【課題】雰囲気温湿度が変化するような場合でも、高精度の位置測定を行うことができる位置測定装置を提供する。
【解決手段】コリメートレンズ２を透過した光のうち、ビームスプリッタ３で反射された光は、集光レンズ８により、ＣＣＤ９の受光面に集光される。光源１が振動して光ビームの位置が変われば、ＣＣＤ９に入射する光ビームの位置が変化するので、ＣＣＤ９の出力変動から、光ビームの振動中心を知ることができる。制御装置１０は、この振動中心を検出し、振動中心が予め定められた位置となるように、光源１を加振しているピエゾ素子１１に印加する電圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】基準位置を高精度に検出する。
【解決手段】エンコーダ装置は、基準位置を示す基準位置パターンと位置情報パターンとを有するスケールと、スケールに光を照射する光源と、光を変調させる変調信号を生成する変調部と、変調信号に基づいて変調された変調光によって位置情報パターンを検出した位置情報信号に基づいて、スケールの位置情報を検出する位置情報検出部と、変調光によって基準位置パターンを検出した検出信号を出力する基準位置受光部と、検出信号に基づいて、基準位置を検出する基準位置検出部と、を備え、基準位置検出部は、光を変調することによって生じる基準位置の変位を補正する補正部を備える。 （もっと読む）

【課題】被計測物の絶対位置を高精度に計測可能なエンコーダを提供する。
【解決手段】エンコーダ１００は、被計測物とともに移動可能に構成されたスケール１と、異なるピッチのパターンを有するトラック１１と、スケール１に対する相対的な変位を検出して第１および第２の２相正弦波信号を出力する第１および第２のセンサ２１、２２と、第１および第２の２相正弦波信号に基づいて前記第１および第２のセンサ２１、２２に対応する第１および第２の位相をそれぞれ算出する位相演算手段３１、３２、６１、６２と、第１および第２の位相の位相差に基づいて被計測物の粗位置を計測する粗位置計測手段４１と、被計測物の粗位置に基づいて第１および第２の２相正弦波信号に含まれる位相差誤差を補正する補正手段５１、５２と、補正手段５１、５２で補正された第１および第２の２相正弦波信号に基づいて被計測物の絶対位置を計測する位置計測手段７１とを有する。 （もっと読む）

【課題】大型化し、検出精度等にも不都合が生じる磁気センサの使用をなくし、小型かつ安価なコストで、また５μｍ以下の分解能で１０ｍｍ以上の長距離検出を可能にする。
【解決手段】反射面ｓａと非反射面ｓｂを移動物の移動方向に交互に並べた反射板１２を設け、反射型フォトセンサ９の受光素子８には、移動物の移動方向でそれぞれ異なる受光領域を持つ複数の受光部８ａ，８ｂを設け、この２つの受光部８ａ，８ｂから位相差の異なる信号を出力し、これら２つの信号に対し例えばリニア値演算を施すことにより、反射板１２及び移動物の位置を検出する。また、３分割受光部から３つの信号の出力することで中点電位をも算出し、この中点電位を基準にしたリニア値演算を行ってもよい。上記受光部では、その受光領域の一部を遮光し、検出出力の直線性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】回転角度を高精度且つ短時間で測定すること。
【解決手段】回転が規制された非回転体であるエンコーダ本体２ａと、エンコーダ本体２ａに回転自在に軸支された回転体である回転軸３とを有し、エンコーダ本体２ａに対する回転軸３の相対的な回転角度を検出する相対的角度検出手段としてのロータリエンコーダ２と、エンコーダ本体２ａの絶対的な回転角度を検出する絶対角度検出手段としての非接触角度検出手段２０とを備える。これにより、ロータリエンコーダ２が検出した回転角度を、非接触角度検出手段２０で検出した回転角度に基づいて補正することができ、回転角度を高精度且つ短時間で測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ステッピングモータが正回転、逆回転又は不回転のいずれの状態かを検知する。
【解決手段】モータ回転検知装置３はセンサ５、パルス板(光通過制御部材)、記憶部４０５及び判定部４０７を備える。センサ５は投光部７と受光部９を含む。パルス板はモータ１３が正回転することにより一方の方向に回転し、かつモータ１３が逆回転することにより他方の方向に回転して、投光部７から受光部９へ照射された光が通過する量を経時的に三段階異ならせる。記憶部４０５は投光部７からの光がパルス板に照射されて、受光部９で受光されることにより受光部９から出力され、受光量に応じて異なる大きさの出力信号について、モータ１３が正回転の状態、逆回転の状態及び不回転の状態のうち少なくとも二つの状態の場合のデータを予め記憶している。判定部４０７は受光部９から出力される出力信号を記憶部４０５に記憶されているデータと比較して、モータ１３が正回転、逆回転、又は不回転のいずれの状態か判定する。 （もっと読む）

