【課題】検査対象基板の気泡起因の突起欠陥と、異物起因の突起欠陥と、表面のうねり(ラフネス)を、正確に判別して、欠陥検査を行う。
【解決手段】検査対象基板とほぼ垂直な方向から光束を照射し、その照射光によって発生した反射光の強弱を光学センサで受光する工程と、この光学センサで検出した信号に基づいて画素ごとの階調分布を算出し、階調の極大値の座標を算出する工程と、前記検出した信号に基づいて画素ごとの２値化処理した画像を作成し、欠陥候補部の形状を認識し、この形状の重心の座標を算出する工程と、前記極大値の座標と前記重心の座標の位置関係によって欠陥の種類を判別する工程を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 従来技術では、３次元モデルを２次元画像へ投影する処理や、画像から抽出される全ての２次元特徴と３次元モデルの特徴との対応を検査する処理などの演算量が大きいという課題があった。
【解決手段】 ３次元モデル特徴とのマッチングに必要な画像特徴を、所定の画像特徴制約条件で絞り込んで抽出する画像特徴抽出手段と、３次元モデル特徴と画像特徴とを２次元平面上でマッチングさせて、モデル特徴と画像特徴との対応関係である特徴対応情報を所定の特徴対応制約条件で絞り込んで取得する２次元マッチング手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】時系列的に変化する撮影画像から、撮影装置の撮影位置、姿勢又は対象物の座標を精度良く計測でき、また、高速、小メモリ容量の超解像処理を可能とする。
【解決手段】時系列的に撮影した一連の撮影画像を取得し、撮影画像から特徴点を抽出し、特徴点を追跡して相互に対応付け、対応付けられた一連の撮影画像から、超解像処理を行なうための画像群である原画像群を選択し、原画像群において対応付けられた特徴点から超解像処理を行なうための特徴点としての主特徴点を抽出して、主特徴点の周囲の小領域に部分画像を設定し、部分画像を特徴点の移動量が略等しいグループに分けて部分画像に超解像処理を行ない部分的超解像画像を形成し、部分的超解像画像が形成された撮影画像群からステレオ画像を選択し、標定および三次元計測を行なう。 （もっと読む）

【課題】 アライメントマークの計測の高速度化を図りつつ、マーク位置を高精度に計測できるようにする。
【解決手段】 ウエハＷを載置して移動するウエハステージＷＳと、ウエハステージＷＳ上に載置されたウエハＷに形成されたアライメントマークＡＭ１〜９を検出するアライメントセンサＡＳ１〜３と、アライメントマークＡＭ１〜９をアライメントセンサＡＳ１〜３で検出する際のウエハステージＷＳの移動方向であるＹ方向に沿って、ウエハステージＷＳ上に配列的に設けられた複数のステージマークＳＭ１Ｒ〜ＳＭ９Ｒ，ＳＭ１Ｌ〜ＳＭ９Ｌと、アライメントセンサＡＳ１〜３がウエハマークＡＭ１〜９を検出しているときに、ステージマークＳＭ１Ｒ〜ＳＭ９Ｒ，ＳＭ１Ｌ〜ＳＭ９Ｌを検出するステージマークセンサＳＳ１〜２と、これらセンサＡＳ１〜３，ＳＳ１〜２の検出結果に基づいて、アライメントマークＡＭ１〜９の位置を求める制御装置ＦＩＡＵとを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】改善された端面を有する特にガラス・ロッド部分の形で光導体を提供する。
【解決手段】本発明は、ガラス・ロッド、特に光導体を検査するための方法であって、ガラス・ロッドは２台のカメラの前に配置され、これらのカメラはガラス・ロッドの端面を側面から、ガラス・ロッドの長手方向軸に対して半径方向の２つの異なる視野方向で記録し、端面の外形の平面度と傾斜度は両方のカメラによって記録に基づいて光学的に非接触式で決定され、ガラス・ロッドは、その端面の平面度または傾斜度のいずれかがそれぞれ規定された設定範囲から逸脱している場合には、除去／分類デバイスによって自動的に除去および／または分類される方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】記録紙の斜行量及び記録紙の搬送速度の速度ムラに因らず、より精度よく記録紙のサイズを検出することが可能な画像形成装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】同一の記録紙７に対し感光体ドラム５０５上に形成された現像剤像の転写、定着を複数回行う画像形成動作が可能であり、記録紙７の位置を検知するラインセンサ１０〜１２と、ラインセンサ１０〜１２の検知結果に基づいて記録紙７の斜行量を算出し、次いで記録紙７の主走査方向及び副走査方向の長さを算出し、第１の記録紙サイズとして定着前の記録紙７のサイズを、第２の記録紙サイズとして定着後の記録紙７のサイズを検出する主走査方向演算部２４及び副走査方向演算部２５と、第１及び第２の記録紙サイズから定着前後における記録紙７の伸縮率を算出し、該伸縮率に基づいて画像形成動作を制御する画像補正制御部２６とを有することを特徴とする画像形成装置。 （もっと読む）

