【課題】位相調整を自動で行う事により、高い検出感度を常時安定して保つ角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサにおいて、検出部により出力される検出信号から漏れ振動による変位量を抽出する第２同期検波部と、第２同期検波部により検出された振動子の変位量を平滑化する第２平滑手段と、入力した信号の位相を変化させて第１同期検波部へ出力する位相調整部とを有し、位相調整部は、位相調整部に入力した信号の位相を第２平滑手段の出力を角速度に依存させない様に調整して第２同期検波部に出力する事を特徴とする角速度センサを構成する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな角速度の振動マイクロ−メカニカルセンサーにおいて、信頼性が高くかつ効率的な測定を可能とする。
【解決手段】震動質量１、２がバネによってまたはバネと堅固な補助構造によって支持領域に接続され、これによって、震動質量によって形成されるウェハーの平面に垂直な回転軸に関する自由度、および、ウェハーの平面に平行な少なくとも１つの回転軸に関する自由度が、震動質量１、２に与えられる。 （もっと読む）

【課題】優れた耐振・耐衝撃性能を有する圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】ヨーレートセンサ装置７は、固定部７２ａ，７２ｂによって、ヨーレートセンサ素子２が支持基板７１に固定されたものである。固定部７２ａ，７２ｂは、平行部７３ａ，７３ｂ、及び、立ち上げ部７４ａ，７４ｂを有している。また、固定部７２ａ，７２ｂは、立ち上げ部７４ａ，７４ｂの固定部端部７５ａ，７５ｂにて、ヨーレートセンサ素子２を固定し、それを支持基板７１の延在方向と平行になるように、支持基板７１の上方空間内で支持している。さらに、固定部７２ａ，７２ｂと支持基板７１の表面との間に、固定部７２ａ，７２ｂの平行部７３ａ，７３ｂを互いに連結する梁７９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】角速度感度軸に対して他軸感度によるノイズを発生させることなく、正確で高精度な角速度信号を検出する振動ジャイロの提供を目的とする。
【解決手段】振動子１１，１２と、この振動子１１，１２を制御する半導体部品２０と、前記振動子１１，１２を支持してこの振動子１１，１２と前記半導体部品２０を電気的に接続する回路部品４０を含む支持基板３０と、この支持基板３０上に設けた前記振動子１１，１２、半導体部品２０および回路部品４０を覆う蓋体５０から構成した振動ジャイロにおいて、前記支持基板３０に前記振動子１１，１２を所定の感度軸方向に支持するための位置決め３０１，３０２を設けた。 （もっと読む）

【課題】１つで、複数の検出軸を有する小型の物理量検出装置を提供する。
【解決手段】ＩＣチップ３０は、パッケージ１０の凹部の凹底部分となる第１層基板１１上に設けられたダイパッド１５上に、ろう材２９によって接着・固定されている。また、ＩＣチップ３０に設けられた複数の電極パッド３５と、パッケージ１０の対応するＩＣ接続端子１６とが、ボンディングワイヤー２７により接続されている。ＩＣチップ３０の４つの側面のうち、図中（＋）Ｘ軸側の側面には、ジャイロ振動片２０が、その主面をＩＣチップ３０のＸ軸側の側面と平行に向かせた態様で中継基板４０を介して絶縁性の接着剤３９により接着・固定されている。また、ジャイロ振動片２０は、導電性の銀ペースト４９などにより接着・固定されている。このとき、ジャイロ振動片２０の検出軸は、図中（＋）Ｘ軸方向を向いている。 （もっと読む）

