【課題】反射・散乱部材で反射された放射線を入射するモニタ用センサを配置することで、モニタ用センサに入射する放射線源からの放射線強度を抑えて長寿命化を実現する。
【解決手段】放射状の照射角を持つ放射線源と測定用センサを有する放射線検査装置において、前記放射線源と前記測定用センサの間で且つ、前記測定用センサに向かう放射線を妨げない位置に反射・散乱部材を配置すると共に、該反射・散乱部材で反射された放射線を入射するモニタ用センサを配置した。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で、機構部が高炉内の熱や高濃度粉塵等の影響を受けずに、高精度なプロフィル測定を行うことができる高炉内装入物のプロフィル測定装置を提供する。
【解決手段】高炉２の炉頂部に設置され、高炉内装入物４のプロフィルを測定するプロフィル測定装置１であって、マイクロ波の発信および受信が可能なマイクロ波送受信器１４と、マイクロ波を放射するアンテナ１１と、マイクロ波送受信器１４とアンテナ１１とを連結する導波管１３と、アンテナ１１から放射されたマイクロ波を高炉２の炉内に向けて反射する反射板１２と、反射板１２を駆動する反射板駆動装置１６と、反射板１２と反射板駆動装置１６とを連結する駆動軸１５と、からなる測定装置本体部１０全体が、高炉２の炉内に向けた開口部２１を有する耐圧容器内９に収納されている。 （もっと読む）

【課題】鉄鋼石やコークスの堆積プロフィール測定をシュータの一旋回毎に行うことで、実際の堆積プロフィールを理論堆積プロフィールにより近づけて最適な高炉の操業を行う。
【解決手段】高炉の内部に鉄鋼石やコークス等の装入物を装入し、堆積させる方法であって、シュータの旋回中、もしくは一回の旋回毎に、検出媒体で堆積物の表面を走査して堆積プロフィールを測定しながら装入物を装入する。また、測定した堆積プロフィールを、予め求めた理論堆積プロフィールと比較し、理論堆積プロフィールからの誤差を修正するようにシュータを制御して新たな装入物を装入する。そして、このような装入方法を用いて高炉を操業する。 （もっと読む）

【課題】試料透過後の線束を減ずる事無く、放射線検出素子に入力させることでＳ／Ｎを改善した放射線検出装置を提供する。
【解決手段】放射線源と、該放射線源からの放射線を被検査物を介して受光する第１放射線検出素子と、該第１放射線検出素子の近傍に配置された前記第１放射線検出素子と同等の第２放射線検出素子を少なくとも一つ設けるとともに、前記第２放射線検出素子を前記放射線から隔離する隔離手段を備えている。 （もっと読む）

用途：監視領域内の標的の遠隔的な検査
主題：監視領域に、２以上の主要マイクロ波エミッタを用いてマイクロ波を照射する。監視領域から反射された信号を１以上の平行記録チャネルを用いて記録し、さらにこの記録信号をコヒーレント処理し、監視領域内散乱体の（主要エミッタから標的までの距離に基づいて）再構築された形状の最大強度の値を得る。前記コヒーレント処理の結果として得られた情報を、三次元表面に相当するマイクロ波イメージを構築することによって表示する。さらに、マイクロ波エミッタに同期した２以上のビデオカメラを用いて、標的のビデオイメージを獲得し、得られたビデオイメージを変換し、三次元ビデオイメージ及びマイクロ波イメージを一般化座標系へと変換する。これによる技術的成果として、秘密裏の検査における誘電体の存在又は非存在決定の信頼性が向上する。 （もっと読む）

【課題】 対象面に浮遊物が付着することを抑制するためのガスを噴射するノズルの、当該対象面に垂直な方向の設置スペースを従来よりも小さくする。
【解決手段】 スリットノズル４１ｂによって、センサ面３１ａの下方の空間の周方向全体（全周）から、センサ面３１ａの下方の空間に対してガスを噴射するに際し、ガス噴射軸の角度θと、ガス噴射の広がり角度γとの関係が、０＜θ≦γ／２、好ましくはθ＝γ／２の関係を満足するように、スリットノズル４１ｂの形状を決定する。したがって、従来のように、センサ面３１ａに垂直な方向に、２種類のノズルを形成する必要がなくなる。よって、センサ面３１ａに垂直な方向におけるノズルの設置スペースを従来よりも小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】
外乱等の影響に依らず、焦点等の調整が行われた高画質画像に基づく測定が可能な試料
の検査，測定方法を提供すること。
【解決手段】
焦点調整が行われた電子ビームを走査して、前記パターンを測定するための画像、或いは測定のための位置合わせを行うための画像を形成し、当該画像の評価値と、予め取得された参照画像の画像評価値を比較し、当該参照画像との比較によって、前記形成された画像が所定の条件を満たさないと判断される場合に、前記電子ビームの焦点調整を再度実行する方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】装置毎、或いは日々の変動に合わせて設定する必要のあった画像取得対象個所を自動で設定することができる、試料の管理機能を提供する。
【解決手段】機差測定を行う為にウェハ上に当該ウェハ上で測定済みのパターンの箇所及び当該測定済みの箇所を測定した装置の情報をマーキングするための領域（レプリカ領域等）を設け、当該マーキングを参照することにより、試料を管理する。マーキングの方法としては、電子線照射によるコンタミネーション付着を挙げられる。この場合、コンタミが付き易いように電子線照射密度を上げる。このために、倍率を上げる、プローブ電流の増加、積算フレーム枚数の増加などを実施することができる。 （もっと読む）

