【課題】モニタ増幅信号と検出増幅信号の位相ずれを抑制した角速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】駆動電極３２に駆動信号を通電し振動子３１を振動させる駆動回路３５と、慣性力に起因して検出電極３４から出力される検出信号を増幅する検出信号増幅回路３６と、モニタ電極３３から出力されるモニタ信号を増幅するモニタ信号増幅回路３７とを備え、モニタ信号増幅回路３７は第１増幅器４０と第１帰還抵抗４１と第１帰還容量４２とを有し、検出信号増幅回路３６は第２増幅器４３と第２帰還抵抗４４と第２帰還容量４５とを有し、モニタ電極３３の電極面積と検出電極３４の電極面積とを等しくすることにより、モニタ電極３３で生成される静電容量値と前記検出電極３４で生成される静電容量値とを等しくした構成である。 （もっと読む）

【課題】検出感度を大きくした慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム８を第２アーム１０に略直交方向に連結した２つの直交アームを有し、２つの第１アーム８の一端が支持部１２にて支持され、２つの第１アーム８の他端が第１固定部４に連結され、第２アーム１０の先端部に錘部が連結され、第１固定部４は固定アーム７にて第２固定部６と連結され、第１アーム８をＸ軸方向に配置するとともに第１固定部４にはＸ軸方向のみに弾性変形する第１弾性部９を設け、第２連結部である固定アームをＹ軸方向に配置するとともに第２固定部６にはＹ軸方向のみに弾性変形する第２弾性部１１を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】飛しょう体に搭載して用いた場合でも、角速度の誤検出やセンサの破損等がなく正常に機能させることができるレート検出装置を得ること。
【解決手段】レートセンサ組立体１４の構成であるレートセンサ１４ａは、箱型ケーシングに振動吸収材１４ｃを介して取り付けられ、またレートセンサ組立体１４は、振動吸収部材１５を介して基台１２に取り付けられた支持部材１３に固定される。飛しょう体の特異な振動は、振動吸収部材１５及び振動吸収材１４ｃにより吸収されるため、レートセンサ１４ａは角速度の誤検出やセンサの破損等なく正常に機能する。 （もっと読む）

【課題】最低１個の単振動体の１軸単振動の簡単な構造で、３軸の角速度検出もしくは加速度検出を実現する。
【解決手段】基部に対して浮遊した状態で１軸方向に変位可能に弾性支持体１１５により支持された振動子１１７と、振動子１１７の変位を検出する変位検出部とを備えた慣性センサ１において、振動子１１７の振動がＺ軸方向の単振動であり、振動子１１７の振動座標系の基準軸である直交座標系のＸ軸、Ｙ軸および前記Ｚ軸を、それぞれずらして、新たな基準軸のｘ軸、ｙ軸およびｚ軸を設け、振動子１１７の１周期の中の少なくとも２箇所でｘ軸、ｙ軸およびｚ軸における振動子１１７の位置座標を検出し、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸における検出した２箇所の位置座標に基づいて差分ベクトル（Δｘ，Δｙ，Δｚ）を算出し、差分ベクトルにより角速度もしくは加速度を検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】横方向の加速度の影響を除去し易く、かつ固定部の固定が容易な、横置き型の角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】ケース４のセンサ素子支持部５１の上面に固定される固定部２０と、固定部２０の両側に連結されると共にセンサ素子支持部５１の上面と平行な面に沿って延在する上検出腕２１および下検出腕２２と、上検出腕２１を間にして固定部２０に連結されると共に上検出腕２１の延在方向に延在する一対の上振動腕２３とを備える。固定部２０は、少なくとも上検出腕２１の延在方向と交差する方向に延在する１または複数の溝部２０Ａを有する。 （もっと読む）

【課題】検出感度を大きくした慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム８を第２アーム１０に略直交方向に連結した２つの直交アームを有し、第１アーム８は、第１連結アーム１１を第２連結アーム１３に直交させたＴ字状の直交アームであって、この第１連結アーム１１の一端が、支持部１２にて支持されるとともに第２アーム１０を介して錘部２に連結されており、第１連結アーム１１の他端が直交する第２連結アーム１３に連結されており、第２連結アーム１３の両端部が枠体部４に連結され、第１アーム８および第２連結アーム１３の厚みを第２アーム１０や錘部２の厚みよりも非常に薄く形成し、かつ、第１アーム８と第２アーム１０とは互いに直交方向に配置した構成である。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図ったセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子１を備え、検出素子１は、第１アーム８を第２アーム１０に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム８の一端を支持する支持部１２と、第２アーム１０の先端に連結した錘部２とを有し、第１アーム８の厚みを第２アーム１０の厚みよりも薄くし、かつ、第１アーム８の他端にて実装基板に固定した構成である。 （もっと読む）

