【課題】振動開始時の駆動振幅レベルが微弱な振動子を短時間で確実に起動する。
【解決手段】駆動切替回路７は、振幅検出回路５により検出された駆動振動の振幅が、振動子１と定常駆動信号生成回路４とで閉ループを形成した場合に持続的な振動を励振可能な振幅範囲内に設定されたしきい値未満の場合には、初期駆動信号生成回路６から出力される初期駆動信号を選択する。初期駆動信号生成回路６は、上記閉ループを形成した場合に持続的な振動が励振される駆動周波数を、振動子１の駆動開始時から含むようにまたは駆動開始後に含むように初期駆動信号を生成する。検出振幅がしきい値以上になった場合、駆動切替回路７は、定常駆動信号生成４から出力される定常駆動信号を選択する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、支持部に接続された振動片の上面に下部電極、圧電体層、上部電極を設け、上部電極と下部電極との間に制御電圧を印加することで振動片を側方に振動させる振動子に関し、振動子の生産性を高めることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために本発明は、支持部１６と、支持部１６に接続された振動片１７と、振動片１７の上面に設けられた下部電極２１と、下部電極２１上に設けられるとともに外周端が下部電極２１の外周端より内側となる圧電体層２２と、圧電体層２２上に設けられるとともに外周端が圧電体層２２の外周端より内側となる上部電極２０を有する振動子１２において、圧電体層２２を振動片１７の振動方向に偏倚させることで振動片１７の振動方向を調節する構成とした。 （もっと読む）

【課題】振動子の周波数調整において、電極パターンの電気容量の変化を低減し、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制することで、振動子の精度を向上させる。
【解決手段】振動部分に加えて固定部分を有する振動子において、振動部分に金属膜を付着することによって周波数調整を行う場合に、金属膜を付着する必要がない固定部分において、周波数調整用の金属膜が不可避的に付着する可能性がある部分に金属膜を予め形成しておく。金属膜を予め形成しておくことによって、周波数調整時に固定部分に調整用の金属膜が付着した場合であっても、電気的特性が変化しないようにすることで、電極パターンの電気容量の変化を低減し、また、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制する。 （もっと読む）

【課題】多軸に対応したセンサーモジュール及びそれを備えたセンサーデバイスの提供。
【解決手段】センサーモジュール１は、互いに直交する３つの支持面１１，１２，１３を有する支持部材１０と、能動面２１側に接続端子２２、外部接続端子２３を有し、能動面２１に沿った非能動面２９側が支持部材１０の各支持面１１，１２，１３に取り付けられた３つのＩＣチップ２０と、基部３１と基部３１から延伸された各振動腕（３２ａ，３２ｂなど）と接続電極３９とを有する３つの振動ジャイロ素子３０と、ＩＣチップ２０の外部接続端子２３と接続されたフレキシブル配線基板４０，４０ａと、を備え、各振動ジャイロ素子３０は、各ＩＣチップ２０の能動面２１側に配置され、一方の主面３０ａが支持面１１，１２，１３に沿うように、接続電極３９が各ＩＣチップ２０の接続端子２２に取り付けられ、フレキシブル配線基板４０は、配線パターン層４３を有する。 （もっと読む）

