【課題】トリミングに起因した音叉アームの破損を抑制した慣性力センサを提供することを目的とする。
【解決手段】慣性力を検出する音叉型の振動子１０と処理回路とを備え、振動子１０は、２つの音叉アーム１２、１３と、これらを連結する基部１４とを有し、音叉アーム１２、１３の一方の面は電極１５を形成した電極面１６とし、他方の面はトリミング部１７を形成したトリミング面１８とし、トリミング部１７は音叉アーム１２、１３の角部１９を除いた部分に形成した構成である。 （もっと読む）

【課題】 良好な感度で安価な光ファイバ干渉計を製造すること、及びそのような干渉計を備える光ファイバジャイロスコープを提供すること。
【解決手段】 発明は、位相緩和時間τ_ＤＣを有する広帯域光源（１）と、長さがＬのＮ回巻きの光ファイバ（５）を備えるコイルと、入射ビームを前記ファイバ（５）の第１と第２の端部にそれぞれ結合された第１と第２のビームに分割することができ、それにより前記第１のビームが第１の方向に前記光ファイバを通過し、前記第２のビームが反対の伝搬方向に前記光ファイバを通過する光学手段と、出力ビームの強度を検出できる検出器（６）とを含む光ファイバ干渉計に関する。発明によれば、前記光ファイバは高偏波モード分散光ファイバであり、前記光ファイバコイルの長さＬはファイバ相関長の２倍より大きく、すなわちＬ＞２Ｌ_ｃであり、それにより前記ファイバは結合されたＰＭＤ状態で動作し、前記ファイバの長さＬにわたり累積された二つの直交偏波状態間の群伝搬時間差（ＤＧＤ）は前記光源の位相緩和時間より大きい。すなわち、ＤＧＤ＞τ_ＤＣである。 （もっと読む）

【課題】人工衛星、航空機等の姿勢制御装置としてジャイロ機構を適用する際に、ロータのスピン軸回り回転速度を可変とした場合でも、ジャイロ機構の制御性能を維持もしくは向上させることのできるジンバル制御装置を得る。
【解決手段】ジンバル軸回りの回転角度の検出結果に基づく制御演算結果から、ジャイロ機構１０のジンバル・モータ７をフィードバック制御するジンバル制御装置であって、ロータ１のスピン軸回りの回転速度に応じて、ジンバル軸回りの回転角速度あるいは回転角度を制御するためのフィードバック制御ゲインを変化させる制御部９を備える。 （もっと読む）

【課題】慣性力を検出する感度と精度を向上させることを目的としている。
【解決手段】錘部７と、可撓性を有し錘部７を支持し、所定の厚みを有し同一平面に形成され、前記厚み方向において対称である第１アーム２、第２アーム３と、前記第１アーム２、第２アーム３を介して前記錘部７を保持する枠体６と、前記錘部７を駆動させる第１駆動電極８、第２駆動電極９と、前記錘部７に作用する慣性力を検出するための感知電極１０とを備え、前記第１アーム２、第２アーム３が、前記第１アーム２、第２アーム３が形成された平面に対する垂直な方向における前記錘部７の厚みよりも薄い箇所を有し、前記錘部７が、前記第１アーム２、第２アーム３が形成された平面に対する垂直な方向において対称であるものである。 （もっと読む）

【課題】一つの慣性力センサで複数の軸方向の角速度の検出を外部からの衝撃、振動による誤検出を防止しながら行うことを目的としている。
【解決手段】錘部７と、可撓性を有し錘部７を支持し同一平面内に形成された第１アーム２、第２アーム３とからなる連結部と、連結部を介して錘部７を保持する枠体６と、少なくとも異なる２方向を回転軸とする角速度を検出するための感知電極１０とを備えた慣性力検出素子１と、可撓性を有し慣性力検出素子１を支持する板状の支持体１２と、支持体１２を介して慣性力検出素子１を保持する収納体１１を備え、支持体１２は厚み方向の曲げ部１３を有するものである。 （もっと読む）