【課題】 占有面積の縮小、容量の増大、ブラウンノイズの低減及び可動部の質量の増大等の二律背反の要請をバランスよく満足して検出精度を向上することができるＭＥＭＳセンサー及びその製造方法並びに電子機器を提供すること。
【解決手段】 ＭＥＭＳセンサー１０は、固定部２０と、弾性変形部３０と、弾性変形部を介して固定部に連結され、周囲に空洞部が形成された可動錘部４０と、固定部に第１の方向Ａに沿って配列固定され、第１の方向と直交する第２の方向Ｂに沿って突出する複数の固定電極部５０と、可動錘部より第２の方向に沿って突出形成されて、複数の固定電極部５０にそれぞれ対向して配置され、第１の方向に沿って配列された複数の可動電極部６０とを有する。可動錘部４０は、複数の可動電極部と同一の層に形成され、複数の可動電極部を連結する連結部４２と、複数の可動電極部及び連結部とは異なる層に形成され、連結部に接続された付加錘部４６とを含む。 （もっと読む）

【課題】角速度感度軸に対して他軸感度によるノイズを発生させることなく、正確で高精度な角速度信号を検出する振動ジャイロの提供を目的とする。
【解決手段】振動子１１，１２と、この振動子１１，１２を制御する半導体部品２０と、前記振動子１１，１２を支持してこの振動子１１，１２と前記半導体部品２０を電気的に接続する回路部品４０を含む支持基板３０と、この支持基板３０上に設けた前記振動子１１，１２、半導体部品２０および回路部品４０を覆う蓋体５０から構成した振動ジャイロにおいて、前記支持基板３０に前記振動子１１，１２を所定の感度軸方向に支持するための位置決め３０１，３０２を設けた。 （もっと読む）

本発明は、振動するように設計されている半球形または鐘形の受感部（４）と、上記受感部（４）を励起し、なおかつ上記受感部（４）の振動を検知するための励起／検知電極（２０）を保持可能な電極保持器（８）と、上記電極保持器を支持するための部材（１０，１６）とを備え、上記支持部材（１０，１６）は、密度が５ｋｇ／ｄｍ^３未満であり、なおかつヤング係数を当該密度で割った比率の平方根が９ＧＰａ^１／２・ｄｍ^３／２・ｋｇ^−１／２よりも大きい材料からなる土台（１０）を備えているジャイロセンサ（２）に関する。
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【課題】優れた耐振・耐衝撃性能を有する圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】本発明によるジャイロセンサ装置１に備わる圧電振動デバイス２は、基部２０と、それを挟んで＋Ｙ方向に伸びる駆動腕２１ａ，２１ｂ、及び、−Ｙ方向に伸びる検出腕２２ａ，２２ｂを備える。また、基部２０を挟んで±Ｘ方向）には、湾曲部２４ａ，２４ｂを介して、直線部２５ａ，２５ｂへと連なる支持腕２３ａ，２３ｂが設けられており、直線部２５ａ，２５ｂは、保持部のセンサ固定部へと固定される固定部２７に接続されている。 （もっと読む）

【課題】複数種類の感度の検出信号をＡ／Ｄ変換する際に、Ｓ／Ｎ比を向上させる物理量
測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】振動子と、前記振動子と発振ループを形成し、該振動子に駆動振動を励振す
る駆動回路と、前記振動子に励振される駆動振動及び測定すべき物理量に応じて第１の検
出信号及び第２の検出信号を出力する検出回路とを含み、検出回路は、前記駆動振動及び
前記物理量に応じて第１の検出信号を出力する第１のＬＰＦと、第１のＬＰＦのゲインと
異なるゲインを有し、前記駆動振動及び前記物理量に応じて第２の検出信号を出力する第
２のＬＰＦとを含み、第１のＬＰＦ及び第２のＬＰＦの各々は、ＳＣＦ回路により構成さ
れ、ＳＣＦ回路は、第１の検出信号及び第２の検出信号に対して行うＡ／Ｄ変換処理のサ
ンプリングクロックの４倍以上の周波数の動作クロックにより、スイッチ制御される。 （もっと読む）

