【課題】Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸まわりの回転検出ができ、１つの発振回路で振動を励起することが可能な物理量検出素子を提供する。
【解決手段】物理量検出素子１は、基部２と、基部２からＸ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した第１連結部３ａおよび第２連結部３ｂと、第１連結部３ａまたは第２連結部３ｂからＹ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した一対の第１駆動振動腕４ａおよび第２駆動振動腕４ｂ、並びに一対の第３駆動振動腕４ｃおよび第４駆動振動腕４ｄと、第１連結部３ａから斜めに延出した第１駆動検出振動腕５ａおよび第２駆動検出振動腕５ｂと、第２連結部３ｂから斜めに延出した第３駆動検出振動腕５ｃおよび第４駆動検出振動腕５ｄと、基部２からＹ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した第１検出振動腕６ａおよび第２検出振動腕６ｂと、を備えている、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】動的な物体の姿勢および角速度を含んだ動き情報を決定するシステムである。
【解決手段】３つの略直交する方向における磁場の強度および／または方向を、本体基準座標系において測定するための磁場検知デバイス７１と、物体の全加速度を本体基準座標系において測定するために適合されている加速度検知デバイス７２と、フィルタにおいて、全加速度の測定データおよび磁場の測定データと運動力学的モデルとを組み合わせることによって、姿勢および角速度を算出するために適合されているプロセッサ７５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】電源電圧に同じ周波数成分のノイズが存在しても、直流に重畳されずに精度の高い振動ジャイロセンサを提供することにある。
【解決手段】振動ジャイロセンサ２は、振動片１０と、駆動電極３６Ａ，３６Ｂと、検出電極３８Ａ，３８Ｂと、モニタ回路１２と、駆動回路１４と、振幅調整回路１６と、増幅回路１８Ａ，１８Ｂと、差動増幅回路２０と、同期検波回路２２と、フィルタ信号Ｖ１２を出力するフィルタ回路２８と、フィルタ信号Ｖ１２に対して、電源電圧Ｖｄｄの変動に対して比例に変動し感度信号Ｖ１３を出力するレシオメトリック回路３０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】振動漏れを十分に抑制することが可能な物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子（物理量検出素子）１は、基部２と、Ｘ軸に沿って、基部２から互いに反対方向へ延出した一対の第１突出部３（３ａ，３ｂ）と、第１突出部３ａから、斜めに延出した第１駆動腕１１ａおよび同じく第１突出部３ａから斜めに延出し、第１駆動腕１１ａと逆相で振動する第２駆動腕１１ｂと、第１突出部３ｂから、斜めに延出した第３駆動腕１２ａおよび同じく第１突出部３ｂから斜めに延出し、第３駆動腕１２ａと逆相で振動する第４駆動腕１２ｂと、基部２からＹ（＋）軸方向へ延出した第１検出腕１３ａおよびＹ（−）軸方向へ延出した第２検出腕１３ｂと、基部２からＹ（＋）軸方向へ延出した第３検出腕１４ａおよびＹ（−）軸方向へ延出した第４検出腕１４ｂと、を備えている、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動ジャイロ素子の検出感度を向上させる。
【解決手段】振動ジャイロ素子１は、支持部２から延出する１対の駆動用振動腕３ａ，３ｂとそれとは反対側の１対の検出用振動腕４ａ，４ｂとを備え、駆動用振動腕が面内方向に逆向きに屈曲振動する駆動モードと、駆動用振動腕が面外方向に互いに逆向きにかつコリオリ力の作用方向と逆相で屈曲振動し、検出用振動腕が面外方向に互いに逆向きにかつ駆動用振動腕と逆相で屈曲振動する第１の検出モードと、駆動用振動腕が面外方向に互いに逆向きにかつコリオリ力の作用方向と同相で屈曲振動し、検出用振動腕が面外方向に互いに逆向きにかつ駆動用振動腕と同相で屈曲振動する第２の検出モードとを有し、各検出用振動腕が、第１の検出モードと第２の検出モードとにおいて同相で屈曲振動する。 （もっと読む）

