【課題】 レイアウト面積、消費電力を増大させずに、検出感度、検出範囲を切り換え可能な検出回路を提供する。
【解決手段】 センサー素子からの差動入力信号２９０、２９２に基づいて前記センサー素子に印加される物理量を検出する検出回路１０であって、前記差動入力信号２９０、２９２の差分を増幅して、第１の信号１１４として出力する差動増幅回路３０と、前記第１の信号に基づく信号１１６を増幅して、第２の信号１１８として出力する非反転増幅回路５０と、前記第２の信号１１８を直流信号に変換して、前記物理量に応じた１つの出力信号２９４を生成する後段回路１４と、を含み、前記差動増幅回路３０および前記非反転増幅回路５０の少なくとも１つは入力される選択信号２１０に基づいて、増幅率を変化させる。 （もっと読む）

【課題】直線加速度の影響及び検出軸以外の他軸の角速度の影響の少なくとも一方を受けることがない物理量センサーを提供する。
【解決手段】物理量センサー１０は、基板と、基板上の空間平面に配置され、回転軸２２，３２を有した第１変位部及び第２変位部２１，３１と、基板の第１変位部及び第２変位部２１，３１の各々に対向する位置に設けられた固定電極部と、第１変位部及び第２変位部の各々の回転軸を支持する支持部４０と、バネ部６０を介して支持部４０を支持する固定部５０と、支持部４０を振動方向に振動させる駆動部７０と、を備え、第１変位部及び第２変位部は、回転軸を軸として空間平面に対して垂直方向に変位可能であり、回転軸の各々は、第１変位部又は第２変位部の重心からずれて設けられ、第１変位部２１の回転軸２２と第２変位部３１の回転軸３２とは、重心からのずれの方向が互いに反対である。 （もっと読む）

【課題】電位差によって生じる静電力の影響を抑え、Ｓ／Ｎ比の低下やセンサ感度の変動を防止できる複合センサを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る複合センサは、第１可動部および第２可動部と、これらの周辺に配置されている第１ダミー部および第２ダミー部を、積層基板の層内に形成して備えている。第１ダミー部と第２ダミー部は電気的に分離されており、第１可動部と第１ダミー部には第１電位が印加され、第２可動部と第２ダミー部には第２電位が印加される。 （もっと読む）

【課題】外部から加わる衝撃などの応力の緩和が可能な小型のセンサーデバイス、モーションセンサー、及び、これらを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】センサーデバイス１は、基部２１、基部２１から延伸された検出用振動腕及び駆動用振動腕、外部接続端子２９を有する振動ジャイロ素子２０と、ＩＣチップ１０とを備えている。第１の電極１１、及び、第１の電極１１に配線１６を介して電気的に接続されて能動面１０ａ側の第１の電極１１と平面視で重ならない位置に設けられた第２の電極１７により構成された複数の電極部１８と、能動面１０ａと第２の電極１７との間に設けられた樹脂層としての応力緩和層１５と、を有し、振動ジャイロ素子２０が、外部接続端子２９と第２の電極１７との接合部材１２を介した接続によってＩＣチップ１０に保持されている。第２の電極１７は、第１の電極１１から略同じ方向に同じ長さだけずらせて設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、静電結合漏れを相殺するとともに、出力信号の感度の低下も抑制することが可能な角速度センサを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の角速度センサはＰＬＬ回路９１の出力の任意のエッジタイミングで可変可能な位相調整回路９２ａを備えることにより、センス回路における同期検波のタイミングを調整する構成としたため、同期検波時に出力信号に静電結合漏れに起因するオフセットが発生することを防止することが出来ることとなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、コリオリ力を利用した角速度センサユニットおよびその信号検出方法に関し、角速度センサユニットの検出精度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、角速度を検出する振動型のセンサ素子１およびそれを制御するＩＣ２を内蔵するパッケージとからなる角速度センサユニットにおいて、センサ素子１は駆動アーム５にドライブ電極６、モニタ電極７、センス電極８を設けるとともに、駆動アーム５を支持する支持アーム１６に設けられたモニタ電極７の配線電極１９に補正電極２０を設け、不要振動によりモニタ電極７に形成された不要信号を、同じ不要振動により補正電極２０に形成された補正信号で減衰させる構造としたのである。 （もっと読む）

