【課題】小型化しても、振動腕の面外振動による振動漏れを有効に除去し得る屈曲振動片及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基部２、１対の駆動用振動腕３ａ，３ｂ、１対の検出用振動腕４ａ，４ｂ、駆動電極及び検出電極を有する両側音叉型屈曲振動片１は、振動腕と基部との結合領域に形成された金属材料等の調整膜６ａ，６ｂを有する。調整膜は、駆動用振動腕と基部との結合部に形成されたテーパ部５ａ，５ｂの領域Ｓ１と、テーパ部に近い基部の領域Ｓ２及び駆動用振動腕の領域Ｓ３とを含むように形成される。調整膜は、駆動モードで駆動用振動腕を励振したときに検出電極から出力される検出電流をモニタリングしながら、それが０となるようにレーザー光照射等により部分的に削除される。 （もっと読む）

【課題】駆動モードにおけるエラー検出信号の発生を効果的に抑制し得る圧電振動ジャイロ用の屈曲振動片を提供する。
【解決手段】両側音叉型の屈曲振動片１１は、支持部１２に接続された１対の駆動用振動腕１３及びそれとは逆向きの１対の検出用振動腕１４を有する。支持部は、幅方向の両側部に形成した細溝状の凹部１７ａ，１７ｂと、その平面部の略中央にかつ凹部よりも駆動用振動腕側に形成した貫通孔１８とを有する。支持部の表面には、支持部の両側部の凹部と平面部の貫通孔とにより長手方向に隔てられて、駆動用振動腕の駆動電極から引き出した駆動用電極パッドが駆動用振動腕側に、検出用振動腕の検出電極から引き出した検出用電極パッドが検出用振動腕側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ったジャイロセンサーを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明のジャイロセンサー１０は、基板５０と、アンカー部１２を介して前記基板５０の上方に配置され、回動振動する駆動部２４と、前記駆動部２４に接続された検出部２０と、前記基板５０に配置されている駆動電極部５６と、前記検出部２０に平面視で対向して前記基板５０に配置されている検出電極部５４と、を有し、前記駆動部２４には、空隙部が複数設けられ、前記駆動電極部５６の少なくとも一部は、平面視で前記空隙部に重なって設けられていることを特徴とするジャイロセンサー。 （もっと読む）

【課題】シリコンのエッチング異方性に起因する振動特性の劣化が抑制されたシリコンからなる振動片、その振動片を用いたジャイロセンサー、それらを備えた電子機器、および振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】基部２１、および基部２１から延伸する振動腕２２を備え、振動腕２２の第１の面１ａに開口部を有する有底の溝２が形成され、溝２は、第１の面１ａにおいて開口部の中心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿った仮想の線Ｐ２が、溝２が形成される前の振動腕２２の重心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿う仮想の線Ｐ１に対して並行するいずれかの方向にずれた位置に配置されて設けられた振動片２０の製造方法であって、シリコンウェハーの第１の面１ａに塗布されたフォトレジスト膜に、同一のフォトマスクを用いて基部２１および振動腕２２の外形形状と溝２の開口部形状とを同時に露光する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子を用いた慣性力センサに関し、温度変化に伴う検出精度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、振動腕８とこれを支持する固定部６を有する振動子２と、振動子２の制御回路を構成するＩＣ３と、振動子２とＩＣ３を収容するパッケージ１と、パッケージ１の内部で振動腕８を振動可能に支持する支持台５を備えた慣性力センサにおいて、固定部６が接続される支持台５に固定部６を囲む壁部１８を設け、この壁部１８と固定部６の間に保持層２０を設けた構成とした。 （もっと読む）

【課題】電力供給後の始動段階において、速やかに正確な速度情報をもたらすことができるジャイロスコープ装置のシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】始動中のジャイロスコープ１１０の動的モータ振幅補償のためのシステムは、始動中のジャイロスコープのモータ振幅成長のモデルに基づいて、アプリオリのモータ振幅信号１２２を生成するように構成されたアプリオリのモータ振幅モジュール１２０と、定常状態のスケール係数モジュール１２４と、アプリオリのモータ振幅信号および定常状態のスケール係数信号を受けるように構成された動的モータ振幅補償モジュール１２８とを含む。動的モータ振幅補償モジュールは、ジャイロスコープからの測定されたモータ振幅信号１１６、アプリオリのモータ振幅信号、を受け、始動段階の間に、検出された速度信号に適用される時変スケール係数１３０を出力する。 （もっと読む）

