【課題】１本の伝送路で複数本の光ファイバを使用する状況においても、光スイッチを用いることなく、複数本の光ファイバのＦＢＧセンサを計測可能なＦＢＧセンサの多点計測方法および装置を提供する。
【解決手段】ＦＢＧセンサの多点計測装置において、コアに回折格子を形成した光ファイバ４と、広帯域波長光源９と、この光源からの光のうち、光ファイバ４に入射する光の時間を制御する光源側光変調器１０と、この光変調器からの出射光を入射して、光ファイバ４の回折格子からの反射光を透過する時間を制御する検出側光変調器１２と、この光変調器からの反射光を検出して得られた信号を処理して光ファイバ４からの信号を分離する波長移動量算出器１４と、この算出器の結果から被測定物の変形量を算出する温度・歪み算出器１５と、この被測定物の変形量に関する情報を表示する表示部１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】リサージュ信号の検出を停止した場合にも、測定精度の低下を抑制可能なエンコーダを提供する。
【解決手段】エンコーダは、スケールと、前記スケールに光を照射すると共に供給される電流に応じて光量を変化させる光源と、前記スケールにより反射された光を受光すると共に位相のずれた２相正弦波状信号を出力する受光部とを備えるエンコーダであって、前記２相正弦波状信号によって形成されるリサージュ波形に含まれる理想的リサージュ波形からの振幅誤差を含む誤差を検出し、検出された誤差を累積演算して新たな補正値とすることで、動的に前記補正値を更新する誤差検出部と、前記振幅誤差に基づく補正値に応じて前記光源に供給する電流を調整する光源駆動処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置情報を精度良く計測できる位置計測装置を提供する。
【解決手段】位置計測装置は、移動面内を移動する移動体の位置情報を計測する。位置計測装置は、移動体の第１面に配置された移動格子に光を照射する光源と、光源との位置関係が固定で、移動格子で回折された光が入射する第２面を有し、入射した光を回折又は反射して移動格子に戻す固定光学部材と、移動格子を再度介して干渉された光を検出する検出装置と、を備え、第１面と第２面とはほぼ平行である。 （もっと読む）

【課題】モータ軸の回転量を検出するための検出ユニットにおいて、エンコーダとしての信頼性を簡便に高める。
【解決手段】入射光の光量に対応した出力信号を出力する複数の受光素子が所定方向に配置されている受光素子アレイと、符号版の少なくとも一部に光を照射する光源と、を備え、複数の受光素子は、光の光量分布に応じて所定方向と垂直な幅方向における実効領域の幅が変更されてそれぞれ設けられている。 （もっと読む）

【課題】十分に平行に配設された二つのプレート間で、高精度で干渉計方式により間隔測定するための機構を提供する。
【解決手段】光源３．１から発せられた光束が、第一プレート１にある分光器要素１．２に傾斜して当たり、そこで反射される参照光束と透過する測定光束に分割される。測定光束は第二プレート２にあるリフレクタ要素２．２に当たり、そこで第一逆反射を受ける。参照光束は第一屈折要素３．２ａを、測定光束は第二屈折要素３．２ｂを通過し、二つの光束は引き続いて、それぞれ関連配置された逆反射器３．３を通過して、測定光束は第三屈折要素３．２ｃを、参照光束は第四屈折要素３．２ｄを通過する。そして参照光束は第一プレート１で反射を、測定光束は第二プレート２のリフレクタ要素２．２で第二逆反射を受け、それにより二つの光束が、共直線で検知ユニット３の方向に伝播し、そこで位相がずれた複数の走査検知信号を生成することができる。 （もっと読む）

【課題】光源とスケールと受光素子の配置の自由度が高い光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光学式エンコーダ１００は、空間的に光学的特性が周期的に変化するスケールスリット１２２を有するスケール１１０と、スケール１１０に向けて光を発光する複数の発光部１４２を有する発光ユニット１４０と、発光部１４２から発光されスケールスリット１２２を経由した光を受光する受光部１７２を有する受光ユニット１７０を有している。発光ユニット１４０と受光ユニット１７０は共に基板１９２に搭載されてヘッド１９０を構成している。スケール１１０とヘッド１９０（受光部１７２）は、スケールスリット１２２の光学的特性の変化方向に沿って相対的に移動可能である。スケール１１０は、発光部１４２に対向した光入射部１１８と、受光部１７２に対向した光出射部１２０と、光入射部１１８から入射した光を光出射部１２０へ導光する導光部を有している。 （もっと読む）

【課題】カバーガラスを目盛部に接着する接着剤の厚さむらに起因するエンコーダの出力変動を防止できるようにする。
【解決手段】スケール基板１２上に形成された目盛部１４が、その上面側に配されたカバーガラス１６で保護されたスケールの目盛保護構造において、前記カバーガラスが、前記目盛部の周囲に配設された高さ規定部３０を介して、前記スケール基板上に支持され、前記高さ規定部が、前記カバーガラスの下面に、前記目盛部の周囲に対応するパターンに予め形成され、且つ、その下端が前記スケール基板の上面に当接され、更に、前記スケール基板と前記カバーガラスとが、前記高さ規定部の周囲に配置した接着剤で接合されている。 （もっと読む）