【課題】基準位置を高精度に検出する。
【解決手段】エンコーダは、位置情報パターンと基準位置を示す基準位置パターンとを有するスケールと、位置情報パターンを検出した位置情報信号を出力する位置情報検出部と、基準位置パターンを検出して、第１信号と第２信号とを出力する基準位置検出部と、第１信号と第２信号とに基づいて、基準位置の近傍位置を示す基準位置近傍信号、及び、基準位置を示す基準信号を生成する信号生成部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 本来の絶対位置検出機能を失うことなく、メインスケールの組立性を改善する。
【解決手段】 光透過部または光反射部を連続して配列したメインスケール１２と、メインスケールに対して相対移動可能かつ光透過部または光反射部のピッチに関係付けをして配設された複数の受光素子を有する受光部と、メインスケールを介して受光部に光を照射する発光部とを有し、メインスケールは前記相対移動方向に光学的に不連続部分を有する光学式エンコーダにおいて、不連続部分Ｓ４１−Ｓ４４は、メインスケールの中央位置に対して対称に片側複数個ずつ両側に配置され、片側複数個の不連続部分は、異なる種別の不連続性パターンを持つ。 （もっと読む）

【課題】 電磁ノイズ等の外乱要因の影響を低減。電磁ノイズ等の外乱要因が大きく影響する作業環境下でも、誤動作なく溶接トーチを揺動駆動する。
【解決手段】 偏芯カム６を間にして相対向し該偏芯カムの周面に摺接する第１および第２のばね板２ａ，３ａ；各ばね板に固定されて各ばね板の偏芯カム回転対応の屈伸による張力に対応した波長の光を反射する第１および第２のＦＢＧ光ファイバ４ａ，５ａ；第１のＦＢＧ光ファイバ４ａにレーザ光を送出し該ＦＢＧ光ファイバ４ａからの反射光を出力する第１の光カプラ８；および、第２のＦＢＧ光ファイバ５ａにレーザ光を送出し該ＦＢＧ光ファイバ５ａからの反射光を出力する第２の光カプラ９）；を備える。さらに、第１および第２の光カプラ８，９が出力する光相当の偏芯回転電気信号を発生する電気回路手段１１〜１３；を備える。 （もっと読む）

【課題】エンコーダの低コスト化を図りつつ、エンコーダの信頼性を向上する。
【解決手段】エンコーダ２７は、起動時等にスライダが停止した状態で、独立して点灯される複数の光源を用いて複数の絶対位置を検出し、この複数の絶対位置の差が所定範囲内に収まっているかどうかに基づいてエラーの判定を行うことで、高い信頼性を確保する。これとともに、エンコーダ２７は、起動後は、インクリメンタルスケール５１を用いインクリメンタルエンコーダとして用いられることで、低コスト、及びコンパクトな構成とすることができる。 （もっと読む）

【課題】検出ヘッドのアライメント調整が容易な光電式エンコーダ及びそのアライメント調整方法を提供する。
【解決手段】光電式エンコーダは、測定軸方向に所定ピッチで回折格子が形成されたスケールと、このスケールに対して相対移動可能に配置され、スケールに光を照射する照射部、並びにスケールの回折格子で反射または透過された光を、それぞれ異なる位相において受光する複数の受光部を備えた検出ヘッドと、この検出ヘッドの受光部からの受光信号を処理して２相信号を生成する信号処理装置とを備える。信号処理装置は、２相信号のリサージュ半径に対応したアライメント調整用のモニタ信号を算出することで、前記スケールに対して前記検出ヘッドを静止させた状態で該検出ヘッドのアライメント調整を可能とする。 （もっと読む）