【課題】車種などの違いによる停止判定のばらつきを抑制し、正確な停止判定を行う停止判定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】移動体に備えられ、加速度を検出する加速度センサ及び／又は角速度を検出する角速度センサと、連続する所定期間毎に、該所定期間における加速度及び／又は角速度に基づく期間比較値を特定する制御部と、前記期間比較値を記憶する記憶部と、を備えた停止判定装置であって、前記制御部は、今回特定した期間比較値と、前記記憶部に記憶された前回特定した期間比較値との差分値を算出し、前記差分値に基づいて前記移動体が停止状態か否かを判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】差動共振を抑えることが可能な音叉振動型角速度センサの提供。
【解決手段】 Ｘ軸方向へ互いに逆相に励起振動され、所定軸周りの角速度が生じた際にＸ軸方向と直交するＹ軸方向へ互いに逆相に変位振動される２つの錘を設け、該２つの錘のＹ軸方向での変位量の差に基づいて所定軸周りの角速度を検出する音叉振動型角速度センサ１，２であって、Ｙ軸方向における２つの錘の変位の同相分に基づいて、２つの錘をＹ軸方向の同相方向にフィードバック駆動する第１フィードバック系と、Ｙ軸方向における２つの錘の変位の逆相分に基づいて、２つの錘をＹ軸方向の逆相方向にフィードバック駆動する第２フィードバック系とを備える。 （もっと読む）

【課題】３層チップスケールＭＥＭＳデバイスのためのシステムおよび方法を提供すること。
【解決手段】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスのためのシステムおよび方法が提供される。一実施形態では、システムは、第１の外側層と、第１の組のＭＥＭＳデバイスを含む第１のデバイス層とを備え、第１のデバイス層は第１の外側層に接合される。システムは、第２の外側層と、第２の組のＭＥＭＳデバイスを含む第２のデバイス層とをさらに備え、第２のデバイス層は第２の外側層に接合される。さらに、システムは、第１の側と、第１の側と反対側の第２の側とを有する中央層を備え、第１の側は第１のデバイス層に接合され、第２の側は第２のデバイス層に接合される。 （もっと読む）

【課題】より高精度の作業内容の測定を実現すると同時に、低コストかつ環境負荷の少ない作業内容測定装置及び作業管理装置を提供する。
【解決手段】作業者及び当該作業者により作業される作業対象の画像に基づいて作業者及び作業対象に係る情報を取得し、かつ、作業対象または当該作業対象とつながった物体に設けられた第１センサーにて自己検出された、当該第１センサーの空間的位置に係る情報を取得し、作業者及び作業対象に係る情報と、第１センサーの空間的位置に係る情報とを統合することで、作業内容の測定結果を示す第１統合情報を生成する作業内容測定装置であって、作業者の一部に設けられた第２センサーにて自己検出された、当該第２センサーの空間的位置に係る情報を取得し、第１統合情報に対し、第２センサーの空間的位置に係る情報をさらに統合することで第２統合情報を生成し、第２統合情報を作業内容の測定結果として出力する。 （もっと読む）

【課題】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）装置のためのシステムおよび方法を提供すること。
【解決手段】一実施形態では、第１の基層と、第１の基層に接合される第１のデバイス層であり、第１の組のＭＥＭＳデバイスを含む、第１のデバイス層と、第１のデバイス層に接合される第１の上部層であり、第１の組のＭＥＭＳデバイスが密閉して分離される、第１の上部層とを含む第１の二重チップをシステムは備える。第２の基層と、第２の基層に接合される第２のデバイス層であり、第２の組のＭＥＭＳデバイスを含む、第２のデバイス層と、第２のデバイス層に接合される第２の上部層であり、第２の組のＭＥＭＳデバイスが密閉して分離され、第１の上部層の第１の上部表面が第２の上部層の第２の上部表面に接合される、第２の上部層とを含む第２の二重チップをシステムはさらに備える。 （もっと読む）

