【課題】共振型光ファイバジャイロに存在するエラーを低減するためのシステム及び方法を提供すること。
【解決手段】代表的共振型光ファイバジャイロは、光ファイバループを有する共振器と、光ビームを発生するように構成された光源と、それら光源及び共振器相互間に結合された強度変調回路とを備えている。その強度変調回路は、光源からの光ビームの強度を変調して、強度変調された信号を共振器に出力するように構成されている。強度変調回路は、上記強度変調信号の高調波であって、共振器内の逆行する光ビームの基本波とオーバーラップする高調波が、所定しきい値未満の振幅を有するような形で、上記強度変調信号を生成するように構成されている。その所定しきい値に満たない振幅は、無視することができる。 （もっと読む）

【課題】外部ケースの底壁部に呼吸穴を形成したものにあって、回路基板への実装時に防湿剤が呼吸穴に侵入することを効果的に防止する。
【解決手段】角速度センサ装置（２１）は、内部ユニットを外部ケース（２３）内に収容して構成され、回路基板上に実装される。外部ケース（２３）の下カバー（３２）に、空気抜き用の４個の呼吸穴（３６）を形成する。下カバー（３２）の下面部に、回路基板上に塗布された防湿剤が、該下カバー（３２）の下面部に付着した際に、その防湿剤を呼吸穴（３６）以外の部位に誘導するための溝部（３７）を、下カバー（３２）の四辺部寄り部位に呼吸穴（３６）形成部分を取囲むように矩形枠状に形成する。 （もっと読む）

【課題】良好な感度特性および帯域特性を有するジャイロセンサーを提供する。
【解決手段】本発明に係るジャイロセンサー１００は、駆動用バネ部１１４に接続されている駆動用支持部１１２を備えた駆動部１１０と、駆動用支持部１１２に検出バネ部１２４を介して接続されている検出用支持部１２２を備えた検出部１２０と、を含み、駆動用支持部１１２は第１軸（Ｘ軸）の方向に振動可能であり、検出用支持部１２２は第１軸（Ｘ軸）に直交する第２軸（Ｙ軸）の方向に変位可能であり、駆動部１１０の共振周波数をｆ_１とし、検出部１２０の共振周波数をｆ_２とし、駆動用バネ部１１４の幅をｗ_１とし、検出用バネ部１２４の幅をｗ_２とすると、下記式（１）を満たす。
０．８７（ｆ_２／ｆ_１）≦（ｗ_２／ｗ_１）≦１．１３（ｆ_２／ｆ_１） ・・・ （１）
（ただし、ｗ_１≠ｗ_２、かつｆ_１≠ｆ_２） （もっと読む）

【課題】検出質量体が駆動質量体と弾性的に分離されており、駆動質量体の駆動振動によって検出質量体が駆動変位相当の変位を伴わない構造を有し、かつ、製造ばらつきに起因する構造的非対称性により発生する検出質量体の変位を相殺する手段を有する振動型ジャイロの提供。
【解決手段】Ｘ−Ｙ平面の第３象限内及び第４象限内には、それぞれ、検出質量体１４の櫛歯電極４４に対向する第１の補正用櫛歯電極５０及び第２の補正用櫛歯電極５２が基板２に固定配置される。第１の補正用櫛歯電極５０及び第２の補正用櫛歯電極５２にＡＣ電圧を印加して静電引力を発生させることにより、角速度入力がゼロのときに発生する漏れ回転変位を相殺することができる。 （もっと読む）

