【課題】トンネル坑口や陸橋下など背景が急激に変化してもパンタグラフを見失わずデータ抜けが生じないパンタグラフ測定装置を提供するにある。
【解決手段】車両１の屋根上に設置したラインセンサ２からパンタグラフ３付近の映像を取得し、この映像を画像処理部６により画像処理して時空画像を生成し、パンタグラフ３の位置と加速度を測定するパンタグラフ測定装置において、パンタグラフ３には、光の反射しやすい領域４ｂと光の反射しにくい領域４ａとが縞模様となったマーカー４をラインセンサ２による走査方向を横切るように設置し、画像処理部６は、時空画像において、縞模様に対応するマーカーパターンを単位時間毎に高さ方向に走査して一致又は一定以上に近似する箇所を探索することにより照合するパターンマッチングを行うことで、昼間でも背景と明確に切り分けができ、また、トンネル坑口など、背景の輝度が急に変化する場合においても連続的にデータを取得することができる。 （もっと読む）

【課題】停止時に振動を伴う移動体の位置の精密測定において、信頼性が高く且つ測定時間が短時間で済む位置検出方法及び位置検出装置を提供する。
【解決手段】外周にコイル１５を有するレンズ支持体７は、マグネット１３が配置された筐体５、６の内周に配置され且つスプリング９、１１により移動自在に支持されており、コイル１５に所定値の電流（単位駆動力）を流すことにより生じる電磁力とスプリング９、１１の付勢力とが釣り合った位置で停止するレンズ駆動装置１のレンズ支持体７の位置を検出する方法において、レンズ支持体７は単位駆動電流を与えると所定量移動した後に振動を伴って停止しており、連続的にレンズ支持体７の位置を測定し、測定したレンズ支持体７の位置の平均値を所定時間毎に求め、平均値が同じ値の個数を数えて比較し、一番多い個数の値を単位駆動電流による移動位置としている。 （もっと読む）

【課題】プロファイル形状の位置調整を行うためにプロファイルサーチを行う。
【解決手段】２次元受光素子からの受光信号を増幅するための増幅器と、投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において増幅器で得られた増幅信号に基づき、測定対象物のプロファイル形状を演算可能なプロファイル演算手段と、プロファイル演算手段で演算された測定対象物のプロファイル形状を表示可能な表示部と、表示部上で表示されたプロファイル形状中から、プロファイルサーチを行うための基準となる登録プロファイルを指定するための登録プロファイル指定手段と、入力されたプロファイル形状に対して、登録プロファイルに基づき、プロファイルサーチを行うと共に、プロファイルサーチ結果に基づき、入力プロファイル形状を回転または移動させるプロファイルマッチング手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】被塗布物の表面粗さが悪化しても、その表面に塗膜が形成されたか否かを正確に判定することのできる塗膜判定装置及び塗膜判定方法を提供する。
【解決手段】塗膜判定装置は、第１及び第２光学センサーと、各光学センサーの測定結果に基いて、塗膜が形成されたか否かを判定する解析装置とを備え、該解析装置では、塗布処理前後での第１または第２光学センサーの反射光強度の差Ａ１またはＡ２が所定の基準値以下である場合には、塗布処理前での第１光学センサーと第２光学センサーとの反射光強度の差Ｂ１と、塗布処理後での第１光学センサーと第２光学センサーとの反射光強度の差Ｂ２とを比較して、金型の表面に塗膜が形成されたか否かを判定するので、金型の表面粗さが悪化した場合でも、表面に塗膜が形成されたか否かを正確に判定することのできる。 （もっと読む）

