【課題】半導体基板の欠陥検査において、高精度かつ効率的に、可視光透過性を有する半導体基板の表裏面への焦点位置合せを行うこと。
【解決手段】
半導体基板の欠陥検査装置は、焦点位置合わせマークが表面に形成された可動ステージと、可視光を可動ステージに向けて照射する光源と、可動ステージに対向して設けられた対物レンズと、対物レンズが結像した画像を電気信号に変換する光電変換素子と、焦点位置合わせマークの可動ステージ上の位置および被検査物となる半導体基板の厚さが登録され、可動ステージと対物レンズの位置関係を制御する制御装置を備えている。制御装置は、登録された焦点位置合わせマークを基準にして半導体基板の裏面側の焦点位置合わせを行い、登録された半導体基板の厚さを基準にして半導体基板の表面側の焦点位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】計測精度を向上させることができる画像処理装置、画像処理方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】モニタ２２は、計測対象物の画像と、計測対象物に対応する物体であって予め算出された３次元形状を有する物体の画像とを表示する。ＣＰＵ３４ｃは、計測対象物を撮像したカメラの姿勢と、物体を撮像した仮想的なカメラの姿勢とが近づくように、計測対象物の画像と物体の画像との少なくとも一方の姿勢を調整する。また、ＣＰＵ３４ｃは、これら２種類のカメラの光学系または撮像素子の特性が互いに近づくように、計測対象物の画像と物体の画像との少なくとも一方の姿勢を調整する。ＣＰＵ３４ｃは、これらの調整を行った後、リモコン２３を介して入力される指示に基づいて指定された計測位置に対応する物体上の空間座標を算出し、算出した空間座標に基づいて、物体のサイズを算出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、対象体本来の形状のうち部分的な形状の情報を欠いた計測点群を用いる場合であっても、対象体の３次元位置・姿勢を適切に認識可能な３次元位置・姿勢認識装置およびその方法、プログラムの提供を目的とする。
【解決手段】本発明にかかる３次元位置・姿勢認識装置は、計測点群と、対応するモデル点群とをマッチングさせ、モデル点群のうち、マッチング結果に基づいて特定される点を削除処理するモデル処理手段１０と、計測点群と、モデル処理手段１０において削除処理したモデル点群とをマッチングさせ、対象体３の３次元位置・姿勢を認識する認識手段１１とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の面内領域から取得できる情報を用いて、基板の位置を迅速かつ確実に検出できる技術を提供する。
【解決手段】位置検出装置は、基板９を載置するステージ１１と、ステージ１１に載置された基板９の面内領域を撮像する撮像部と、撮像部が取得した撮像データに基づいて基板９の位置を特定する位置特定部と、を備える。位置特定部は、撮像データを解析して、基板の表面に形成されたスクライブラインのうち最外周に配置されている最外周スクライブライン９１０を検出し、最外周スクライブライン９１０の検出位置に基づいて、レイアウト領域９３の中央に配置されている中央チップ領域９２０の位置を特定する。そして、中央チップ領域９２０の位置に基づいて、基板中心９０の位置を特定する。 （もっと読む）

【課題】所定の特性を有する微小細粒（タガント）を物品に付与し、更にその分布位置に基づいて高精度に個々の物品を識別することが可能な個体識別装置等を提供する。
【解決手段】個々の物品１の基材１０上に、基材とは異なる光学反射特性を有し、かつ、異色の微細物質１２、並びに特徴的な図案及び形状等を有する微細物質をランダムに配置しておく。また個々の物品をスキャナ等により光学的に読み取り、所定の画像処理を施して微細物質の特徴点及びその特徴点における色情報に関する特徴量を抽出し、基準特徴量データとして記憶部に記憶しておく。識別対象となる物品を上述の読み取りの際と同様の手法で読み取り、同様の画像処理を施して微細物質の対象物特徴量データを抽出する。そして、抽出した対象物特徴量データと記憶されている基準特徴量データとを比較することにより識別対象とする物品と基準物品とが同一個体であるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】計測装置と計測対象物体との間の位置または／及び姿勢の関係があいまい性を含んだ場合であっても、高精度に物体の位置姿勢を計測できるようにする。
【解決手段】撮像時刻におけるロボットのモーション情報から、撮像装置と対象物体の位置姿勢移動量に変換して計測データとして位置姿勢更新に用いる。ロボットのモーション差分という確度の高い情報を計測データとして加えることにより、精度および安定性を向上させるようにする。また、撮像時刻の異なる距離画像と濃淡画像の幾何的関係を、ロボットアームの軌跡情報を用いて求めることで、両者の情報を同時に利用して位置姿勢推定を行うようにすることにより、全体のデータを同時に用いることを可能にする。 （もっと読む）

