【課題】 質量部を支持する弾性変形部を、正規の変形方向へ曲がりやすく、正規の変形方向以外の方向へ変形しにくい構造にして、質量部を安定して駆動できる角速度センサを提供する。
【解決手段】 検出回動部２６の内部に第２の弾性変形部３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを介して駆動質量部２９ａがＸ方向へ移動自在に支持されており、第２の弾性変形部３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに設けられた圧電素子によって駆動質量部２９ａがＸ方向へ振動させられる。角速度センサ１が、垂直軸Ｚ回りの角速度を持つと、駆動質量部２９ａにＹ方向のコリオリ力が作用し、検出回動部２６が動作して角速度が検出される。第２の弾性変形部３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄはＹ方向に平行に延びる梁３３，３４を有しているため、Ｙ方向の力で変形しにくい。よって、駆動質量部２９ａがＸ方向へ安定して支持される。 （もっと読む）

【課題】可動部を面内方向に励振させるのにあたり、不要なメカノイズ成分の発生を有効に抑制できるようにする。
【解決手段】平板状の可動部１１と、前記可動部１１の端縁から離間して配される支持部１２と、前記可動部１１に一端が連結され、前記支持部１２に他端が連結されて、前記支持部１２に対して前記可動部１１を面内方向へ変位可能に支持する弾性支持体１３と、を備える微小電気機械装置（ＭＥＭＳ）において、前記弾性支持体１３を基板の厚さ方向に全て抜いて形成することで、面内垂直方向における中心位置が前記可動部１１の重心位置と合致するように構成する。 （もっと読む）

本発明は、互いに直交する三つの空間方向における測定軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸）を中心とする成分によって回転速度（Ω_ｘ，Ω_Ｙ，Ω_Ｚ）を検出するための、マイクロメカニクスによるコリオリ式回転速度センサに関する。当該コリオリ式回転速度センサは、基板と、検出質量体と、少なくとも二つの駆動質量体と、を有しており、当該駆動質量体はそれぞれ、基板に対して一次運動（Ｖ_Ｘａ，Ｖ_Ｙｂ，Ｖ_Ｘｃ，Ｖ_Ｙｄ）を行うように駆動可能であり、少なくとも二つの駆動質量体の一つの駆動質量体が行う一次運動（Ｖ_Ｘａ，Ｖ_Ｙｂ，Ｖ_Ｘｃ，Ｖ_Ｙｄ）の方向は、少なくとも二つの駆動質量体の他の駆動質量体が行う一次運動（Ｖ_Ｘａ，Ｖ_Ｙｂ，Ｖ_Ｘｃ，Ｖ_Ｙｄ）の方向に対して垂直であり、検出質量体は駆動質量体と連結されている。本発明はさらに、慣性測定装置（ＩＭＵ）と、互いに直交する三つの空間方向における回転速度を検出するための方法に関する。
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【課題】 駆動モードでの振動だけでは検出電極に電荷が発生しないような振動ジャイロ用素子を提供し、ＳＮ比が高く、２軸の角速度の検出が可能で、安価な振動ジャイロを提供すること。
【解決手段】 平面的に形成された付加質量部４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄを、それぞれ、同じ平面内に形成された第１のビーム３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄで支え、隣り合う第１のビーム３ａ、３ｄの接続部を一方の第２のビーム３ｅの一端で支え、別の隣り合う第１のビーム３ｂ、３ｃの接続部を他方の第２のビーム３ｆの一端で支え、さらに、リング状の第４のビーム３ｇの直交する接続端の対向する接続端に第２のビーム３ｅ、ビーム３ｆの他端を接続した振動子１を、第４のビームの別の対向する接続端にそれぞれ接続した第３のビーム３ｈ、３ｉを介して外周部の枠体２で支持し、励振部および検出部として機能させた振動ジャイロ用素子を用いる。 （もっと読む）

