【課題】回路面積の増加を抑えながら従来よりも低ノイズ化が可能な信号処理回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】Ｉ／Ｖ変換回路２００（電流電圧変換部）は、振動子１００の発振電流を電圧に変換する。ＲＣフィルター２２０（位相シフト部）は、Ｉ／Ｖ変換回路１００の出力信号を位相シフトする。全波整流回路２４０（駆動振幅制御部の一部）は、位相シフトされた信号を２値化して切り替え制御信号２７を生成する。コンパレーター２６０（参照信号生成部）は、Ｉ／Ｖ変換回路１００の出力信号に基づいて、同期検波用の参照信号２６を生成する。排他的論理和回路２７０（クロック信号生成部）は、参照信号２６と切り替え制御信号２７との位相差に基づいて、駆動信号２２の周波数の２倍の周波数を有するスイッチトキャパシタフィルター（ＳＣＦ）用のクロック信号２８を生成する。 （もっと読む）

【課題】 レイアウト面積、消費電力を増大させずに、検出感度、検出範囲を切り換え可能な検出回路を提供する。
【解決手段】 センサー素子からの差動入力信号２９０、２９２に基づいて前記センサー素子に印加される物理量を検出する検出回路１０であって、前記差動入力信号２９０、２９２の差分を増幅して、第１の信号１１４として出力する差動増幅回路３０と、前記第１の信号に基づく信号１１６を増幅して、第２の信号１１８として出力する非反転増幅回路５０と、前記第２の信号１１８を直流信号に変換して、前記物理量に応じた１つの出力信号２９４を生成する後段回路１４と、を含み、前記差動増幅回路３０および前記非反転増幅回路５０の少なくとも１つは入力される選択信号２１０に基づいて、増幅率を変化させる。 （もっと読む）

【課題】直線加速度の影響及び検出軸以外の他軸の角速度の影響の少なくとも一方を受けることがない物理量センサーを提供する。
【解決手段】物理量センサー１０は、基板と、基板上の空間平面に配置され、回転軸２２，３２を有した第１変位部及び第２変位部２１，３１と、基板の第１変位部及び第２変位部２１，３１の各々に対向する位置に設けられた固定電極部と、第１変位部及び第２変位部の各々の回転軸を支持する支持部４０と、バネ部６０を介して支持部４０を支持する固定部５０と、支持部４０を振動方向に振動させる駆動部７０と、を備え、第１変位部及び第２変位部は、回転軸を軸として空間平面に対して垂直方向に変位可能であり、回転軸の各々は、第１変位部又は第２変位部の重心からずれて設けられ、第１変位部２１の回転軸２２と第２変位部３１の回転軸３２とは、重心からのずれの方向が互いに反対である。 （もっと読む）

【課題】電位差によって生じる静電力の影響を抑え、Ｓ／Ｎ比の低下やセンサ感度の変動を防止できる複合センサを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る複合センサは、第１可動部および第２可動部と、これらの周辺に配置されている第１ダミー部および第２ダミー部を、積層基板の層内に形成して備えている。第１ダミー部と第２ダミー部は電気的に分離されており、第１可動部と第１ダミー部には第１電位が印加され、第２可動部と第２ダミー部には第２電位が印加される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、コリオリ力を利用した角速度センサユニットおよびその信号検出方法に関し、角速度センサユニットの検出精度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、角速度を検出する振動型のセンサ素子１およびそれを制御するＩＣ２を内蔵するパッケージとからなる角速度センサユニットにおいて、センサ素子１は駆動アーム５にドライブ電極６、モニタ電極７、センス電極８を設けるとともに、駆動アーム５を支持する支持アーム１６に設けられたモニタ電極７の配線電極１９に補正電極２０を設け、不要振動によりモニタ電極７に形成された不要信号を、同じ不要振動により補正電極２０に形成された補正信号で減衰させる構造としたのである。 （もっと読む）