【課題】
簡便な方法で高精度にリンク長を推定する。
【解決手段】
モーションキャプチャにより計測された被験体上のマーカ位置情報を用いた運動学パラメータの推定手段である。リンク機構モデルのリンク上の相対マーカ位置、リンク長、関節角とから推定マーカ位置を定義し、前記マーカ位置情報と前記推定マーカ位置との誤差を表す目的関数を用意する。前記目的関数に、複数フレーム上のマーカ位置情報、及び、関節角を入力する手段と、前記目的関数を用いて前記誤差を最小にする最適化計算を行い、複数のフレームに共通の相対マーカ位置及びリンク長を推定し、推定されたリンク長を前記被験体に特有のリンク長とする手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】基板テーブルの位置および／または移動を、過剰なコストの増加を伴うことなく、広い移動範囲にわたって正確に測定するために使用することができるシステムを提供する。
【解決手段】変位測定システム、詳細には、基準フレームに対するリソグラフィ装置内の基板テーブルの変位を測定するための変位測定システムが提供される。変位測定システムは、基板テーブルに取り付けられた複数の変位センサと、基準フレームに取り付けられた、個々の変位センサと結合したターゲットとを備えている。 （もっと読む）

【課題】被検出部が非円筒状でも測定でき、毎分数万回転の高速回転まで測定可能なポリゴンミラーの面出入り測定装置を提供する。
【解決手段】第１光源２と、前記第１光源から射出された第１測定光６を集光させる第１光学レンズ３と、第１測定光６を被測定ポリゴンミラーで反射させた第１反射光７の位置を検出する第１光検出素子５と、第２光源８と、前記第２光源から射出された第２測定光１２を集光させる第２光学レンズ９と、第２測定光１２を被測定ポリゴンミラーで反射させた第２反射光１３の位置を検出する第２光検出素子１１と、第１光検出素子と第２光検出素子から出力される信号より、ミラー面の面出入りを算出する面出入り算出手段を備えたことを特徴とする面出入りを測定する装置。 （もっと読む）

【課題】円盤状体の直径測定における測定時間を短縮することができる直径測定装置を提供すること，および被測定物であるウェーハなどの円盤状体のそりやひずみ，或いは測定時に傾きなどが生じた場合でも，高度の測定精度を維持することの出来る直径測定装置を提供すること。
【解決手段】測定対象である円盤状体の直径に対応する上記円盤状体の外周位置に，該円盤状体の２以上の外周部分に測定光を照射する２以上の照射光学系と，これに対向し上記照射光学系から照射され上記円盤状体の外周部分で一部が遮られた測定光を受光する受光光学系とを備え，上記受光光学系による光学画像に基づいて上記円盤状体の直径を算出する直径測定装置。 （もっと読む）

【課題】 高温の測定対象物にも適用でき、測定対象部位の変形を直接計測することにより、ノイズの少ない高精度な信頼性のある歪み計測をできるようにした光学式振動歪み計測装置を提供する。
【解決手段】 一つのフォルダーに取り付けた少なくとも３基のレーザ変位計を用いて振動する測定対象部位の少なくとも３箇所の変形を測定し、各レーザ変位計により計測した変位の差から測定対象物に発生している振動変形による歪みを演算装置により演算する。 （もっと読む）

【課題】レーザ座標表示系における医療技術機器患者テーブルの位置決め精度のチェックを簡素化する。
【解決手段】アイソセンタに位置決め可能な患者テーブルと光学座標表示系とを備え、この座標表示系が、試験ビームを放出するために設けられた少なくとも１つのビーム源、特にレーザ放射器を有する医療技術機器、特に放射線治療機器において、患者テーブルの位置決め精度をチェックするために、１列の光電池で構成された少なくとも１つの光電池列を有しビームを検出するための試験体が設けられ、試験体の位置が患者テーブルの位置と相関している。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の任意断面に相当する三次元データの任意断面データを、座標位置合わせ等を行うことなく簡易に取得できるようにする。
【解決手段】基準平面１１Ｐ上に測定対象物１２ａを載置し、測定対象物１２ａを挟んで少なくとも３つのマーカー１３ａを配置する。次に、マーカー１３ａの三次元座標値に対して位置合わせが可能なように、測定対象物１２ａの三次元データを取得する。そして、３つのマーカー１３ａの三次元座標値に基づいて第１の平面π０を求め、３つのマーカーのうち、２つのマーカー１３１，１３２を通り、第１の平面π０に垂直な第２の平面π１を決定する。しかる後、第２の平面π１を決定づける平面方程式と三次元データとの交点から、前記三次元データの断面データを取得する。 （もっと読む）

