【課題】パイプラインのような長距離構造物の保守管理を行うための技術を提供する。
【解決手段】パイプが連結されて構成されるパイプラインにおいて、パイプが掘り起こされて、そのパイプの両端の位置（更新点Ｃ１，Ｄ１）が計測される。そして、図５（ａ）に示すように、計測された位置が計測前の位置（対応点Ｃ’，Ｄ’）と異なっていたとする。この場合、図５（ｂ）に示すように、まず、平面形状については、更新前図形の形状の特徴を保持したまま、相似な図形となるようにして、更新図形を作成する。次に、更新点Ｃ１−Ｄ１間の実測距離が更新図形に反映されるようにするために、図５（ｃ）に示すように、深さ・高さ方向を変更して、図形上の距離と実測距離とが整合される。そのため、腐食等の位置を、パイプラインの開始点からの累積距離によって管理することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】レベルセンサのプロセス依存型オフセット誤差を正確に修正する費用有効性の高い方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗ（たとえば基板を支持するための基板テーブルを備えたリソグラフィ装置内の基板）を露光する方法には、第１及び第２のセンサ１０,１１を使用して少なくとも１つの基板Ｗの一部の第１及び第２の高さ測定を実行するステップと、測値の差に基づいてオフセット誤差マップを作成し、且つ、記憶するステップと、第１のセンサ１０を使用して高さ測定を実行することによって、前記基板Ｗ（又は前記部分と類似した処理が施された他の基板）の複数の部分のハイト・マップを作成して記憶し、且つ、オフセット誤差マップによってこのハイト・マップを修正するステップと、前記基板Ｗ（又は他の基板）を露光するステップが含まれている。 （もっと読む）

【課題】目標位置の変化速度、及び補正に起因する追従誤差を抑制することができる制御装置を備える産業機械の提供。
【解決手段】三次元測定機１は、被測定物を測定するための測定子を移動させる移動機構２と、移動機構２を制御することで測定子の位置を位置指令値に追従させる制御装置３とを備える。制御装置３は、移動機構２にて移動される測定子の位置を検出する位置検出部３１と、位置検出部３１による検出位置を補正する補正部３２と、補正部３２にて補正された検出位置の位置指令値に対する偏差に基づいて、測定子の位置を制御する位置制御部３３と、位値指令値に基づいて、移動機構２をフィードフォワード制御する位置フィードフォワード制御部３４と、補正部３２による検出位置の補正量に基づいて、移動機構２をフィードフォワード制御する補正量フィードフォワード制御部３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】ワークを高精度に三次元計測すること。
【解決手段】三次元計測システム１は、非接触式の三次元計測器４をロボット２により移動させてワーク５の形状を三次元に計測する。予めロボット座標データに基づき制御されるロボット２の挙動をロボット計測装置１４により実測し、そのときのロボット実測データとロボット座標データとをデータ処理装置１２が比較してロボット座標データを補正するための補正モデルを算出して備えておく。そして、ワーク５の計測時には、ロボット座標データに基づき制御されるロボット２と三次元計測器４を同期させてワーク５の形状を三次元に計測し、そのときのロボット座標データを補正モデルにより補正し、その補正されたロボット座標データと三次元計測器４による三次元計測座標データとをデータ処理装置１２で統合して任意座標により出力装置１３へ出力する。 （もっと読む）

【課題】回転刃の刃先と被加工物の高さ方向の距離を正確に補正する。
【解決手段】ルータビット４３と、多軸ロボット３と、接触式変位計７と、レーザ変位計８と、高さ補正部とを有する。多軸ロボット３は、ルータビット４３を軸回転させ、被加工物１００に対して移動させる。接触式変位計７は、多軸ロボット３がルータビット４３の刃先を変位計測面７Ａに上から押し当てたときに生じる変位を計測する。レーザ変位計８、変位計測面７Ａと被加工物１００の相対的な高さを計測する。高さ補正部は、接触式変位計７とレーザ変位計８の計測結果に基づいて、ルータビット４３の刃先と被加工物１００との高さを補正する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の３次元形状を規定した測定点群から精度よく簡便に形状測定する形状測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物の形状を規定した３次元の測定点群データ２が３次元測定装置８から出力されると、形状測定装置１の断面抽出部３が、測定点群データ２から所定の切断面に含まれる測定点を抽出した断面点群データ４を生成する。測長領域設定部５は断面点群データ４に測長領域を設定する。入出力装置７を介して、ユーザから測長領域の断面点群が指定されると、測長部６がその断面点群を用いて被測定物の外側寸法、内側寸法、２点間寸法、角度等を測定する。 （もっと読む）

