微小電気機械センサ（３０）は、少なくとも１つの移動可能な電極（２９）と、個別に駆動可能であり、対応する電極信号（ｕ_o1，ｕ_o2，ｕ_u1，ｕ_u2）が供給されるための複数の電極を備え、上記移動可能な電極（２９）と離間して配置されている電極構成（３１₁−３１₄）とを備え、上記電極信号は、力の適用、ばね定数及び上記移動可能な電極（２９）の読み取り係数の、設定または変更のために静電気的に用いることが可能であり、上記電極構成（３１₁−３１₄）に接続され、上記力の適用に関する信号（ｆ）、上記ばね定数に関する信号（Δω）、及び上記読み取り係数に関する信号（ｍ）を供給され、上記力の適用、上記ばね定数、及び上記移動可能な電極の上記読み取り係数に関してもたらされる設定及び／または変更を定義する電極信号生成ユニット（３２）をさらに備え、上記電極信号生成ユニット（３２）は、上記力の適用に関する信号，上記ばね定数に関する信号及び上記移動可能な電極の上記読み取り係数に関する信号（ｆ，Δω，ｍ）に依存して各々の電極信号（ｕ_o1，ｕ_o2，ｕ_u1，ｕ_u2）を生成し、上記力の適用、上記ばね定数、及び上記共振器の上記読み取り係数が、互いに独立して特定の所望値に設定及び／または変更されるように、複数の上記電極信号（ｕ_o1，ｕ_o2，ｕ_u1，ｕ_u2）を互いに整合させる。
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【課題】 小型に構成することができ、応答性に優れた角速度センサと、角速度センサ用のカンチレバーを提供すること。
【解決手段】 固定側に配された第１の支軸部１４と、該第１の支軸部に沿って揺動する第１の揺動部１２と、該第１の揺動部に配された第２の支軸部１５と、該第２の支軸部に沿って揺動する第２の揺動部１３と、該第２の揺動部に保持され回転駆動される回転体３５とを備え、前記第１の揺動部１２と前記固定側との間、および前記第１の揺動部１２と前記第２の揺動部１３との間にそれぞれ設けられ、前記第１の支軸部と前記回転軸とに交差する軸の軸回りに作用する第１の回転角速度ω１と、該第１の回転角速度の作用する前記軸と、前記回転軸とに交差する軸の軸回りに作用する第２の回転角速度ω２とが、それぞれ働くことにより生じる前記各揺動を検出するための第１および第２の検出体４０−１，４０−２とを有する。 （もっと読む）

【課題】 小型に構成することができ、応答性に優れた角速度センサと、角速度センサ用のカンチレバーを提供すること。
【解決手段】 固定側に配された支軸部２３と、該支軸部に沿って揺動する揺動部２４と、該揺動部に保持され回転駆動される回転体３５とを備えており、前記支軸部２３と前記回転体の回転軸Ｍ１とが交差されており、前記揺動部２３と前記固定側との間に設けられ、前記支軸部と前記回転軸とに交差する軸の軸回りに作用する回転角速度が働くことにより生じる前記揺動を検出するための検出体３１と有する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバジャイロスコープを提供すること。
【解決手段】基板は、絶縁層の上に形成されたシリコン層を有し、導波路が、シリコン層の中に形成され、主光チャネル、この主光チャネルの両端に結合された第１および第２のスプリッタ、第１のスプリッタに結合された第１および第２のセグメント、ならびに第２のスプリッタに結合された第３および第４のセグメントを有している。光ファイバコイルは、導波路の第３のセグメントに結合された第１の端部、および導波路の第４のセグメントに結合された第２の端部を有する。光源は、導波路の中に光を放射するように導波路の第１のセグメントに結合されている。光検出器は、光の少なくともいくらかを取り込みかつその間の干渉を検出するように、導波路の第２のセグメントに結合されている。 （もっと読む）

【課題】 音叉板面に垂直な軸の回りの回転運動の角速度を検出する、薄型でかつ平面形状も小型の運動センサを得ること。
【解決手段】 音叉基部より同じ方向に真直かつ平行に形成された２本の外脚および１本の中脚を備えた三脚音叉型の形状を有し、前記２本の外脚は前記三脚音叉の対称軸に関して対称な振動を行うように一定の振幅で励振され、前記中脚は励振されないが三脚音叉の板面内におけるそれ自身の振動を検出する表面電極を備えており、前記三脚音叉がその板面に垂直な軸の回りに回転する際に発生し、前記両外脚の軸方向にそれぞれ逆向きに作用するコリオリ力と前記両外脚の軸間距離によって発生する偶力が伝達されることによる前記中脚のコリオリ力に比例した振幅の振動を前記表面電極によって検出し、前記板面に垂直な軸の回りの回転運動の角速度に比例する検出出力を得る運動センサ。 （もっと読む）

【課題】干渉計を形成する方法を提供すること。
【解決手段】この方法は、単一の半導体基板上に、リング干渉計と、光ファイバジャイロスコープを形成するものである。 （もっと読む）