【課題】慣性センサを提供する。
【解決手段】慣性センサ（２０）は、振動運動を受けるように構成された駆動質量（３０）と、駆動質量（３０）に連結された感知質量（３２）とを含む。軸上トーションばね（５８）は、感知質量（３２）に結合され、当該軸上トーションばね（５８）は回転軸（２２）と同一ロケーションに配置されている。慣性センサ（２０）は、軸外ばねシステム（６０）をさらに含む。軸外ばねシステム（６０）は、軸外ばね（６８、７０、７２、７４）を含み、その各々は、感知質量（３２）上の回転軸（２２）からずれたロケーションにおいて感知質量（３２）に結合された接続接合部分（７６）を有する。合わせて、軸上トーションばね（５８）および軸外ばねシステム（６０）は、感知質量（３２）が、駆動質量（３０）の駆動周波数に実質的に一致する感知周波数において回転軸（２２）を中心として平面外で振動することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】複数の振動腕を音響結合させて、１つの発振回路でそれぞれの振動腕の振動を励起でき、物理量検出の感度向上が図れる物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子（物理量検出素子）１は、基部２からＸ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した連結部３１と、連結部３１の付け根６からＹ軸に沿った方向またはＸ軸に対して斜め方向へ延出し駆動信号電極７を有して駆動振動をする第１駆動振動腕４１乃至第８駆動振動腕４８と、基部２からＸ軸に対して斜め方向へ延出し検出信号電極８を有する第１検出振動腕５１乃至第４検出振動腕５４と、を有し、第１駆動振動腕乃至第４駆動振動腕におけるＺ軸方向の第１面外振動の周波数と、第５駆動振動腕乃至第８駆動振動腕におけるＺ軸方向の第２面外振動の周波数と、の差が、駆動振動の周波数と第２面外振動の周波数との差である第２離調周波数よりも大きい、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の振動腕を音響結合させて、１つの発振回路でそれぞれの振動腕の振動を励起でき、物理量検出の感度向上が図れる物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子（物理量検出素子）１は、基部２と、基部２からＸ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した第１連結部３１および第２連結部３２と、駆動信号電極７を有する駆動振動腕４と、検出信号電極８を有する検出振動腕５と、を備え、駆動振動腕４は、第１連結部３１の付け根６ａまたは第２連結部３２の付け根６ｂからＹ軸に沿った方向またはＸ軸に対して斜め方向へ延出した、第１駆動振動腕４１乃至第８駆動振動腕４８を有し、検出振動腕５は、基部２からＹ軸に沿った方向またはＸ軸に対して斜め方向へ延出した、第１検出振動腕５１乃至第８検出振動腕５８を有している、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動型センサ素子をパッケージ内に配置した振動型センサ装置に関し、振動型センサ装置の小型低背化に伴う検出精度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、パッケージ１の開口部１ａに振動型センサ素子２及びこれを制御する制御回路素子３を配置して上蓋４で封口する振動型センサ装置において、上蓋４を金属で成形し、この上蓋４に自己共振周波数を調節する自己共振周波数調整手段１２を設けた。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を有する電子デバイスを提供する。
【解決手段】本発明に係る電子デバイス１００は、基体１０と、基体１０に載置されている蓋体２０と、基体１０および蓋体２０に囲まれるキャビティー３２に載置されている機能素子１０２と、を含み、基体１０および蓋体２０の少なくとも一方には、貫通孔４０と、貫通孔４０を塞ぐ封止部材６０と、が設けられ、基部１０および蓋体２０の少なくとも一方のキャビティー３２を規定する面１５ａに金属層７０が設けられ、金属層７０は、平面視において貫通孔４０のキャビティー３２側の第１開口４１に重なって設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサ及びこれに用いられる角速度センサ素子に関し、検出レベルの向上を目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は、一端が固定部９に接続され他端が錘部１０に接続された駆動アーム１１からなる角速度センサにおいて、駆動アーム１１の形状を固定部９と錘部１０を結ぶ方向と直交する方向に延びるアーム辺１１ａ，１１ｂの折り返し構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、基部２１と、通電により駆動振動する駆動用振動腕２２１、２２２と、駆動用振動腕２２１、２２２に加えられた物理量に応じて第１の方向に振動するとともに、駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動に伴って１の方向とは異なる第２の方向に振動する検出用振動腕２３１、２３２と、検出用振動腕２３１、２３２に設けられ、検出用振動腕２３１、２３２の第１の方向での振動に伴って電荷を出力する検出用電極と、検出用振動腕２３１、２３２に設けられ、検出用電極に逆極性となるように電気的に接続され、検出用振動腕２３１、２３２の第２の方向での振動に伴って電荷を出力する調整用電極とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子、センサー素子の製造方法およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、通電により駆動振動する駆動用振動腕２２１、２２２と、駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動に伴って振動する調整用振動腕２４１、２４２と、駆動用振動腕２２１、２２２に加えられた物理量に応じて電荷を出力する検出用電極と、調整用振動腕２４１、２４２に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕２４１、２４２の振動に伴って電荷を出力する第１電極と、調整用振動腕２４１、２４２に設けられ、１対の検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕２４１、２４２の振動に伴って、第１電極とは逆極性となる電荷を出力する１対の第２電極とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子、センサー素子の製造方法およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、基部と、前記基部から延出され、通電により駆動振動する駆動用振動腕と、基部から延出され、駆動用振動腕の駆動振動に伴って振動する調整用振動腕２４１と、駆動用振動腕に加えられた物理量に応じて信号を出力する検出用電極と、調整用振動腕２４１に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、振動腕２４１の振動に伴って検出用電極とは逆極性の電荷を出力する調整用電極５５１、５５３とを有し、調整用電極５５１は、検出用電極に電気的に接続された共通部６０と、共通部６０から分岐するとともに調整用振動腕２４１の延出方向に沿って並んで設けられた複数の分岐部６１とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができるセンサー素子、センサー素子の製造方法およびセンサーデバイスを提供すること、また、かかるセンサーデバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサー素子は、基部２１と、駆動用振動腕２２１、２２２と、駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動に伴って振動する調整用振動腕２４１〜２４４と、駆動用振動腕２２１、２２２に加えられた物理量に応じて電荷を出力する検出用電極と、調整用振動腕２４１、２４２に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕２４１、２４２の振動に伴って電荷を出力する第１の調整用電極と、調整用振動腕２４３、２４４に設けられ、検出用電極に電気的に接続され、調整用振動腕２４３、２４４の振動に伴って、第１の調整用電極とは逆極性となる電荷を出力する第２の調整用電極とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、部品点数が少ないにも関わらず、温度変化による出力信号の変動を防止することが可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、角速度振幅検出回路８２からの出力信号を入力する切替スイッチ８７を設け、角速度振幅検出回路８２からの出力信号が所定の値となった際には、切替スイッチ８７により、補正演算手段７５の機能を停止させるように構成したものである。 （もっと読む）

