【課題】漏れ出力を抑制調整可能な振動片、それを用いたセンサーユニット、および、その製造方法、および、それらの振動片またはセンサーユニットを搭載した電子機器を提供する。
【解決手段】振動ジャイロ素子１１は、基部２１と、基部２１のＹ軸方向の両端部からそれぞれ延伸された一対の駆動用振動腕２２ａ，２２ｂ、および、一対の検出用振動腕２３ａ，２３ｂを有している。また、基部２１のＸ軸方向の両端部からそれぞれ延伸された連結部２４ａ，２４ｂ各々の先端部から、駆動用振動腕２２ａ，２２ｂと並行させて延伸された調整用振動腕１２５ａ，１２５ｂが設けられている。各調整用振動腕１２５ａ，１２５ｂの先端側には、幅広部としての錘部１２７ａ，１２７ｂを有している。各調整用振動腕１２５ａ，１２５ｂの主面には、振動ジャイロ素子１１の漏れ出力を調整するための膜体としての調整用電極１４５ａ，１４５ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、出力信号が不安定になってしまうということのない、信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】ケース７０における外底面の４隅の近傍に、振動子６１における第１の駆動電極６５、第２の駆動電極６６、検出電極６７およびＩＣ９０のいずれにも電気的に導通しないダミー電極７９を設けることで、ケースにおける電源電極における半田付部にクラックが発生することを防止する。 （もっと読む）

【課題】短期間であっても角速度の導出精度を向上させる技術を提供する。
【解決手段】測定部１０は、ＧＰＳ衛星からの信号をもとに測位された対象物の測位データと、角速度センサ２６から出力された対象物の角速度とを取得する。オフセット値演算部２８は、測位データと角速度とをもとに、対象物の走行状態を推定する。オフセット値演算部２８は、推定した対象物の走行状態に応じて、測位データと角速度との組合せを変更しながら、仮のオフセット値を逐次導出した後、仮のオフセット値に対して統計処理を実行することによって、オフセット値を導出する。感度係数演算部３０は、測位データと角速度とをもとに、仮の感度係数を逐次導出した後、仮の感度係数に対して統計処理を実行することによって、感度係数を導出する。角速度変換部１４は、感度係数、オフセット値、角速度とをもとに、最終的な角速度を導出する。 （もっと読む）

【課題】短期間であっても角速度の導出精度を向上させる技術を提供する。
【解決手段】測定部１０は、ＧＰＳ衛星からの信号をもとに測位された対象物の測位データと、角速度センサ２６から出力された対象物の角速度とを取得する。オフセット値演算部２８は、測位データと角速度とをもとに、対象物の走行状態を推定する。オフセット値演算部２８は、推定した対象物の走行状態に応じて、測位データと角速度との組合せを変更しながら、仮のオフセット値を逐次導出した後、仮のオフセット値に対して統計処理を実行することによって、オフセット値を導出する。感度係数演算部３０は、測位データと角速度とをもとに、仮の感度係数を逐次導出した後、仮の感度係数に対して統計処理を実行することによって、感度係数を導出する。角速度変換部１４は、感度係数、オフセット値、角速度とをもとに、最終的な角速度を導出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、２の補数表現だけでなく、他の符号付数値表現でも容易に出力信号を出力する角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明の角速度センサは、ＡＤ変換器７３からの出力信号を補正する補正演算手段７４とを備えるとともに、さらに補正演算手段７４の後段に符号付数値表現変換回路７６を設けたため、これにより、２の補数表現からオフセットバイナリー表現の出力信号に変換することができるから、容易に、他の符号付数値表現での出力信号を出力することができる。 （もっと読む）

【課題】センサ検出結果を送信するための通信負荷を軽減するとともに、センサ検出結果を受信する受信装置の処理負荷を軽減することのできる、物理量検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る物理量検出装置は、センサが正常に稼動していない場合にはセンサの検出結果を送信せずにその診断結果を送信する。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値が高く、高い検出感度を有する小型の物理量センサーおよびこれを備える電子機器を提供すること。
【解決手段】物理量センサー１は、４つの振動部５１〜５４と、４つの振動部５１〜５４の集合体の中心Ｏからの動径方向がＸ軸およびＹ軸の両軸に対して４５度の角度を為す方向にある４つの基板固定部６１〜６４と、基板固定部６１〜６４の各々からＺ軸まわりに隣接する２つの振動部へ延びた２つのバネ機構７１１〜７４２と、第１振動部５１、５２をＸ方向に逆位相で振動させつつ、第２振動部５３、５４をＹ方向に互いに逆位相で振動させる振動手段４とを有している。また、２つのバネ機構は、振動部５１〜５４の振動に応じて、ＸＹ平面内で音叉振動する。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値が高く、高い検出感度を有する小型の物理量センサーおよびそれを用いた電子機器を提供すること。
【解決手段】物理量センサー１は、円環振動可能なリング部３１と、４つの支持部６１〜６４と、支持部６１〜６４とリング部３１の円環振動の節となる部位とを連結する４つの梁７１〜７２と、可動部を有しリング部３１を介してＸ１軸向に対向配置された一対の第１質量部５１、５２と、可動部を有しリング部３１を介してＹ軸方向に対向配置された一対の第２質量部５３、５４と、一対の第１質量部５１、５２および一対の第２質量部５３、５４のうちの少なくとも一方を第１の周波数で互いに逆位相となるように振動させる振動手段４とを有し、リング部３１は、前記第１の周波数に応じて、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に対して円環振動する。 （もっと読む）