【課題】センサヘッド部の設置に際して、ワークに対して正確な位置調整を可能とする。
【解決手段】測定対象物からの反射光を受光して、第１の方向の各位置における受光信号として出力するための２次元受光素子と、２次元受光素子からの受光信号を増幅するための増幅器と、投光部からの照射光の反射光により、第１の方向の各点において増幅器で得られた増幅信号に基づき、測定対象物のプロファイル形状を演算可能なプロファイル演算手段と、プロファイル演算手段で演算された測定対象物のプロファイル形状を表示可能な表示部と、プロファイル形状を表示部で表示された状態で、所望の計測領域を指定するための計測領域指定手段と、領域指定手段で指定された計測領域に対して所望の演算を行うことが可能な計測処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】外乱による影響を排除することが可能な日射センサを提供する。
【解決手段】受光路１５の始端側に紫外線カットフィルタ１９を配置して、日射センサ２２の受光センサ１２に受光される太陽光より紫外線成分を除去し、紫外線による外乱の影響を排除する。 （もっと読む）

【課題】本発明では、液晶基板等の分光透過率測定の前工程として行われる照明光源の位置の調整を自動で行う分光測光システムを提供する。
【解決手段】少なくとも水平方向に移動可能な顕微鏡ユニットと、前記顕微鏡ユニットに追従して水平方向に移動可能であり、かつ、鉛直方向に移動可能な照明光源と、前記顕微鏡ユニットによる観察視野にある所定の観察位置と、前記照明光源からの照明光の中心とを一致させる照明中心補正手段と、前記顕微鏡ユニットによる観察視野内で、前記照明光源より照らされる照明領域について合焦させる合焦手段と、前記照明領域のうち最も明るい位置と前記観察位置とを一致させる最大光量位置補正手段と、を備えることを特徴とする分光測光システムにより、上記課題の解決を図る。 （もっと読む）

【課題】監視対象部に非接触で測定でき、高速で且つ精度の高い測定を行うことができる形状変動監視方法および形状変動監視システムを提供する。
【解決手段】形状変動が起こり得る監視対象部１０の形状を測定し、監視対象部１０の変動を監視する形状変動監視方法であって、監視対象部１０の範囲外に基準ポイント２０を設け、三次元レーザスキャナ３０を用いて監視対象部１０と基準ポイント２０を含む範囲を、基準ポイント２０を基に決定される同一の測定条件で、所定時間ごとに測定し、三次元レーザスキャナ３０で同一の測定条件で測定された測定点を比較して、監視対象部１０の変動を監視する。 （もっと読む）

【課題】被検査物の周期性パターンの欠陥を画像検出するために、回折光によるコントラストの高い画像を検出する照明角度を容易に精度良く見出し、作業者間の検査精度のばらつきを抑えること。
【解決手段】 被検査物に光源からの光を略平行光として照射することで生じる回折光の測定を複数の照明角度で行い、各照明角度での回折光強度を取得する回折光強度データ取得ステップと、 照明角度ごとの回折光強度データを蓄積するデータ蓄積ステップと、 照明角度ごとの回折光強度データを用いて、照明角度ごとの欠陥の見易さを評価する欠陥評価値を計算する欠陥評価値計算ステップと、 欠陥評価値が最大値となる照明角度を設定する照明角度決定ステップと、 を含む欠陥検査装置における照明角度設定方法。 （もっと読む）

【課題】高炉内の反応物質層の外形と反応物質の供給経路とを容易に測定できるようにすること。
【解決手段】高炉内の反応物質層の外形と反応物質の供給経路とを測定する方法は、３次元レーザースキャナーを用意する第１ステップと、コンピューターを用意する第２ステップと、点群データを得る第３ステップと、前記点群データから最上の反応物質層の外形を計算する第４ステップとを含む。前記第１ステップは、内部空間のデジタルデータを示す点群データを出力するため、３次元レーザースキャナーを高炉内の反応物質層に向けることを含む。前記第２ステップは、前記３次元レーザースキャナーを、点群解析プログラムを有するコンピューターに接続することを含む。前記第３ステップは、前記点群データから前記最上の反応物質層の外形を計算するため、前記点群解析プログラムにより実行される。供給される前記反応物質の経路を測定するために少なくとも１つの２次元レーザースキャナーを用いる。 （もっと読む）