【課題】検出の精度を高めることができる物理量検出センサーを提供する。
【解決手段】自励発振回路２６は、振動腕２１ａ、２１ｂに固定される駆動電極２２ａ、２２ｂを通じて、振動腕２１ａ、２１ｂの自励発振を引き起こす駆動信号を供給する。物理量の作用に応じて振動腕２１ａ、２１ｂに対して相対的に変位する相対変位片上には検出電極２５ａ、２５ｂが配置される。検出電極２５ａ、２５ｂは、駆動電極２２ａとの間で静電結合を生じる距離で駆動電極２２ａから離れる。検出回路２７は、駆動信号に基づき、検出電極２５ａ、２５ｂからの静電容量信号を駆動信号検出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサ及びこれに用いられる角速度センサ素子に関し、検出レベルの向上を目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は、一端が固定部９に接続され他端が錘部１０に接続された駆動アーム１１からなる角速度センサにおいて、駆動アーム１１の形状を固定部９と錘部１０を結ぶ方向と直交する方向に延びるアーム辺１１ａ，１１ｂの折り返し構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】低周波数帯域の雑音の影響をより一層小さくすることができるスイッチトキャパシター積分回路等を提供する。
【解決手段】スイッチトキャパシター積分回路１０は、第１の容量と第２の容量とを有する電圧電荷変換回路２０と、第１の容量に充電された電荷を積分する電荷積分回路３０とを含む。電圧電荷変換回路２０は、第１の期間において、第１の容量に充電された電荷を転送すると共に入力信号に対応した電荷を第２の容量に充電し、第２の期間において、第２の容量に充電された電荷の一部を第１の容量に充電すると共に入力信号に対応した電荷を第１の容量に充電する。電荷積分回路３０は、第３の期間において、演算増幅器の入力に接続されるオフセットキャンセル容量の他端と第１の容量の一端とを接続し、第４の期間において、オフセットキャンセル容量の他端と接地電位とを接続する。 （もっと読む）

【課題】３軸物理量センサモジュールが、安価に、しかも、高精度に得られる物理量センサのサブマウントＭＩＤパッケージを提供する。
【解決手段】物理量センサのサブマウントＭＩＤパッケージ１０において、先細りに形成された略三角柱形状の本体１１と、本体１１における第１錐面１２に設けられた第１物理量センサ１３と、第１錐面１２に対して直交するとともに本体１１における第２錐面１４に設けられた第２物理量センサ１５と、第１錐面１２および第２錐面１４に対してそれぞれ直交する本体１１における第３錐面１６に設けられた第３物理量センサ１７と、を設けた。また、物理量センサのサブマウントＭＩＤパッケージは、直角三角柱形状の本体と、本体における鋭角稜線に挟まれた四角側面に設けられた物理量センサと、を備えて構成してもよい。 （もっと読む）

【課題】体積の増加を伴わずに従来に比べて電子部品の実装面積を増加させることができるセンサーモジュールを提供する。
【解決手段】センサーモジュールは、脚体１８、１９および脚体１８、１９の一端に接続された天井体２１を含むマウント部材１６と、センサー素子３２、３３を含む電子部品とを備える。マウント部材１６には、相互に非平行な垂線ベクトルを有する固定面が複数設けられ、固定面３５、３６の少なくとも２つにはセンサー素子３２、３３が備えられ、かつ、脚体１８、１９と天井体２１とにより区画されるキャビティ２５内に電子部品の少なくとも１つが配置される。 （もっと読む）