【課題】複数の映像間で対応をとる特徴点を定めて位置合わせ基準を鮮明にでき、車両の検出精度を向上させる。
【解決手段】実施形態の車両検出装置は、線分成分抽出手段、多角形近似手段及び計測手段を備えている。前記線分成分抽出手段は、左右の撮影画像毎に、当該撮影画像に含まれる前記車両のフロントガラス領域と車体との境界を示す複数の線分成分を抽出する。前記多角形近似手段は、前記左右の撮影画像毎に、当該抽出された複数の線分成分の幾つかを用いて閉ループを構成する多角形近似を行う。前記計測手段は、前記左右の撮影画像毎に前記閉ループを構成する線分成分を当該左右の撮影画像間で互いに位置合わせし、当該位置合わせした線分成分間の座標情報と、左右の撮影画像を撮影した撮影位置を示す撮影位置情報とに基づいて、前記閉ループの位置を前記車両の位置として計測する。 （もっと読む）

【課題】ホースクリップが周方向の所定位置に組付けられているかどうかを容易に管理することが可能なホースクリップ組付け状態検査方法を提供する。
【解決手段】ゴムホース及びこのゴムホースに組み付けられたホースクリップをカメラで撮像する工程と、これらのゴムホース及びホースクリップの画像を検査パターンに画像処理する工程と、この検査パターンを、予めホースクリップの合格パターンとして記憶されたホースクリップの所定周方向組付け位置のパターンと比較する工程と、ホースクリップの周方向組付け位置の合否を判定する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】車両周囲画像に含まれる他車両の任意視点から見た画像を、より正確に生成する装置を提供する。
【解決手段】車両用画像生成装置を、３次元構造を有する車両周囲画像に含まれる他車両の可視画像部分の画像情報に基づき、他車両の死角部位の形状や色などの情報を推測する死角情報推測部２５と、死角情報推測部２５で推測された死角情報に基づき、可視画像部分データから死角部位を補完するための補完画像データを生成し、生成した補完画像データを用いて他車両の死角部位の画像を補完する画像補完部２６と、仮想視点設定部２７から入力される仮想視点情報に基づき、補完後の車両周囲画像を仮想視点情報の示す視点から見た画像に再構成する画像再構成部２８と、を含む構成とした。 （もっと読む）

【課題】検査装置の検査情報とレビュー装置で取得した観察情報とを用い、欠陥の高さ、屈折率、材質の情報を取得して欠陥材質・屈折率分析や、微細なパターン形状の三次元解析を行う方法、並びにこれを搭載した欠陥観察装置を提供する。
【解決手段】試料上の欠陥を観察する方法において、光が照射された試料からの反射・散乱光を受光した検出器からの検出信号を処理して検出した検査結果の情報を用いて観察対象の欠陥が存在する位置を走査電子顕微鏡で撮像して画像を取得し、この取得した観察対象の欠陥の像を用いて欠陥のモデルを作成し、作成された欠陥のモデルに対して光を照射したときに欠陥モデルから発生する反射・散乱光を検出器で受光した場合のこの検出器の検出値を算出し、この算出した検出値と実際に試料からの反射・散乱光を受光した検出器の検出値とを比較して観察対象の欠陥の高さ又は材質又は屈折率に関する情報を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】マスクの歪の影響によらずパターンの良否を正確に判定することのできる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】マスク上の任意の少なくとも４点の座標を測定する（Ｓ１０１）。次いで、これらの少なくとも４点について、それぞれ対応する設計データの各座標との差を求め、最も差の大きい１点を選択する（Ｓ１０２）。次に、選択した１点と設計データの座標との差が予め設定した閾値を超えるか否かを判定する（Ｓ１０３）。閾値以下であれば、少なくとも４点全てを用いて、光学画像と参照画像との位置合わせを行う（Ｓ１０４）。一方、閾値を超える場合には、この点を除外し、残りの少なくとも３点を用いて位置合わせを行う（Ｓ１０５）。 （もっと読む）