【課題】温度ドリフトを低減し、製造歩留まりを向上させることが可能な圧電デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】たとえば、中央基部７と、中央基部７から前後へ延出し、屈曲振動する１対の検出用振動アーム８ａ、８ｂと、検出用振動アーム８ａ、８ｂに直交して中央基部７から左右へ延出する１対の連結アーム９ａ、９ｂと、検出用振動アーム８ａ、８ｂに平行して連結アームの先端に設けられた基部から前後に延出し、屈曲振動する２対の駆動用振動アーム１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂと、電極を有する基板１３と、中央基部７を支持し、中央基部７に一端が固定され、基板１３の電極に他端が固定された金属タブテープ１４と、金属タブテープ１４に設けられた樹脂２１と、を備えた圧電振動ジャイロ。 （もっと読む）

【課題】ジャイロの構成部品間で光ビームを送るための薄膜導波管を使用する低コストの光ジャイロのための方法および装置を提供する。
【解決手段】ジャイロは、絶縁体層を有する基板（１６）と、絶縁体層に形成されるシリコン導波管（１６）と、シリコン導波管に結合され、第１の光ビームの一部分を第１の逆向き伝搬方向に循環させ、第２の光ビームの一部分を第２の逆向き伝搬方向に循環させるように構成された共振器（１８）とを備える。第１のシリコン導波管は、それを通して第１および第２の光ビームを伝搬させる。第１および第２の光ビームの各々は、共振器内を循環するとき、共振周波数を有する。 （もっと読む）

【課題】従来の自動的に移動体が停止していることを判定し、角速度センサの零点誤差を算出する方法では、乗員の動作や外部からの影響を除去できず、精度よく零点誤差を補正することができない。
【解決手段】移動体の角速度を検出する角速度センサ１０と、角速度センサ１０の零点誤差を補正する必要があることを判定するセンサ補正タイミング判定手段１１と、速度センサ１３の出力値から移動体が停止していることを判定し、地図情報ＤＢ１４から移動体が停止している場所が一定時間停止可能であることを判定する停止可能判定手段１２と、ユーザに対する注意事項等を表示する出力手段１５を備え、角速度センサの零点誤差を補正する必要があることをユーザに知らせることで、短時間でかつ精度よく角速度センサの零点誤差を算出し、補正することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】角速度が発生していないとき、振動脚に面外振動を生じない振動ジャイロ用の水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｚカット水晶板をウエットエッチング加工する水晶振動子の製造方法において、水晶振動子を構成する水晶振動片の外形形状を決めるための耐食膜パターンを−Ｚ軸側の主表面のみに形成し、＋Ｚ軸側の主表面は全面を耐食膜で被覆する。水晶振動片は、基部に複数の振動脚を有し、振動脚の長手方向がＹ軸と平行に形成されるとともに、振動脚の先端側が−Ｙ方向で基部側が＋Ｙ方向となることを特徴とする。また前記のＹ、Ｚ軸に関する＋−の符号を逆転した構成も可能である。 （もっと読む）

【課題】基準面に対する運動中の被測定物の傾斜角を測定するための傾斜角測定センサを提供する。
【解決手段】加速度成分（Ｇ_x,Ｇ_y,Ｇ_z）を測定するための第１のセンサ部と、角速度成分を測定するための第２のセンサ部と、演算処理部と、を備えた傾斜角測定センサにおいて、下記（１）〜（５）のデータ処理を行なう。（１）被測定物における加速度成分（Ｇ_x,Ｇ_y,Ｇ_z）を測定する第１のデータ処理、（２）加速度成分（Ｇ_x,Ｇ_y,Ｇ_z）からノイズを除去する第２のデータ処理、（３）ノイズを除去した加速度成分（Ｇ_x,Ｇ_y,Ｇ_z）から所定方向の加速度成分（Ｇ₀）を算出する第３のデータ処理、（４）加速度成分（Ｇ₀）と、重力加速度の絶対値が実質的に等しいことを検証する第４のデータ処理、（５）加速度成分（Ｇ₀）を基準として、第２のセンサ部において測定される被測定物の角速度成分から、被測定物の傾斜角を算出する第５のデータ処理。 （もっと読む）