【課題】歩留まりの低下を防ぐことが可能なエンコーダ用スケールの製造方法、エンコーダの製造方法、エンコーダ及びモータ装置を提供すること。
【解決手段】基板の一の基板面と基板の外周面との間に設けられるエッジ部を曲面にする面取り工程と、当該面取り工程の後、一の基板面に機能材料を含む液状体の薄膜を形成する薄膜形成工程と、一の基板面にパターンを形成するパターン形成工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】走査検知光路において構成要素が互いに理想的な方向を向いていない、または使用条件が理想的でない時でも、最大可能な品質を保証する走査検知信号を提供する。
【解決手段】測定方向に延伸するインクリメント目盛を有する基準尺と、光源と一つまたは複数の格子およびディテクタアセンブリを含んだ走査検知ユニットが設けられ、ディテクタアセンブリは検知面に配設された複数グループのディテクタ要素で構成され、測定方向に相対移動する場合に、検知面で生じる周期性縞模様の走査検知結果から、位相のずれた複数の走査検知信号を生成するようにディテクタ要素の前には、同じ位相の走査検知信号を伴うグループでは、ディテクタ要素の面積の合計が、他のグループのディテクタ要素の面積の合計と同一であり、かつ、ディテクタ要素の面重心が、他のグループのディテクタ要素の面重心と同一であるようにグループが形成されるようにブラインド構造を配設する。 （もっと読む）

【課題】小型かつ高精度な位置検出が可能なエンコーダを提供すること
【解決手段】エンコーダにおいて、スケール２０のパターン列はＸ方向に垂直なＹ方向に周期的に配列され、Ｘ方向にそれぞれ異なるピッチを有する複数の領域２３Ａ、２５Ａを有し、領域２５Ａのエネルギー分布の振幅がスケールのＸ方向の位置に従って変化するように構成されている。エンコーダは、受光素子アレイ１６Ａの出力信号からそれぞれ対応する領域の振幅を取得する第１、第２の振幅取得手段３７、３８と、第１、第２の振幅取得手段３７、３８が取得した複数の領域の２つの振幅の比で表される振幅信号Ｓ＿ａｍｐをスケールの絶対位置を表す絶対位置信号として取得する位置情報取得手段３４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高精度なスケールの位置検出をすること
【解決手段】エンコーダにおいて、パターン列は、移動方向であるＸ方向に垂直なＹ方向に周期的に配列されたＸ方向に第１の変調周期Ｐ１と第２の変調周期Ｐ２を有する。信号処理手段３０は、受光素子アレイの出力からピッチＰ１の位相を取得する第１の位相取得手段３２を有する。エンコーダは、領域２３を検出する複数の受光素子１７Ａの出力信号に対して受光素子アレイ上の位置に応じた重みを使用して重み付けをし、重みは、第１の位相取得手段の空間周波数応答のピッチＰ２に対応する空間周波数を含む所定の範囲において、重み付け有の値が重み付け無の値以下となるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】受光部における誤検出を防止可能なロータリスケールを具備する位置検出装置、ロータリスケール、および位置検出装置を備える液体吐出装置を提供すること。
【解決手段】被検出物３１の位置検出を行う位置検出装置であり、発光部６２および受光部６４を備え、これらの間に空間部６１３を備えるフォトセンサ６０と、空間部６１３の間に差し掛かるロータリスケール５１と、ロータリスケール５１に設けられ、第１透光部５３ａおよび第１遮光部５３ｂが交互に形成される位置検出パターン５３と、ロータリスケール５１に設けられ、第２透光部５４ａおよび第２遮光部５４ｂが交互に形成され、通過する光量が位置検出パターン５３を通過する光量よりも少なくなる汚れ検出パターン５４と、フォトセンサ６０を移動させて、位置検出パターン５３の検出状態と汚れ検出パターン５４の検出状態とを切り替えるセンサ位置切替機構７０と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】センサーと測定対象物との間の接着剤の厚さを均一に保持し、接着剤の接着力を均一に保つと共に、測定対象物と接着剤の間や接着剤とセンサーの間で、熱膨張差による接着剤の剥離現象が生じるのを防止する。
【解決手段】本発明は、高温の測定対象物１３に接着剤１４を介して取り付けられるセンサー１０であって、検知部を有するセンサー本体１１と、センサー本体１１をモールドで一体成形して形成されるブロック体１２と、を備え、ブロック体１２は接着剤１４と同一のセラミック系接着剤から構成され、ブロック体１２の測定対象物１３側には接着剤１４の接着面１２ａが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】投光部とスケールと受光部の配置の自由度が高い光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光学式エンコーダ１００は、スケール１１０と、スケール１１０に向けて光を投光する投光部１４２と、投光部１４２から投光されスケール１１０を経由した光を受光する受光部１７２を有している。スケール１１０は、受光部１７２に対して移動可能である。スケール１１０はまた、投光部１４２に対向した光入射部１１８から入射した光を受光部１７２に対向した光出射部１２０へ導光する導光部を有している。光出射部１２０には、スケール１１０の移動方向に沿って光学的特性が周期的に変化しているスケールスリット１２４が設けられている。光入射部１１８には、スケール１１０の移動方向に垂直な平面に対して、平行成分の光に対する斜め成分の光の相対強度を低減する働きをする斜め光低減スリット１２２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】スケールに対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、絶対角度を精度良く検出することができるエンコーダ、及びこのようなエンコーダに用いるエンコーダ用受光装置を提供する。
【解決手段】エンコーダ１では、一直線状の光透過部１７に被検出光を透過させることにより、スケール板１１において、配列ラインＬ１，Ｌ２の互いに離間した一部を含む領域に被検出光が照射される明部１９が形成され、他の領域に被検出光が照射されない暗部２０が形成される。したがって、光強度ピークＰ１，Ｐ２間の相対角度（基準相対角度）は、光透過部１７の形状から一義的に算出できる。そこで、エンコーダ１では、角度検出時の相対角度と基準相対角度とのずれ量を補正量α°として算出することにより、スケール板１１に対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、絶対角度を精度良く検出することができる。 （もっと読む）