【課題】信号線に発生する静電容量を低減して、特性向上を図ったセンサの製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】第１アーム２を第２アーム４に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２の一端を支持する支持部６とを備え、第１、第２駆動電極部１７ａ、１７ｂおよび第１〜第４感知電極部１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂを第２アームに配置し、第１、第２駆動電極部１７ａ、１７ｂおよび第１〜第４感知電極部１９ａ、１９ｂ、２０ａ、２０ｂは、上部電極１５と下部電極１４との間に圧電層１３を介在させて形成し、上部電極１５から上部信号線１５ａを引き出すとともに下部電極１４から下部信号線１４ａを引き出し、かつ、互いに対向させずに引き出した構成である。 （もっと読む）

【課題】複数の検出素子や複数の角速度センサを実装するための実装面積を確保する必要がなく、各種電子機器の小型化を図れる角速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】２つの第２アーム４に配置された第１感知手段１９と第２感知手段２０と第３感知手段２１は検出回路部に接続され、この検出回路部において、第１〜第３感知電極部１９ａ，１９ｂ，２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂから出力される角速度信号に基づき角速度を検出しており、この角速度信号には、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸における、Ｘ軸周りのＸ成分信号およびＹ軸周りのＹ成分信号およびＺ軸周りのＺ成分信号および可撓体の振動成分信号が含まれ、上記の検出回路部には、これらのＸ成分信号とＹ成分信号とＺ成分信号と振動成分信号を分離する分離手段を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】横方向の加速度の影響を受け難く、かつ固定部の固定が容易な、横置き型の角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】ケース４のセンサ素子支持部４１の表面に固定される固定部２０と、固定部２０の両側に連結された上連結腕２１および下連結腕２２と、上連結腕２１に連結された一対の上検出腕２３と、各上検出腕２３の表面に形成された圧電素子２３Ａ，２３Ｂと、下連結腕２２に連結された一対の下検出腕２４と、各下検出腕２４の表面に形成された圧電素子２４Ａ，２４Ｂと、各上検出腕２３に連結された上駆動腕２５と、各上駆動腕２５の表面に形成された圧電素子２５Ａ，２５Ｂと、各下検出腕２４に連結された下駆動腕２６と、各下駆動腕２６の表面に形成された圧電素子２６Ａ，２６Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】低減された出力ノイズを持つ光ジャイロ、加えて、出力ノイズを低減した光ジャイロの回転レートを決定するための方法を提供する。
【解決手段】装置は対向して伝わる光ビームを循環させ、出力光ビームを発生させる検知コイルと、複数のポートを持ち検出装置へ入力光ビームを供給するカプラ１６と、出力光ビームに基づき回転レートを検出するためにカプラと接続された第１の検出器２２と、入力光ビームに基づきノイズを検出するために前記カプラと接続された第２の検出器２４と、カプラの１つのポートと接続された１つ以上の光学デバイスとを含む。光学デバイス２０は第２の検出器によって受信された入力光ビームと第１の検出器によって受信された出力光ビームの間のスペクトルの不整合を低減させるために構成される。 （もっと読む）

【課題】非常に大きな衝撃が検出素子に加わっても、検出素子の破壊を抑制したセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】この検出素子２４は、第１アーム２６を第２アーム２８に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２６の一端を支持する支持部３０とを有し、第１アーム２６はメアンダ形状であって弾性を有し、支持部３０に対して対称形状としており、第１アーム２６には歪抵抗素子を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】横方向の加速度の影響を除去し易い、横置き型の角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】ケース４のセンサ素子支持部４１の上面に固定される固定部２０と、固定部２０の両側に連結されると共にセンサ素子支持部４１の上面と平行な面に沿って延在する上検出腕２１および下検出腕２２と、上検出腕２１を間にして固定部２０に連結されると共に上検出腕２１の延在方向に延在する一対の上振動腕２３とを備える。つまり、本角速度センサ素子２では、下検出腕２２が上検出腕２１および一対の上振動腕２３のそれぞれの延在方向とは反対側に延在して形成されている。 （もっと読む）

【課題】横方向の加速度の影響を受け難く、かつ固定部の固定が容易な、横置き型の角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】固定部２０と、固定部２０の北側に連結された北側振動腕２１と、固定部２０の南側に連結された南側振動腕２２とを備える。北側振動腕２１は、固定部２０の北側に連結されると共に固定部２０の北側に延在する北側検出腕２３と、北側検出腕２３の固定中央部２０Ａとは反対側の端部に連結された北側梁部２４と、北側梁部２４の両端にそれぞれ連結された一対の北側駆動腕２５および加重部２６とを有する。南側振動腕２１は、固定部２０の南側に連結されると共に固定部２０の南側に延在する南側検出腕２７と、南側検出腕２７の固定部２０とは反対側の端部に連結された南側梁部２８と、南側梁部２８の両端にそれぞれ連結された一対の南側駆動腕２９および加重部２６とを有する。 （もっと読む）