【課題】検出特性の劣化を抑制しつつ、薄型化可能なセンサーモジュールの提供。
【解決手段】センサーモジュール１は、第１平面１１と、第１平面１１に直角に接続された第２平面１２と、第１平面１１及び第２平面１２に直角に接続された第３平面１３と、第１平面１１に対向し外部部材への取り付け面としての第４平面１４と、を有し、第１平面１１が、第１平面１１から陥没した支持面１１ａを有する支持部材１０と、能動面２１側に接続端子２２を有し、能動面２１に沿った非能動面２９側が、支持部材１０の各面１１ａ，１２，１３にそれぞれ取り付けられたＩＣチップ２０と、接続電極３９を有した振動ジャイロ素子３０と、を備え、振動ジャイロ素子３０は、ＩＣチップ２０の能動面２１側に配置され、主面３０ａが支持部材１０の各面１１ａ，１２，１３にそれぞれ沿うように、接続電極３９がＩＣチップ２０の接続端子２２に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の変動や抵抗値のばらつきに起因する起動時間の変動を低減することが可能な駆動回路、集積回路装置及びセンサー装置を提供すること。
【解決手段】判定回路２６０は、センサー素子４が出力する駆動電流がＩ／Ｖ変換回路２００により電圧に変換された信号に基づいて得られる判定対象信号ＬＰＦＯの電圧と判定電圧との大小関係を判定する。駆動信号生成回路２３０は、判定回路２６０の判定結果に基づいて、判定対象信号ＬＰＦＯの電圧が判定電圧ＶＲ２を超えるまではセンサー素子の自励発振を補助する発振器２８０の発振信号に基づいて駆動信号を生成し、判定対象信号ＬＰＦＯの電圧が判定電圧ＶＲ２を超えた後はＩ／Ｖ変換回路２００により電圧に変換された信号に基づいて駆動信号を生成する。判定電圧ＶＲ２は、１又は複数の抵抗に定電流を流すことにより得られる電圧と基準電圧とを加算又は減算して得られる電圧である。 （もっと読む）

【課題】応力に起因したＭＥＭＳの固有振動数の変動を抑制することにより、ＭＥＭＳの検出感度の変動による測定精度の劣化を抑制することができる技術を提供する。
【解決手段】まず、半導体基板２の変形によって固定部３ａ〜３ｄは半導体基板２のｙ方向において外側方向に変位する。可動体５は、半導体基板２から浮いた状態で配置されているので、半導体基板２の変形の影響は受けずに変位しない。したがって、梁４ａには引張応力（＋σ１）が発生し、梁４ｂには圧縮応力（−σ２）が発生する。このとき、梁４ａと梁４ｂを組み合わせたバネ系を考えると、梁４ａに働く引張応力に起因するバネ定数の増加と、梁４ｂに働く圧縮応力に起因するバネ定数の減少が互いに相殺する。 （もっと読む）

【課題】ＰＺＴ膜からのＰｂ拡散を抑制し、圧電特性を安定化した圧電薄膜構造および当該圧電薄膜構造を適用し、振動ノイズによる影響を低減できる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】基板４０上に配置された酸化シリコン膜４１と、酸化シリコン膜４１上に配置された第１の酸化アルミニウム膜４８と、第１の酸化アルミニウム膜４８上に配置された下部電極層３０１と、下部電極層３０１上に配置された圧電体膜層３０２と、圧電体膜層３０２上に配置された上部電極層３０３とを備える圧電薄膜構造、および振動アーム及び検出アームに、この圧電薄膜構造を有する角速度検出装置。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で位相同期を行うことができるデジタル位相同期回路および物理量検出センサを提供する。
【解決手段】位相比較部は、サンプリング値の符号情報を示す符号クロックＣＬＫ１と分周器の分周クロックＣＬＫ２との位相差を算出する。このとき、位相比較部は、符号クロックＣＬＫ１による立上りタイミングからダウンカウントし、分周器の分周クロックＣＬＫ２による立下りタイミングにてアップカウントし、符号クロックＣＬＫ１による立上りタイミングにて得られたカウント値を位相比較カウント値として出力する。そして、加算器が、位相比較カウント値に位相補正部の位相補正値を加算してループフィルタに出力する。 （もっと読む）

【課題】ジャイロの零点オフセットを簡易にキャリブレーションすることを課題とする。
【解決手段】サーバ装置３０は、移動体端末１０が第１の地点から位置または角度の誤差が特定量となる第２の地点へ移動した場合に、モーションセンサ１１の出力を用いたデッドレコニングにより第２の地点で得られる位置または角度と特定量との差分を特定する。さらに、サーバ装置３０は、特定結果として得られた差分から、当該移動体が静止状態である場合にジャイロ１１ｂによって出力されるセンサ値である零点オフセットを算出する。 （もっと読む）

【課題】検出値に関する経年変化の影響を容易に認識し得るセンサ装置を提供する。
【解決手段】ジャイロセンサ２０では、メモリ２２には、装置の製造時に各検出条件に応じて角速度検出部２３により検出され得る初期検出値が予め記憶される。そして、上記特性変化検査用情報設定処理を実行する制御部２１により、角速度検出部２３により検出される現角速度検出値とこの検出値の検出条件に対応する初期角速度検出値とが入出力インタフェース２５を介して検査装置３０に出力される。 （もっと読む）