【課題】多軸に対応したセンサーモジュール及びそれを備えたセンサーデバイスの提供。
【解決手段】センサーモジュール１は、互いに直交する３つの支持面１１，１２，１３を有する支持部材１０と、能動面２１側に接続端子２２を有し、能動面２１に沿った非能動面２９側が支持部材１０の各支持面１１，１２，１３に取り付けられたＩＣチップ２０と、基部３１と基部３１から延伸された振動腕と接続電極３９とを有する振動ジャイロ素子３０と、ＩＣチップ２０と振動ジャイロ素子３０との間に配置され一方の面５０ａがＩＣチップ２０に取り付けられた中継基板５０と、を備え、振動ジャイロ素子３０は、中継基板５０の一方の面５０ａに沿った他方の面５０ｂ側に配置され、一方の主面３０ａが支持面１１，１２，１３に沿うように、接続電極３９が中継基板５０に取り付けられ、中継基板５０を介して接続電極３９がＩＣチップ２０の接続端子２２に接続されている。 （もっと読む）

【課題】所望の信号伝達関数でより一層の出力雑音成分を低減できるスイッチトキャパシター回路、フィルター回路、物理量測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】スイッチと、複数のサンプリング容量と、積分容量とを含んで構成されるスイッチトキャパシター積分回路１０は、電荷充電期間Ｔ１の入力信号に対応した電荷をサンプリング容量の少なくとも１つに充電する。スイッチトキャパシター積分回路１０は、電荷転送期間Ｔ２において、該電荷を積分容量に転送することで、該電荷に対応した信号を伝搬遅延させる。スイッチトキャパシター積分回路１０は、例えばスイッチにより複数のサンプリング容量の接続を切り換えることにより、電荷充電期間Ｔ１にて決定される信号伝達関数と、電荷転送期間Ｔ２にて決定される雑音伝達関数とを異ならせる。 （もっと読む）

【課題】車両間通信により車両の位置情報に基づいて、他車に対する自車の走行についての運転支援情報を提供する運転支援システムにおいて、運転支援情報の誤提供の防止を図る。
【解決手段】自車と他車との間で離間距離が所定以下の場合に、前記自車及び他車間で少なくとも位置情報の送受信を行い、当該位置情報に基づいて他車に対する自車の走行の運転支援情報を提供する運転支援システムにおいて、前記自車の走行領域に応じて前記運転支援情報の提供度合いを段階的に変化させる運転支援レベル判定部１４と、前記位置情報の誤差が所定以上となる領域を予め地図情報に合わせて記憶する誤差発生領域記憶部１６，９２とを備え、前記位置情報の誤差が所定以上となる領域に自車が存在する場合は、前記運転支援情報の提供度合いを制限する。 （もっと読む）