【課題】両側音叉型の振動ジャイロ素子において、駆動用検出腕の機械的振動漏れによる影響を解消又は軽減して検出精度及び感度を向上させる。
【解決手段】振動ジャイロ素子１１は支持部１２から互いに逆向きに延出する各１対の駆動用振動腕１３ａ，１３ｂと検出用振動腕１４ａ，１４ｂとを備え、駆動用振動腕は駆動モードでＸＹ面内方向に共振周波数ｆ_ｄで屈曲振動し、検出モードではＹ軸周りの回転によるコリオリ力によってＺ軸方向に逆相で屈曲振動し、検出用振動腕がＺ軸方向に駆動用振動腕とは逆相で屈曲振動する。検出用振動腕はＸＹ面内方向に共振周波数ｆ_ｈ＜ｆ_ｄで屈曲振動するように設定され、共振周波数ｆ_ｈは駆動モードにおいて各検出用振動腕から出力される検出信号の値Ｓ1，Ｓ2との差｜Ｓ1−Ｓ2｜を小さくするように設定される。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、電子部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができる電子デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】電子デバイス１は、実装基板２と、台座３と、蓋部材８とを有している。また、台座３は、実装基板２に含まれる第１のリジッド基板２１を支持する第１の支持部３２と、実装基板２に含まれる第２のリジッド基板２２をその厚さ方向が第１のリジッド基板２１の厚さ方向に対して直交するように支持する第２の支持部３３とを有している。また、蓋部材８は、その内側に実装基板２に含まれる第３のリジッド基板２３を支持する第３の支持部８２を有している。 （もっと読む）

【課題】マイクロシステムおよび／またはナノシステムタイプの新規作製方法、ならびに新規構造体を提供すること。
【解決手段】下部電極と呼ばれる少なくとも１つの電極（１０２）、および少なくとも１つの誘電体層（１０３）を含む第１の基板（１００）と、
可動部分（２１０）を含めた、デバイスのメイン平面と呼ばれる平面全体に延在する中間基板（２００’）と、
中間基板（２００’）に付着された上部基板（３００）であって、前記可動部分が下部電極と上部基板との間を移動することができる、上部基板と
を含む、マイクロシステムおよび／またはナノシステムタイプのデバイスについて記載されている。 （もっと読む）

【課題】面積が小さく、消費電流を大幅に低減することができるスイッチトキャパシター積分回路、フィルター回路、物理量測定装置、及び電子機器等を提供する。
【解決手段】スイッチトキャパシター積分回路としての２重正相積分回路１０は、第１の容量ＣＡを有し、第１の期間において入力信号に対応した電荷を第１の容量ＣＡに充電する第１の電圧電荷変換回路２０と、第２の容量ＣＢを有し、第２の期間において第１の容量ＣＡに充電された電荷の一部を第２の容量ＣＢに充電し、第２の容量ＣＢに充電された電荷の一部を転送する第１の電荷積分回路３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】有効な検出範囲をできるだけ確保しながら出力電圧範囲を所望の範囲に制限することが可能な角速度検出回路、集積回路装置及び角速度検出装置を提供すること。
【解決手段】角速度検出回路（検出回路３０）は、角速度検出素子４の出力信号に含まれる角速度成分を検波する検波部（同期検波回路３４０）と、検波部（同期検波回路３４０）の出力信号に基づいて角速度信号を生成する角速度信号生成部と、を含む。角速度信号生成部は、角速度検出素子４の検出感度に応じて角速度信号の電圧範囲を調整する感度調整部（可変ゲインアンプ３６０）と、感度調整部（可変ゲインアンプ３６０）の後段に設けられ、角速度信号の電圧を所望の範囲に制限する電圧制限部（電圧制限回路３７０）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、電子部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができるセンサーデバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーデバイス１は、内側に固定面１０１、１０２を有する固定部材３と、固定部材３の固定面１０１、１０２に直接または間接的に固定された少なくとも１つの電子部品７とを有し、固定部材３が、電子部品７を収容するケーシング１０の一部を構成する。また、固定面１０１、１０２は、互いに直交している。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、電子部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができるセンサーデバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーデバイス１は、角速度センサー７１１が実装された第１のリジッド基板２１と、角速度センサー７１２が実装された第３のリジッド基板２３とを有する実装基板２と、実装基板２を固定する台座３とを有している。また、台座３は、ｘ軸およびｙ軸に沿う第１固定面を有する基部３１と、基部３１上に設けられ、且つ、ｘ軸およびｙ軸に沿う第２固定面およびｙ軸およびｚ軸に沿う第３固定面の少なくとも一方を有した突出部４１〜４４と、を含み、リジッド基板２１、２２、２３の各々は、第１固定面、第２固定面または第３固定面に支持され、角速度センサー７１１、７１２は、検出軸が互いに交わっている。 （もっと読む）