【課題】逆相駆動変位する駆動質量体、及び逆相変位で検出する検出質量体のそれぞれの共振周波数を一意に定めることができ、かつ検出質量体が駆動振動により駆動変位相当の変位を伴わないようにした容量検出型の振動型ジャイロの提供。
【解決手段】左右の駆動質量体４及び６がそれぞれ、Ｘ方向に可動となるように、Ｘ方向の剛性が他方向の剛性に比べ低くなるように構成された少なくとも１つの第１の支持梁８及び１０の一端に接続され支持されている。左右の駆動質量体４及び６は、第１の連結ばね１２により互いに結合されている。連結ばね１２は、少なくともＸ方向及びＹ方向についてその剛性が調整されており、Ｘ方向の剛性は左右の駆動質量体４及び６が逆相振動モードを有し、Ｙ方向の剛性は連結ばね２６と協働して左右の検出質量体１４及び１６が逆相振動モードを有するように調整されている。 （もっと読む）

【課題】単一の機械的な共振構造で構成できる、２軸ヨーレート検知ユニットを提供する。
【解決手段】反対に位置する２つの対を成して同一平面上に配置される４つの開放端音叉Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３、Ｆ４を含み、第１の対の開放端音叉は第１の軸に沿って互いに反対の位置に配置され、第２の対の開放端音叉は第２の軸に沿って互いに反対の位置に配置され、第１の軸及び第２の軸は互いに対して垂直である。４つの開放端音叉は、４つの開放端音叉が全て周波数及び位相に関して同じように振動するように、機械的に互いに結合される。 （もっと読む）

【課題】多軸に対応したセンサーモジュール及びそれを備えたセンサーデバイスの提供。
【解決手段】センサーモジュール１は、互いに直交する３つの支持面１１，１２，１３を有する支持部材１０と、能動面２１側に接続端子２２、外部接続端子２３を有し、能動面２１に沿った非能動面２９側が支持部材１０の各支持面１１，１２，１３に取り付けられた３つのＩＣチップ２０と、基部３１と基部３１から延伸された各振動腕（３２ａ，３２ｂなど）と接続電極３９とを有する３つの振動ジャイロ素子３０と、ＩＣチップ２０の外部接続端子２３と接続されたフレキシブル配線基板４０，４０ａと、を備え、各振動ジャイロ素子３０は、各ＩＣチップ２０の能動面２１側に配置され、一方の主面３０ａが支持面１１，１２，１３に沿うように、接続電極３９が各ＩＣチップ２０の接続端子２２に取り付けられ、フレキシブル配線基板４０は、補強層４３を有する。 （もっと読む）

【課題】電子デバイスの製造方法において、封止用のキャビティ内の真空度を高めることを目的とする。
【解決手段】シリコンを含む第１の基板１１の一方の主面１１ａ側に可動部１４ａを形成する工程と、シリコンを含む第２の基板２０の一方の主面２０ｃ側にキャビティ２０ｂを形成する工程と、第１の基板１１と第２の基板２０の少なくとも一方の主面に、酸素及び窒素のいずれかの原子を含むプラズマを照射する工程と、プラズマを照射した後、キャビティ２０ｂを可動部１４ａに対向させた状態で、第１の基板１１と第２の基板２０の各々の主面同士を真空中で接合することにより、キャビティ２０ｂ内を真空に保ちつつ、可動部１４ａを第２の基板２０で封止する工程と、封止の後、シリコンと上記原子とが反応する温度以上の温度に第１の基板１１と第２の基板２０をアニールする工程とを有する電子デバイスの製造方法による。 （もっと読む）