【課題】高い検出感度を有する小型の物理量センサー及びこれを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】ベース基板１２上の第１軸の方向に配置され、振動可能な一対の第１可動質量部（３４Ａ、３４Ｂ）と、第２軸の方向に配置され、振動可能な一対の第２可動質量部（４０Ａ、４０Ｂ）と、第１可動質量部及び第２可動質量部を互いに逆相に振動させる振動手段と、第１可動質量部及び第２可動質量部の少なくとも一方に設けられ、３軸のうち少なくとも一つの軸回りに発生する力を検知する力検出手段とを備え、第１可動質量部には、第２軸の両方向に延出する第１アーム２８が設けられ、第２可動質量部には、第１軸の両方向に延出する第２アーム３０が設けられ、第１アーム２８及び第２アーム３０は、両アームが交わる位置に配置され、且つベース基板１２に固定された支持部３２により支持されている。 （もっと読む）

【課題】ジャイロセンサを備えた携帯装置の利用を支援する「車載装置及び携帯装置」を提供する。
【解決手段】車載装置１のＳＰ固定勧奨アプリケーションは、スマートフォン２の接続時に、スマートフォン２が備えるジャイロセンサ２９を利用するアプリケーションがスマートフォン２において実行中であるかどうかを判定し、実行中であれば、表示装置１２に、スマートフォン２を固定することを勧奨するメッセージを所定期間表示する。その後、ジャイロセンサ２９を利用するアプリケーションがスマートフォン２において起動された場合も同様に、スマートフォン２を固定することを勧奨するメッセージを所定期間表示する。 （もっと読む）

【課題】ピッチジャイロ等の検出装置の取り付け角度の検出の信頼性を高めた取り付け角度検出装置、方法、プログラムおよび記録媒体を提供する。
【解決手段】所定の検出範囲における車両のヨー角変化量θｚを取得するヨー角変化量取得部１１０と、ピッチジャイロ２１に検出された検出値に基づいて、上記検出範囲におけるピッチ角変化量θｙを算出するピッチ角変化量算出部１２０と、ヨー角変化量取得部１１０により取得されたヨー角変化量θｚと、ピッチ角変化量算出部１２０により算出されたピッチ角変化量θｙと、の比に基づいて、ピッチジャイロ２１の車両に対するロール軸回りの取り付け角度φｘを検出する取り付け角度検出部１３０と、を備えることにより、ピッチジャイロ２１等の検出装置の取り付け角度φｘの検出の信頼性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】多層可動コームを使用するＭＥＭＳセンサを提供すること。
【解決手段】ＭＥＭＳセンサは、基板と、第１の複数のコームを有する少なくとも１つのプルーフマスとを含み、プルーフマスは、プルーフマスおよび第１の複数のコームが移動可能であるように１つまたは複数のサスペンションビームを介して基板に結合される。ＭＥＭＳセンサは、第２の複数のコームを有する少なくとも１つの固定アンカをさらに含む。第１の複数のコームは、第２の複数のコームが交互に差し込まれている。第１の複数のコームおよび第２の複数のコームにおけるコームの各々は、１つまたは複数の非導電層によって互いに電気的に絶縁された複数の導電層を含む。周縁電界を遮断して、周縁電界に起因する感知軸に沿った第１の複数のコームの運動を低減するように、各導電層はそれぞれの電位に個々に結合される。 （もっと読む）

【課題】センサモジュールの調整コストを抑えながらセンサの信頼性や精度を確保する。
【解決手段】信号成分解析部１０は、信号処理部７から出力されるローパスフィルタ８を通過する前の信号を受け、物理量に関する脆弱周波数の印加が一定レベル以上で発生しているかどうかを解析し、脆弱周波数の印加が一定レベル以上の場合、出力信号制御部９，１６に出力停止信号を出力する。出力信号制御部９，１６は、信号成分解析部１０から出力された制御信号を受けて、信号処理部７，１４を経てローパスフィルタ８，１５によってノイズが除去された加速度信号、および物理量信号の出力を停止する。 （もっと読む）