【課題】電気的結合により駆動信号が角速度検出信号に漏れ出す振動ジャイロにおいて、電気的漏れ信号を除去し、角速度検出信号に重畳するオフセット電圧を除去する。
【解決手段】振動子と、この振動子を共振駆動する駆動部と、振動子の検出信号により角速度検出信号を出力する検出部とを備える振動ジャイロにおいて、駆動部は自励発振回路と、この自励発振回路が生成する自励発振信号を矩形波に整形し、矩形波によって振動子を自励振動させる波形整形回路とを備え、検出部は角速度検出信号を取り出す角速度検出部と、角速度検出部で取り出された角速度検出信号に混入した漏れ信号成分を推定する電気的漏れ信号推定部と、電気的漏れ信号推定部で推定した漏れ信号成分を角速度検出部が取り出した角速度検出信号から減算して除去する減算回路と、減算回路の減算結果をろ波する低域通過フィルタとを備える。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度等の互いに異なる複数の慣性力を検出したり、複数の検出軸の慣性力を検出したりでき、各種電子機器の小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】慣性力を検出する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム２を第２アーム４に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２を平行に近接させて支持するとともに実装基板に固定する基部６とを有する。特に、第２アーム４と基部６とは略同一直線上に配置した構成である。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度等の互いに異なる複数の慣性力を検出したり、複数の検出軸の慣性力を検出したりでき、各種電子機器の小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】慣性力を検出する検出素子１を備え、検出素子１は、両端部を固定した固定用アーム２と、固定用アーム２に略直交方向に連結した２つの第１アーム４および第２アーム６とを有し、第２アーム６は２つの第１アーム４の間に連結し、特に、第１アーム４および第２アーム６は、固定用アーム２に対して、互いに反対方向に延設した構成である。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度等の互いに異なる複数の慣性力を検出したり、複数の検出軸の慣性力を検出したりでき、各種電子機器の小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】慣性力を検出する検出素子１を備え、検出素子１は、第１アーム２と、この第１アーム２の両端に連結した第２アーム４とを有し、第２アーム４は略直角に折曲するとともに折曲部にて第１アーム２と連結し、かつ、第２アーム４の両端部の基部５にて実装基板に固定し、互いに直交したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸において、折曲された第２アームの一方をＸ軸方向に配置し、他方をＹ軸方向に配置している。 （もっと読む）

【課題】ジャイロコンパスが静定動作中であっても正確な方位情報を得る。
【解決手段】起動時から静定動作完了までに長周期の誤差成分を含む一方、短時間的には安定した方位を示す第１の方位信号を出力するジャイロコンパスと、起動時から短周期の誤差成分を含む一方、長時間的には平均的に安定した方位を示す第２の方位信号を出力する方位検出手段と、前記第１の方位信号及び第２の方位信号に基づいて真の方位を示す真方位信号を生成する信号処理手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】圧電デバイスにおいて、圧電振動片を保持するリード線とパッケージとの接合に
おいて、リード線をフォーミングする必要があった。
【解決手段】本発明の圧電デバイスは、圧電振動片と、前記圧電振動片を保持すべく一端
が前記圧電振動片に接続されたリード線と、前記リード線を支持するための支持基板であ
って、前記振動片に対向する面と表裏の関係にある面に前記リード線の他端近傍が固定さ
れた前記支持基板と、から構成される。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で、姿勢がほぼ安定して長時間・長距離航行する移動体に用いる場合のジャイロ及び加速時計のドリフト・バイアス誤差を低減する慣性航法システムを提供する。
【解決手段】 慣性航法システム座標系の直交する三軸周りの角速度を検出する少なくとも３個のジャイロスコープ１と、慣性航法システム座標系の直交する三軸方向の加速度を検出する少なくとも３個の加速度計２とを有する慣性測定部Ｓを備えた慣性航法システムＩにおいて、慣性測定部Ｓを上面に配置し、上面と直交する慣性航法システム座標系の一軸周りに回転をする回転台３と、回転台３の回転角を検出する回転角検出手段４とを有する回転台部Ｒと、慣性測定部Ｓと回転台部Ｒからの出力により姿勢情報及び位置情報を計算する演算部Ｃとを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来型光ファイバに基づくファイバ共振器ジャイロに関連する非線形カー効果、誘導ブリリュアン散乱、偏光誤差、および曲げ損失による不正確さを最小限に抑える低コスト、回転速度の測定精度を低下させる誤差機構の効果を低減する、光ジャイロの回転速度を感知する方法および装置を提供する。
【解決手段】空気または真空の自由空間光経路を有する共振器を使用して、軸の周りのリング共振器の回転速度を感知する。リング共振器は、基板３０と、基板上に形成または配置された反射器２０、２２、２４、２６とを備える。反射器は閉光路３９を有し、第１および第２の光ビームのそれぞれを閉光路の相異なる逆伝播方向に向けるように構成される。第１および第２の光ビーム周波数のそれぞれが、光ビームが閉光路内を循環している伝播方向の共振器の共振周波数に同調される。 （もっと読む）

【課題】精度の高いジャイロセンサを、効率よく製造する方法を提供する。
【解決手段】ジャイロセンサの製造方法は、第１及び第２の面２１，２２を有するベース基板２０と、ベース基板２０の第１の面２１に形成された複数の配線２５とを有する配線基板１０を用意する工程と、複数の電極３２を有する振動ジャイロ素子３０を用意する工程と、配線基板１０に振動ジャイロ素子３０を搭載し、配線２５の先端領域２６の電気的接続部２７と電極３２とを対向させて電気的に接続する工程と、ベース基板１０を部分的に除去して、ベース基板１０に、先端領域２６とオーバーラップする開口５０を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）