【課題】航空機、自動車、ロボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーション等、各種電子機器に用いられる慣性力センサに関して、検出精度を高める。
【解決手段】慣性力センサを構成する駆動回路２を、モニタ電極８から出力されたモニタ信号１１をＡＤ変換してモニタ信号１１のデジタル値及び振幅情報を形成し、振幅情報を予め決められた基準振幅情報と比較し、この比較情報を基にモニタ信号１１のデジタル値を演算処理してマルチビット信号に変換し、このマルチビット信号を所定の出力信号に変換し駆動電極６に出力する構成としたのである。 （もっと読む）

【課題】振動整流誤差を補償する。
【解決手段】マウント１０に実装されたＭＥＭＳジャイロスコープ１５は、コリオリ力を定義する回転軸ａの回りの回転加速度を検知するが、慣性軸ｚに並行な振動ベクトルｖに沿った振動によって、出力信号に振動整流誤差が生ずる。振動清流誤差の影響を受けにくい加速度計１８は、主軸ｖ’に沿った加速度を検知する。プロセッサ２１は、加速度計１８からの信号を受け取り、該信号に基づいて、メモリ２４から振動信号を読み出し、出力段２７への調整命令を生成し、調整命令にしたがってバイアスを除去する。これにより、ジャイロスコープの振動整流誤差を補償する。 （もっと読む）

【課題】本発明は低背化を図った角速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】第１アーム２を第２アーム４に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２を支持した支持部６と、支持部６に連結するとともに実装基板に固定した固定部９と、第２アーム４の先端部に連結した錘部１１とを有する検出素子１を備え、第２アーム４は第２アーム４自身と対向するまで折曲するとともに第２アーム４の対向方向に錘部１１を駆動振動させる駆動手段１７を設けており、折曲した第２アーム４の第１アーム２側から錘部１１側に向かって、第１駆動電極部１７ａおよび第２駆動電極部１７ｂを互いに交差させて配置した構成である。 （もっと読む）

【課題】時計回りに伝搬するレーザ光と反時計回りに伝搬するレーザ光とを重ね合わせなくても回転速度を検出可能な光ジャイロを提供する。
【解決手段】半導体光アンプ１は、レーザ光ＣＷ，ＣＣＷを発振するとともに、レーザ光ＣＷ，ＣＣＷを誘導放出によって増幅し、レーザ光ＣＷ，ＣＣＷをそれぞれ端面１Ａ，１Ｂから光ファイバ２中へ放射する。結合器３は、光ファイバ２中のレーザ光ＣＷを光ファイバ４中へ９９％：１％の割合で分岐させる。光検出器５は、光ファイバ４中のレーザ光ＣＷの光強度を検出し、その検出した光強度をスペクトルアナライザ６へ出力する。スペクトルアナライザ６は、レーザ光ＣＷ，ＣＣＷの重ね合わせ光を２乗検波して得られるビート信号の周波数に相当する光強度の変化周波数を検出し、その検出した変化周波数を検出器７へ出力する。検出器７は、変化周波数に対応する回転角速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】センサの帯域幅を狭めることなく、振動及び放射線効果に対する感度を低下させる。
【解決手段】干渉光ファイバ・ジャイロスコープ２００は、光信号１０２を供給する光学部と、光信号を光検出器出力信号２１７に変換する光検出器２０６と、光検出器出力信号に基づいてジャイロ出力２６０を供給する電子回路部２０７とを含む。電子回路部は、光検出器出力信号を量子化し光信号のディジタル化表現を形成し、光信号のディジタル表現に基づいて、強度調整値２４５を決定し、その値に基づいて光検出器出力信号を調節して、調整済み光検出器出力信号を形成する。そして、光信号のディジタル表現を、調整済み光検出器出力信号及び強度調整値の関数としてディジタル的に再現し、再現した信号から、復調技法を適用して、回転速度に対する感度を保存しつつ、強度−感度を除去する。 （もっと読む）

【課題】本発明は検出感度を向上した慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】上記検出素子１において角速度を検出する際は、角速度発生時に、互いに正極となる第２感知電極部１９ｂの上部電極１５と第４感知電極部２０ｂの上部電極１５から出力された出力値を加算した第１加算値と、互いに負極となる第１感知電極部１９ａの上部電極１５と第３感知電極部２０ａの上部電極１５から出力された出力値を加算した第２加算値と、互いに正極となる第１感知電極部１９ａの下部電極１４と第３感知電極部２０ａの下部電極１４から出力された出力値を加算した第３加算値と、互いに負極となる第２感知電極部１９ｂの下部電極１４と第４感知電極部２０ｂの下部電極１４から出力された出力値を加算した第４加算値に基づき検出する構成である。 （もっと読む）