【課題】センサ信号と検波信号との位相関係を精密に調整する。
【解決手段】物理量センサ１０は、所定周波数の駆動信号Ｓｄｒｖが供給され外部から与えられた物理量に応じてセンサ信号Ｓ１０を出力する。波形整形回路１０１は、駆動信号Ｓｄｒｖを基準クロックＣＫｒｅｆに変換し、逓倍回路１０２は、駆動信号Ｓｄｒｖを逓倍して動作クロックＣＫａを生成する。シフトレジスタ１００Ｒは、動作クロックＣＫａに同期して基準クロックＣＫｒｅｆを順次シフトし、遅延クロックＣＫ１〜ＣＫｎを生成する。セレクタ１００Ｓは、設定値ＳＥＴに対応する遅延クロックを選択クロックＳＳＳとして選択する。入力アンプ１０３は、センサ信号Ｓ１０を電圧に変換してアナログセンサ信号Ｓｓｎｃとして出力する。同期検波回路１０４は、選択クロックＳＳＳを検波信号として用いてアナログセンサ信号Ｓｓｎｃから物理量信号を検波する。 （もっと読む）

【課題】サンプリング周波数の増大を抑制しつつ位相調整の精度を向上させる。
【解決手段】シフトレジスタ１００Ｒは、サンプリング周波数よりも高い周波数を有する逓倍クロックＣＫｘに同期してサンプリング周波数と同一の周波数を有する動作クロックＣＫａを順次シフトさせることにより、複数の遅延クロックＣＣ１，ＣＣ２，・・・を生成する。セレクタ１００Ｓは、遅延クロックＣＣ１，ＣＣ２，・・・の中からいずれか１つを選択し、選択した遅延クロックをサンプリングクロックＣＫｓｐとして出力する。アナログ／デジタル変換回路１０４は、サンプリング位相調整回路１００からのサンプリングクロックＣＫｓｐに同期してアナログセンサ信号Ｓｓｎｃをデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃに変換する。 （もっと読む）

【課題】外部から突発的な振動が与えられた場合であっても、その振動を吸収して、素子部への振動の伝達を防止することができる角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る角速度センサ素子１は、駆動系及び検出系の振動腕を備えたセンサユニット１０ａ〜１０ｃと、センサユニット１０ａ〜１０ｃを連結する基部４と、基部４及びセンサユニット１０ａ〜１０ｃを包囲する枠状の第１固定部６と、基部４及び第１固定部６を連結する第１連結腕５ａ〜５ｃと、第１固定部６の周囲の少なくとも一部に配置された第２固定部８と、第１固定部６及び第２固定部８を連結する第２連結腕７ａ〜７ｃとを有する。 （もっと読む）

電子アセンブリを形成するためのシステムおよび方法が提示される。第１の感知軸を有する第１の慣性センサが、ブラケットに装着される。第２の感知軸を有する第２の慣性センサは、第２の感知軸が第１の感知軸に対して実質的に直交となるように、ブラケットに装着される。ブラケットは、少なくとも１つのマイクロ電子デバイスが設置された回路基板に装着される。
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【課題】駆動振動系が受けたコリオリ力を直接的に検出振動に反映させるようにすることで、振動特性を安定させた角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る角速度センサ素子１は、少なくとも１つの駆動腕３と、駆動腕３の両端を支持する枠２と、枠２および駆動腕３を含む検出振動系１１の振動を検出する検出腕４と、を有する単位構造を少なくとも１つ備える。 （もっと読む）

【課題】振動腕の振動周波数を調整することができ、感度及び応答性を高めることができる角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る角速度センサ素子１は、少なくとも１つの振動腕２ｂと、振動腕２ｂの両端を固定する一対の支持部２ａ，２ａ、及び一対の支持部２ａ，２ａを連結する伸縮可能な伸縮部２ｂを備える支持枠２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】外部から突発的な振動が与えられた場合であっても、その振動を吸収して、素子部への振動の伝達を防止することができる角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る角速度センサ素子２は、枠状の固定部２１と、固定部２１の枠内に配置され、駆動系及び検出系の振動腕２１〜２４を備えた素子部２０と、固定部２１に両端が連結された両持ち梁状に形成され、梁の途中において素子部２０に連結された連結部２５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】角速度検出部と加速度検出部とを有し、検出素子２は、第１アーム４と第２アーム６とを直交方向に連結して形成した直交アームと、第１アーム４の一端を支持する支持部８とを有し、互いに直交するＸ、Ｙ、Ｚ軸において、第１アーム４をＸ軸方向に配置し、第２アーム６をＹ軸方向に配置し、角速度検出部は、第２アーム６をＸ軸方向に振動させ、角速度に起因した検出素子２の状態変化に基づき角速度を検出しており、加速度検出部は、加速度に起因した検出素子２の状態変化に基づき加速度を検出しており、第１アーム４の厚みを支持部８の厚みよりも薄くした構成である。 （もっと読む）