【課題】撮像画像に基づいて光学部品の位置を良好に検出可能な位置検出基準シートの提供。
【解決手段】位置検出基準シートにおける印刷面に、複数の異なる正弦関数を四則した関数に基づき明度が設定された正弦明暗模様１２２を表示させている。そして、この位置検出基準シートを、貼付面で光学部品に取り付け可能な構成としている。このため、正弦明暗模様１２２の明度を複数の異なる正弦関数を四則した関数に基づき設定することにより、第２撮像画像のフォーカスがあっていない状態であっても、例えば光学部品が基準状態からＹ軸を中心に回転している場合に、第２撮像画像の正弦明暗模様の状態を、この回転している状態に反映させることができる。したがって、変位検出システムに、光学部品の位置を良好に検出させることができる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面の欠陥を精度よく検査することが可能な欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】照射部１は、ワークＷの表面に対してＡ色の照射光Ｌ１，ＬＡ１とＢ色の照射光ＬＢ１と、Ｃ色の照射光ＬＣ１とを照射する。撮像装置３はワークＷからの反射光を分光して、Ａ色画像、Ｂ色画像、およびＣ色画像を同時に生成する。Ａ色画像はＢ色画像（あるいはＣ色画像）に比べて、ワークＷの欠陥に対応する部分と、その周囲との明るさ（あるいは色）の差が小さい。また、１度の撮影でＡ色画像、Ｂ色画像、およびＣ色画像が同時に生成されるので２つの画像の間に位置ずれが生じるのを防ぐことができる。よって２つの画像を比較すればワークＷの欠陥のみを２つの画像の相違点として抽出することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】ワークの相対変位量の検出可能性を測定効率の低下を招くことなく適切にかつ簡単な構成で判定できる変位検出装置の提供。
【解決手段】変位検出装置は、ワーク変位前の基準画像から基準テンプレートＴ１に含まれる基準領域画像を取得して、この基準領域画像の基準散乱光強度を検出する。検出画像取得領域に対して判定用領域Ｅ１を設定し、この判定用領域Ｅ１内で判定用テンプレートＴ３を移動させつつ、この判定用テンプレートＴ３に含まれる判定用部分画像を取得して、この判定用部分画像の判定用部分散乱光強度を検出する。基準散乱光強度および判定用部分散乱光強度に基づいて、ワーク基準領域Ｊ１およびワーク基準以外領域Ｊ２の表面状態の差異を認識し、この差異が所定の状態以上であると判断すると、基準画像を利用して変位量を検出可能であると判定する。 （もっと読む）

【課題】条件を変えて合成画像を生成することが短時間でかつ簡易な操作で可能な光学式計測装置を提供する。
【解決手段】光学式計測装置は、撮影画像を複数枚記憶可能な画像記憶部（１０２ｂ）と、撮影画像の輝度に影響を与える撮影条件を規定するパラメータの少なくとも１つの値を変更することにより複数の撮影条件を指定し、撮影条件の異なる撮影画像を複数枚撮影部に取得させ、複数枚の撮影画像を画像記憶部に記憶させる制御部（１０１）とを備える。制御部（１０１）は、ユーザからの指示に基づき、画像記憶部に記憶された複数枚の画像のうちから合成画像を作成するために使用する画像を選択し、選択した画像を読み出して所定の輝度条件を満足する領域の画像を抽出し、各選択画像の抽出した領域を寄せ集めて合成画像を生成し、合成画像に含まれる断面輪郭線像に基づいて計測処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】 計測誤差を迅速かつ正確に把握することができる面位置検出装置を提供する。
【解決手段】 光を被検面Ｗへ導く送光光学系ＳＬと、前記光を受光面へ導く受光光学系ＲＬと、前記受光面に配置された検出手段３８と、前記被検面Ｗへ導かれる前記光を測定光と参照光とに視野分割する分割手段４と、前記被検面Ｗを介して前記受光光学系ＲＬへ向かう前記測定光と、前記被検面Ｗを介することなく前記受光光学系ＲＬに向かう前記参照光を視野合成する合成手段５とを備え、前記検出手段３８は、前記受光面において、前記参照光と前記測定光を独立に検出する。 （もっと読む）

