【課題】測定動作を停止することなく、オートフォーカス動作を実行させることにより時間短縮が可能な画像測定方法および画像測定装置を提供。
【解決手段】被測定物に対する撮像位置座標およびオートフォーカス位置座標を記憶手段に記憶させる登録工程（ＳＴ１）と、記憶手段に記憶された位置座標を順番に呼び出し、その位置座標がオートフォーカス位置座標であるかを判別する判別工程（ＳＴ３）と、オートフォーカス位置座標でないとき、撮像位置座標へ撮像手段を相対移動させて撮像する撮像工程（ＳＴ４）と、位置座標がオートフォーカス位置座標のときオートフォーカス位置座標へ撮像手段を相対移動させるとともに、撮像手段の光軸方向へ相対移動させながら複数位置で撮像するオートフォーカス動作工程（ＳＴ５）と、得られた画像から合焦位置を求めその位置に記憶手段に記憶された撮像位置座標を補正する補正工程（ＳＴ６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】三次元形状の計測精度向上に寄与するために、ノイズの影響を精度良く排除することができる三次元形状計測装置および三次元形状計測方法を提供する。
【解決手段】演算部４によって、任意の第一の計測点ａの三次元座標と、第一の計測点ａの次に取得された第二の計測点ｂの三次元座標と、から計測点移動ベクトルｖを求めるベクトル演算工程と、演算部４によって、計測点移動ベクトルｖの角度αが、予め定めた連続受光可能範囲（θ₁＜θ＜θ₂）に該当するか否かに応じて、第二の計測点ｂがノイズであるか否かの判定をするノイズ判定工程と、を備える三次元形状計測方法とする。 （もっと読む）

【課題】測定光以外の光による影響を可及的に少なくして測定精度を向上させることができる形状測定装置及び形状測定方法を提供すること。
【解決手段】被検物Ａに測定光（スリット光源５１からのスリット光）を照射して該被検物の３次元形状を測定する形状測定装置である。前記測定光以外の光の変化を検出する検出部（光センサ２０）と、前記検出部が検出した情報に基づいて前記被検物の形状測定に適したタイミングを決定するタイミング生成部（シャッター・タイミング回路４０）と、前記タイミング生成部によって生成した前記タイミングで前記被検物の形状測定を行う測定部（スリット光源５１、カメラ５２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】透明板状体の表面反射像と裏面反射像が重なることなく、良好に分離して透明板状体の面形状を精度良く算出する。
【解決手段】形状測定装置１０は、照明光学系１２の配置位置を透明板状体Ｇの面に射影した位置と、撮像デバイス１４の配置位置を透明板状体Ｇの面に射影した位置とを結ぶ方向を第１の方向というとき、ストライプパターン画像の、透明板状体Ｇの表面反射の像と裏面反射の像とが、第１の方向に位置ずれして少なくとも一部で分離されるように、照明光学系１２は、ストライプパターン画像の直線状の暗部の線の延在方向が、第１の方向に一致するように照射する。ストライプパターン画像の一部をマスクすることで、表裏反射像を分離する。 （もっと読む）

【課題】無端ベルトの縁部に凹凸に拘わらずガイド部材の真直度やガイド部材間の距離を正確に求めることのできる貼着位置計測装置を提供する。
【解決手段】無端ベルトを回転移動させるベルト駆動装置と、無端ベルトの内周面の両端に貼着されたガイド部材を撮像するＣＣＤカメラ２１,２２と、このＣＣＤカメラ２１,２２が撮像した画像から前記ガイド部材の貼着位置と前記無端ベルトの真直度とを求める演算手段とを備えた貼着位置計測装置であって、前記ガイド部材の貼着位置の基準位置を示す基準端を有する基準ブロックを装置本体に着脱可能に設け、ＣＣＤカメラ２１,２２は、前記基準ブロックの基準端と、この基準ブロックを装置本体から取り外して前記無端ベルトのガイド部材とを撮像し、前記演算手段は、前記撮像手段で撮像した前記基準ブロックの基準端の位置と前記ガイド部材の位置とに基づいて、ガイド部材の貼着位置と真直度とを求める。 （もっと読む）

