【課題】圧電デバイスにおいて、圧電振動片を保持するリード線とパッケージとの接合に
おいて、リード線をフォーミングする必要があった。
【解決手段】本発明の圧電デバイスは、圧電振動片と、前記圧電振動片を保持すべく一端
が前記圧電振動片に接続されたリード線と、前記リード線を支持するための支持基板であ
って、前記振動片に対向する面と表裏の関係にある面に前記リード線の他端近傍が固定さ
れた前記支持基板と、から構成される。 （もっと読む）

【課題】 精度良く角速度を検出する。
【解決手段】 圧電材料から、この圧電材料の結晶軸（Ｘ軸，Ｙ軸，Ｚ軸）のＸ軸の＋Ｘ側を正面とするＹＺ平面内で、Ｙ軸方向を基準に、前記Ｘ軸を回転軸にして、反時計廻りを＋方向としたときに、−９度〜−２０度で回転させたカットアングルで切り出された圧電板体から形成されてなることを特徴とすることにより、慣性センサ素子を励振振動させる際に、Ｚ軸方向成分の歪を著しく小さくすることができ、誤検出を防止して、精度の良い角速度の検出を行う。 （もっと読む）

【課題】 ロックイン現象が生じない光ジャイロを提供する。
【解決手段】 半導体光アンプ（ＳＯＡ）１は、レーザ光ＣＷ，ＣＣＷをそれぞれ端面１Ａ，１Ｂから光ファイバ２中へ放射する。結合器３は、光ファイバ２中のレーザ光ＣＷ，ＣＣＷをそれぞれ光ファイバ４，５中へ９９％：１％の割合で分岐させる。光検出器６，７は、それぞれ、光ファイバ４，５中のレーザ光ＣＷ，ＣＣＷの光強度Ｉ_ＣＷ，Ｉ_ＣＣＷを検出して検出器８へ出力する。この場合、光強度Ｉ_ＣＷ，Ｉ_ＣＣＷは、回転角速度に対して変化する。検出器８は、光強度Ｉ_ＣＷ，Ｉ_ＣＣＷに基づいて、半導体光アンプ１および光ファイバ２の回転角速度を検出する。また、検出器８は、半導体光アンプ１および光ファイバ２の回転の前後における光強度Ｉ_ＣＷ，Ｉ_ＣＣＷの変化割合に基づいて回転方向を検出する。 （もっと読む）

【課題】自律移動体用の小型、低出力ナビゲーション級慣性システム用に小型、低出力、低コストのＭＥＭＳ加速度計またはジャイロを提供する。
【解決手段】円筒状リング共振器を用いた振動ジャイロスコープは、円筒状リング共振器を支持する折り曲げられた円筒サスペンションを備えている。折り曲げられた円筒サスペンションは、内筒、外筒及び環帯を備えている。内筒、外筒及び環帯は、同心円的である。内筒の上縁は、環帯の内側の縁に結合されている。外筒の上縁は、環帯の外側の縁に結合されている。これらの構造は、ＳＯＩウェーハ上に駆動、検出電極を含めて半導体製造技術を用いて製造される。 （もっと読む）

【課題】 精度の良い角速度の検出を行う。
【解決手段】 基部１１０から延出する一対の脚部１２０，１３０を有する略Ｙ字型となる慣性センサ素子１００であって、一対の脚部１２０，１３０が互いに遠ざかる方向に傾斜する傾斜部１２１，１３１と、この傾斜部１２１，１３１から互いに平行に伸びる平行部１２２，１３２とを備え、脚部１２０における傾斜部１２１が光軸に対して三回対称となる電気軸のうちいずれか１つの軸と平行となり、脚部１３０における傾斜部１３１が光軸に対して三回対称となる残りの電気軸のうちのいずれか１つの軸と平行となり、脚部１２０が、検出用電極が備えられる検出用脚部であり、脚部１３０が、励振用電極が備えられる励振用脚部からなる。 （もっと読む）

