【課題】表面に透明薄膜が形成された基板等の試料において、透明薄膜の上面の微小な異物、キズ等の欠陥を高感度且つ高速に検査することができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の欠陥検査装置によると、照明光学系は、試料の表面の法線に対して所定の入射角を有する検査用照明光を試料表面に照射し、試料表面にスリット状のビームスポットを生成する。試料の表面に対して所定の傾斜角にて傾斜した光軸を有する斜方検出系と試料の表面の法線に沿った光軸を有する上方検出系によって、ビームスポットからの光を検出する。斜方検出系と上方検出系の出力によって、試料の表面の透明薄膜上の欠陥を検出する。検査用照明光の入射角は、試料の表面の透明薄膜下面にて反射した反射光が透明薄膜上面にて全反射するときの入射角より僅かに小さい角度である。 （もっと読む）

【課題】先行車両と道路敷設体とを区別し、道路敷設体によるデータを除去して先行車両の監視を行うことができる前方監視装置を提供する。
【解決手段】カメラ１により自車前方の画像を取得して逆投影画像を生成する（Ｓ１０１Ｓ１０２）。レーダ３により自車前方の物標を検知する（Ｓ１０３）。逆投影画像上に物標の測距点をマッピングする（Ｓ１０４）。各測距点に対して矩形領域を設定し（Ｓ１０５）、各矩形領域で輝度ヒストグラムを生成する（Ｓ１０６）。次に、輝度半値幅Ｗ１を算出し（Ｓ１０７）、該輝度半値幅Ｗ１が第１閾値Ｔｈ１よりも大きければ、この部分の平均輝度Ｂａｖを算出する（Ｓ１０８→Ｓ１０９）。この平均輝度Ｂａｖが第２閾値Ｔｈ２よりも大きければ、道路敷設体の測距点と判断し（Ｓ１１０→Ｓ１１１）、該当する測距点の相対位置データを使用しない。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、指紋照合装置に関し、特に、被認証者が故意に指紋を歪めて指紋照合を失敗させようとする場合に、故意に指紋を歪めていることを検出できるようにする。
【解決手段】
本発明は、指紋照合において、被認証者が指紋読取面に指を置いた際に、指に必要以上に大きな力を加える、指を引きずる、回転させる等の故意に指紋を歪めたことを検出する指紋歪み検出装置により、歪んだ指紋画像の入力を防ぐことができ、指紋照合率が上昇する指紋照合装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 基板の位置検出用マークを撮像装置により確実に撮像すること。
【解決手段】 基板１、２の位置を検出する基板検出装置１０において、基板１、２の表面に設けた位置検出用マーク６０、６１を撮像する撮像装置４０と、基板１、２とマーク６０、６１を撮像する撮像装置４０との相対間隔を基板１、２の表面に直交する方向において変化させる移動装置４０Ａと、撮像した撮像画像からマーク６０、６１の輪郭部分における階調の変化率を求める手段５１と、階調の変化率に基づいて移動装置４０Ａを制御する制御装置５０とを備えたもの。 （もっと読む）

【課題】 光ファイバリング干渉型センサにおいて、落石や侵入者等によって生ずる局所的な振動と、風雨などによって生ずる光ファイバリングの全体に均等に加わる振動とを判別することができるようにする。
【解決手段】複数の光ファイバＬａ，Ｌｂからなるリング状光路を含む光ファイバリングを有し、この光ファイバリングに互いに異なる波長λ_１，λ_２の光を入射させ、光ファイバリングを経た各波長λ_１，λ_２の光それぞれの干渉光強度を観測する光ファイバリング干渉型センサであって、光ファイバリングの全体に均等な振動が加わったときに加振位置として算出される位置の近傍における光ファイバの振動を防止する防振機構１１を設けた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料の微小平面の角度を光学顕微鏡の接眼レンズ及び対物レンズの中間に２個のビームスプリッタを設置した光学系を用いて測定することにより、数十μm程度 (マイクロビッカース試験の領域に対応) の測定面に対し、高い精度で角度測定が行える装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の微小平面の角度測定装置は、試料テーブルに裁置される試料の微小平面の角度を光学系を用いて測定する装置において、光学系の光軸を通る参照光と試料の微小平面で反射した測定光とを撮像素子に入射させ、撮像素子における参照光と測定光の位置のずれから試料の微小平面の角度を測定するようにしたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 時間とともに変化する状況にある対象物に関する計測、検査を行うに際して、対象物の状況に対して解析条件を適合させ、良好な解析結果を得る。
【解決手段】 測定装置による測定値から求められる対象物の変化特性値と、経時的にデジタルカメラで逐次撮影された複数の画像の解析による得られる変化特性値との相対誤差の適合範囲をパラメータとして決定し、対象物を逐次撮影した画像中の特定位置の公称画素移動量に対する相対誤差が適合範囲内となる画像を解析結果として取得する。 （もっと読む）