【課題】差動共振を抑えることが可能な音叉振動型角速度センサの提供。
【解決手段】 Ｘ軸方向へ互いに逆相に励起振動され、所定軸周りの角速度が生じた際にＸ軸方向と直交するＹ軸方向へ互いに逆相に変位振動される２つの錘を設け、該２つの錘のＹ軸方向での変位量の差に基づいて所定軸周りの角速度を検出する音叉振動型角速度センサ１，２であって、Ｙ軸方向における２つの錘の変位の同相分に基づいて、２つの錘をＹ軸方向の同相方向にフィードバック駆動する第１フィードバック系と、Ｙ軸方向における２つの錘の変位の逆相分に基づいて、２つの錘をＹ軸方向の逆相方向にフィードバック駆動する第２フィードバック系とを備える。 （もっと読む）

【課題】光ファイバの巻付け作業を簡単にし、且つ巻付けを起因とするクロストークの発生も低減することができ、温度感度の影響を低減した光ファイバジャイロ用センシングコイルとする。
【解決手段】コイル本体１３が、同一張力及び同一送り速度で光ファイバを整列巻付けしてポッティング材料１６でカプセル化した２個のポッティングコイル１２、１２からなる。各ポッティングコイルの側端面１２ｂ、１２ｂ同士がポッティング材料１６で接着し重ね合わされて、各ポッティングコイル１２の最外層から導出される光ファイバ１４の巻き終わり部分（余長部１２ｃ）の端部同士が融着接続されることで、コイル本体１３は１つの回転方向を持つ連続した光ファイバから構成される。 （もっと読む）

【課題】多層可動コームを使用するＭＥＭＳセンサを提供すること。
【解決手段】ＭＥＭＳセンサは、基板と、第１の複数のコームを有する少なくとも１つのプルーフマスとを含み、プルーフマスは、プルーフマスおよび第１の複数のコームが移動可能であるように１つまたは複数のサスペンションビームを介して基板に結合される。ＭＥＭＳセンサは、第２の複数のコームを有する少なくとも１つの固定アンカをさらに含む。第１の複数のコームは、第２の複数のコームが交互に差し込まれている。第１の複数のコームおよび第２の複数のコームにおけるコームの各々は、１つまたは複数の非導電層によって互いに電気的に絶縁された複数の導電層を含む。周縁電界を遮断して、周縁電界に起因する感知軸に沿った第１の複数のコームの運動を低減するように、各導電層はそれぞれの電位に個々に結合される。 （もっと読む）

【課題】光学変調器を駆動するためのシステムおよび方法を提供すること。
【解決手段】一実施形態では、変調駆動回路は、平衡インピーダンス回路網であって、第１の入力から生成された第１の出力および第２の出力と、第２の入力から生成された第３の出力および第４の出力とを有し、第１の出力と第２の出力は互いに平衡し、第３の出力と第４の出力は互いに平衡する平衡インピーダンス回路網と、第１の差動増幅器であって、第１の差動増幅器の反転入力は分配回路網の第１の出力と結合し、第１の差動増幅器の非反転入力は分配回路網の第３の出力と結合する、第１の差動増幅器と、第２の差動増幅器であって、第２の差動増幅器の反転入力は分配回路網の第４の出力と結合し、第２の差動増幅器の非反転入力は分配回路網の第２の出力と結合する、第２の差動増幅器とを備える。 （もっと読む）

【課題】駆動モニタ信号の低周波成分が変動してしまったとしても、"Ｈ"区間と、"Ｌ"区間とが略等しい同期検波用のタイミング信号を生成可能な振動型ジャイロセンサ等の技術を提供すること。
【解決手段】タイミング信号出力部２４は、ローパスフィルタ２９と、コンパレータ３０と、第１の位相シフト器３１とを有する。コンパレータ３０は、ローパスフィルタ２９により取り出された駆動モニタ信号の低周波成分を閾値として、駆動モニタ信号を２値化信号に変換する。第１の位相シフト器３１は、２値化信号の位相をシフトさせて、同期検波用のタイミング信号として出力する。コンパレータ３０は、ローパスフィルタ２９により取り出された駆動モニタ信号の低周波成分を閾値として、駆動モニタ信号を２値化信号に変換するので、駆動モニタ信号の低周波成分が変動したとしても、"Ｈ"区間と、"Ｌ"区間とが略等しい２値化信号を生成することができる。 （もっと読む）