【課題】演算負荷が増大せず、且つ低速域でも所望の波長帯域が得られる軌道狂い検測技術を提供すること。
【解決手段】車両の水平方向の加速度に、所望の軌道狂い弦長、車両の走行速度およびサンプリング時間に応じたデータ数ずつ遅らせた各地点での車両の水平方向の加速度を順次加算して車両の水平方向の速度とする。続いて、演算後の車両の水平方向の速度に、所望の軌道狂い弦長、車両の走行速度およびサンプリング時間に応じたデータ数ずつ遅らせた各地点での車両の水平方向の速度を順次加算して車両の水平方向の位置とし、サンプリング時間に基づく係数を乗算した後に別途測定した加速度計とレールとの間の相対変位を加算して通り狂い量とする。同様に、車両の水平方向の加速度から高低狂い量を算出する。また、等時間サンプリングの代わりに等距離サンプリングでも本方法で軌道狂いを計算できる。 （もっと読む）

【課題】波形ひずみを生じることなく、様々な弦長の正矢波形をリアルタイムに出力される軌道狂い検測技術を提供すること。
【解決手段】車両の水平方向の加速度を２階積分することで通り狂い量としての車両の水平方向の位置を算出する際に、車両の走行速度に応じてベッセルフィルタのゲインおよび遮断周波数を調整し、調整後のベッセルフィルタは、車両の水平方向の加速度の位相特性を変化させないので、波形ひずみを生じることがない。また、車両の鉛直方向の加速度を２階積分することで高低狂い量としての車両の鉛直方向の位置を算出する際に、車両の走行速度に応じてベッセルフィルタのゲインおよび遮断周波数を調整し、調整後のベッセルフィルタは、車両の鉛直方向の加速度の位相特性を変化させないので、波形ひずみを生じることがなく、様々な弦長の正矢波形をリアルタイムに出力することができる。 （もっと読む）

【課題】被加工物の被研削面に傷を付けることなく所定の厚さに研削することができる研削装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブルに保持された被加工物の上面を研削するものであって、制御手段は、接触式の厚み計測器によって被加工物の加工前の厚み(T1)を計測する第１の加工前の厚み計測工程と、非接触式の厚み計測器によって被加工物の加工前の厚み(T2)を計測する第２の加工前の厚み計測工程と、被加工物の加工前の厚み(T1)と(T2)に基づいて非接触式の厚み計測器による計測値を補正する補正値（T1／T2）を求める補正値演算工程と該非接触式の厚み計測器を作動してチャックテーブルの保持面に保持された被加工物の厚みを計測しつつ研削手段を作動して被加工物を研削する研削工程と、非接触式の厚み計測器によって計測された被加工物の厚み(T0)に補正値（T1／T2）を乗算した値が所定値に達したら研削手段による研削を終了する研削終了工程を実行する。 （もっと読む）

【課題】姿勢等の高精度のセンシングが可能なセンサユニットを提供する。
【解決手段】姿勢及び動きを検出するジャイロユニット６、視野内の物体の相対姿勢及びその動きを検出する人工網膜ＩＣ７、周辺に存する音源の存在を検出する音響センサ８、Ｄ−ＧＰＳ９、及びこれらのセンサの動作を制御するコントローラ５を可搬性の筐体に収容してセンサユニットを構成する。コントローラ５は、各センサ３〜９による検出結果を実時間で受け入れ、これらの検出結果を所定のメモリ領域上に形成された情報空間内に更新自在に記録し、記録された検出結果をもとに、情報空間内において自己に対する上記物体の位置、方向及び動き、つまり筐体と物体のどちらが動いたを特定するようにした。 （もっと読む）