【課題】基板に設けられた複数の基板基準マークのマーク間距離を測定する測定装置において、高精度にマーク間距離を測定し、測定結果を後工程のデータベースとして出力することにより、ワークの歩留まりを向上することができる測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】寸法が予め決められた複数のスケール基準マーク１５が形成された透明ガラス板１２と、基板基準マークＰとスケール基準マーク１５とを撮像する撮像手段１３と、撮像手段１３により撮像された基板基準マークＰとスケール基準マーク１５との２次元座標上距離と、複数のスケール基準マーク間距離とに基づき、基板基準マークＰのマーク間距離を算出する演算処理手段２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】搬送角度を容易に求めることが可能な画像検査装置、画像検査方法および検査用画像作成方法を提供する。
【解決手段】一方向を長手とする複数のレンズを有するレンズシートＬに印刷されている検査用画像を用いて搬送角度を算出する画像検査装置であって、検査用画像は、特定のラインを基準ラインとし、この基準ラインから一方側および他方側のそれぞれに向かって離間するラインごとに、当該基準ラインに対する傾斜角度が所定の角度ずつ増大するように、各ラインが配置されていて、この検査用画像が印刷されているレンズシートＬに光を照射し、このレンズシートＬから反射される光を読み取って、該レンズシートＬに対応する読み取り画像を出力するスキャナ手段１１Ｂと、読み取り画像から、レンズシートＬの搬送角度を算出する算出手段１１Ｃと、を具備している。 （もっと読む）

【課題】従来の線幅測定装置の自動調光を共焦点顕微鏡を有する高さ測定装置に適用すると輝度値とＺ座標のグラフがＺ軸移動範囲の殆どで、最大輝度値に達したり、Ｚ軸移動範囲の殆どで輝度値が低いことがあり、カメラのダイナミックレンジを有効に利用することができないため、精度の悪い測定となっていた。
【解決手段】本発明は高さ測定を行う前に、高さ測定と同様な処理で求めた画像で、予め設定した画像領域のピーク値若しくは代表値を光量のパラメータとし、指定された範囲にパラメータが入るか否かで、自動調光を行い、最適な光量値を求めることが可能な高さ測定装置である。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単であり、ラインセンサを不要とした硬貨径検出装置を提供すること。
【解決手段】硬貨搬送路面の下方に配置され、硬貨搬送路面に設けられた光通過部を通して搬送される硬貨に光を照射する光照射手段と、硬貨搬送路面の上方に配置され、光通過部を通過した光のうち、搬送される硬貨によって遮光されなかった光を受光する受光手段と、硬貨が通過しないときの最大受光量と、硬貨が光通過部を通過したときの最小受光量との関係に基づいて硬貨の径を判定する制御部とを備えた硬貨径検出装置において、光通過部は、硬貨搬送路面の幅方向に対して所定の角度をもって、硬貨搬送路面の側端から内側に向かって両側に切り欠きで設けられており、光照射手段は、放物面鏡と、該放物面鏡の焦点に配置された光源とで構成されて光通過部に平行光を照射し、受光手段は、放物面鏡とそれぞれの放物面鏡の焦点に配置された受光センサとで構成され、光通過部を通過した平行光を各放物面鏡の焦点に集めて受光することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 例えば、頻繁なオフライン較正を必要としない、および／またはより高速のサーボ応答を実現することができる光焦点または位置センサを提供することである。
【解決手段】 スキャトロメータは、測定されるターゲットが正しい焦点面にあるかどうかを検出するように構成された焦点センサを備える。焦点センサで測定されるようなデフォーカスがある特定の関数に従って変化するように焦点センサまたはスキャトロメータの部品に変調が加えられる。変調についての情報から、センサの利得を計算することができる。 （もっと読む）

