タッチ面（５４、２５４、３５４）に対するポインタを検出する装置（５０）は、タッチ面を包含して重なり合う視界を有し、間隔を置いて配置された少なくとも２つの撮像組立体（５８）を有する。撮像組立体は、タッチ面を３次元で斜視図として見る。撮像組立体は、異なる位置からの重なり合う画像を捕捉する。プロセッサ（６０）は、タッチ面に対するポインタの位置を決定するために、少なくとも１つの撮像組立体により生成された画像データを受信し、処理する。
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試験物体に対する走査干渉データが得られる走査干渉法および関連するシステムについて説明する。データには通常、複数の走査位置のそれぞれに対して試験物体の異なる空間箇所のそれぞれに対する強度値が含まれる。各空間箇所に対する強度値によって通常、空間箇所に対する干渉信号が規定される。共通の走査位置に対する強度値によって通常、その走査位置に対するデータ・セットが規定される。各走査位置に対する走査値を得る。一般に、種々の走査値間の走査値増分は非一様である（たとえば、異なっている）。走査干渉データおよび走査値に基づいて、試験物体についての情報を決定する。通常、この決定には、干渉信号の少なくとも一部を、走査値に関して周波数ドメインに変換することが含まれる。
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【課題】
従来のカメラによるパンタグラフすり板の検査では、すり板側面の照明を当ててパンタグラフを撮像していたが、この方法では、すり板上面と側面を高精度に分離することが難しかった。
【解決手段】
カメラでパンタグラフを撮像する際に、パンタグラフすり板上面を照射するストロボ照明と、パンタすり板側面を照射するストロボ照明を設け、すり板上面を照射するストロボ光に比べてすり板側面を照射するストロボ光の光量を少なくして撮像する構成とした。 （もっと読む）

本発明は、基板の上に配置された膜の特性を測定する方法およびシステムを提供することを対象とする。該方法は、膜の上において複数の処理領域を識別することと、複数の処理領域のサブセットの特性を測定することと、測定された特性を確定することと、測定された特性の１つの変化を決定することと、測定された特性の１つと、サブセットの残りの処理領域に関連付けられる測定された特性との比較に基づいて、変化の原因を関連付けることとを含む。該システムは、上述された方法を実施する。
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特定の形状からの物体３、１１、１６、１８、２２、２６の形状の逸脱を示す装置が記載される。装置は、放射の入射ビーム４を物体に向ける放射手段、および前記物体による透過または前記物体からの反射の後の最終ビームを検査する検査手段５を備える。装置は、物体が特定の形状を有する場合、最終ビームが実質的に平面波面を有するように構成され、検査手段５が、平面性からの最終ビームの波面のいかなる逸脱をも判定するように構成される。一実施形態において、検査手段は、たとえば回折格子６またはホログラムなどのビーム分割手段、およびＣＣＤカメラ８などの検出器手段を備える。ビーム分割手段は、次に最終ビームを２つ以上のビームに分割し、２つ以上のビームを検出手段で横方向に変位された位置に向けるように構成される。
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容器（３４）の傾斜度を検査する装置は、容器の下に位置決めされていて、容器を定位置に保持しているとき及び容器を軸線（Ａ）回りに回転させているときに光エネルギー（６０）を容器底（６２）に差し向ける光源（５０）を有する。容器（３４）の下方に位置決めされた光センサ（５４）が、容器底（６２）から反射した源（５０）からの光エネルギーを部分的に受け取る。情報プロセッサ（５６）が、反射光エネルギーと容器の回転の組合せ関数として軸線（Ａ）に垂直な平面からの要素底（６２）のずれを求めるために光センサ（５４）に結合されている。容器（３４）は好ましくは、定位置に保持され、駆動ローラ（２４）によって軸線回りに回転し、この駆動ローラは、容器（３４）を軸方向に間隔を置いたバックアップローラ（２６，２８）に押し付けて容器（３４）の幾何学的形状及びバックアップローラ（２６，２８）の間隔の関数として平均回転軸線を定める。
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対象上の第１の検出可能点と第２の検出可能点との間の距離は、前記第１の検出可能点を有する第１の画像を作り、次に、カメラを移動させ、続いて、前記第２の検出可能点を有する他の画像を作ることによって、デジタルカメラを用いて測定される。画像上での検出可能点の座標が計算される。２又はそれ以上の重なり合う画像は、重なり合う画像の重複部分での対応する検出可能点が、カメラの移動を決定するために検出されると、カメラによって作られる。
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【課題】 インラインでカラーフィルターの画素幅を測定することができる、カラーフィルターの画素幅測定方法を提供すること。
【解決手段】 カラーフィルターの基板上に赤色、緑色、青色の各色の着色画素を順次形成する際に、画素領域の外側に、画素幅測定用のダミー画素のパターンを、各ダミー画素が重ならないように間隔をあけて形成し、各ダミー画素の幅を測定することにより、前記各色の着色画素の幅を測定する。 （もっと読む）

【課題】 短時間で確実に、そして比較的容易に目視検査を行うことができる外観検査装置を得ること。
【解決手段】 本発明の実施形態の外観検査装置１は、基準基板Ｐｓと被検査基板Ｐｉとを隣接してＸＹテーブル２上に載置し、そのＸＹテーブル２の送りを検査場所の順に制御装置３内のコンピュータにプログラムし、そのプログラムに従って前記ＸＹテーブルを送り、基準用ビデオカメラ４１０で基準基板Ｐｓの所定部分を撮影し、検査用ビデオカメラ４２０で被検査基板Ｐｉの前記基準基板Ｐｓと同一の部分を撮影し、両映像を画面分割装置３１０を介してテレビモニタ５の画面上に隣接して映出し、両映像を比較して被検査基板Ｐｉの良否を目視検査できるように構成されている。 （もっと読む）