【課題】回折アライメントビームを偏向させるためのより強固で、簡単かつ安価な方法を提供する。
【解決手段】アライメントツールは、基板Ｗ上のアライメントマークＰ１をアライメントビームで照らし、反射スペクトルを測定する。この反射スペクトルは基準マークＧ９１、Ｇ９３、Ｇ９６と比較され、ミスアライメントの有無を判断する。アライメントマークＰ１から基準マークＧ９１、Ｇ９３、Ｇ９６上へとアライメントビームを回折することによってもたらされたサブビームを偏向するためにブレーズ型サブ波長格子１０を使用する。 （もっと読む）

【課題】非破壊的で簡便であり、ＦＥＭ解析に適用でき、実証性を有する溶接変形および残留応力の評価方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる溶接構造物の評価方法は、マーキングされた溶接材表面の画像を、互いに異なる溶接状態において取得する工程と、それぞれの溶接状態において取得された画像を比較して、前記溶接材の変位差を測定する工程と、前記変位差を逆解析して固有ひずみを求める工程と、前記固有ひずみから両溶接状態の残留応力差と変形差を算出する工程とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板に形成されるパネルのエッジの位置を精度よく検出する。
【解決手段】エッジの位置検出装置が実行する処理は、当該装置に対して外部から入力される指示に基づいて、初期設定を実行するステップ（Ｓ７１０）と、ガラス基板の全体を表わす画像から、対象となる領域に対応する画像を抽出するステップ（Ｓ７２０）と、抽出された画像のエッジを強調した画像データを生成するステップ（Ｓ７３０）と、エッジ強調された画像を表わすデータを投影累算方向の方向に従って積算し、一次元投影累算データを生成するステップ（Ｓ７４０）と、統計量を算出する対象となる領域を決定するステップ（Ｓ７５０）と、決定された領域に基づいて統計量を算出し、その統計量に基づいて閾値を算出するステップ（Ｓ７６０）と、閾値を用いて、パネルエッジの位置を決定するステップ（Ｓ７７０）とを含む。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を用いたパターン投影装置又はパターン検査装置において、干渉縞の発生を低減すること。
【解決手段】レーザ光を発生するレーザ発生装置と、パターンを有するマスクと、レーザ発生装置とマスクの間に配置され、レーザ光をマスク上に照射し、パターンを対象物に投影する光学系と、光学系内に配置される回転位相板と、回転位相板を回転する駆動装置と、回転位相板と光学系間の振動伝播を阻止する緩衝材と、を備えている、パターン投影装置、及び、パターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】傾斜した測定面を有する被測定物を良好に測定できる光学式変位測定器の提供。
【解決手段】光学式変位測定器の光学装置１６０に、平行光Ｌ１３を集光させた集光光Ｌ１４を、被測定物９００の測定面９０１に向けて照射するとともに、測定面９０１からの反射光Ｌ１５を受ける対物レンズ１７０と、この反射光Ｌ１５における集光光外縁Ｌ１４Ａよりも外側に向けて反射された外側反射部分Ｌ１６を反射して、測定面９０１における集光光Ｌ１４の照射位置Ｐへ入射させる反射手段１９０と、を設けている。このため、外側反射部分Ｌ１６に対応する外側反射集光光Ｌ１９を測定面９０１で反射させた第２測定面反射光Ｌ２０を、集光光外縁Ｌ１４Ａから内側にかけての部分、および、平行光外縁Ｌ１３Ａから内側にかけての部分を進行させて、受光ビームとして合焦位置の検出に利用することができる。 （もっと読む）

【課題】 誤品検査を行う作業者の集中力を回復させることができる物品検査装置を提供する。
【解決手段】 部品コード（物品識別情報）に対応して部品の外観形状を示す情報を記憶している外観形状データベース（記憶手段）２１と、部品に付されている部品ＩＤを入力する部品ＩＤ入力手段３１と、部品ＩＤが入力された際に、入力された部品ＩＤに対応して外観形状データベース２１に記憶されている外観形状情報から得られる真正物品の外観形状、又は、入力された部品ＩＤから相違する非真正物品の外観形状を表示する表示器４０を備えている。そして、表示器４０が真正物品の外観形状を表示する頻度は、非真正物品の外観形状を表示する頻度よりも高い。 （もっと読む）

【課題】例えば１０ｎｍ以下の微小なスペーシングを測定することが可能なスペーシング計測装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】被計測物Ｔの表面に透明体４を対向させ、透明体４を介して光を被計測物Ｔに出射し、被計測物Ｔの表面と透明体４との対向部に生じる干渉光の強度に基づいて被計測物Ｔと透明体４との間のスペーシングを算出するスペーシング計測装置であって、光を出射する光源１と、出射した光の強度を所定の周波数の変調波で変調させる変調手段２と、干渉光の光強度を電気信号に変換するセンシング手段７と、電気信号を、前記変調波を参照波として同期検波する同期検波手段８とを備えている。 （もっと読む）