【課題】水晶のエッチング異方性に起因する振動特性の劣化が抑制された水晶振動片、その水晶振動片を用いたジャイロセンサー、それらを備えた電子機器、および水晶振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】基部２１、および基部２１から延伸する振動腕２２を備え、振動腕２２の第１の面１ａに開口部を有する有底の溝２が形成され、溝２は、第１の面１ａにおいて開口部の中心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿った仮想の線Ｐ２が、溝２が形成される前の振動腕２２の重心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿う仮想の線Ｐ１に対して平行するいずれかの方向にずれた位置に配置されて設けられた水晶振動片としての振動素子２０の製造方法であって、水晶ウェハー第１の面１ａに塗布されたフォトレジスト膜に、同一のフォトマスクを用いて基部２１および振動腕２２の外形形状と溝２の開口部形状とを露光する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、慣性センサに関する。
【解決手段】本発明による慣性センサ１００は、絶縁領域１２３と通電領域１２５とに区画された配線層１２０を含むメンブレン１１０と、メンブレン１１０の中央部分１１３の下部に備えられた質量体１３０と、メンブレン１１０を支持するようにメンブレン１１０の縁１１５の下部に備えられて質量体１３０を包むポスト１４０と、を含む構成を有しており、メンブレン１１０を安価のメタルコアで形成することにより、慣性センサ１００の全体的な製造コストを低減するだけでなく、寄生容量を減少させることで慣性センサ１００の感度を向上させることができる効果がある。また、メンブレン１１０から延長された質量体１３０を金属で形成することにより、質量体１３０の質量密度を高めることで慣性センサ１００の感度を向上させることができる長所がある。 （もっと読む）

【課題】振動ジャイロ素子の角速度検出感度を維持し、かつ支持強度を確保し小型化を可能にする振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサを提供する。
【解決手段】基部１０と、基部１０から直線状に両側へ延出された１対の検出用振動腕１１ａ，１１ｂと、基部１０から両側へ検出用振動腕１１ａ，１１ｂに直交する方向に延出された１対の連結腕１３ａ，１３ｂと、各連結腕の先端部からそれと直交して両側へ延出された各１対の駆動用振動腕１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂと、基部１０から各検出用腕に沿って延出される２対の梁２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂと、同方向に延出された各梁が連結された１対の支持部２２ａ，２２ｂと、を同一平面に備え、支持部２２ａ，２２ｂを検出用振動腕の延出する方向であって検出用振動腕の外側かつ前記駆動用振動腕の間に配置する。 （もっと読む）

【課題】ノイズの発生を抑制することで優れた信頼性を発揮しつつ、かつ、センサー素子の配置の自由度が高いモジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】モジュール１は、アナログ回路を有する第１のリジッド基板２１と、デジタル回路を有する第２のリジッド基板２２と、角速度センサー４１２を有する第３のリジッド基板２３と、アナログ回路とデジタル回路とを電気的に接続するように第１のリジッド基板２１と第２のリジッド基板２２とを連結し、且つ可撓性を有する第１の連結部２６１と、アナログ回路と角速度センサー４１２とを電気的に接続するように第１のリジッド基板２１と第３のリジッド基板２２とを連結し、且つ可撓性を有する第２の連結部２６２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】信頼性を高め、小型薄型で、且つ優れた検出精度を発揮することのできるモジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】モジュール１は、センサー素子４と、実装面を複数備え、且つ隣接する実装面の間が折り曲げ可能な実装基板２と、固定面３１〜３５を複数備えた支持部材３と、を有し、センサー素子４は、実装面の少なくとも１つに実装され、実装面の各々は、固定面３１〜３５の各々に沿って配置され、センサー素子４が支持部材３側に配置されている。 （もっと読む）