【課題】エンジンルーム等の温度変化範囲が広く、また振動や電磁ノイズの影響が大きい環境に設置して動作させる場合、これらのセンサの信頼性を高く保つ必要がある。
【解決手段】角速度検出素子の共振周波数の変動を検出し、その変動に検出素子を駆動する信号の周波数と、センサ素子の共振周波数と制御回路のクロック周波数を同期化する手段と、角速度の駆動，検出と検出結果の特性補正を並列で実行する２つのＤＳＰ（デジタル・シグナル・プロセッサ）と、制御プログラムが格納されたＲＯＭの先頭番地から最終番地までのプログラムを１番地ずつかつ周期的に繰り返し実行する手段と、通信路上でのノイズや電源変動によるデータ誤りを検出するための誤り検出符号をセンサ出力と一緒に送信する手段とで構成される。
【効果】位相の変動を補正する手段を設けることなく常に検出精度を一定に保てる。 （もっと読む）

【課題】出力負荷容量を揃え、且つ、低コストでＳ／Ｎ比を向上させる検出装置、物理量測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】発振ループ内の振動子に励振される駆動振動及び測定すべき物理量に対応した検出信号を検出する検出装置は、前記駆動振動及び前記物理量に対応した信号を増幅する増幅回路と、発振ループ内の発振信号に同期して増幅回路の増幅信号を検波する同期検波回路と、同期検波回路の出力インピーダンスを変換するインピーダンス変換回路と、インピーダンス変換回路の出力信号が供給され、第１の検出信号及び第２の検出信号を出力する第１のＬＰＦ及び第２のＬＰＦとを含み、第１のＬＰＦ及び第２のＬＰＦの各々は、スイッチトキャパシターフィルター回路により構成され、第１のＬＰＦと第２のＬＰＦは、互いにゲインが異なり、且つ、出力負荷容量とが同一に設定されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、誤検出を低減させることができるとともに、角速度センサ素子の耐久信頼性を向上させることができる角速度センサ素子を提供することを目的とするものである。
【解決手段】振動部２における駆動電極６および検出電極７が形成された面に駆動電極６および検出電極７を覆う保護膜８を設けるとともに、保護膜８を振動部２と固着部３との境界部にも形成し、かつこの境界部に位置する保護膜８に溝を設ける構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】低コストでＳ／Ｎ比を向上させる検出装置、物理量測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】発振ループ内の振動子に励振される駆動振動及び測定すべき物理量に対応した検出信号を検出する検出装置は、前記駆動振動及び前記物理量に対応した信号を増幅する増幅回路と、発振ループ内の発振信号に同期して増幅回路の増幅信号を検波する同期検波回路と、同期検波回路の出力インピーダンスを変換するインピーダンス変換回路と、インピーダンス変換回路の出力信号が供給され、第１の検出信号及び第２の検出信号を出力する第１のＬＰＦ及び第２のＬＰＦとを含み、第１のＬＰＦ及び第２のＬＰＦの各々は、スイッチトキャパシターフィルター回路により構成され、第１のＬＰＦのゲインと第２のＬＰＦのゲインとが異なる。 （もっと読む）

【課題】駆動錘と検出錘とを有する振動子を２つ備えた振動型角速度センサにおいて、外部衝撃に対する各駆動錘の同調性および各検出錘の同調性を高める。
【解決手段】駆動錘１５０、２５０は、当該駆動錘１５０、２５０がそれぞれ対向する部分に開口部１５２、２５２をそれぞれ備えている。また、検出錘１４０、２４０は、駆動錘１５０、２５０の内側にそれぞれ配置されている。そして、駆動連成梁４００は、第１振動子１００の駆動錘１５０と第２振動子２００の駆動錘２５０とを直接連結している。一方、検出連成梁５００は、駆動錘１５０、２５０の開口部１５２、２５２を介して第１振動子１００の検出錘１４０と第２振動子２００の検出錘２４０とを直接連結している。これにより、外部からの衝撃に対する各駆動錘１５０、２５０の同調性および各検出錘１４０、２４０の同調性の両方を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】角速度センサと加速度センサの向きを精度良く決め、光学機器の内部で発生する振動が各センサに影響しないようにする。
【解決手段】光学機器は、角速度センサ３０２，３０３と、加速度センサ３０４と、これらセンサが実装されたフレキシブル基板３０１と、該フレキシブル基板を保持し、該光学機器の本体２２に取り付けられるセンサ保持部材３００とを有する。センサ保持部材は、互いに異なる方向を向く平面として形成され、フレキシブル基板における角速度センサの実装部分および加速度センサの実装部分をそれぞれ保持する角速度センサ保持面３００ｂ，３００ｃおよび加速度センサ保持面３００ｄと、本体に平面として形成された本体側取り付け面２２ｅに対向する平面として形成され、該本体側取り付け面に振動吸収部材３０５を介して取り付けられる保持部材側取り付け面３００ａとを有する。 （もっと読む）