【課題】光ファイバジャイロスコープのＡＲＷをモニタする方法及び装置を提供する。
【解決手段】光ファイバジャイロスコープ（ＦＯＧ）に関連付けられる角度ランダムウォーク（ＡＲＷ）のレベルを決定するシステムは第１及び第２のフォトダイオード１１５、１３５を備える。第１のフォトダイオード１１５はＦＯＧに関連する光源１０５から第１の光信号を受信する。第２のフォトダイオード１３５はＦＯＧに関連する光ファイバコイルから第２の光信号を受信する。第１及び第２のアナログ／デジタルコンバータ（ＡＤＣ）１４０は第１及び第２の光信号をそれぞれ対応する第１及び第２のデジタル信号に変換する。デジタル相対強度雑音（ＲＩＮ）減算素子１５０は第１及び第２のデジタル信号を受信し、第１及び第２のデジタル信号に基づいて第３の信号を出力する。電子デバイスは第３の信号に関連する第１の雑音レベルを決定して該第１の雑音レベルからＡＲＷレベルを決定する。 （もっと読む）

【課題】結晶基板支持体（２０２）上の光ファイバー整列素子を提供すること。
【解決手段】共振器光ファイバージャイロで具体化される例示的実施形態は、光ファイバー（１３６）の第１の端部分（１３８）および光ファイバー（１３６）の第２の端部分（１４０）を支持する働きをする結晶基板支持構造体（２０２）を形成するステップと、支持構造体（２０２）内に第１の端部Ｖ溝部分（２０８）および第２の端部Ｖ溝部分（２１０）を形成するステップと、光ファイバー（１３６）の第１の端部分（１３８）を第１の端部Ｖ溝部分（２０８）に物理的に結合するステップと、光ファイバー（１３６）の第２の端部分（１４０）を第２の端部Ｖ溝部分（２１０）に物理的に結合するステップとからなる工程によって製作される。 （もっと読む）

【課題】入出力端子や伝送線路を増設することなく低コストで、複数のシステム状態を伝送することの可能なシステム状態伝送装置を提供する。
【解決手段】複数のシステム状態の各々に対応して設置され、対応するシステム状態を検出すると共に当該システム状態に応じた信号を出力する状態検出手段と、前記状態検出手段の各々から出力される信号の内、最も優先すべきシステム状態を表す信号を選択的に外部に伝送する信号選択手段とを備える。 （もっと読む）