【課題】ダイナミックレンジの大きい物理量センサー、物理量センサーの制御方法、および、それらを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】基板１０と、基板１０の第１の面１０ａに対してα°傾いた第１の斜面２ａを有する第１載置部材２、および、第２の斜面３ａを有する第２載置部材３と、主たる物理量が印加される方向に検出軸ベクトルｎ₀を向けて第１の面１０ａ面に載置されたセンサーデバイスＤ₀と、検出軸ベクトルとは異なる方向に検出軸ベクトルｎ₁をおよび検出軸ベクトルｎ₂が向くように配置された第１載置部材２および第２載置部材３のそれぞれに載置されたセンサーデバイスＤ₁および、センサーデバイスＤ₂を含み、各検出軸ベクトルｎ₀，ｎ₁，ｎ₂の方向に、ｎ₁≠⊥ｎ₀、ｎ₂≠⊥ｎ₀、および、ｎ₁⊥ｎ₂の関係が成り立つことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、モジュールの位置決めを簡単かつ正確に行うことができる保持部材、モジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】保持部材７は、モジュール１の保持の位置を決めるアライメント部７４１〜７４４を有し、アライメント部７４１〜７４４は、モジュール１を固定する載置面７４１ａ〜７４４ａを有している。保持部材７の中心に対し平面視で互いに直交する第１軸Ｊ１および第２軸Ｊ２により、保持部材７を第１〜第４の領域Ｓ１〜Ｓ４に区分けしたときに、アライメント部７４１〜７４４は、領域Ｓ１〜Ｓ４にそれぞれ１つずつ設けられている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ったジャイロセンサーを提供する。
【解決手段】第１空洞部１５を有した外マス部１４と、第１空洞部１５内に設けられ、第２空洞部１７を有した内マス部１６と、外マス部１４を内マス部１６と一体に第１軸の方向に駆動させる駆動部７０と、外マス部１４と内マス部１６との間に接続され、第１軸の方向に直交する第２軸の方向に変位可能なバネ部２０と、第２空洞部１７内に設けられ、第１軸の軸回りの角速度を検出する第１検出部（検出部３０）と、第２空洞部１７に設けられた振動体４０と、を備え、振動体４０は、第２空洞部１７の内壁に一端を接続させ、第１軸の方向に延出させて他端を浮かせた片持ち支持構造であり、第１軸の方向の駆動振動に伴い、振動体４０が第１軸及び第２軸に対して垂直な第３軸方向に振動可能とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、音叉型振動子を発振回路を共用として自己診断を行うことにより簡略化及び小型化することを目的とする。
【解決手段】本発明による自己診断機能を有する角速度センサは、音叉型振動素子(1)に駆動電極(9)と検出電極(20)と自己診断用電極(6,7)を設け、各自己診断用電極(6,7)と駆動電極(9)を一対のスイッチ(SW1,SW2)を介して１個のみの発振回路(10)を共用として選択的にＯＮ／ＯＦＦすることにより、音叉型振動子(1)の各アーム部(2,3)を対称駆動又は非対称駆動とする構成である。 （もっと読む）

【課題】質量部の振幅変位量を確保し、高い検出感度を有する小型の物理量センサーを提供すること。
【解決手段】本発明の物理量センサー１は、基板２上にあるセンサー面３と、センサー面３の第１軸方向に水平に配置された２つの質量部４と、２つの質量部４に設けられ、センサー面上にあり第１軸（Ｘ軸）と垂直な第２軸（Ｙ軸）方向に延びる回転軸８と、２つの質量部４を第１の周波数を用いて逆位相で回転軸８まわりに回動振動させる駆動部５と、２つの質量部４それぞれから受ける力を伝達する力伝達部６と、力伝達部６に設けられ、伝達された力に応じた変位量を電気信号として検出する検出部７と、とを有しており、センサー面３に対して垂直な第３軸まわりの角速度に応じて質量部４に発生したコリオリ力を、検出部７にて検出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサの周囲の温度が長時間上昇しても、圧電層の分極量が低下することにより、感度が低下してしまうということのない特性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】そして、この目的を達成するために、本発明の角速度センサは、接着剤８９に無機化合物を含有させるとともに、ケース７０内に水分ゲッター材９０を設ける構成とした。これにより、角速度センサの出力信号の精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ったジャイロセンサーを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明のジャイロセンサー１０は、第１検出部４２を備えた第１マス部４０と、第２検出部２２を備えた第２マス部２０と、前記第１マス部４０を第１軸の方向に振動させる第１駆動部７０ａ，７０ｂと、アンカー部９０で固定されている力変換部８０と、を備え、前記第１マス部４０および前記第２マス部２０は、前記力変換部８０で接続され、前記力変換部８０は、前記アンカー部９０を軸として変位して、前記第２マス部２０を前記第１軸と平面視で交差する第２軸の方向に振動させることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】物理量の入力に対して、高い線形性をもって容量素子の構造体が変位する物理量検出装置を提供すること。
【解決手段】物理量検出装置は、物理量に応じて変位する構造体を有し、前記構造体の変位に応じて静電容量が変化する物理量検出素子と、前記物理量検出素子に一定の電荷を供給する電荷供給回路と、前記電荷供給回路により電荷が供給された後で、前記物理量検出素子の静電容量に応じた信号を出力する出力回路とを有する。 （もっと読む）

【課題】零点ドリフトのオフセット精度が高いヨーレイト検出装置を提供する。
【解決手段】車両のヨーレイトを検出するヨーレイトセンサ２と、車両の前方を撮像するカメラ３と、カメラ３の画像から走行中の道路の直線性を評価して車両の直進判定を行う直進判定部４と、車両が直進中におけるヨーレイトセンサ２の読み値をオフセット値に設定し、このオフセット値でヨーレイトセンサ２の零点ドリフトをオフセットするオフセット部５とを備える。 （もっと読む）