【課題】光符号変調パルスの相関処理方式におけるサイドローブ雑音を低減すること。
【解決手段】光周波数シフタ１２により光ファイバ１のブリルアン周波数シフトと同程度ダウンシフトされた連続光と、光変調器３により相関符号系列信号発生器１３からの相補相関符号変調信号で変調されたポンプ光とが光ファイバ１中で干渉して発生する音波によってブリルアン増幅された前記連続光の受信信号を処理する際、相補相関符号系列信号Ａ１(t)及びその要素を交換したＡ１^-(t)による応答信号ＲＡ１(t)及びＲＡ１^-(t)の差信号ΔＲＡ１(t)にステップ応答関数ｈ(t)の逆数ｇ(t)を乗じて音波の減衰を補正したＡ１(t)ｇ(t)とΔＲＡ１(t)との相互相関処理をした結果と、同じく相補相関符号系列信号Ｂ１(t)及びＢ１^-(t)による応答信号ＲＢ１(t)及びＲＢ１^-(t)の差信号ΔＲＢ１(t)にｇ(t)を乗じたＢ１(t)ｇ(t)とΔＲＢ１(t)との相互相関処理をした結果を合成する。 （もっと読む）

【課題】検出部取付・調整の際の作業性を向上させる。
【解決手段】測定軸方向に所定ピッチで回折格子が形成されたスケールと、このスケールに対して相対移動可能に配置され、スケールに光を照射する照射部、並びにスケールの回折格子で反射または透過された光を受光する受光部を備えた検出ヘッドと、この検出ヘッドの受光部からの受光信号を処理する信号処理装置と、検出ヘッドと信号処理装置との間で信号の伝送を行う信号伝送手段とを備え、信号処理装置又は信号処理装置に接続された情報処理装置にスケールに対する検出ヘッドの取り付け姿勢を示す情報を表示する表示手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】測定作業の容易化およびコストダウンを図る上で有利な操舵角検出装置および操舵角検出方法を提供する。
【解決手段】ステアリングホイール２の回転部２Ｄの外周に沿って被検出部１２を設ける。被検出部１２は、回転部２Ｄの外周に沿って設けられ、外周の延在方向に沿った一定の長さの領域の光の反射量が回転部２Ｄの外周に沿って単調に増加または減少する。操舵角検出装置１０は、予め定められた測定箇所において被検出部１２を撮像して濃淡画像を生成すると共に、濃淡画像のうち回転部２Ｄの外周方向に沿った一定幅の濃淡画像の領域である検出領域２４に該当する画像の輝度を検出し、操舵角θと輝度Ｌとを対応付けたデータテーブルから操舵角θを特定し該操舵角θを示す操舵角データを出力し、操舵角θの特定は、検出された輝度Ｌと、直近の操舵角θ_０とに基づいて行う。 （もっと読む）

【課題】スケール、検出器、他のエンコーダ部品の幅を増やすことなく測定範囲対分解能比を高める。
【解決手段】エンコーダ構造は周期的信号を作るための第１の強度変調成分と広範囲絶対信号を作るための第２の強度変調成分を与える２重変調スケールトラックパターンを有する。２重変調スケールトラックパターンはエンコーダ部品の幅を増やす追加のスケールトラックを使用することなくエンコーダの測定範囲対分解能比を高める。広範囲信号は、スケールトラック中に含まれるパターン要素の特定の寸法を変えるか、同様な領域のパターン要素上のトラックに沿う光の密度変化を含む層を重ね合わせることによって、前記２重変調スケールトラックパターン中にコード化される。どちらの場合も、関係する信号の正味オフセットや振幅レベルはスケールトラックに沿って変調される。これらの変調されたオフセットや振幅レベルは広測定範囲の絶対信号のための基礎を与える。 （もっと読む）

