スペクトルに、前記基準時系列波形をフーリエ変換して得た基準電場スペクトル及び定数で表されるウィナー逆フィルターを乗じて固有電場スペクトルを求める固有電場スペクトル演算手段４２１と、前記定数を増減させて前記固有電場スペクトルを逆フーリエ変換して前記固有時系列波形を得る固有時系列波形演算手段４２２とを有する。 （もっと読む）

【課題】ステレオマッチングにおける相関演算を高速処理できるステレオカメラユニット及びステレオマッチング方法を提供する。
【解決手段】このステレオカメラユニット１０は、ｋ（ｋ＞１）の基線長比を持つ少なくとも２組の基準画像及び参照画像を取得する複数台のカメラと、基線長の短い組の基準画像及び参照画像にウインドウをそれぞれ設定し、両ウインドウで相関演算を実行することで基線長の短い組における視差ｄｓ（ｕ，ｖ）を算出する予備相関実行部１２と、予備相関実行部１２からの視差ｄｓ（ｕ，ｖ）をｋ倍したｋ×ｄｓ（ｕ，ｖ）の視差を生じる条件で制限される範囲の相関演算を短い組と同じ画像位置の基線長の長い組の基準画像及び参照画像に対して実行する相関実行部１４と、を備え、相関実行部の相関演算結果から導き出される視差ｄｌ（ｕ，ｖ）を出力する。 （もっと読む）

【課題】光学的に透明な球体の表面形状に関する好適な測定が可能となる、球体の真球度の測定方法および球体の曲率半径の測定方法を実現する。
【解決手段】光学的に透明な球体１０の上面での第一反射光Ｒ１と、球体１０の下面での第二反射光Ｒ２とが干渉した干渉縞を生成させて、例えば、フィゾー型干渉計を応用した干渉計１００を用いて、その干渉縞に基づき球体１０の上面と下面との間の光路差の分布を算出することができ、その光路差分布に基づいて球体１０の真球度を算出することができる。
また、第一反射光Ｒ１と第二反射光Ｒ２とが干渉して干渉縞を生成させる、光源１から照射された光の焦点が球体１０の中心Ｏとなる第一配置と、光源１から照射された光の焦点が球体１０の表面となる第二配置とを検出して、その第一配置から第二配置までの移動量に基づいて球体１０の曲率半径を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】複雑な構造を有する軸物工具の表面における欠陥を検査することができる軸物工具表面の欠陥検査方法および装置を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置が、軸物工具の表面を撮影した画像が入力され、該入力された画像を予め定められている画像サイズに分割する画像分割部と、画像分割部の分割した画像を入力データとして、予め学習されている第１のニューラルネットワークにより出力値を算出する第１のニューラルネットワーク処理部と、第１のニューラルネットワーク処理部の算出した出力値に基いて、軸物工具の表面に欠陥があるか否かを判定する欠陥有無判定部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】音情報を視覚化する発光装置を用いた音源定位推定システムを提供する。
【解決手段】音情報を視覚化する発光装置を用いた音源定位推定システムであって、フィールド３０内の音源１，２からの音声を入力するマイクと該マイクで入力した音声に基づいて発光する発光手段とを備えた発光装置４０と、発光装置４０の発光情報を生成する生成部と、生成部からの発光情報に基づいて音源位置を判断する音源定位部６０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】外乱光の影響を抑制し、物体の形状の測定精度を向上する。
【解決手段】物体にパタンを投影して、その像を撮像素子６０により撮像することによって物体の形状を測定する形状測定装置の制御部６１のFFT部１０２は、A/D変換部１０１を介してフォトセンサ５９から取得した受光信号に基づいて、撮像素子６０に入射する入射光の周波数成分を検出する。ピーク検出部１１１は、周波数成分の検出結果に基づいて、撮像素子６０への入射光に含まれる外乱光の光量が所定の閾値以上かつ最大となる周波数fpを検出する。露光時間設定部１１３は、周波数fpに対応する周期Tpの倍数に撮像素子６０の露光時間を設定する。本発明は、例えば、光学式の形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】複雑な表面構造を有する対象物の表面トポグラフィおよび／または他の特性を、走査干渉分光法を用いて測定する。
【解決手段】試験対象物の第１の表面箇所に対する走査干渉分光信号から導出可能な情報と試験対象物の複数のモデルに対応する情報とを比較することを含む方法であって、複数のモデルは、試験対象物に対する一連の特性によってパラメータ化される方法。複数のモデルに対応する情報は、試験対象物の各モデルに対応する走査干渉分光信号の変換分（例えば、フーリエ変換分）の少なくとも１つの振幅成分についての情報を含んでもよい。第２の側面では、モデルは固定された表面高さに対応するとともに、固定された表面高さとは異なる一連の特性によってパラメータ化されている。第３の側面では、比較は、走査干渉分光信号の系統的な影響を明確にすることを含む。 （もっと読む）