【課題】載置面上に自由に置かれた物体を高速に認識する。
【解決手段】安定姿勢計算部６は、３次元モデル情報記憶部５から３次元モデルの情報を読み出して、物体が載置面上で静止すると予測される物体の姿勢に対応する３次元モデルの安定姿勢を計算する。２次元投影画像生成部７は、安定姿勢計算部６で計算された安定姿勢の３次元モデルを観測して得られる２次元投影画像を生成する。２次元投影画像記憶部８は、２次元投影画像生成部７により生成された２次元投影画像を記憶する。載置面上に載置された物体の姿勢を認識する際には、画像照合部９は、撮像部１０１により撮像されて得られた撮像画像と、２次元投影画像記憶部８に記憶された２次元投影画像との一致度を計算する画像照合を行う。姿勢認識部１０は、一致度が最も高い２次元投影画像に対応する３次元モデルの姿勢を、物体の姿勢として認識する。 （もっと読む）

【課題】顔の向きの制限を緩和して、比較的少数のカメラにより、観測範囲内の任意の位置における被測定対象者の視線方向のリアルタイムに推定し追跡する視線方向の推定装置を提供する。
【解決手段】第２の頭部位置・姿勢推定部５６１２は、撮影できている複数のカメラからの画像データを統合して処理することにより、頭部の位置および頭部の姿勢の推定処理を実行する。処理対象となっている画像フレーム以前に獲得されている眼球の３次元モデルに基づいて、眼球中心推定部５６１４は、処理対象の特定人物の眼球中心の３次元的な位置を推定する。虹彩中心抽出部５６１６は、虹彩の中心の投影位置を検出する。視線方向推定部５６１８は、抽出された虹彩の中心の投影位置である画像フレーム中の２次元的な位置と、推定された眼球の３次元的な中心位置とに基づいて、視線方向を推定する。 （もっと読む）

【課題】撮像部の姿勢の容易な調整を可能とする。
【解決手段】ワークの搬送路の少なくとも一部を撮像視野に含むように配置された撮像部１１０から、撮像によって得られた撮像画像を受理する画像処理装置であって、搬送路上に置かれた目標物を、撮像部１１０が撮像することによって取得された撮像画像を受理する画像受理手段と、受理された撮像画像における目標物の位置を取得する位置取得手段と、位置取得手段によって取得された目標物の撮像画像における位置を用いて、撮像部１１０の撮像視野を含む面の、目標物が置かれた面に対する傾き度を取得する傾き取得手段と、取得される傾き度を用いて、撮像部１１０の姿勢調整を支援するための支援情報を出力する出力手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】マルチカメラをキャリブレーションする場合の被写体であって、カメラごとに被写体を移動させることなく、高精度なマルチカメラのキャリブレーションが可能な全周フィールドおよびその撮影方法を提供する。
【解決手段】全周フィールドは、基準方向に光軸を有する基準カメラ１１と、基準方向とは異なる方向に光軸を有する他のカメラ１２とを有するマルチカメラ１０ａで撮影し、キャリブレーションするための全周フィールド１であって、マルチカメラ１０ａの内部パラメータまたは外部パラメータを測定するために撮影される、全周フィールド１内に配置された、三次元座標が既知の複数のターゲットを備える。基準方向から所定の角度範囲においては、ターゲットが第１の密度で配置され、基準方向から所定の角度範囲の範囲外においては、ターゲットが第１の密度よりも高い第２の密度で配置される。また、全周フィールド１の法線は、少なくとも２方向を有する。 （もっと読む）