ジャイロシステムは、初期の第一振動幾何学的位置において振動する振動型ジャイロスコープであり、測定信号を与える振動型ジャイロスコープに基づく測定値を与える。周期的な命令信号は、ある時間周期に亘り、上記振動型ジャイロスコープに対して、上記時間周期の一部分が経過する間に、上記振動幾何学的位置を第一方向に回転させ（１１）、第一速度プロファイルに従って、上記第一位置から第二位置へ変化させ、上記時間周期の他の部分が経過する間に、上記振動幾何学的位置を上記第一方向とは反対の第二方向に回転させ（１２）、第二速度プロファイルに従って、上記第二位置から上記第一位置へ変化させるように与えられる。上記速度プロファイルは、位置の変化の速度変化を示すものである。上記システムにより与えられる測定値（１３）は、上記ジャイロスコープにより与えられる上記測定値から上記命令信号を減算することにより得られる補正信号に基づいている。
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【課題】省スペースで精度の高いブレ検出が可能な振動検出ユニットを提供する。
【解決手段】ブレ検出ユニット１５は、Ｘ軸センサ１９と、Ｙ軸センサ２０と、Ｘ軸センサ１９が実装された実装部２１ｃと、Ｙ軸センサ２０が実装された実装部２１ｄと、リード部２１ｂと有した接続ＦＰＣ２１と、緩衝材装着面を有するユニット台１６と、緩衝材装着面を有するセンサ支持ブロック１７とを備えており、Ｘ軸センサ１９とＹ軸センサ２０とリード部２１ｂは、それぞれがユニット台１６およびセンサ支持ブロック１７の緩衝材装着面に接着された一対の緩衝材で圧縮挟持された状態でユニット台１６およびセンサ支持ブロック１７に支持されていることから、Ｘ軸センサ１９とＹ軸センサ２０とは、ノイズがカットされ、カメラボディのブレ信号のみを正確に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】十分なノイズシールド効果が得られなかった。
【解決手段】可撓部と、前記可撓部を支持する支持部と、前記可撓部の一方の面から突出する錘部と、前記可撓部の他方の面側の表面または前記表面近傍に形成され前記可撓部の変形または変位を検出する検出手段と、前記検出手段への配線部と、を有する固体素子と、前記固体素子の前記可撓部の他方の面側において前記支持部に接合され、導電性を有するスペーサと、前記固体素子の前記可撓部の他方の面側から見て、前記可撓部と前記支持部と前記錘部と前記検出手段と前記配線部とに重なる領域において、前記可撓部の他方の面と平行な方向に広がり、前記スペーサを介して接地されている導電層を有し前記スペーサに接合されている板状のストッパと、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、第１の振動体および第２の振動体に設けられた検出電極の位置ズレが生じた場合、角速度が生じていないときには、角速度が発生しているような出力信号を誤って出力してしまうということのない出力精度の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、第２の振動体２３における第１の振動体２２の第１の駆動電極２５および第２の駆動電極２６を設けた位置と対応する箇所に、第１の電極ズレ量検出電極２８および第２の電極ズレ量検出電極２９を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】安定した感度特性と低い電源電圧抑圧比を持つ角速度センサを提供すること。
【解決手段】本発明に係る角速度センサ素子１０は、駆動用の２本の外側アーム１２Ａ及び１２Ｂと、当該２本のアームの中央に配置された、検出用の一本の中央アーム１２Ｃを有する。各々のアーム１２には、下部電極層１６、圧電層１５、上部電極層１４が積層されてなる圧電機能体１３が設けられている。外側アーム１２Ａ及び１２Ｂに設けられる圧電機能体１３Ａ及び１３Ｂは、駆動用であり、中央アーム１２Ｃに設けられる圧電機能体１３Ｃは検出用である。圧電機能層１３Ｃは、離間して配置された圧電機能層１３Ｃ_１、１３Ｃ_２によって構成される。駆動、検出に係るアーム１２が別々であり、検出用の圧電機能層１３Ｃ_１、１３Ｃ_２が離間していることにより、駆動、検出電極間でのリーク電圧を抑制し、Ｎｕｌｌ電圧、電源電圧変動抑圧比を低減することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 安定した出力が得られ、出力ドリフトの小さい、低ノイズの圧電振動ジャイロを提供する。
【解決手段】 電流検出回路８の出力を第一の注入信号とし、該第一の注入信号を第一の振幅調整回路を通して加減算増幅回路２、３の反転端子または非反転端子に接続し、また、前記電流検出回路８の出力を９０度移相回路１３を通した第二の注入信号を第二の振幅調整回路を通して前記加減算増幅回路２、３の非反転端子または反転端子に接続することにより前記加減算増幅回路２、３の出力振幅を縮小調整するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】ジャイロスコープにおける強制及びピックオフ電極の位置ずれに伴う誤差を補償する。
【解決手段】平面共振器１０４はその周囲に、約０度、４５度、９０度、１３５度の軸２０８、２１０、２１２、２１４に沿って、第１、第２、第３、第４半径方向グループに配列された複数の電極を備える。第１期間中、制御部は、第１半径方向電極グループに、平面共振器において駆動発振を誘起し、第３半径方向電極グループに、駆動発振を検知し、第２半径方向電極グループに、コリオリ力誘起発振を検知し、第４半径方向電極グループに、コリオリ力誘起発振を無効にするよう指令する。第２期間において、第２半径方向電極グループに、平面共振器内において駆動発振を誘起し、第４半径方向電極グループに、その駆動発振を検知し、第１半径方向電極グループに、コリオリ力誘起発振を検知し、第３半径方向電極グループに、コリオリ力誘起発振を無効にするよう指令。 （もっと読む）