本発明は、自動利得制御ループを使用した力平衡制御システム及び制御方法に関するもので、質量体の速度信号を制御する自動利得制御ループを使用して振動型角速度計の力平衡フィードバック制御を遂行するように構成され、複雑で雑音に敏感な従来のデジタル回路を簡単なアナログ回路で具現することができ、マイクロ角速度計に適用可能であるのみならず、汎用振動型角速度計または慣性センサー、圧力センサー、温度センサーなどの多様なセンサーに拡張可能な効果がある。
さらに、本発明の自動利得制御ループを使用した力平衡制御システムを多様なセンサーに適用することで、センサーの動的領域、帯域幅、線形性などの性能向上をはかることができる。
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【課題】本発明は、補正データに改竄が生じた場合に、改竄が起きているビット自身の特定を可能にして、容易に補正データを修正することができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、第１の不揮発性メモリ６４におけるパリティ領域を水平パリティ７４、第１の垂直パリティ７１および第２の垂直パリティ７２で構成し、データ領域７３、水平パリティ７４の水平方向およびデータ領域７３、第１の垂直パリティ７１、第２の垂直パリティ７２の垂直方向のデータの和が奇数または偶数に統一されるように構成したものである。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度を検出するにあたり、実装面積を低減して小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】第１、第２アーム４、６、錘部１４をＺ軸方向で挟むように、Ｚ軸の正方向に配置した第１対向基板２４とＺ軸の負方向に配置した第２対向基板２６とを設け、第１アーム４により第２アーム６および支持部８を中空保持して、第１、第２対向基板２４、２６が互いに接触しないように一定の間隔を設けるとともに、錘部１４と第１対向基板２４の各々の対向面に対向電極２２を配置し、支持部８のＺ軸方向における変位を抑制するストッパーを支持部８のＺ軸方向に設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】角速度センサに高い検出能力を具備させることができる圧電振動子を提供する。
【解決手段】圧電素子１４において有頂円筒状体１１の軸線Ｏをその径方向で挟んだ互いに反対となる各位置に１つずつ配設されて対をなし、圧電素子１４に電圧を印加する少なくとも一対の励振電極１５と、圧電素子１４において励振電極１５の配設位置を回避した位置で、かつ前記軸線Ｏをその径方向で挟んだ互いに反対となる各位置に１つずつ配設されて対をなし、角速度検出用の電圧を出力する少なくとも一対の検出電極１６と、を備える圧電振動子１０であって、励振電極１５および検出電極１６それぞれの前記軸線Ｏに直交する方向に沿った平面積が互いに異なっている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、外乱振動を抑制しつつ、角速度検出素子とＩＣとの実装面積を低減させることができ、かつ信号の入出力のための電極パッドの配置数も低減して小型化が図れる慣性力センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の慣性力センサは、振動型の角速度検出素子３２と、この角速度検出素子３２から出力される出力信号を処理するＩＣ３４と、前記角速度検出素子３２およびＩＣ３４を防振手段を介して収納するパッケージ３８とを備え、前記防振手段を、角速度検出素子３２を積層したＩＣ３４を載置する載置部４０と、この載置部４０の外方に分離して配置され、かつ配線パターン４２を介して接続された外方部４４とにより構成するとともに、前記載置部４０を中空保持しつつ前記外方部４４によって前記パッケージ３８に取り付けたものである。 （もっと読む）

【課題】検出感度を大きくした慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】加速度検出部と角速度検出部を有する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム８を第２アーム１０に略直交方向に連結した２つの直交アームを有し、２つの第１アーム８の一端が支持部１２にて支持され、２つの第１アーム８の他端が第１固定部４に連結され、第２アーム１０の先端部に錘部３が連結され、第１固定部４は固定アーム７にて第２固定部６と連結され、第１アーム８をＸ軸方向に配置するとともに第１固定部４にはＸ軸方向のみに弾性変形する第１弾性部９を設け、第２連結部である固定アームをＹ軸方向に配置するとともに第２固定部６にはＹ軸方向のみに弾性変形する第２弾性部１１を設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】互いに垂直な方向に入力される加速度量および角速度量を測定することが可能な一体型加速度計・角速度計システムを提供する。
【解決手段】駆動電圧を用いて質量体が一定の振幅を保つようにし、加速度軸および角速度軸方向の振動信号を検出する一体型加速度計・角速度計と、加速度軸方向の振動信号を取得する加速度軸振動信号取得部と、前記加速度軸振動信号取得部からの受信信号を用いて、一定の振動幅を持たせる加速度軸振動維持制御信号を出力する振幅維持制御部と、前記振幅維持制御部からの電圧信号を受け取り、一体型加速度計・角速度計に印加する加速度軸駆動入力部と、前記一体型加速度計・角速度計から検出された角速度軸方向の振動信号を取得する角速度軸振動信号取得部と、前記角速度軸振動信号取得部からの信号を用いて、一定の振動幅を持たせる信号を出力し前記一体型加速度計・角速度計に印加する力平衡制御部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】部品の共通化を実現する多軸ファイバジャイロを提供する。
【解決手段】複数の光源２と、複数の光ファイバループ４と、複数の第１光カプラ３と、複数の第２光カプラ７と、複数の位相変調器６と、複数の偏光子９と、多芯フェルール付き受光素子８と、複数の光源２を時分割制御する時分割制御回路とを備えた。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の動きや地磁気等の外的要因が変化する場合においても、ノイズ，誤差の影響を低減した検出値を得ることができる慣性計測装置を提供することである。
【解決手段】複数種類の検出装置２，３を備えた慣性計測装置１であって、前記各検出装置２，３には各々所定値が設定されており、いずれかの検出装置２，３の検出値が所定値を超えた際に、超えた検出装置２，３による検出値の参照割合を低下させる。所定値を超えた検出装置２，３の検出値の参照割合を、所定値を超える前の参照割合の２０％以下に設定する。 （もっと読む）