【課題】物理量センサの検出精度を安定させる。
【解決手段】振幅検出回路１０１は、物理量センサの自励振動に応じたモニタ信号Ｓｍｎｔの振幅値Ｄ１０１を検出する。波形整形回路１０２は、モニタ信号Ｓｍｎｔをパルス信号Ｐ１０２に変換する。パルス振幅変調回路１０４は、振幅値Ｄ１０１に応じてパルス信号Ｐ１０３の振幅を調整して、物理量センサの自励振動を制御するためのドライブ信号Ｓｄｒｖとして出力する。 （もっと読む）

【課題】実際の回転および振動情報に関連する不要な信号成分、およびＩＯＣからの光グリッチなど変調により誘導される誤差を低減し、角速度出力を決定するジャイロスコープを提供する。
【解決手段】このジャイロスコープ１０は、第１のバイアス変調周波数で角速度測定値を復調して、角速度信号を決定するよう構成された第１の復調器２２と、第２のバイアス変調周波数で角速度測定値を復調して、ＡＲＷ情報を含む信号を提供するよう構成された第２の復調器２４とを含む。このジャイロスコープは、メモリ内に格納されることになるＡＲＷに比例する出力を提供するＡＲＷ推定器２５をさらに含む。第２のバイアス変調周波数は、第１のバイアス変調周波数の偶数次高調波である。このジャイロスコープはまた、第２の復調器の角速度測定入力をフィルタ処理するためのフィルタを含む。 （もっと読む）

【課題】物理量センサの検出精度を安定させる。
【解決手段】アナログ・デジタル変換回路１０１は、物理量センサからのモニタ信号Ｓｍｎｔをデジタルモニタ信号Ｄｍｎｔに変換する。振幅検出回路１０２は、デジタルモニタ信号Ｄｍｎｔの振幅値の平均値Ｄ１０７を検出する。デジタル・アナログ変換回路１０３は、振幅検出回路１０２によって得られた平均値Ｄ１０７をアナログ平均値Ｖ１０３に変換する。可変利得増幅回路１０４は、デジタル・アナログ変換回路１０３によって得られたアナログ平均値Ｖ１０３に応じて増幅利得が可変であり、その増幅利得に従ってモニタ信号Ｓｍｎｔを増幅または減衰させてドライブ信号Ｓｄｒｖとして出力する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、第１の振動体および第２の振動体に設けられた検出電極の位置ズレが生じた場合、角速度が生じていないときには、角速度が発生しているような出力信号を誤って出力してしまうということのない出力精度の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、第２の振動体２３における第１の振動体２２の第１の駆動電極２５および第２の駆動電極２６を設けた位置と対応する箇所に、第１の電極ズレ量検出電極２８および第２の電極ズレ量検出電極２９を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】検出感度及び機械的強度に優れた角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】角速度センサ素子（１，２０，３０）は、相対的な位置関係を保持しつつ、直交３軸（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸）のうち少なくとも１軸の周りに回転自在に構成された第一の固定部（２）及び第二の固定部（３）と、第一の連結腕（４Ａ）と、第二の連結腕（５Ａ）とを備える。第一の連結腕（４Ａ）は、所定の振動モードで振動する振動する第一の自由端と、第一の固定部（２）に固定される第一の固定端とを有する。第二の連結腕（５Ａ）は、所定の振動モードで振動する振動する第二の自由端と、第二の固定部（３）に固定される第二の固定端とを有する。第一の自由端は、錘（６Ａ）を介して第二の自由端に接続されている。 （もっと読む）

【課題】起動してから短期間であっても角速度の導出精度を向上したい。
【解決手段】ＧＰＳ測位部２０は、ＧＰＳ衛星からの信号を受信して、対象物の方位が少なくとも含まれたＧＰＳ測位データ２００を出力する。角速度センサ２６は、対象物における角速度を出力する。オフセット値演算部２８は、測位データと角速度とをもとに、対象物の走行状態を推定する。オフセット値演算部２８は、推定した対象物の走行状態に応じて、角速度センサの仮のオフセット値を逐次導出する。オフセット値演算部２８は、角速度センサの仮のオフセット値に対して統計処理を実行することによって、角速度センサのオフセット値を導出する。ここで、統計処理の際の忘却係数は、対象物の走行状態に応じて変更される。 （もっと読む）