【課題】簡素で安価な構成でなおかつ精度の高い方位角計測装置を備えた移動体を提供する。
【解決手段】駆動車輪の回転速度を計測する駆動輪回転速度計測手段と、前記回転角速度推定値ω_Ａ３１２を出力できるジャイロセンサと、前記駆動輪回転速度からオドメトリによって前記回転角速度推定値ω_Ｂを計算する運動学演算手段と、前記回転角速度推定値ω_Ａ３１２と前記回転角速度推定値ω_Ｂ４１２とを逐次選択する回転角速度推定値選択手段と、前記回転角速度推定値選択手段４０３の出力を積分する積分器４０４と、からなる移動体の方位角計測装置を構成し、前記回転角速度推定値選択手段４０３が常に信頼性の高い回転角速度推定値を出力するようにした。 （もっと読む）

【課題】 小型化および接続信頼性の向上に寄与する回路装置およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の回路装置１０は、第１の基準面１６に平行に配置されて物理量を感知する第１の素子１１と、第１の基準面１６と所定の角度で交差する第２の基準面１７に平行に配置された第２の素子１２とを具備する。更に、第１の素子１１および第２の素子１２を一体に封止する封止樹脂１５と、第１の素子１１と電気的に接続されて第１の基準面１６に平行に配置され、封止樹脂１５から裏面が露出する第１の導電パターン１３と、第２の素子１２と電気的に接続されて第２の基準面１７に平行に配置され、封止樹脂１５から裏面が露出する第２の導電パターン１４とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 小型化および接続信頼性の向上に寄与する回路装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 第１の導電パターン１３および第２の導電パターン１４が凸状に突出するように導電箔３０の表面から第１の分離溝３６Ａを形成し、曲折される部分の導電箔３０の表面から第２の分離溝３６Ｂを設ける工程と、記第１の導電パターン１３に物理量を検出する第１の素子１１を電気的に接続し、第２の導電パターン１４に第２の素子１２を接続する工程と、第２の分離溝３６Ｂが設けられた箇所にて導電箔３０を曲折する工程と、両素子を被覆して第１の分離溝３６Ａおよび第２の分離溝３６Ｂに充填されるように封止樹脂１５を形成する工程と、第１の分離溝３６Ａおよび第２の分離溝３６Ｂに充填された封止樹脂１５が露出するまで、導電箔３０を裏面から除去する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 単純な構造で三次元の所定軸まわりの角速度を検出する。
【解決手段】 導電性材料からなる可撓基板５７０の周囲をセンサ筐体５６０に固定し、下面中央に振動子５５０を固着する。可撓基板５７０の上面には、圧電素子５４０を固着し、その上面に上部電極Ｌ１〜Ｌ４を形成する。上部電極Ｌ１〜Ｌ４と導電性可撓基板５７０との間に所定位相の交流信号を供給することにより、振動子５５０をＸ軸方向に振動させた状態にする。その状態において、振動子５５０に加わるＺ軸方向のコリオリ力による振動子５５０のＺ軸方向への変位を、圧電素子５４０の上面に形成された図示されていない別な上部電極と導電性可撓基板５７０との間に発生した電圧に基づいて検出し、検出した電圧をＹ軸まわりの角速度を示す値として出力する。 （もっと読む）

【課題】現場に固定された検出対象物を検出することにより基準方位を読み取ってジャイロセンサの基準方位の設定を行う自律走行車において、検出対象物の設置を容易にし、正確な走行制御を行う。
【解決手段】現場に仮想として配置されるＸＹ座標上の点として特定されている２点以上の位置にそれぞれ固定された検出対象物（リフレクタＲ１〜Ｒ４）をレーザ・スキャナ４４によって検出して得られた情報に基づき、ＸＹ座標上の自車の方向αを算出する。これを走行ルート始点５等において行い、自車の方向αに基づきジャイロセンサの基準方位を設定する。ジャイロセンサの検出信号に基づき走行ルート４に沿った走行を制御し、リフレクタの設置数は極力少数に抑えた。 （もっと読む）

【課題】従来の慣性センサ素子において、多軸の慣性センサ素子ではその構造が複雑化し、素子を作成することが煩雑になるという問題があった。また１つの慣性体要素を時間的にも直交した２相駆動により円運動させる方式では、圧電振動材料の振動素子に均整な円運動を与えることが困難であり、他軸信号との直交性が乱れ、異なる成分の信号の分離が容易ではない
【解決手段】基部と、この基部より少なくとも直交する２つの空間軸方向に基部を挟んで対称方向に延設された、複数本の角柱状の脚部を有する一対の振動部が形成されており、基部及び各振動部が圧電材料で一体に形成されている慣性センサ素子である。 （もっと読む）