【課題】光検出器からの発生する熱を良好に放熱する光学式エンコーダーを提供する。
【解決手段】反射型光学式エンコーダー１００は光源１１０とスケール１２０と光検出器１３０と支持基板１４０と光源スリット１５０とを備えている。光源１１０はスケール１２０に向けて光ビームを射出し、スケール１２０は光源１１０に対して移動する。スケール１２０は周期的な光学パターン１２４を有し、照射される光ビームを反射・変調する。光検出器１３０はフォトディテクターアレイ１３２を有し、スケール１２０によって反射・変調された光ビームによる結像イメージを検出する。光源１１０と光検出器１３０は共に支持基板１４０に取り付けられている。光源スリット１５０はスリットパターン１５４を有し、スリットパターン１５４が光源１１０の上にひさし状に張り出すように、フォトディテクターアレイ１３２が形成された光検出器１３０の面に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】受光面積を増大することで反射光を有効活用できるようにする。
【解決手段】インクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒを、光源１３０を間に挟んで回転ディスク１１０の円周方向に分割して配置し、第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを、光源１３０に対し回転ディスク１１０の半径方向における外側及び内側の両方に配置する。これにより、第１及び第２アブソ用受光素子１５１，１５２については連続して配置しつつ、光源１３０の周囲を４方向から囲むようにインクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒとアブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを配置することができる。 （もっと読む）

【課題】受光素子ごとの受光光量を均一することで検出精度を向上できるようにする。
【解決手段】反射型エンコーダ１００は、回転軸ＡＸ周りに回転可能に配置され、インクリメンタルパターンＩＰ、及び、第１及び第２シリアルアブソリュートパターンＡＰ１、ＡＰ２が円周方向に沿って形成された回転ディスク１１０と、光源１３０、複数のインクレ用受光素子１４１を含むインクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒ、及び、複数の第１及び第２アブソ用受光素子１５１，１５２を含む第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを備え、回転ディスク１１０と対向して配置された基板１２０とを有し、第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕは、基板１２０において、光源１３０を中心とする同心円状の光量分布の等高線ＣＬに沿って各アブソ用受光素子１５１，１５２が配置されている。 （もっと読む）

【課題】受光面積を増大することで反射光を有効活用できるようにする。
【解決手段】インクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒを、光源１３０を間に挟んで回転ディスク１１０の円周方向に分割して配置し、第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを、光源１３０に対し回転ディスク１１０の半径方向における外側及び内側の両方に配置する。これにより、第１及び第２アブソ用受光素子１５１，１５２については連続して配置しつつ、光源１３０の周囲を４方向から囲むようにインクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒとアブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを配置することができる。 （もっと読む）

【課題】コード・ホイールの位置合わせ不良を補正する装置及び方法を提供する。
【解決手段】この装置及び方法は、少なくとも第１及び第２の運動検出用フォトディテクタの上方及び下方に配置された上部及び下部のコード・ホイール位置合わせ不良用フォトディテクタを使用する。別の実施形態によれば、光学エンコーダ内の出力回路の利得を自動的に設定する装置及び方法が提供される。光学エンコーダのさらに別の実施形態では、本発明のコード・ホイール位置合わせ不良用機能と自動利得制御機能が組み合わされる。 （もっと読む）