【課題】自動車等の外観面品質の検査に用いられるハイライト検査において、製品としての表面形状を得るための部品の組付けや治具等が用いられる仮組付けが必要とされず、製品の生産過程における早い段階で、組付け状態での評価と同様に、表面形状について製品状態で隣り合う部品間のつながりを評価することができる表面形状評価方法を提供すること。
【解決手段】二つの部品の境界部分における任意の位置に、二つの部品が共有するターゲットポイントＴＰを設定し、各部品について、仮想の評価対象面に対して共通となるような光線束を照射した状態で、ターゲットポイントＴＰに対する共通の撮像視点から撮像することで、撮像画像１０４、１０５を取得し、各撮像画像を各画像上のターゲットポイントＴＰの位置が互いに一致するように合成することで合成画像１１０を生成し、この合成画像におけるハイライト流れに基づいて、評価対象面の形状を評価する。 （もっと読む）

【課題】 不定間隔で存在する路側の立体物を利用して道路形状を精度良く推定する。
【解決手段】 撮像手段Ｃで自車前方の画像を撮像し、立体物抽出手段Ｍ１で画像内に存在する立体物を抽出し、特徴点抽出手段Ｍ２で立体が地表面に接する特徴点を抽出し、走行状態検出手段Ｓで検出した自車の走行状態に応じて特徴点補正手段Ｍ３で特徴点の位置ずれを補正し、残像生成手段Ｍ４で前記位置ずれ補正後の特徴点と自車の走行状態とから該特徴点の残像を生成し、消失点算出手段Ｍ５で相互に対応する特徴点および残像を通る複数の直線が交差する消失点を算出し、道路形状推定手段Ｍ６で消失点を通る直線のうちで自車の左右両側に最も近いものに基づいて道路形状を推定するので、道路に白線が存在しない場合や、立体物がまばらな場合であっても、道路形状を精度良く推定することができる。 （もっと読む）

【課題】被検物の反射率の小さい部分についても精度良く計測することができるようにする。
【解決手段】ステップＳ１１で、ユーザによって指定された測定部分であると判定された場合には、ステップＳ１２において、形状測定装置は、ステップＳ９で撮像された画像の輝度から、ユーザにより指定された測定精度を満足するための積算枚数を演算により決定する。ステップＳ１３において、形状測定装置は、決定された枚数分の被検物の撮像を行い、ステップＳ１４において、必要な枚数だけ撮像された画像を積算し、その結果得られる積算画像を求める。本発明は、例えば、被検物の形状を測定する形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】この発明は、ケーブル等の独自の特徴点が少ない検出対象の画像情報からでも特徴点をより確実に抽出でき、より確実に３次元形状を検出できる３次元形状検出装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】回折格子４１は、レーザ光発生器４０とケーブル１０との間に回動可能に配置されており、レーザ光発生器４０のレーザ光を複数のスリット光４２からなるパターン光４３とする。処理手段は、パターン光４３によりケーブル１０に付加された複数の輝点１０ａを特徴点として抽出する。 （もっと読む）

【課題】直線移動機構の移動誤差を補正するためのオートコリメータや基準定規、複数の変位検出器等を必要とせず、ステージ移動方向の位置検出用の変位測定装置も別途設置する必要の無い、簡単でコンパクトな構成で、精度の高い真直度測定を可能とする。
【解決手段】測定対象８との間の相対変位を測定できる変位検出器３２を直線移動機構１２に取り付け、変位検出器の測定方向と直交する方向に移動させながら測定対象との相対変位を測定する真直度測定装置において、直線移動機構の進行方向の移動量と、それに伴って生じる測定対象の真直度方向に変位した直線移動機構の移動量を一括して測定可能な二次元変位検出器７２を備える。 （もっと読む）