【課題】微細構造の角速度センサの耐衝撃性を向上させることができる技術を提供すること。
【解決手段】角速度センサ１００は、振動素子１０と、振動素子１０を支持する支持基板２０と、ダンパー３０と備えている。振動素子１０は、基部１１とこの基部から延出された振動子部１とで形成されている。振動子部１は、ｘ軸方向に並ぶように配置された３本の振動子２Ａ〜２Ｃと、この各振動子２Ａ〜２Ｃを支持する支持部３と、基部１１及び支持部３を連結する緩衝部４とで形成されている。ダンパー３０は、支持部３の底面３ａの中央に設けられる。このダンパー３０により、各振動子２Ａ〜２Ｃの先端部が支持基板２０側に大きく変位してしまい、振動素子１０が破壊されてしまうことを防止することができる。これにより、角速度センサ１００の耐衝撃性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】分解能が高い光ファイバジャイロを提供する。
【解決手段】本発明の光ファイバジャイロは、周回光路１０を構成する光ファイバであって励起光の入力によって周回光路１０を互いに逆方向に進行するレーザ光Ｌ１およびＬ２を発振させる光アンプ部１１ａを少なくとも一部に含む光ファイバ１１と、励起光を出射する半導体レーザ素子１４と、周回光路１０に配置され励起光を光ファイバ１１に伝播するＷＤＭカプラ１２と、周回光路１０に配置されレーザ光Ｌ１およびＬ２の一部を周回光路１０から取り出す光カプラ１３と、周回光路１０から取り出されたレーザ光Ｌ１およびＬ２の周波数差を検出するためのフォトダイオード１８とを備える。レーザ光Ｌ１およびＬ２の波長λにおけるＷＤＭ１２カプラの挿入損失Ｐ₁（ｄＢ）、および、波長λにおける光カプラ１３の挿入損失Ｐ₂（ｄＢ）のいずれか一方が他方の０．５倍以上で２倍以下である。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡素で高精度の実用性の高い振動ジャイロセンサ振動体の提供を目的として、その駆動部と検出部をそれぞれ別の振動体に設け、これを接合或いは一体加工して構成する新しい考案を行うこと。
【解決手段】 弾性材料より成る実質的な真直ぐな板状棒を主体とし、該棒は駆動部と検出部に分離されて機能する様に配置・構成する。すなわち、駆動部は主にその長手方向の縦振動で励振され、検出部は屈曲振動（面垂直横振動も含む）で動作する様にした複合振動体として構成する。ここに両部の振動体は主に圧電的に動作することを考慮しているが、原理的に静電的、磁気的に動作させても良い。 （もっと読む）

【課題】無人車両が自身の位置方位を的確に判断して適切な走行を行うようにした無人車両の位置方位測定システムを提供すること。
【解決手段】自らの位置と方位を算出しながら指定された走行ルートに沿った無人車両１０の走行を制御するものであって、走行ルート上に複数個が埋設され、各々に固有の識別コード及び埋設された各箇所の位置情報をもった情報発信素子１５と、無人車両１０の車体の前後それぞれに搭載され、情報発信素子１５からの情報を検出する一対の情報受信装置２５と、位置方位演算装置２１によって走行距離検出器及びジャイロスコープからの検出値によって算出された無人車両１０の位置方位を、情報受信装置２５によって情報発信素子１５からの情報を基に補正データを算出する位置方位補正装置２７とを有する無人車両１０の位置方位測定システム。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板をエッチングすることで得られる空間に、互いに交叉する３つの周回光路を形成することができる周回光路装置を得る。
【解決手段】光源基板４０の励起光源７１によって励起された光を固体レーザ媒質５１に集光させて発光点４２から第１反射面基板２０にレーザ光を放射するとともに第１反射面基板２０に設けた第２の光源８０から基準平面１１と平面ＰＬ２とに平行な両方向にレーザ光を放射し、第１反射面基板２０の複数の反射面２１〜２８と光源基板４０の反射面４１を利用して反射させ、互いに直交した平面内に３つの周回光路ＬＣ１〜ＬＣ３を容易に形成する。 （もっと読む）