【課題】形状測定対象物の三次元形状をより高い測定精度で測定することのできる三次元形状測定システム及び三次元形状測定方法を提供する。
【解決手段】換算部は、各サンプリングで得られた受光データについて、受光時間について正規化した受光データに換算する。照射タイミング導出部は、各サンプリングの受光期間の中心タイミングｔ１〜ｔ５と前記換算後の受光データとを対応付け、周知の補間演算処理を用いて曲線（１）を導出し、該曲線（１）の頂点Ｔに対応するタイミングＴpeakを注目画素ｇの受光量が最大となるタイミング（時間重心）として設定する。位置導出部は、前記時間重心Ｔpeakにおけるスリット光１１Ｅの照射方向と、該注目画素ｇに対するスリット光１１Ｅの入射方向との関係に基づき、注目画素ｇに光を反射した形状測定対象物の部位から三次元デジタイザまでの距離を三角測量の原理で算出する。 （もっと読む）

【課題】容易に製作できる装置により、半導体ウェーハ（薄片試料）の端面の傷の有無を自動検査できること。
【解決手段】ウェーハ１の面に直交する一の平面内に配置され、被検査端部Ｐに対し異なる方向から光を照射する複数のＬＥＤ１２と、被検査端部Ｐの画像データを得るカメラ２０とを備え、計算機３０が、順次異なる一部のＬＥＤ１２のみが点灯した一部点灯状態になるよう制御を行い、さらに、その一部点灯状態の画像データに基づいて、点灯中のＬＥＤ１２の光の正反射光の像の領域（正反射光領域）を特定し、順次異なる一部のＬＥＤ１２のみが消灯した一部消灯状態になるよう制御を行い、その一部消灯状態の画像データついて、点灯中のＬＥＤ１２に対応する正反射領域以外の画像領域であって消灯中のＬＥＤ１２に対応する正反射領域と重複する興味領域の範囲内に、高輝度部が存在するか否かにより、被検査端部Ｐにおける傷の有無を判別する。 （もっと読む）

【課題】単に２次元だけの形状及び広がりを記録するだけで、粒子の第３の次元（画像形成面に対して直交する次元）を解析することができる。
【解決手段】少なくとも１つの物体の画像を捕捉するための少なくとも１つの手段と、当該少なくとも１つの画像捕捉手段と上記少なくとも１つの物体との間の相対的な相互の動きを生成するための手段とを備え、その画像捕捉手段によって捕捉された画像を処理及び解析するための手段をさらに備える、少なくとも１つの物体を解析するための方法及び装置であって、相対的な相互の動きは、上記少なくとも１つの物体と上記画像捕捉手段との間の相互の回転運動を含み、それにより、コンピュータベースの画像解析装置においてさらに処理及び解析するために、画像捕捉手段に対する異なる角度位置において、上記物体（複数可）の２つ以上の画像を確立する。 （もっと読む）

【課題】走査型プローブ顕微鏡が表面に追従する能力を高め、表面トポグラフィの描画精度を向上させること。
【解決手段】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）アクチュエータ（１１０）によって垂直方向に制御されるプローブ先端の位置を推定する推定器（１８０）を設けた。 （もっと読む）

【課題】外観検査により半導体ウエハの表面に現れる欠陥を検出する際に、欠陥を生じた工程を特定する、或いはウエハ表面に繰り返しパターンが成形されていない領域においても欠陥を検出する。
【解決手段】半導体装置製造工程において所定の処理が施される半導体ウエハ２の表面の外観を検査する外観検査装置２０を、この半導体装置製造工程に含まれる所定工程の前後において同じ半導体ウエハ２の表面を各々撮像した撮像画像同士を比較する画像比較部２７と、これら撮像画像間の相違部分を検出する相違検出部２９と、を備えて構成する。 （もっと読む）