【課題】漏れ出力を抑制調整可能な振動片、それを用いたセンサーユニット、および、その製造方法、および、それらの振動片またはセンサーユニットを搭載した電子機器を提供する。
【解決手段】振動ジャイロ素子１１は、基部２１と、基部２１のＹ軸方向の両端部からそれぞれ延伸された一対の駆動用振動腕２２ａ，２２ｂ、および、一対の検出用振動腕２３ａ，２３ｂを有している。また、基部２１のＸ軸方向の両端部からそれぞれ延伸された連結部２４ａ，２４ｂ各々の先端部から、駆動用振動腕２２ａ，２２ｂと並行させて延伸された調整用振動腕１２５ａ，１２５ｂが設けられている。各調整用振動腕１２５ａ，１２５ｂの先端側には、幅広部としての錘部１２７ａ，１２７ｂを有している。各調整用振動腕１２５ａ，１２５ｂの主面には、振動ジャイロ素子１１の漏れ出力を調整するための膜体としての調整用電極１４５ａ，１４５ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 回路規模の増加を抑えつつ、高い精度の電流電圧変換を行い、低ノイズの電圧信号を出力する電流電圧変換回路等を提供する。
【解決手段】 電流電圧変換回路１０であって、電圧信号１０１Ｐ、１０１Ｎを出力するオペアンプ２０と、入力された電流信号１００Ｐ、１００ＮのＤＣオフセット電流に応じた電荷を充放電する第１のキャパシタ４０Ｐ、４０Ｎと、オペアンプのオフセット電圧に応じた電荷を充放電する第２のキャパシタ４１Ｐ、４１Ｎと、第１の期間においてオン状態となり第２の期間においてオフ状態となる第１のスイッチ３０Ｐ、３０Ｎおよび第３のスイッチ３２Ｐ、３２Ｎと、第１の期間においてオフ状態となり第２の期間においてオン状態となる第２のスイッチ３１Ｐ、３１Ｎとを含む。 （もっと読む）

【課題】小型で、Ｚ軸回りの角速度に対する感度の低下がなく、さらに他軸感度を低減した振動ジャイロを提供する。
【解決手段】互いに直交するＸ、Ｙ、Ｚの３つの軸で表される空間に配置し、ＸＹ平面に平行な平板にＺ軸方向の貫通穴を形成した検出素子１を有し、検出素子１は、Ｙ軸方向に長手方向を有する複数の屈曲アーム３ａ〜３ｄと屈曲アームを直角に連結する複数の連結部４ａ〜４ｄからなり、屈曲アームの屈曲振動を励振する駆動手段と、屈曲アームの屈曲振動を検出する検出手段とを備え、前記平板のＹ軸方向の中心線の両側にＹ軸回りおよびＺ軸回りの角速度を検出する第１振動子とＸ軸回りの角速度を検出する第２の振動子を配置し、３軸の角速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】回路面積の増大を招くことなく、加速度および角速度の検出精度の向上を図る。
【解決手段】第１検出状態では、検出容量Ｃｄ１、Ｃｄ３の固定電極が共通接続された上でオペアンプＯＰ１の反転入力端子に接続され、検出容量Ｃｄ２、Ｃｄ４の固定電極が共通接続された上でオペアンプＯＰ１の非反転入力端子に接続され、積分容量Ｃｉ１、Ｃｉ３が帰還容量として機能する。第２検出状態では、検出容量Ｃｄ１、Ｃｄ４の固定電極が共通接続された上でオペアンプＯＰ１の反転入力端子に接続され、検出容量Ｃｄ２、Ｃｄ３の固定電極が共通接続された上でオペアンプＯＰ１の非反転入力端子に接続され、積分容量Ｃｉ２、Ｃｉ４が帰還容量として機能する。検出部１４は、第１検出状態におけるチャージアンプ１３の出力信号に基づいて加速度を検出し、第２検出状態におけるチャージアンプ１３の出力信号に基づいて角速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】クロック信号の周波数と同じ周波数の外乱が発生した場合でも被測定対象の変位の検出が可能な検出装置、カメラ及び電子機器を提供する。
【解決手段】検出装置３３１は、第１〜３のクロック信号を出力するＣＬＫ発生器１０１と、変位を検出して、検出した変位の位相と第１のクロック信号の位相との差を示す位相差信号を出力するセンサ１０３と、センサ１０３から出力された位相差信号と、第２のクロック信号とを混合するミキサ部１０６と、ミキサ部１０６から出力された信号が入力されるバンドパスフィルタ１０７と、バンドパスフィルタ１０７から出力された信号を、第３のクロック信号の周波数に基づいてサンプリングしてディジタル信号に変換するアナログ／ディジタル変換部（ＡＤＣ１０９）と、第２のクロック信号のスペクトルを拡散させてミキサ部１０６に入力させるスペクトラム拡散部（ＳＳＣＧ１０４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】所望の共振モードおよび一貫して低い直角位相誤差を維持する、直角位相低減バネを有するＭＥＭＳジャイロを提供する。
【解決手段】曲線および直線区画、共通半径に対するバネ要素固定点の配向、特定の軸に対するバネ要素セグメントの配向、該共通半径に対するバネ要素の長さのバランス、および該共通半径に対する質量バランスを有するバネ要素を、望ましくない面外運動を軽減するために使用することができる。該バネセットは、面運動を提供し、同時に、望ましくない面外運動を低減し、ＭＥＭＳデバイスを、該バネ要素のプロセス誘発エッチング角度ばらつきに対し実質的に鈍感にする。 （もっと読む）