【課題】スポットビーム型電子ビーム露光装置及び電子ビーム位置変動抑制方法に関し、各種の外乱に起因する電子ビームの位置変動をリアルタイムに抑制する。
【解決手段】電子源１から放出された広い断面積の電子ビームを一つの描画用電子ビーム３とそれを取り囲む四つの検出用電子ビーム４とに分ける五つの孔を配置したビーム制限絞り２と、四つの検出用電子ビーム４を四極子のレンズと双極子の偏向との重畳電場内に通過させる電場発生機構５と、描画用と検出用の双方電子ビームに作用するコンデンサレンズ６と、描画用電子ビーム３を照射面に集束させる対物レンズ８の主面付近の上下に検出エッジ及び検出器の組み合わせからなる電子ビーム検出機構９をｘ，ｙ方向に計四つ配置し、一方の方向から二つの検出信号を処理する検出信号処理回路１１を各々の方向に備え、各検出信号処理回路１１からの出力により描画用電子ビーム３を偏向させる偏向器７を備える。 （もっと読む）

【課題】 ワークを検査しながらのゼロ点補正を可能にし、温度ドリフト等による精度のばらつきを低減させることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線画像に基づいてワークの体積を測定するＸ線検査装置であって、その処理ユニット６が、各透過領域のＸ線画像濃度データから透過領域の等価厚画像の濃度データへの変換処理を施すデータ変換処理部６２と、等価厚画像の濃度データに基づいて複数の透過領域におけるワークの体積を測定する体積測定部６３と、Ｘ線透過量相当のデータを処理して、ワークにＸ線が照射されるときの背景の等価厚をゼロとするようＸ線画像濃度データをゼロ点補正するゼロ点補正部６１とを含み、ゼロ点補正部６１が、ワークの体積を測定する周期に応じてゼロ点補正を実行する。 （もっと読む）

【課題】 大気の変動を考慮した厚さの測定を行うことにより、高い精度でシートの厚さ測定を可能にする。
【解決手段】 測定対象であるシートＳに照射するＸ線を発生するＸ線源１と、シートＳを透過したＸ線量を検知するＸ線センサ２と、Ｘ線源１とシートＳの間に配置され、かつシートＳに到達する前のＸ線量を検知する補正用センサ３と、Ｘ線センサセンサ２で検知されたＸ線量及び補正用センサ３で検知されたＸ線量に基づいてシートＳの厚さを算出する演算部６と、を備えるシート厚さ測定装置１０。演算部６は、補正用センサ３で検知されたＸ線量に基づいて求められた大気の密度と、Ｘ線センサ２で検知されたＸ線量に基づいてシートＳの厚さを算出する。 （もっと読む）

【課題】 荷電ビームを用いて寸法測定パターンの測長を行う際に、正確に寸法測定を行うことができる寸法測定パターン及び寸法測定方法を提供する。
【解決手段】 基板上に形成され、荷電ビームを用いた寸法測定に使用される寸法測定パターンにおいて、寸法が測定される測長部６を有するメインパターン１０ｍと、メインパターン１０ｍに隣接して、前記荷電ビームの合焦点位置が前記測長部６と等価であるサブパターン１０ｓを設ける構成とする。
上記構成によれば、荷電ビームのフォーカスをサブパターン１０ｓで合わせることで、測長部６にフォーカスを合わせることが可能となる。したがって、フォーカス合わせ中に測長部６にコンタミネーションが付着したり、測長部がチャージアップしたりすることがなく、測長部６の寸法を正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線を利用した膜厚計で内部汚染を防ぐ
【解決手段】少なくとも片面に無機物層を持つプラスチックフィルムの該無機物層の膜厚組成を真空中で蛍光Ｘ線により連続的に測定する装置にかんし、真空状態から大気圧に戻す際に蛍光Ｘ線測定経路を測定対象が有る部分より圧力を高く保持しながら大気圧に戻す機構を持つ事を特徴とする膜厚測定装置である。 （もっと読む）