【課題】回折干渉光を利用して検出精度を向上させた位置の原点検出を可能とし、設計・開発・製造等を容易にすることができるリニアエンコーダ、リニアモータ、リニアモータシステム、メインスケール及びリニアエンコーダの製造方法を提供すること。
【解決手段】エンコーダ１００は、光学メイン格子Ｌがそれぞれ全長に亘って形成された帯状の１のトラックＴＣと一部に形成された1以上のトラックＴＡ，ＴＢとを測定軸方向Ｘが長手となるように有するメインスケール１１０と、メイン格子Ｌと回折干渉光学系を構成するようにメインスケール１１０に対向して測定軸方向Ｘで相対移動可能に配置され、光学的な２以上のインデックス格子Ｇ１，Ｇ２が形成されたインデックススケール１２０と、を備え、少なくとも１のトラックＴのメイン格子Ｌに含まれる複数のスリットＳＬは、そのピッチｐ_Ｌが１以上の他のトラックＴにおけるスリットＳＬのピッチＰ_Ｌと等しくなるように、測定軸方向Ｘに垂直な方向Ｙから所定の傾斜角度θ_Ａ，θ_Ｂで傾斜して形成される。 （もっと読む）

【課題】インクリメンタルエンコーダにおける原点位置の再現性を向上する。
【解決手段】移動量を検出するためのメイントラック１４が測定方向に形成されたスケール１０を有する光電式エンコーダにおいて、前記メイントラック１４の測定方向と直交する方向の一部に設けられた、メイントラック１４と光透過率が異なるモニタ信号発生部３４と、スケール１０の移動に対して同相の信号を出力するよう、測定方向と直交する方向に並設されたメイン信号検出用受光素子２４及びモニタ信号検出用受光素子３２と、メイン信号とモニタ信号の差に基づいて原点信号を発生する原点信号生成回路（差動回路４０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】信頼性の向上を図れるようにしたエンコーダを提供する。
【解決手段】第１移動軸を有する支持部（１２）に接続され、第２移動軸を基準に設けられる基準パターンと、当該基準パターンを基準に設けられる位置情報パターンとを有するスケール（２１）と、基準パターンを介した第１の光を受光して第１の光に基づく第１の光電変換信号を出力する複数の第１の光電変換素子と、位置情報パターンを介した第２の光を受光して当該第２の光に基づく第２の光電変換信号を出力する複数の第２の光電変換素子とを有する光電変換部（２３）と、第２の光電変換信号に基づきスケールの位置情報を検出し、第１の光電変換信号に基づきスケールの位置情報に対応する第２の光電変換素子を選択する制御部（２４）とを備える。 （もっと読む）

【課題】検出器を複雑化することなく、原点マークでの光の回折による原点の誤検出を回避して正確な原点検出を可能とする。
【解決手段】測長方向で点光源２４に対して対称に配置される原点信号受光部３２ｚ、３２ｚｂと、原点マーク１４の位置に対応する原点検出信号を発生させることで原点信号を出力する原点信号処理部６０を有する信号処理部４０と、を備え、原点信号処理部６０は、原点マーク１４で反射されることにより生じるサイドローブ光により原点信号受光部３２ｚ、３２ｚｂから出力される信号レベルの最大値を規定値Ｖｔとして設け、原点信号受光部３２ｚの出力が規定値Ｖｔよりも大きな信号レベルとなる最初の位置から、原点信号受光部３２ｚｂの出力が規定値Ｖｔを超えてから規定値Ｖｔよりも小さな信号レベルとなる最初の位置の間に、原点検出の有効領域を設け、有効領域内で原点検出信号を発生させる。 （もっと読む）

【課題】絶対位置検出及び相対位置検出の何れにおいても分解能及び安定性を高いレベルで維持しつつ、絶対位置の検出感度の向上及び検出範囲の拡大を実現する光学式変位検出装置を提供すること。
【解決手段】第１の変調コードパターン53aと第２の変調コードパターン53bとが形成されたスケール4と、光源1から射出された光ビームを第１の変調コードパターン53aを介して検出して第１の信号を生成する第１の光検出器21と、第２の変調コードパターン53bを介して検出して第２の信号を生成する第２の光検出器22と、を有するセンサヘッド30と、第１の信号と第２の信号とに基づいて変位を算出する物理量検出回路210と、を光学式変位検出装置に具備させる。第１の信号及び第２の信号は、所定演算により相殺される第１成分と、前記所定演算後に残存する第２成分と、を含む。第１の検出器21による検出と、第２の検出器22による検出と、は関連付けて実行される。 （もっと読む）