【課題】 ワークの平坦度を高精度に計測できる方法，装置を提供する。
【解決手段】 ワークＷは、基準筒面Ｗｂと基準筒面Ｗｂの中心軸線と直交する平坦面Ｗｃとを有する。ワークＷは、中心軸線を略中心にして回転される。第１，第２の計測手段６０，７０は、軸方向に離れ基準筒面Ｗｂに対峙して配置され、ワークＷが所定角度回転する度に、基準筒面Ｗｂにおいて計測手段６０，７０に対峙する環状領域の位置を計測する。第３計測手段８０は平坦面Ｗｃに対峙して配置され、ワークが所定角度回転する度に、平坦面Ｗｃの位置を計測する。計測手段６０，７０の位置情報から、基準筒面Ｗｂの中心軸線と直交する基準平面を実質的に求め、第３計測手段で計測された位置情報をこの基準平面からの位置情報に補正し、この補正情報に基づき平坦度を演算する。 （もっと読む）

【課題】実時間で再計算する３次元測定データの分析結果再計算システム及び方法を提供する。
【解決手段】測定データの分析結果を、補助幾何及び上記補助幾何から生成された各種寸法又は幾何公差間の相互連関関係を有するように定義し、測定データの変更の際に、相互連関された情報により分析結果を実時間で再計算して、測定データの変動による反復的な検査作業を単純化させる。 （もっと読む）

【課題】
現場での組み立て調整が容易で輸送もでき、その結果として生産場所をも制限されなくなるパネル部材検査装置を提供する。
【解決手段】
矩形板状をなすベース２と、そのベース２上を長手方向に移動可能に設けたパネル載置台３と、前記ベース２上に長手方向と直交して跨るように設けた門型をなすヘッド支持体４と、前記ヘッド支持体４によって長手方向と直交する方向に移動可能に支持させた検査機器支持用ヘッド５とを備えたパネル部材検査装置１において、ベース２とヘッド支持体４との間で２分割可能に構成し、各分割体の大きさを所定以下にできるようにするとともに、ベース２とヘッド支持体４との間に、それらを結合させるときの相対的な位置決めを行う位置決め機構７を設けた。 （もっと読む）

【課題】 偏心を含んだ回転体表面の凹凸データを偏心の影響のないデータに補正する方法を提供する。
【解決手段】 検査するタイヤ１０のタイヤクラウン部１０ｔと上記距離センサ１４とのタイヤ周方向の距離をΔθ毎にで測定した測定点ｘ_kにおける距離データＬ_kと上記タイヤ１０の回転中心から上記距離センサまでの距離Ｌ₀とから半径値ｒ_kをそれぞれ算出し、更に、測定開始点から当該測定点ｋまでの半径値ｒ_kを上記Δθで積分して表面長さＳ_kを算出して凹凸データを（ｘ_k，ｒ_k）の形に変換するとともに、上記、タイヤ１周分の表面長さＳ_Nを等間隔に分けた凹凸算出点Ｘ_kにおける半径値Ｒ_kを、上記凹凸算出点Ｘ_kに隣接する測定点ｘ_k，ｘ_k+1における半径値ｒ_k，ｒ_k+1に基づいて演算してこれをタイヤクラウン部１０ｔ表面の等間隔な位置における凹凸データ（Ｘ_k，Ｒ_k）とした。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査における各処理を実行する処理部の負担を軽減することができる長尺体の欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物１を撮像部４で撮像して得られる画像データに基づいて、画像処理回路５で欠陥を検出する。撮像部位に対して幅方向に位置する被検査物１のエッジ位置をエッジ検出部７で検出し、検出したエッジ位置と基準エッジ位置とのずれ量、即ち蛇行量を蛇行量算出回路８で求める。画像処理回路５で欠陥が検出されたときは、検出された欠陥について基準エッジ位置を基準とした座標を欠陥座標算出回路６で求める。座標補正回路９は、求めた座標を前記蛇行量に基づいて補正して補正座標を出力する。 （もっと読む）

【課題】 基板上の位置に応じてスケーリングが異なる場合であっても、基板上の各ショット領域を所定の位置に高精度に位置合わせする。
【解決手段】 ウエハ８上の被露光領域を、ウエハ８の中心を原点とする第１象限Ｑ１〜第４象限Ｑ４の内の２つ含む部分領域ｐｘ１，ｐｘ２，ｐｙ１，ｐｙ２に分け、各部分領域ｐｘ１，ｐｘ２，ｐｙ１，ｐｙ２について個別にスケーリング補正値を求める。このスケーリング補正値と、全サンプルショットＳＡ_１〜ＳＡ_９の計測値とを用いてＥＧＡ演算を行って、ウエハ８上のショット領域の設計値を実際に位置合わせすべき座標値に変換する変換行列を求める。 （もっと読む）