【課題】同相モードとの干渉による悪影響を回避することができる音叉型振動子を提供する。
【解決手段】音叉型圧電振動子７０は、回路基板２０に支持されるための長方形板状の基台部７４および柱状の２つの脚部７６ａ，７６ｂを含む。基台部７４は、回路基板２０に接合されるための矩形板状の接合部７４ａと、接合部７４ａおよび２つの脚部７６ａ，７６ｂ間に形成される矩形板状の胴体部７４ｂとを含む。音叉型圧電振動子７０において、駆動モードの共振周波数と面内同相モードの共振周波数との周波数差が１ｋＨｚ以上になるように、基台部７４および２つの脚部７６ａ，７６ｂは、胴体部７４ｂの長さ／（胴体部７４ｂの実質的な幅−脚部７６ａ，７６ｂの幅）と駆動モードの共振周波数との積が６０×１０³以上になるように形成される。 （もっと読む）

【課題】振動体と連成梁とを同じ層のシリコン基板を用いて形成する場合、振動体同士間であって連成梁が形成される領域には、連成梁以外の機能が形成できない。
【解決手段】第１方向に駆動する駆動部と、第１方向に直交する第２方向に可動する検出部と、駆動部と検出部とを連結する弾性部材とからなるユニットを複数備え、第１ユニットの駆動部の上面と第２ユニットの駆動部の上面とは、第１ユニットの検出部および第２ユニットの検出部の上面と離間する連成梁により接続される。 （もっと読む）

【課題】角速度による振動体の変位信号の位相のずれを補正して、安定的な動作が可能な角速度検出装置を提供することにある。
【解決手段】振動体４は、互いに直交する第１の方向および第２の方向に変位可能である。振動体４を第１の方向に振動させた状態において、角速度の発生により、振動体４が第２の方向に変位しようとする。積分演算器４４，４５および帰還信号生成部４６及びバイアス加算部４７からなるサーボ系は、振動体４の変位を抑制するように外力を作用し、その外力の大きさに基づき角速度を検出する。位相補正演算部４３は、振動体４より出力する角速度による変位量を示す信号を、サーボ系に加算して、位相変動を補正する。 （もっと読む）

【課題】可動部の支持構造に基づくノイズの影響を排除することができる回転振動型ジャイロを提供する。
【解決手段】駆動錘４と、駆動錘４を回転振動させる駆動電極３と、駆動錘４の内側に配設され、Ｘ軸周りの角速度を受けたときのコリオリ力で駆動錘４と共にＹ軸を中心にシーソー様に振動する検出錘５と、基板２上に突設されたアンカー６と、回転振動の吸収機能およびコリオリ力の伝達機能を有し、駆動錘４を検出錘５に連結支持する複数の連結支持ばね８と、Ｙ軸上においてアンカー６と検出錘５との間に掛け渡され、振動する検出錘５のヒンジ軸として機能すると共に、その軸心が可動部１０の重心を通るように配設された一対の捻り支持ばね７と、振動する検出錘５の変位を検出する一対の検出電極９と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】微小な容量値の差を精度よく検出することができる検出回路を提供する。
【解決手段】センサの第１の容量と第２の容量との容量値の差を検出する検出回路は、該第１の容量に応じた周波数の第１の発振信号を生成する第１の発振器と、該第２の容量に応じた周波数の第２の発振信号を生成する第２の発振器と、該第１の発振器に結合され、該第１の発振信号に応じた第１のカウント値を出力する第１のカウンタと、該第２の発振器に結合され、該第２の発振信号に応じた第２のカウント値を出力する第２のカウンタと、該第１のカウンタと該第２のカウンタとに結合され、該第１のカウント値と該第２のカウント値とに基づいて該容量値の差を示す信号を出力する演算回路を含む。 （もっと読む）