【課題】ジャイロ出力のゼロ点補正値を停車時のジャイロ出力信号によって得る時、ターンテーブルに乗って回転しているときのジャイロの出力をゼロ点補正値としないようにジャイロ出力の閾値を設定する際に、高性能のジャイロを必要とせず、また車両停止時に方位マークが回転し続ける問題を解決する「ジャイロ用ゼロ点補正方法及び装置」とする。
【解決手段】車両の停止判定時に、ジャイロの出力によってそのゼロ点補正値を算出するとき、ジャイロの標準出力値の上下に、車両がターンテーブルに乗って回転している時のジャイロの出力以内の範囲に閾値を設定する。車両の停止判定時のジャイロの出力が、閾値の範囲外にあることを検出したときから継続して閾値を超えている経過時間を算出し、経過時間が１分等の所定時間を超えたとき、車両はターンテーブルに乗っていなかったと判定して、車両の停車判定開始時のゼロ点補正値を採用する。 （もっと読む）

【課題】互いに噛み合う櫛歯状の第１電極および第２電極の大きさのばらつきを少なくでき、センサの検出精度を向上できるＭＥＭＳセンサおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】ベース基板７をエッチングすることにより、柱状部２９およびベース部３０を形成する。次に、当該柱状部２９およびベース部３０を熱酸化することにより、これらを絶縁膜に変質させる。これにより、柱状部２９からなる絶縁層８５およびベース部３０の表層部からなるベース絶縁層２１を形成する。次に、ベース絶縁層２１上にポリシリコン層２２を形成し、当該ポリシリコン層２２およびベース絶縁層２１の積層構造をエッチングして、Ｚ固定電極７１およびＺ可動電極７２の形状に成形する。同時に、それらの間にトレンチ５０を形成する。そして、当該トレンチ５０の底部を等方性エッチングすることにより、ベース絶縁層２１直下に凹部２０（空洞２３）を形成する。 （もっと読む）

【課題】上部電極の直下に下部電極を簡単に形成でき、上部電極と下部電極との短絡を防止し、センサの検出精度を向上できるＭＥＭＳセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ベース基板７上に駆動用電極２２を選択的に形成し、駆動用電極２２を被覆するように、ＳｉＯ_２からなる電極被覆膜２３を形成する。次に、電極被覆膜２３上に、犠牲ポリシリコン層５２および犠牲酸化膜５３を順に形成する。次に、犠牲酸化膜５３上に、ポリシリコン層２６を形成し、エッチングにより、固定電極２７、可動電極２８およびコンタクト電極２９の形状に成形する。同時に、それらの間にトレンチ５６を形成する。次に、トレンチ５６の底部をさらに掘り下げて、犠牲酸化膜５３から犠牲ポリシリコン層５２を露出させる。そして、犠牲ポリシリコン層５２を完全に除去することにより、固定電極２７の櫛歯部３２および可動電極２８の櫛歯部３９の直下に空洞３７を形成する。 （もっと読む）

【課題】漏れ出力を抑制調整可能な振動片、それを用いたセンサーユニット、および、その製造方法、および、それらの振動片またはセンサーユニットを搭載した電子機器を提供する。
【解決手段】振動ジャイロ素子１１は、基部２１と、基部２１のＹ軸方向の両端部からそれぞれ延伸された一対の駆動用振動腕２２ａ，２２ｂ、および、一対の検出用振動腕２３ａ，２３ｂを有している。また、基部２１のＸ軸方向の両端部からそれぞれ延伸された連結部２４ａ，２４ｂ各々の先端部から、駆動用振動腕２２ａ，２２ｂと並行させて延伸された調整用振動腕１２５ａ，１２５ｂが設けられている。各調整用振動腕１２５ａ，１２５ｂの先端側には、幅広部としての錘部１２７ａ，１２７ｂを有している。各調整用振動腕１２５ａ，１２５ｂの主面には、振動ジャイロ素子１１の漏れ出力を調整するための膜体としての調整用電極１４５ａ，１４５ｂが設けられている。 （もっと読む）