【課題】外乱の影響を受けることなく、アクチュエータの操作点とシートの幅方向の計測点との位置対応を高精度に検出することが可能なアクチュエータと計測点対応付け装置、アクチュエータと計測点対応付け方法、およびコンピュータが実行するためのプログラムを提供することを目的とする。
【解決手段】制御装置１９のアクチュエータと計測点対応付け手段は、アクチュエータの操作量を時系列の所定パターンで変化させた場合のシートの厚み変化を計算モデルを使用して予め予測値として算出しておき、所定パターンで複数のアクチュエータを操作した場合に、計測手段で計測される実計測値を取得し、予測値と実計測値との時系列データの相関を算出し、当該相関値に基づいて、各アクチュエータと計測点の対応位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】 被測定物を入れ替えながら繰り返し測定を行う場合に適したプローブ姿勢の補正技術を提供し、入れ替え測定の作業効率を改善する。
【解決手段】 本発明の三次元座標測定装置は、プローブ姿勢制御部、座標設定部、基準座標記憶部、角度差検出部、および姿勢補正部を備える。プローブ姿勢制御部は、プローブの姿勢を制御する。座標設定部は、被測定物の配置状態を取得して、三次元座標値の基準とする基準座標を設定する。基準座標記憶部は、第１被測定物に設定された第１基準座標を記憶する。角度差検出部は、第２被測定物に設定された第２基準座標を取り込み、基準座標記憶部の第１基準座標と、第２基準座標との角度差を求める。姿勢補正部は、第２被測定物の三次元測定に際して、第１被測定物に対して調整されたプローブの姿勢を角度差に応じて姿勢補正する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、看者にデザインの立体感を印象付けることができる立体的意匠表示が施されたラベルを提供することを課題とする。
【解決手段】 ３次元モデル表面を実測して得られた３次元データ（Ｘ，Ｙ，Ｚ）及び色彩データ（Ｒ，Ｇ，Ｂ）のうち、高さデータ（Ｚ）を平面上に変換すべく、２次元データ（Ｘ，Ｙ）及び色彩データ（Ｒ，Ｇ，Ｂ）から選ばれる少なくとも１つのデータを立体化補正処理することにより得られた２次元画像データに基づいて立体的意匠表示３が印刷されているラベルを解決手段とする。 （もっと読む）

【課題】 安価な構成で且つ直前の測定方向に左右されず、ヒステリシスの影響を一定にして高精度な測定を可能にする。
【解決手段】 被測定物にプローブが接触したときのプローブの三次元位置の情報から測定要素のパラメータを算出する三次元測定システムにおいて、プローブを被測定物の測定点に同じ方向から２回連続して接触させ、このうちプローブが後で接触したときの三次元位置の情報のみを取り込んで測定要素のパラメータを算出する。 （もっと読む）

測定用プローブが取り付けられる機械を用いて人工物を計測する方法。この方法は、以下のステップ、人工物の表面上の１つ以上の地点の近似的な位置を決定するステップと、この近似的な位置を用いてプローブおよび人工物のうちの少なくとも一方をそのプローブおよび人工物における所望の１つ以上の相対位置に移動させるステップと、該位置において人工物の表面上の地点の１つ以上の表面計測値を取得するステップであって、１つ以上の表面計測値が取得される間、そのプローブと人工物との間の相対移動がないステップと、その計測値からのデータを用いて、動誤差が実質的に低減されるその表面上の１つ以上の地点の位置を決定するステップと、を有する。
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本発明は、露光装置での使用を対象とするオブジェクトの表面にパターンを書き込むための方法であって、表面を備えた厚さＴのオブジェクトをパターン生成装置のステージの上に配置するステップと、表面を多数の測定ポイントに分割するステップであって、隣接する２つの測定ポイントが所定の最大距離を越えない距離Ｐで間を隔てられているステップと、各測定ポイントにおける表面の勾配を決定するステップと、各測定ポイントのｘ−ｙ平面における二次元局部オフセットｄを勾配及びオブジェクトの厚さＴの関数として計算するステップと、前記表面に書き込むパターンを、二次元局部オフセットｄを使用して修正するステップとを含む方法に関する。本発明はまた、パターン生成装置、オブジェクトの表面の物理特性を測定するための方法及び装置に関する。
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工作機械において、プログラム（１２）は、被加工物Ｗの特徴を測定する走査プローブまたはアナログ・プローブＰからデータを受け取る。このデータは、走査移動中に、前提の機械位置データと組み合わされる。このことは、実際に測定された位置データを得るために、サーボ・フィードバック・ループ（２４）に割り込まなければならないことを防止する。前提の機械位置データは、走査移動を制御する部品プログラム（２０）から引き出される。前提の機械位置の値と実際の値との間の誤差を補償するためにいくつかの方法が記載されている。

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