【課題】センサ信号と検波信号との位相関係を精密に調整する。
【解決手段】波形整形回路１０１は、物理量センサに供給される駆動信号Ｓｄｒｖを基準クロックＣＫｒｅｆに変換する。ＰＬＬ回路１０２は、基準クロックＣＫｒｅｆを逓倍してそれぞれ位相が異なるｎ個の発振クロックＣＫ０，ＣＫ１，・・・，ＣＫｎ−１を生成する。セレクタ１０３は、設定値ＳＥＴ１に基づいて発振クロックＣＫ０，ＣＫ１，・・・，ＣＫｎ−１のいずれか１つを選択クロックＣＫＳＥＬとして出力する。分周回路１０５は、選択クロックＣＫＳＥＬを分周してアナログ検波信号Ｓｄｅｔを生成する。入力アンプ１０６は、物理量センサからのセンサ信号Ｓ１０を電圧に変換してアナログセンサ信号Ｓｓｎｃとして出力する。同期検波回路１０７は、アナログ検波信号Ｓｄｅｔを用いてアナログセンサ信号Ｓｓｎｃから物理量信号を検波する。 （もっと読む）

【課題】樹脂接着剤が流動しても、電気的な接続が損なわれずに低背化を図れるセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】 素子３２、ＩＣチップ３４は、入出力信号用として、各々、入出力電極４８、５０を有し、素子３２は、その表面に配置した入出力電極４８を介して電気的に接続し、ＩＣチップ３４は、その表面にのみ配置した入出力電極５０を介して電気的に接続し、基板３５は、その表面に配置した金属配線パターン４２を介して電気的に接続し、このＩＣチップ３４の入出力電極５０と基板３５の金属配線パターン４２とをワイヤ５４を介してワイヤボンディングにより電気的に接続するとともにＩＣチップ３４の入出力電極５０と素子３２の入出力電極４８とを金属バンプ５５により電気的に接続し、ＩＣチップ３４と素子３２と基板３５とは、互いに重畳するように、液状樹脂５６を介在させて硬化させるとともに金属バンプ５５を金属接合させて固定した。 （もっと読む）

【課題】キャップを金属製ステムにシール封止する際に、ステム胴部とキャップとの間で接触を生じ、スパーク等を生じて、内部の部品に影響を及ぼすことのないジャイロパッケージを得る。
【解決手段】ジャイロ部品を搭載した金属製ステム（１０）に金属製キャップ（２０）を位置決めしてシール封止する構造を有するジャイロパッケージにおいて、金属製ステムのステム胴部（１１）をテーパ状に形成し、金属製キャップのフランジ部（２２）と金属製ステムのフランジ部（１２）との間で電気溶接により接合したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】起動開始時における慣性力センサの破壊を防止する。
【解決手段】慣性力センサ１０は、駆動信号Ｓｄｒが供給されて自励振動し自励振動に対応する振動信号Ｓｏｓｃを出力するとともに外部から与えられた慣性力に応じてセンサ信号Ｓ１０を出力する。駆動回路１１は、振動信号Ｓｏｓｃに基づいて駆動信号Ｓｄｒｖを制御する。検出回路１２は、センサ信号Ｓ１０に基づいて慣性力を検出する。制御回路１４は、駆動回路１１を起動させる際、駆動回路１１の動作パラメータを設定し、駆動回路１１の動作パラメータの設定が完了した後に駆動回路１１を起動させる。 （もっと読む）