【課題】高速、低損失で安価な共振器ファイバ光ジャイロスコープ強度変調コントロールのためのシステムを提供する。
【解決手段】共振器ファイバ光ジャイロ（ＲＦＯＧ）における強度変調を制御するための方法であって、共振検出変調周波数で生成される正弦波リファレンスを用いて光線のデジタル・サンプルを復調することによって、強度変調エラー信号を生成するステップと、前記強度変調エラー信号から正弦波フィードバック制御信号を生成するステップと、前記正弦波フィードバック制御信号で強度モジュレータを駆動するステップであって、前記強度モジュレータは前記光線から残余の強度変調をキャンセルする、ステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、優れた信頼性を発揮するこのとのできる回路基板、センサーモジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーモジュール１は、下面４２に形成されたアナログ回路部４２１および上面４１に形成されたデジタル回路部４１１を有する実装基板４と、実装基板４の下面４２側に設けられた２つの角速度センサー７１２、７１３が実装基板４に対して縦置きに設けられている回路基板２と、実装基板４の下面４２と対向するように配置され、回路基板２を支持する台座３とを有する。 （もっと読む）

【課題】小型化を進める上で、周囲温度の変化に対する特性が良好な圧電振動片と、圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電材料により形成された所定長さの基部５１と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕３５，３６と、前記基部の一端側より所定距離だけ離れた他端側に接続される連結部７３と、前記連結部に接続され、圧電振動片の幅方向に延長される接続部７４と、前記接続部に接続され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる支持用アーム６１，６２とを備え、振動腕３５、３６が接続されている基部５１の一端から、圧電振動片の振動腕３５、３６の反対側の一端までの長さ寸法ｈと、前記連結部を介して前記支持用アームが前記基部に接続されている接続部の幅寸法Ｌ３との比率であるＬ３／ｈが、４０％以下とされている、圧電振動片である。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ることができる電子デバイスを提供すること、また、かかる電子デバイスを備える信頼性の高い電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明のセンサーデバイス１（電子デバイス）は、ＩＣチップ２０およびセンサー素子３０と、ＩＣチップ２０を支持する支持部材１０と、支持部材１０が設置される設置面を有し、ＩＣチップ２０、センサー素子３０および支持部材１０を収納するパッケージ３とを有し、支持部材１０は、設置面に固定される底部１０ａと、底部１０ａの外周部から設置面とは反対側に延出する壁部１０ｂ、１０ｃとを備え、ＩＣチップ２０は、壁部１０ｂ、１０ｃの底部１０ａ側の壁面に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】センサー部やベース基板の損傷を抑制しつつ、製造時などにおけるベース基板とセンサー部との貼り付きを回避可能な物理量センサー、および物理量センサーの製造方法の提供。
【解決手段】物理量センサー１は、肉薄部６ａおよび肉厚部６ｂが設けられたベース基板６と、ベース基板６の肉薄部６ａの上方に揺動可能に配置されたセンサー部４と、を有し、ベース基板６には、平面視でセンサー部４の端部と重複する肉薄部６ａの少なくとも一部に導電膜９，１０が設けられ、導電膜９，１０が、肉厚部６ｂの表面の少なくとも一部まで延びていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動や電磁ノイズの影響が大きい環境に角速度検出センサを設置した場合でも高精度な角速度検出を実現すること。
【解決手段】互いに直交する第１の方向および第２の方向に変位可能な振動体を有し、前記振動体を第１の方向に振動させた状態で前記振動体の第２の方向への変位を角速度として検出する角速度検出装置において、前記振動体を第１の方向に振動させる駆動信号の周波数変化に応じて、第２の方向の変位量から角速度を検出するためのサーボ信号の周波数を変化させる。 （もっと読む）

【課題】屈曲振動片の振動腕の側面に厚さ方向に分離した電極を高精度にパターニングする。
【解決手段】屈曲振動片２１は、基部２２から延出する断面矩形の振動腕２４が下面２４ｂ及び上面２４ａと左側面２４ｃ及び右側面２４ｄとの間に、それぞれ左側面及び右側面に交わる段差面２７ａ，２８ａと上面及び下面に交わる段差側面２７ｂ，２８ｂとからなる第１、第２段差部２７，２８を有し、左右側面の第１、第４検出電極２９ａ，２９ｄと段差側面の第２、第３検出電極２９ｂ，２９ｃとが、電極膜を形成していない段差面２７ａ，２８ａの部分によりそれぞれ振動腕の厚さ方向に分離されている。第１〜第４検出電極は、従来のフォトエッチングにより、一般的な露光機を用いた上下面からの露光によって高精度にパターニングされる。 （もっと読む）

【課題】小型かつ簡易な構成の角速度センサ、半導体装置及び携帯機器を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様である角速度センサ１００は、リングオシレータ１１及び検出回路１３を有する。リングオシレータ１１及び検出回路１３は、半導体基板上に形成される。リングオシレータ１１は、インバータＩＶＶ１〜ＩＮＶ３からなる遅延パスを有する。検出回路１３は、リングオシレータ１１の発振周波数の変動量から、回転の角速度を検出する。 （もっと読む）