【課題】 迷光を除去して、精度の高い形状測定を行うことが可能な形状測定装置、及び形状測定方法を提供すること。
【解決手段】 格子パターンを有するパターン素子３０と、パターン素子３０とビームスプリッタ４０とを介して前記格子パターンを測定対象物６０に投影する投影部と、測定対象物６０に投影された格子パターンをビームスプリッタ４０を介して撮像する撮像部７０と、撮像部７０によって撮像された画像のコントラスト値に基づき測定対象物６０の形状を測定する測定部８２とを有し、ビームスプリッタ４０と測定対象物６０との間に１／４波長板５０を備え、１／４波長板５０に入射させる投影光が直線偏光であり、前記投影光と偏光方向が直交する直線偏光のみを撮像部７０に入射させるように構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

空間座標系（Ｘ’、Ｙ’、Ｚ’）を規定するねじ付きの物体の形状を取り込む光学センサー（５）を組み入れている、空間基準システム（Ｘ、Ｙ、Ｚ）を規定する、測定デバイス（１）を用いて、該測定デバイス（１）は該空間基準システム（Ｘ、Ｙ、Ｚ）内で該ねじ付き物体を表す２次形式を記述する第１マトリックスを組み立てるコンピュータを有し、かくして該２つの空間座標系間の関係を提供する、該測定デバイスによるねじ付き物体（３）のねじパラメーターの測定方法。該方法はａ）該ねじ付き物体上で該少なくとも１つの光学センサー（５）の少なくとも１つの軌跡を事前規定する過程であって、該軌跡に沿って該測定点が、該測定点の値で評価された該マトリックスが、該マトリックスが最大階数を有する条件を満足させるよう選択される、該事前規定する過程と、ｂ）該少なくとも１つの光学センサー（５）により前記少なくとも１つの軌跡に沿う第１走査動作を行い、該事前規定された測定点のデータを取り込む過程と、ｃ）これらのデータを該第１マトリックスに供給し、該第２空間座標系に対する該ねじ付き物体の相対位置を規定するために該第１空間座標系を該第２空間座標系に関係付ける軸変換マトリックスを計算する過程と、ｄ）該第２空間座標系から取り込まれた全データを該第１空間座標系へ変換するために該軸変換マトリックスを使用する過程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、コンパクトかつ低コストで、結像光学系の倍率、ＮＡに関係なく使用できる干渉計の実現を目的とする。
【解決手段】
ある方向の直線偏光光を透過し、その方向と直交する方向の直線偏光光は反射する特性を持つ偏光光学素子１０２をミロー干渉計型光学配置で参照鏡として用い、半透鏡１０４の前後に１／４波長板１０３，１０５を挿入することで干渉計を構成するようにした。
【効果】
参照鏡が照明・結像光束を遮ることが無いことから、ミロー干渉計型光学配置であっても低倍率・低ＮＡの結像光学系に用いることができる。つまり、結像光学系の倍率、ＮＡに関係なく使用できる干渉計が実現できる。 （もっと読む）