【課題】外来ノイズに対する耐性を維持しつつ、内部ノイズに由来するノイズを抑えられる構成とすることで、高精度な静電容量型物理量センサ及び角速度センサを提供することにある。
【解決手段】検出素子１０は、外界からの物理量により変位可能に支持された可動体１８と、検出電極Ｅｆとを有する。シールド配線１６は、容量検出回路３０の入力に接続された配線の周囲に配置され、低インピーダンスの直流電位に接続される。検出素子１０と容量検出回路３０の接続部の低インピーダンスの固定電位に対する入力容量の値Ｃｉｎが、１．５ｐＦ＜Ｃｉｎ＜２０ｐＦの範囲とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、慣性センサの検知精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、支持梁１１と、前記支持梁１１により一端を支持された圧電体からなる駆動梁１２と、前記支持梁１１により一端を支持された圧電体からなる検出梁１３と、前記駆動梁１２及び前記検出梁１３の他端に設けられた錘１４とを備え、前記支持梁１１がＸ軸方向及び前記Ｘ軸に直交するＹ軸方向へと伸びる略十文字形状をし、且つ前記略十文字形状の４つの先端が固定されている構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】正確で信頼性が高く広範囲の開発に適した、マイクロエレクトロメカニカルジャイロスコープ及びマイクロエレクトロメカニカルジャイロスコープの制御方法を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳジャイロスコープは、固定構造体６と、駆動軸Ｘに従って前記固定構造体６に関して可動な駆動質量体７と、前記駆動軸Ｘに従って運動状態になるように駆動質量体７に機械的に連結され、且つ、微細構造体２の回転に応答して、駆動軸Ｙに従って前記駆動質量体７に関して可動な検出質量体８とを有する微細構造体２、及び、駆動周波数で前記駆動質量体７を振動状態に維持するための駆動装置３を備える。前記駆動装置３は、前記駆動軸Ｘに関して駆動質量体７の位置を検出するための離散時間検出インタフェース２０と、前記駆動子質量体７の位置に基づいて駆動周波数を制御するための制御手段２１、２３、２４、２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】機械式レートジャイロスコープの感度に各種不確実性の影響を含むことを防止する。
【解決手段】質量を基板に対して振動させる駆動力Ｆｄを発生させる第１駆動系１１４と、角速度に応じて発生したコリオリ力により生じた偏位を測定する変位センサ１１６と、コリオリ力を打ち消すフィードバック力Ｆｆを発生する横断駆動系１６６，１６８とを含む機械式センサ１０２と、第１駆動系に駆動力Ｆｄを発生させるための交流駆動を与え、フィードバック力Ｆｆを発生させる交流駆動の完全サイクルのフィードバック信号を横断駆動系に与える制御回路とを有し、第１駆動系が第１数Ｎｄのセグメントを含み、横断駆動系が第２数Ｎｆのセグメントを含み、このセグメントが、第１駆動系のセグメントと同形態で、第１駆動系セグメントに対して横断する方向に向いており、Ｆｄ／ＦｆがＮｄ／Ｎｆに比例するよう構成する。 （もっと読む）