【課題】 回路の大規模化を抑えながらオフセット調整を実現できる検出装置等の提供。
【解決手段】 検出装置は駆動回路と検出回路を含み、検出回路は、振動子からの出力信号を増幅する増幅回路を含む。増幅回路は、出力信号に対応する差動信号の差動増幅を行う差動増幅回路７６と、差動増幅回路７６が有する少なくとも１つの抵抗の抵抗値を可変に制御することで、オフセット調整を行うオフセット調整回路７８を含む。差動増幅回路７６は、第１〜第４の抵抗ＲＢ１〜ＲＢ４とオペアンプＯＰＢを含む。オフセット調整回路７８は、第１、第３の抵抗ＲＢ１、ＲＢ３の少なくとも一方の抵抗値を可変に制御することにより、差動信号を構成する第１、第２の信号にそれぞれ重畳される第１、第２の不要信号の少なくとも一方を増幅して、オフセット調整を行う。 （もっと読む）

【課題】故障等を高精度に自己診断することができる角速度センサを提供する。
【解決手段】第一駆動腕と第二駆動腕とを有する音叉型の振動子と、駆動平面に沿って振動するように第一駆動腕を励振する第一駆動素子と、駆動平面に沿って振動するように第二駆動腕を励振する第二駆動素子と、第一駆動腕及び第二駆動腕を振動させる制御部と、第一駆動腕と第二駆動腕よりの振動を検出し、角速度を検出する検出部と、を備える角速度センサであって、制御部は、第一駆動腕と第二駆動腕とをそれぞれ同一周期及び同一振幅で、且つ振動位相が逆位相となるように、第一駆動素子及び第二駆動素子に駆動信号を出力する通常モードと、第一駆動腕と第二駆動腕とをそれぞれ同一周期及び同一振幅で、且つ第一駆動腕に対する第二駆動腕の振動位相が逆位相からずれつつ同位相とはならないように、第一駆動素子及び第二駆動素子に駆動信号を出力する自己診断モードと、を実行する。 （もっと読む）

【課題】帰還抵抗の寄生容量による悪影響をなくして、半導体基板上で実用化が可能な、出力ノイズの小さいチャージアンプを提供する。
【課題の解決手段】チャージアンプ１は、非反転入力端子を増幅基準電圧６に接続し、反転入力端子に水晶振動子を有する振動型角速度センサ７から５０ＫＨｚの周波数信号を入力するとともに、その出力端子は並列接続された帰還抵抗４，５及び帰還容量３を介して反転入力端子に接続したものであって、帰還抵抗４，５の反転入力端子側ほぼ半分に対応する寄生容量８の基板電極を反転入力端子に接続して、出力ノイズを低減したものである。 （もっと読む）

【課題】振動子が安定発振するまでの時間を短縮するとともに安定発振を維持することが可能な駆動回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】コンパレーター２１０（駆動信号生成部）は、第１の信号線を介して入力された振動子１００の発振電流２４がＩ／Ｖ変換回路２００（電流電圧変換部）により電圧に変換された信号に基づいて駆動信号２２を生成し、第２の信号線を介して振動子に供給する。発振検出回路２７０（発振検出部）は、振動子１００が発振を開始してから発振電流２４が所定値に達したか否かを検出する。起動発振回路２８０（起動発振部）は、発振電流２４が所定値に達するまで振動子１００の発振動作を補助する。スイッチ２１８は、発振電流２４が所定値に達するまでコンデンサー２１６を第２の信号線から切り離し、発振電流２４が所定値に達した後はコンデンサー２１６を第２の信号線に接続する。 （もっと読む）

【課題】検出特性の低下を抑制しつつセンサの薄型化を実現することができる角速度センサを提供する。
【解決手段】上記角速度センサは、第１の梁１１ａ，１１ｂの組と、第２の梁１２ａ，１２ｂの組と、第１の梁の組と前記第２の梁の組との間をそれぞれ接続する複数の接続部１３ａ〜１３ｄとを有する環状のフレーム１０と、第１の梁の組と第２の梁の組のうち一方の組が近接したときに他方の組が離間し、一方の組が離間したときに他方の組が近接する振動モードでフレームを第１の面内で振動させる駆動部と、上記振動モードで振動するフレームの変形量に基づいて、第１の面と直交する方向の軸回りの角速度を検出する第１の検出部５０と、フレームの外側を囲む内周部を有する環状のベース部と、内周部と複数の接続部との間をそれぞれ連結する複数の連結部とを有する支持機構とを具備する。 （もっと読む）