【課題】角速度センサの実装面積と加速度センサの実装面積とを必要とせず、角速度センサと加速度センサとを複合して実装面積を低減し、実装基板の小型化を図った複合センサを提供することを目的としている。
【解決手段】角速度センサと加速度センサを有する複合センサであって、固定基部４に連結した２つの錘部８と、一方の錘部８に一端を連結するとともに、他方の錘部８に他端を連結した第１振動素子１０と、錘部８に一端を連結した第２振動素子１２とを設け、第１振動素子１０および第２振動素子１２を互いに駆動振動させ、錘部８の可動に起因して変化する第１振動素子１０の駆動振動を検知して加速度を検出するとともに、コリオリ力に起因して変化する第２振動素子１２の屈曲振動を検知して角速度を検出する構成である。 （もっと読む）

【課題】 傾斜角度検出手段の出力が飽和することに起因して、その飽和状態からの復帰後も演算手段の演算による傾斜角度が異常値を示すことを回避する。
【解決手段】 移動体Ａの傾斜角度を検出する傾斜角度検出手段４５の出力と、その傾斜方向での移動体Ａの角速度を検出する角速度検出手段４６の出力とに基づいて、移動体Ａの傾斜角度を演算する演算手段４８を備えた傾斜角度計測装置を、予め設定した閾値に基づいて傾斜角度検出手段４５が飽和状態か否かを判別し、傾斜角度検出手段４５が飽和状態でない場合には、演算手段４８が、角速度検出手段４６の出力に対する演算処理を行って、角速度検出手段４６の出力に基づく演算値を更新し、傾斜角度検出手段４５が飽和状態である場合には、演算手段４８が、角速度検出手段４６の出力に対する演算処理を停止して、角速度検出手段４６の出力に基づく演算値を固定するように構成した。 （もっと読む）

【課題】慣性センサ素子として用いる音叉型屈曲水晶振動素子は、小型化すると等価直列抵抗Ｒ１が大きく、且つＱ値が小さくなり、高い感度が得られない等の課題が残されていた。又、このような課題を解決するために従来より行われている振動腕部の中央部に一つの貫通穴を設けた構造の素子おいても、励振用振動腕全体の励振振動形態が不良となる恐れがある。
【解決手段】慣性センサ素子において、振動腕部のうち励振用振動腕部に、この励振用振動腕部の長さ方向に開口部長径を配する形態の貫通穴が、励振用振動腕部の長さ方向に沿って複数個配列し形成されている慣性センサ素子。 （もっと読む）

【課題】外部からの振動が加わった場合に発生する、不要な信号を低減することができる音叉型振動ジャイロを提供する。
【解決手段】２つのアーム２，３及びベース４を有する音叉型振動子１と、ベース４を支持する支持基板６と、回転角速度が加わった場合に生じる検出側振動を検出する検出回路とを備え、駆動側振動としての音叉型振動子１の面内振動と、検出側振動としての音叉型振動子１及び支持基板６が一体となった捩じり振動とを行う音叉型振動ジャイロにおいて、駆動側振動の共振周波数と検出側振動の共振周波数との差の絶対値が要求周波数特性の上限値の３倍を越えており、検出回路は要求周波数特性の上限値より大きく、かつ駆動側振動の共振周波数と前記検出側振動の共振周波数との差の絶対値より小さいカットオフ周波数を有するローパスフィルタを有する。 （もっと読む）

【課題】 通信相手の存在する方向を確認するためのアンテナスキャンの回数が少なくて済み、かつ小型化可能な指向性アンテナ制御装置を提供する。
【解決手段】 自装置の向きを検出するジャイロ１０７と、自装置の移動量を検出する移動量センサ１０５と、通信相手である装置から受信した電波が所定のしきい値以上であるか否かを判断する電波強度検出評価部１０４とを有し、通信相手である装置が存在する方向を認識するための方向スキャンを２回行った後は、ジャイロ１０７、移動量センサ１０５及び電波強度検出評価部１０４の出力に基づいて、方向スキャンを行うことなく指向性アンテナ１０３の指向方向を決定する。 （もっと読む）