【課題】渦電流損失測定センサ、膜厚測定装置、膜厚測定方法およびコンピュータ読取り可能な記録媒体を提供する。
【解決手段】高周波磁界を励磁して導電性膜９に渦電流を励起させるコイルと、渦電流に起因する渦電流損失の影響を受けた高周波電流を出力するコイルとを有する渦電流損失測定センサ２０と、コイルが出力する高周波電流から渦電流損失測定センサ２０のインピーダンスの変化、高周波電流の電流値の変化または高周波電流の位相の変化を測定して渦電流損失量を測定するインピーダンスアナライザ４８と、導電性膜９と渦電流損失測定センサとの距離を測定する光学式変位センサ３２と、インピーダンスアナライザ４８と光学式変位センサ３２の各測定結果に基づいて導電性膜９の膜厚を算出する膜厚演算部５４を含む制御コンピュータ４２と、を備える膜厚測定装置１。 （もっと読む）

【課題】偏心位置が回転軸から大きく離れている場合であっても、高精度で偏心位置が求められる真円度測定装置、真円度測定方法、及び真円度測定プログラムを提供する。
【解決手段】真円度測定装置は、回転駆動手段によるワーク４の回転角、及びその回転角に対応する回転軸からワーク４の表面までの距離を測定値Ｐとして取得する測定値取得部を備える。また、真円度測定装置は、中心位置（ａ，ｂ）を変動可能なパラメータとする円形状の補正円ＣＬを設定し、測定値Ｐから補正円ＣＬの中心位置に向かう方向の、各測定値Ｐと補正円ＣＬとの間の距離の２乗和が、最小値となるように、補正円ＣＬの中心位置及び半径値を計算し、その計算した補正円ＣＬの中心位置（ａ，ｂ）を偏心位置とする偏心計算部を備える。 （もっと読む）

ミスアラインメント検知センサアセンブリを提供し、これは、第１の軸に沿う検知方向を有する前方監視センサと、第１の軸と所定の関係にある第２の軸に沿う加速度を検知する慣性センサとを備えている。ミスアラインメント検知システムは、ミスアラインメント検知センサアセンブリと、信号処理システムとを用いて、第１の軸とセンサアセンブリの前方動作方向との間のミスアラインメント角度を計算する。前方監視センサアセンブリの角度ミスアラインメントを検知する方法についても開示し、本方法では、前方監視センサアセンブリの検知の軸と所定の関係を有する軸に沿う加速度を測定し、測定した加速度を所定の閾値と比較する。
（もっと読む）

本発明は、ステアリングホイールが複数回転する場合でもステアリング角の絶対値を定める光学式ステアリング角センサに関するものであり、ステーター、バーコードを有するローター、及び評価電子機器を備える。本発明では、ローター（１，１３）は、回転数検出のためにウォーム状のトラック溝部（５）を備え、このトラック溝部（５）に対応してステーター（２）に駆動体突起（６）を備え、この駆動体突起（６）は、トラック溝部（５）に係合し、回転可能となるようにベアリング（９，１５）に配置され、駆動体突起（６）とともに回転可能な磁石（８）の保持のためのホルダ（７）を備え、この駆動体突起（６）に対応して評価回路に設けられた固定状のホールセンサ（１１）を有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造でホース取り出し長さを誤差なく正確に測定する。
【解決手段】ホース取り出し開始時にセンサー１で最先端のマークＭを読み取ってからホースＨを取り出す。取り出されたホースＨの長さが測長手段２で測定されると共に、予め設定された所望のホース切断長さに対する測長手段２からの測定データが表示部４に表示され、表示を確認しながらホースＨの取り出し、所望ホース切断長さに到達した時点で、ホースＨの末端側のマークＭをセンサー１で読み取る。データ処理部３が、測長手段２からの測定データに基づきホース取り出し終了位置のマークＭを検索し、ホース取り出し開始時とホース取り出し終了時に読み込んだ両マークＭからの長さデータの差を求め、長さデータの差と、所望のホース切断長さとを比較し、両者が一致した時のみ、測定完了信号を出力して作業者に通知される。 （もっと読む）