【課題】多軸に対応したセンサーモジュール及びそれを備えたセンサーデバイスの提供。
【解決手段】センサーモジュール１は、互いに直交する３つの支持面１１，１２，１３を有する支持部材１０と、能動面２１側に接続端子２２を有し、能動面２１に沿った非能動面２９側が支持部材１０の各支持面１１，１２，１３に取り付けられた３つのＩＣチップ２０と、基部３１と基部３１から延伸された各振動腕（３２ａ，３２ｂなど）と接続電極３９とを有する３つの振動ジャイロ素子３０と、を備え、各振動ジャイロ素子３０は、各ＩＣチップ２０の能動面２１側に配置され、一方の主面３０ａ（他方の主面３０ｂ）が支持面１１，１２，１３に沿うように、接続電極３９が各ＩＣチップ２０の接続端子２２に取り付けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外部から加わる衝撃などの応力の緩和が可能なセンサーデバイス、モーションセンサー、及び、これらを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】センサーデバイス１は、シリコン基板１０の能動面１０ａ側に設けられた第１の電極１１ｂ，１１ｄ，１１ｆと、応力緩和層１５と、その応力緩和層１５上に設けられた外部接続端子１２ｂ，１２ｄ，１２ｆと、を含む。応力緩和層１５上には配線３６ｂ，３６ｄ，３６ｆが形成され、外部接続端子１２ｂ，１２ｄ，１２ｆ接続されている。能動面１０ａ上の配線１６ｂ，１６ｄ，１６ｆと、応力緩和層１５上の対応する配線３６ｂ、３６ｄ、３６ｆとは、ビアホール３０ｂ、３０ｄ、３０ｆにより接続されている。ビアホール３０ｂ、３０ｄ、３０ｆは、外部接続端子１２ｂ，１２ｄ，１２ｆと振動ジャイロ素子２０の接続電極としての引き出し電極２９ｂ，２９ｄ，２９ｆとの接合領域外に配置されている。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の低下に起因する誤ったデータの出力を防止する角速度検出装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】角速度検出装置１は、角速度に応じた信号を発生させるセンサー素子（ジャイロセンサー素子１００）と、センサー素子が発生させる信号に基づいて角速度信号（アンプ３２６の出力信号）を生成する角速度信号生成部と、電源電圧を監視し、当該電源電圧が第１の閾値よりも高いか低いかを判定する電源監視部（電源監視回路６０）と、電源電圧が第１の閾値よりも高い時は角速度信号を第１の端子（外部出力端子１６）から出力させ、電源電圧が第１の閾値よりも低い時は第１の電圧の信号を第１の端子から出力させる出力部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角度ズレや位置ズレが発生しないように、安定して実装基板に搭載することができつつ、高耐振動性を有した、低背で小型な加速度および角速度検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】加速度および角速度を検出する半導体素子１と、半導体素子１に接続される複数の端子２と、端子２の一部と半導体素子１とを一体にモールドしたパッケージ体とを備えた加速度および角速度検出装置８において、複数の端子２はパッケージ体４の一辺に沿って配列され、パッケージ体４における前記一辺に沿う方向に垂直な方向の長さ寸法Ｌ２が、前記一辺に沿う方向の長さ寸法Ｌ１に対して短くなるように構成した。 （もっと読む）

【課題】外力に応じて走行する移動体において、操舵桿グリップの回転とは異なる方法で旋回動作を実現すること。
【解決手段】外力に応じて走行する移動体であって、車体が回転する際の角速度を検出する角速度センサによって検出された角速度に応じて、前記移動体の駆動部の動作を制御する制御器を備える。さらには、前記移動体の移動速度を演算する速度演算器と、前記速度演算器によって演算された前記移動速度に応じて、前記制御器における制御の係数を変更する制御係数変更器と、をさらに備え、前記制御器は、前記制御係数変更器によって変更された係数に基づいて前記駆動部の動作を制御しても良い。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現でき、検出感度に優れる静電容量型ジャイロセンサを提供する。
【解決手段】内部に空洞１０を有する半導体基板２の表面部（上壁１１）に、第１ベース部６３と、第１ベース部６３と一体をなす櫛歯状の第１櫛歯部６４とを含むＺ固定電極６１を形成する。また、当該上壁１１に、第２ベース部６５と、第２ベース部６５と一体をなし、Ｚ固定電極６１の第１櫛歯部６４に対して間隔を空けて噛み合う第２櫛歯部６６とを含み、Ｚ固定電極６１に対して上下動可能なＺ可動電極６２を形成する。そして、ベース部６３の対向部８４には、第１駆動部１８を形成し、この第１駆動部１８に櫛歯状に噛み合うように、Ｚ可動電極６２の先端部７０に、櫛歯状の第２駆動部１９を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度検出手段における振動体の屈曲振動が加速度検出手段に直接に伝達されることにより、加速度が生じていないにも関わらず、加速度出力信号を検出してしまうということのない信頼性の向上した角速度および加速度検出用複合センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】振動子６１を防振端子８１を介してケース７０に固定するとともに、加速度検出素子８７をケース７０にリジッドに固定する構成とした。 （もっと読む）

【課題】車両の走行状態における規範ヨーレート較正法だけでヨーレートセンサのゼロ点の較正ができるヨーレート較正装置を提供する。
【解決手段】ヨーレート較正装置１００Ａは、操舵方向を判定する操舵方向判定部１５、車速演算部１９、直進状態判定部１２Ａ、直進走行状態と判定された際の操舵角θ_Hを記憶する操舵角記憶部１３Ａ、操舵角記憶部１３Ａに記憶された操舵角θ_Hの値の分布に基づいて操舵角センサＳ_HAの不感帯領域を演算する操舵角検出不感帯領域演算部１４Ａ、不感帯領域と操舵方向判定部１５によって判定された操舵方向に基づいて操舵角θ_Hを補正する操舵角補正部１６、操舵角−ヨーレート特性データ１０４ｂと補正された操舵角θ_CHと車速ＶＳとに基づいてヨーレートγのゼロ点を較正するヨーレートオフセット量演算部１７及びヨーレートゼロ点補正部１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、外部から加わるＹ軸方向およびＺ軸方向の振動を減衰させることが出来ないということのない、３軸方向全ての振動を減衰させることが可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】載置部材８０を端子電極７５と電気的に接続した端子８１により周囲から支持するように構成するとともに、この端子８１にＸ軸方向延出部８４、Ｙ軸方向延出部８２およびＺ軸方向延出部８３を設ける構成とした。 （もっと読む）