【課題】 回転方向の検出が容易であり、小型で信頼性が高い半導体レーザジャイロを提供する。
【解決手段】 基板と、基板上に形成され第１および第２のレーザ光を出射する半導体レーザ２０と、第１および第２のレーザ光Ｌ１およびＬ２を多角形の経路を互いに逆方向に周回させるための複数の光学素子（フレネルレンズ３０ａおよび３０ｂ、ミラー４０ａおよび４０ｂ）と、第１および第２の光によって干渉縞が形成される位置に配置された光検出器７０ａおよび７０ｂとを備える。基板上に基板側から順に配置された第１および第２の層を含む積層部と、第１および第２の層を第２の層側に曲げることによって形成された起立部とを含み、積層部および起立部は、それぞれ、格子定数が異なる複数の層を含む。第１および第２の層は、上記複数の層における格子定数の差によって生じた力によって曲げられており、複数の光学素子の少なくとも１つが起立部に形成されている。 （もっと読む）

【課題】音叉型慣性センサ素子の場合振動腕部の４面に電極を設け片方の振動腕部で角速度を検出するために電界成分Ｅｘが小さく、又、Ｈ型の音叉形状の場合も振動子励振電極が振動腕部の４面に設けているために小型化すると等価直列抵抗Ｒ１が大きく、且つ、Ｑ値が小さくなり高い感度が得られない。
【解決手段】慣性センサ素子において、この励振用振動腕に形成した貫通穴の穴内の長さ方向の二つの側面には、電気的極性が同極となる電極が各々形成され、且つ貫通穴内の各々の側面の電極と対向するよう形成した励振用振動腕の側面の電極が、貫通穴内の各々の側面に形成した電極と電気的極性が異なる電極の励振用電極として形成されている慣性センサ素子。 （もっと読む）

【課題】運動中でも慣性センサのバイアスを測定できるバイアス測定方法を提供する。
【解決手段】固定ジャイロセンサ１０と、１８０度回転可能な可動ジャイロセンサ１２とを用い、まず両方のジャイロセンサ１０，１２を同じ方向に向けて角速度ω_１，ω_２を計測する。角速度ω_１，ω_２のバイアスｂ_ａｎ１，ｂ_ａｎ２及びノイズｎ_ａｎ１，ｎ_ａｎ２を用い、角速度ω_１，ω_２の差は次式で表される。
ω_１−ω_２＝（ｂ_ａｎ１−ｂ_ａｎ２）＋（ｎ_ａｎ１−ｎ_ａｎ２）
次に、可動ジャイロセンサ１２を反転させた後、再び両方のジャイロセンサ１０，１２で角速度ω_１，ω_２を計測する。角速度ω_１，ω_２の和は次式で表される。
ω_１＋ω_２＝（ｂ_ａｎ１＋ｂ_ａｎ２）＋（ｎ_ａｎ１＋ｎ_ａｎ２）
角速度ω_１，ω_２の差及び和を時間平均すると、ノイズの項は０に収束するので、上記２式よりバイアスｂ_ａｎ１，ｂ_ａｎ２を算出できる。 （もっと読む）

【課題】 圧電材料の角柱状振動体からなる比較的簡単な構造により、２軸方向の角速度を同時にかつ高い駆動効率で高精度に検出でき、小型化、低コスト化し得る圧電ジャイロ素子及び圧電ジャイロスコープを提供する。
【解決手段】 断面矩形の角柱状をなす圧電振動体２をその一端で固定し、圧電振動体の第１の側面２１に第１の駆動電極４Ａを、圧電振動体の第２の側面２２にその幅方向に分離させた第２〜第４の駆動電極４Ｂ〜４Ｄを形成し、各駆動電極に位相差をもって駆動電流を印加して圧電振動体がその他端で円運動するように振動させる。その振動の回転中心軸に関して直交する向きにトルクが作用すると、それにより生じる圧電振動体の撓みを、圧電振動体の第１の側面に形成した第１の検出電極５Ａと第２の側面に形成した第２の検出電極５Ｂとにから出力して、２軸方向の角速度を検出する。 （もっと読む）