【課題】感度及びノイズ除去性能に優れた圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】本発明による圧電振動型ヨーレートセンサ装置は、駆動腕と検出腕とを備えた圧電振動型ヨーレートセンサであって、検出腕における検出感度スペクトルは、駆動腕と検出腕とが逆位相で振動する第１検出用振動モードにおける第１共振周波数をピーク周波数とする第１ピーク、及び、駆動腕と検出腕とが同位相で振動する第２検出用振動モードにおける第２共振周波数をピーク周波数とする第２ピークを有しており、検出感度スペクトルにおいては、第１共振周波数及び第２共振周波数のうちのいずれか小さい一方の共振周波数よりもΔｆ高い周波数での検出感度が、一方の共振周波数よりもΔｆ低い周波数での検出感度よりも大きく、且つ、第１共振周波数及び第２共振周波数のうちのいずれか大きい他方の共振周波数よりもΔｆ低い周波数での検出感度が、他方の共振周波数よりもΔｆ高い周波数での検出感度よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】センサ検出結果を送信するための通信負荷を軽減するとともに、センサ検出結果を受信する受信装置の処理負荷を軽減することのできる、物理量検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る物理量検出装置は、センサが正常に稼動していない場合にはセンサの検出結果を送信せずにその診断結果を送信する。 （もっと読む）

【課題】 回路規模の増加を抑えつつ不要信号をキャンセルし、出力信号の低ノイズ化を実現する。
【解決手段】 センサー素子からの差動入力信号２９０、２９２に基づいてセンサー素子に印加される物理量を検出する検出回路１０。差動入力信号の差分を増幅して第１の信号として出力する差動増幅回路３０と、第１の信号の高周波成分を透過させて第２の信号として出力するハイパスフィルター４０と、第２の信号を増幅して第３の信号として出力するＡＣアンプ５０と、を含み、ハイパスフィルターは、第１の信号が入力される第１の端子と、第２の信号を出力する第２の端子とを備えるキャパシタと、第２の端子と接続される第３の端子と、キャンセル信号が入力される第４の端子とを備える抵抗器と、を含み、キャンセル信号を９０度位相シフトして第１の信号と合成し、差動入力信号に含まれている不要信号の少なくとも一部を相殺する。 （もっと読む）

【課題】所望の信号伝達関数でより一層の出力雑音成分を低減できるスイッチトキャパシター回路、フィルター回路、物理量測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】スイッチと、複数のサンプリング容量と、積分容量とを含んで構成されるスイッチトキャパシター積分回路１０は、電荷充電期間Ｔ１の入力信号に対応した電荷をサンプリング容量の少なくとも１つに充電する。スイッチトキャパシター積分回路１０は、電荷転送期間Ｔ２において、該電荷を積分容量に転送することで、該電荷に対応した信号を伝搬遅延させる。スイッチトキャパシター積分回路１０は、例えばスイッチにより複数のサンプリング容量の接続を切り換えることにより、電荷充電期間Ｔ１にて決定される信号伝達関数と、電荷転送期間Ｔ２にて決定される雑音伝達関数とを異ならせる。 （もっと読む）