【課題】動物用外形測定システムにおいて、動物の外形測定を簡単に行えるようにする。
【解決手段】動物用外形測定システム１は、動物Ａが通過可能な環状体２と、環状体２の内周縁に間隔をおいて配設され、環状体２内を通過する動物Ａの外径を測定する複数の外径測定部３と、外径測定部３により測定されたデータに基づき、その動物Ａの外形データを取得する解析装置４と、を備える。動物Ａに環状体２を通過させるだけで動物Ａの外形を測定することができるので、従来のように動物Ａの外形測定時に動物Ａを静止させる必要はなく、測定の手間が掛からず、測定が簡単となる。 （もっと読む）

【課題】被検体深部における被検体情報を、従来に比べて高Ｓ／Ｎかつ高速に取得可能な生体観測装置を提供する。
【解決手段】本発明の生体観測装置は、音波を被検体へ出射可能な音波発生部と、前記音波の出射状態を切り替える制御部と、前記被検体の内部に到達可能な照明光を、波長を漸次変化させつつ出射する照明光発生部と、前記被検体の内部において前記照明光が反射及び散乱された光である物体光を受光する受光部と、前記音波の出射状態がオフである場合に前記受光部に入射される光と前記照明光との干渉光から得られる干渉信号、及び、前記音波の出射状態がオンである場合に前記受光部に入射される光と前記照明光との干渉光から得られる干渉信号を出力する干渉信号出力部と、前記干渉信号各々に基づき、前記音波により密度が増大された各部位における光散乱情報を算出する演算部と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、薄膜試料の温度を広い範囲に連続的に変化させながら、前記薄膜試料の偏光パラメータ（Ψ、Δ）を測定することにより、特定の圧力および温度において、前記薄膜試料の膜厚L、屈折率n、消衰係数k等の物性を求め、ナノ空孔の量と大きさや比表面積、熱膨張率、分解脱離に伴う熱光学特性などの評価を目的とした、圧力温度可変偏光解析測定方法を提供することである。
【解決手段】偏光解析装置において、光学的に透明な窓を設けた試料評価室内に試料を配置し、該窓には、該試料評価室内の気体圧力と温度を変化させても、試料台に載置された試料に照射する入射光に対して垂直な光学面、および、試料から反射する反射光に対して温度を変化させても垂直な光学面が設けられていることにより、種々の圧力をもつ所定の雰囲気中において、種々な温度における試料の屈折率、消衰係数又は膜厚を求めることを可能とした偏光解析装置である。 （もっと読む）

【課題】被検物の立体形状を正確に計測することができる計測装置を提供すること。
【解決手段】被検物Ｍを支持して、該被検物を、互いに交差する２つの軸（θ軸、φ軸）の周りでそれぞれ変位させるステージ部材（θステージ２０、φステージ２５）と、前記被検物の変位によらず該被検物との相対位置関係が変化しない位置基準部材（レジストレーションマーク２４ａ，２４ｃ，２９）と、前記被検物と前記位置基準部材の形状情報をそれぞれ採取する計測部（形状センサ３０）と、前記計測部を前記２つの軸を含む面に対して平行に移動させる移動部（Ｘ軸ステージ３５）と、前記被検物の形状情報と前記位置基準部材の形状情報とに基づいて前記被検物の形状データを求める処理部（形状測定回路４０、形状合成回路４２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】参照光と検査対象物で反射され周波数変調された信号光との干渉縞を安定化することが可能な干渉縞安定化装置、および検査対象物の内部欠陥の検出精度の向上が可能な非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】非破壊検査装置は、検出用レーザ１１と、弾性波励起用レーザ２１と、信号光と参照光とを干渉させ検査対象物Ｏｂの振動を検出する振動検出手段３０と、干渉縞安定化装置４０とを備える。干渉縞安定化装置４０は、信号光から分岐された補正用信号光と参照光から分岐された補正用参照光との干渉縞を検出する干渉縞検出手段４１と、補正用参照光を分岐する前の参照光の光路上に配設され参照光の波面を制御する波面制御用ミラー４２と、干渉縞検出手段４１により検出される干渉縞の安定状態からの位相シフトを抑制するように波面制御用ミラー４２の位置を制御する制御手段４３とを備える。 （もっと読む）