【課題】薄型化したチップをダイボンディングする工程において、ウエハシートからチップをピックアップする際に、ピックアップ対象のチップを正確に認識できる技術を提供する。
【解決手段】カメラＣＡＭ１は鏡筒ＫＴ１の一端と接続され、鏡筒ＫＴ１の他端には対物レンズが取り付けられ、この対物レンズを通してチップ１Ｃの主面の画像を撮影する構成とし、鏡筒ＫＴ１とチップ１Ｃとの間には、面発光照明ＳＳＬ１、拡散板ＫＢ１およびハーフミラーＴＫ１を内部に備え、カメラＣＡＭ１と同じ光軸でチップ１Ｃの主面に光を照射する同軸落射照明の機能を有する鏡筒ＫＴ２を配置する。 （もっと読む）

【課題】処理負荷を大きくすることなく、検出対象物が遠近離れて複数存在する場合の検出精度を高める。
【解決手段】入力画像に関する撮像対象までの距離情報を取得する距離情報取得部と、距離情報に基づいて、入力画像に対して距離区分を設定する距離区分設定部と、距離区分毎に、探索ウィンドウのサイズを設定するウィンドウサイズ設定部と、距離区分毎に、設定されたサイズの探索ウィンドウを用いて入力画像のスキャンを行なうスキャン部と、探索ウィンドウ内から検出対象物の検出処理を行なう検出処理部とを備えた対象物検出装置。 （もっと読む）

【課題】物体の位置を高速に且つ高精度に検出する。
【解決手段】位置検出装置３０は、微細な軸穴とこの軸穴を含むマーカーとを設けたオブジェクトを含む画像データを取得する画像データ取得部３１と、マーカーをゴール位置に対応付けたマーカーゴール画像データを記憶するマーカーゴール画像記憶部３２と、軸穴の軸中心をゴール位置に対応付けたターゲットゴール画像データを記憶するターゲットゴール画像記憶部３６と、マーカーゴール画像データを用いて、画像データ取得部３１が取得した画像データからマーカーを検出するマーカー検出部３３と、ターゲットゴール画像データを用いて、画像データ取得部３１が取得した画像データにおける、マーカー検出部３３が検出したマーカー内から軸穴を検出するターゲット検出部３７とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 モデル座標系を基準とした位置姿勢の自由度のうち、特定自由度のパラメータを一意に定める特徴が不足するような物体においても、ロバストかつ高精度な位置姿勢計測を実現する。
【解決手段】 計測対象物体との位置姿勢合わせにより、当該計測対象物体の位置姿勢を取得するための三次元形状モデルを保持するモデル保持手段と、前記計測対象物体の画像を取得する画像取得手段と、前記三次元形状モデルの第一の幾何特徴と前記画像内の第一の幾何特徴とに基づき、第一の座標系において、前記三次元形状モデルの第一の位置姿勢を取得する第一の位置姿勢取得手段と、前記三次元形状モデルの第二の幾何特徴と前記画像内の第二の幾何特徴と前記第一の位置姿勢とに基づき、前記第一の座標系と異なる第二の座標系において、前記三次元形状モデルの第二の位置姿勢を取得する第二の位置姿勢取得手段と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】少ないマーカの種類で多様なコンピュータグラフィックス画像データを重畳表示することを可能とする技術を提供することを目的とする。
【解決手段】識別情報を含む画像を撮影する撮影手段と、撮影手段により撮影された画像の画像データに含まれる識別情報を認識する認識手段と、前記識別情報と前記コンピュータグラフィックス画像データとの対応関係ルールを記憶するルール記憶手段と、認識手段により認識された識別情報に対応するコンピュータグラフィックス画像データを決定する決定手段と、決定手段により決定されたコンピュータグラフィックス画像データを現実空間の画像と合成して表示させる表示手段とを有し、認識手段により同一の識別情報が複数認識された場合、前記ルール記憶手段より同一複数の識別情報に対する対応関係ルールに基づいてコンピュータグラフィックス画像データを合成して重畳表示することによって課題を解決する。 （もっと読む）