【課題】 繰り返しパターンを含む２つの検査画像の対応する画素同士のグレイレベル差を検出し、グレイレベル差が欠陥検出条件を満たすとき２つの検査画像のうちいずれかの画素が欠陥であると判定する画像欠陥検査において、様々な繰り返しパターンに対して、検査画像の各部に応じて欠陥検出条件の変更を容易に行うことを可能にする。
【解決手段】 画像欠陥検査装置１０を、検査画像を繰り返し周期の整数倍毎に分割した画素ブロックのいずれかについて、その各画素を複数グループに分類する分類部２１と、この分類結果をこの画素ブロック内における各画素のそれぞれのブロック内位置に対応して記憶する記憶部２２と、他の画素ブロック内の各画素についてのそれぞれの分類結果を、各画素のブロック内位置に対応して記憶部２２から読み出して決定する決定部２３と、を備えて構成し、各画素について決定した分類結果に応じて欠陥検出条件を変更する。 （もっと読む）

【課題】エリプソメータを用いて薄膜評価を行うために使用される薄膜評価用基準基板及び薄膜評価方法を提供する。
【解決手段】エリプソメータを用いて薄膜評価を行うために使用される薄膜評価用基準基板であって、着色成分を含有する結晶化ガラスにより形成されることを特徴とする薄膜評価用基準基板とその基準基板を用いた薄膜評価方法であり、前記結晶化ガラスの主結晶として、Ｌｉ₂Ｏ・２ＳｉＯ₂を含有したり、前記着色成分としてＣｏ、Ｃｒ、Ｎｉ及びＭｎの全てを含有し、前記Ｃｏ、Ｃｒ、Ｎｉは酸化物ＣｏＯ、Ｃｒ₂Ｏ₃、ＮｉＯとして各々０．３〜１．０重量％含有されており、前記Ｍｎは酸化物ＭｎＯ₂として１．５〜２．５重量％含有されている場合や、前記薄膜評価用基準基板の表面の中心線平均粗さが２．０ｎｍ以下を満たすことがある。 （もっと読む）

【課題】対象物の三次元形状を高精度で計測することが可能であり、かつ、計測精度のばらつきを防止することが可能な形状計測装置および形状計測方法を提供する。
【解決手段】形状計測装置１に、対象物１１の表面に取り付けられる球状のターゲット２・２・・・と、ターゲット２・２・・・を撮像するターゲット座標用カメラ４と、ターゲット２・２・・・の画像に基づいてこれらの三次元座標を算出するターゲット座標算出手段と、対象物１１の表面に所定のパターンを投影した状態で対象物１１およびターゲット２・２・・・を撮像する三次元形状用カメラ５と、ターゲット２・２・・・の三次元座標、および、三次元形状用カメラ５により撮像された対象物１１およびターゲット２・２・・・の画像に基づいて対象物１１の三次元形状を作成する三次元形状作成手段と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】 容易に、精確にかつ事前処理を必要としない歪み計測方法及び装置を提供する。
【課題手段】 レーザスペックルパターン２を利用し、試験片３に非接触でポアソン比をリアルタイムで計測する。 （もっと読む）

【課題】 光学系の大型化及び検出光の光量の損失を抑制することができる面位置検出装置を提供する。
【解決手段】 被検面Ａ上に斜め方向から検出光を投射する送光光学系ＳＬと、前記被検面Ａで反射された前記検出光を受光する受光光学系ＲＬと、該受光光学系ＲＬを介した前記検出光を検出する検出器３８とを備え、該検出器３８の出力に基づいて前記被検面Ａの面位置を検出する面位置検出装置２において、前記送光光学系ＳＬは拡大倍率を有し、前記受光光学系ＲＬは縮小倍率を有する。 （もっと読む）

【課題】 ２画像の対応する各画素同士の画素値の差分を検出して、この差分が検出閾値を超えるとき画素部分を欠陥として検出する画像欠陥検査装置及び方法において、比較する２画像に明度差がある場合の疑似欠陥の発生を低減する。
【解決手段】 画像欠陥検査装置１０を、本発明では対比される２画像の差画像とこれら２画像のうちの少なくとも一方との間の相関値を算出する相関値算出手段（２０）を備えて構成し、この相関値の増加に応じて欠陥の検出を抑制する。 （もっと読む）

【課題】 学カメラを用いて三次元形状を計測する三次元形状測定装置、及び三次元形状測定方法を提供する。
【解決手段】 従来の三次元形状測定装置において測定が困難であった強反射領域、スリット欠落領域、及びスリット不連続領域を、強反射領域抽出処理部５０２ａ、スリット欠落領域抽出処理部５０２ｂ、及びスリット不連続領域抽出処理部５０２ｃにより抽出し、再配置位置算出部５０６が抽出された各領域の３次元形状が測定可能な位置を算出する。そして、算出された各測定位置において三次元形状の測定を繰り返し、三次元計測処理部５０１によって各測定位置における三次元形状を統合して被写体の三次元形状のデータを生成することにより、被写体のあらゆる箇所の三次元形状を正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 三次元形状計測装置における従来のキャリブレーション方法では，歪み補正プレートを用いたカメラの歪み補正と，キャリブレーションブロックを用いた高さ方向のキャリブレーションを，別々に行っているので，時間がかかり，またカメラの倍率補正は行っていない。
【解決手段】 そこで本発明では，光切断法による３次元形状計測装置において，スリット光源２と，カメラ５を設置した光学ヘッド部１を所定姿勢で移動可能とする案内部７を設けたキャリブレーション装置６を構成し，この装置には光学ヘッド部の移動方向に，寸法が既知のキャリブレーションブロック８を下り階段状に複数列配置すると共に，一つ置きの列は一段低い階段状としたキャリブレーションパターンを構成したキャリブレーション装置，そしてこの装置を用いたキャリブレーション方法を提案している。 （もっと読む）