車体（６）に可回転に支承されたステアリングホイール（５８）の舵角（δ_LRW）を求める方法であって、ジョイント（８）を間に挟んで車体（６）に接続されたホイール（１４）はステアリングホイール（５８）により車体（６）に対して旋回させることができ、または旋回させられ、車体（６）は舵角（δ_LRW）に応じたジョイント（８）の傾斜（ω）を検出する角度測定装置を有しており、ステアリングホイール（５８）の車体（６）に対する捩れ角（δ_STS）が舵角センサ（６１）により求められる形式の方法において、ステアリングホイール（５８）によって許容されうる舵角（δ_LRW）の範囲に対してステアリング方向ごとに複数のセクター（Ｓ）を割り当て、前記傾斜に基づいて前記セクター（Ｓ）のうちの１つを求め、前記捩れ角（δ_STS）と求められたセクター（Ｓ）とに基づいて舵角（δ_LRW）を求める。
（もっと読む）

【課題】各軸リニアリティと直角度の補正係数を、少ない測定回数で一括推定することを可能にする。
【解決手段】三軸ＸＹＺで規定される直方体の対角４方向及び三軸方向の計７方向について長さが既知である長さ基準器を用いた長さ測定を行って測定値データＭを取得する（Ｓ１）。測定データＭから各方向についての誤差εを求める（Ｓ２）。求められた各方向についての誤差から最小二乗法により各軸のリニアリティおよび各軸間の直角度の補正係数を一括推定する（Ｓ３）。 （もっと読む）

【課題】簡易に且つ精度良くヨーレートセンサの出力値を補正することができるヨーレートセンサの補正装置を提供する。
【解決手段】本発明は、車両のヨーレートを検出するヨーレートセンサの出力値を補正するヨーレートセンサの補正装置であって、車両のタイヤの磨耗度を検出するタイヤ磨耗度検出手段（４，６，８）と、このタイヤ磨耗度検出手段により検出されたタイヤの磨耗度に基づきヨーレートセンサの出力値の補正係数を算出する補正係数算出手段（１０）と、この補正係数算出手段により算出された補正係数を用いてヨーレートセンサの出力値を補正する補正手段（１０）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】紙葉類全面の厚さを搬送状態の影響を受けることなく常に安定かつ高精度に検知することができる紙葉類の厚さ検知装置を提供する。
【解決手段】有価証券等の紙葉類を搬送しながら検査したり仕分けしたりする紙葉類処理装置等において、搬送される紙葉類の厚さを検知する紙葉類の厚さ検知装置において、紙葉類の全面にわたって厚さを検知するために、複数の厚さ検知器を紙葉類の搬送路に対し搬送方向と直交方向に並設する場合、紙葉類の搬送状態（スキューやスライド等）に対する不安定さに対して、両外側の厚さ検知器の各出力を相補的に用いることによって高精度な処理を実現する。 （もっと読む）

【課題】駅のプラットホームの建築限界の計測を迅速に且つ高精度に実行すること。
【解決手段】駅のプラットホーム２００に沿って進行する車両本体１０１の側端とホーム側端縁Ｐとの間の距離情報Ａを検出する手段と、この検出動作とほぼ同一のタイミングで作動して車両１０１が進行する軌道３００の中心位置Ｏを検出する手段と、この計測された軌道中心位置Ｏと当該軌道３００上を進行する車両本体１０１の中心位置との間の位置ずれΔＳ_Ｌを検出する手段とを備え、これら計測された所定の情報等に基づいて当該車両１００が走行する軌道３００の中心位置Ｏからプラットホームの側端縁Ｐまでの水平距離等をホーム建築限界情報として算定するようにした。 （もっと読む）