【課題】
振動子を用いた角速度検出装置において、振動子を定常発振させるための信号は、振動子上の寄生容量を介して検出電極に結合し、検出信号に不要な成分を重畳させてしまう。このために増幅率を上げることができず、角速度検出装置のＳＮＲ改善を妨げていた。これに対し、振動子の振動脚の又部付近に補正電極を設けることで検出電極との間に新たな寄生容量を設け、これを介して不要な成分と逆位相の補正信号を注入することで、不要な成分を相殺する手法がある。しかし、定常的に振動する駆動脚とは別に、角速度の検出のための検出脚を有する設計の振動子の場合、駆動脚の又部は検出電極から遠くなる。したがって寄生容量が小さく、補正量が少ないという問題があった。
【解決手段】
基部の、検出脚付近に補正電極を設けることで、補正電極・検出電極間の寄生容量を大きくし、補正量を増やすことで、不要成分を充分に相殺する。 （もっと読む）

【課題】小型化と同時に、角速度の検出精度が高く、外乱に対して強い振動ジャイロを提供する。
【解決手段】円環状又は多角形状の振動体１１と、振動体１１を柔軟に支持するとともに固定端を有するレッグ部１５と、振動体１１の上方に形成されるとともに、第１上層金属膜５０及び第１下層金属膜３０により圧電体膜を厚み方向に挟む複数の電極を備え、さらに、レッグ部１５上のシリコン酸化膜２０上に形成されるとともに、第１下層金属膜３０と連続する第２下層金属膜３１と、シリコン酸化膜２０上又はその上方に形成されるとともに、第１下層金属膜３０及び第２下層金属膜３１と接することなく圧電体膜４０上を経由して第１上層金属膜５０と連続する、第２下層金属膜と実質的に同層の第２上層金属膜５１とを備える。 （もっと読む）

【課題】基部に漏洩する駆動振動を抑圧し、角速度の誤検出を防止する振動ジャイロ素子
、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサを提供する。
【解決手段】基部１０と、基部１０から直線状に両側へ延出された１対の検出用振動腕１
１ａ，１１ｂと、基部１０から両側へ検出用振動腕１１ａ，１１ｂに直交する方向に延出
された１対の連結腕１３ａ，１３ｂと、各連結腕１３ａ，１３ｂの先端部からそれと直交
して両側へ延出された各１対の駆動用振動腕１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂと、基部１
０から延出される４本の梁２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂと、各梁２０ａ，２０ｂ，２
１ａ，２１ｂの先端に接続する支持部２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂとを同一平面に備
え、各梁２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂは基部１０より一旦、駆動用振動腕１４ａ，１
４ｂ，１５ａ，１５ｂの延出する方向と略直交する方向に延出されている。 （もっと読む）

【課題】受光器の出力に含まれるノイズに起因する出力誤差の低減を実現するクローズドループ方式光干渉角速度計を提供する。
【解決手段】受光器６からの電気信号は、復調部１０で復調される。この復調信号がＡ／Ｄ変換されて、ディジタル信号処理装置３０に入力される。復調部１０は、受光器６からの電気信号についてサンプルホールド処理を行う第一サンプルホールド部１１と、第一サンプルホールド部１１の出力を入力とする第一ローパスフィルタ１３と、上記電気信号についてサンプルホールド処理を行う第二サンプルホールド部１２と、第二サンプルホールド部１２の出力を入力とする第二ローパスフィルタ１４とを備える。ディジタル信号処理装置３０は減算器３１を備えており、第一ローパスフィルタ１３の出力から第二ローパスフィルタ１４の出力を減算する処理を行う。 （もっと読む）