【課題】搬送手段上を流れる搬送対象物を確実に認識することが可能な画像処理方法を提供する。
【解決手段】画像処理手段５において前回および今回におけるそれぞれの撮像画像と基準画像とのマッチング処理を行うことにより、基準位置を基準としたときの搬送対象物２に関する前回の撮像画像における実際のずれ量および今回の撮像画像における実際のずれ量をそれぞれ検出し、前記前回の撮像画像における実際のずれ量に対して撮像間隔Ｌを加算することにより今回の撮像画像における推定されるずれ量を算出し、この今回の撮像画像における推定されるずれ量と前記今回の撮像画像における実際のずれ量との差ｄを求め、この差ｄが所定の許容値Ｄ以下となった場合は前回の撮像画像における搬送対象物と今回の撮像画像における搬送対象物とは同一であるものと判定するようにした。
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【課題】温度環境の変化により光学系の支持体が膨張、収縮することの影響を排除して、常に高精度な測定結果を得ることが可能な三角測量方式の光測定装置を得る。
【解決手段】２つの光学系（投影系２０Ａおよび観察系２０Ｂ）を支持するベース板１１の温度を計測する温度検出部３０と、計測された温度とベース板１１を形成する材料の線膨張率とに基づき、計測された温度下での基線の実長を求める基線長算出部４３とが設けられている。演算解析部４２は、基線長の初期設定値を基準長算出部４３において求められた基線の実長値に置き換えるとともに、２つの光学系により得られた観察データを用いて、基線の実長と被観察点との位置関係に基づく演算を行ない、被検体５の３次元形状を解析するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 観測対象物の位置を３次元的に検出し、顕微鏡下で運動する蛋白質１分子の３次元運動を高精度で検出することにも寄与する３次元位置観測方法と装置を提供すること。
【解決手段】 合焦及び絞り機構を有するレンズ系を備え、観測対象物からの光を撮像面に結像する観測装置において、観測対象物から撮像面に至る光路の途中に、その観測光の進行方向を複数の異なる方向に変える偏向部材を配設し、画像解析手段により、偏向部材を介して撮像面に達した複数の像の間の位置関係から、観測対象物の位置を解析する。観測対象物から撮像面に至る光路の途中に、その観測光の一部の進行方向を変える偏向部材を配設し、画像解析手段により、偏向部材を介して撮像面に達した像と、偏向部材を介さないで撮像面に達した像との位置関係から、観測対象物の位置を解析してもよい。 （もっと読む）

【課題】搬送される複数の物品に関する情報を効率的に処理できるハンドリング装置を提供する。
【解決手段】ハンドリング装置１は、ワーク１００を搬送するコンベア２と、ベルト１２を分割した複数のトラッキング範囲Ｒ５の画像を取得してワーク１００の位置を検出する視覚センサ３と、ベルト１２の移動量を検出するエンコーダ４と、エンコーダ４の検出する移動量に基づいて、複数のトラッキング範囲Ｒ５の移動量を監視し、ワーク検出エリアＲ１２を通過中のトラッキング範囲Ｒ５を特定するトラッキングマネージャ２１ｂと、トラッキングマネージャ２１ｂにより特定されたトラッキング範囲Ｒ５内において物品を選択するワークマネージャ２１ｃと、ワークマネージャ２１ｃにより選択されたワーク１００を保持するようにロボット５の動作を制御する制御部２１ｄとを備える。 （もっと読む）

【課題】 高炉出銑口から流出する溶銑・溶融スラグ噴流の熱画像を撮像し、撮像した画像から樋滞留部を分離し、正確に噴流の直径を測定することのできる高炉出銑口径の測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】 高炉出銑口４から流出する溶銑・溶融スラグ噴流８の熱放射輝度２次元分布を、露光時間が短い高速シャッターで複数枚撮像し、複数の画像間で輝度の差分を計算して差分絶対値画像を生成する。高速シャッター撮像により、噴流８は溶銑と溶融スラグとが分離したまだら模様として撮像される。まだら模様は噴流の流れに伴って移動するので、噴流部は差分絶対値画像もまだら模様となる。滞留部８は差分絶対値が小さいので噴流部と区別できる。従って、差分絶対値画像に基づいて、溶銑・溶融スラグ噴流８の直径を測定することができる。 （もっと読む）