【課題】振動ジャイロ素子の角速度検出感度を維持し、かつ支持強度を確保し小型化を可能にする振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサを提供する。
【解決手段】基部１０と、基部１０から直線状に両側へ延出された１対の検出用振動腕１１ａ，１１ｂと、基部１０から両側へ検出用振動腕１１ａ，１１ｂに直交する方向に延出された１対の連結腕１３ａ，１３ｂと、各連結腕の先端部からそれと直交して両側へ延出された各１対の駆動用振動腕１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂと、基部１０から各検出用腕に沿って延出される２対の梁２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂと、同方向に延出された各梁が連結された１対の支持部２２ａ，２２ｂと、を同一平面に備え、支持部２２ａ，２２ｂを検出用振動腕の延出する方向であって検出用振動腕の外側かつ前記駆動用振動腕の間に配置する。 （もっと読む）

【解決手段】光ファイバフィルタを提供する。第１の端面及び反対側の第２の端面を有する光ファイバを含み、第１の端面と第２の端面はファイバ長を規定する。第１の端面及び第２の端面は反射性コーティング材でコーティングされる。レーザから放射された光ビームが第１の端面又は第２の端面のうちの１つに結合されると、反対側の端面から出力される光ビームは狭窄な線幅と低い周波数雑音ゆらぎを有する。
【効果】本光ファイバフィルタは、極めて高いフィネス、狭窄な線幅、及び低コストであり、各レーザの残留した位相雑音、即ちサーボ帯域幅よりも高い周波数における位相ゆらぎを低減する。高性能な回転計測に要求される極めて狭窄な帯域幅、小さいサイズ、高パワーの取り扱い能力、低スプリアスの背景反射、製造容易性、調整容易性、及び低コストに対する潜在能力を持つ。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、モジュールの位置決めを簡単かつ正確に行うことができる保持部材、モジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】保持部材７は、モジュール１の保持の位置を決めるアライメント部７４１〜７４４を有し、アライメント部７４１〜７４４は、モジュール１を固定する載置面７４１ａ〜７４４ａを有している。保持部材７の中心に対し平面視で互いに直交する第１軸Ｊ１および第２軸Ｊ２により、保持部材７を第１〜第４の領域Ｓ１〜Ｓ４に区分けしたときに、アライメント部７４１〜７４４は、領域Ｓ１〜Ｓ４にそれぞれ１つずつ設けられている。 （もっと読む）

【課題】振動回転レートセンサー及びその動作方法を提供する。
【解決手段】復元素子と結合され及び共振逆位相運動で駆動される２つの振動体を有する２軸回転レートセンサーを有し、前記２つの振動体は、等しくしかし単一の軸に沿って逆の振幅を有し振動する。振動構造はまた、振動軸と直交する平面内の振動体の運動を有する。この平面内の２軸での振動体の運動の測定は、２つの直交軸の周りのセンサーの回転に直接応答する信号を提供する。測定及び駆動は、磁性体の利用及び電磁気駆動及び検知トランスデューサーにより実現される。 （もっと読む）

【課題】レーザから出力される光学ビームを、狭いライン幅および低い周波数ノイズ揺らぎとするための中空コア光ファイバフィルタを提供する。
【解決手段】中空コア光ファイバフィルタ１００は、第１端部面１１２および反対側の第２端部面１１４を備える中空コア光ファイバ１１０を含む。また、中空コア光ファイバフィルタ１００は、第１端部面１１２に位置決めされる第１反射端部キャップ４０と、第２端部面１１４に位置決めされる第２反射端部キャップ４１と、を含む。 （もっと読む）

【課題】長尺体の直線度の調整を考慮した調整装置を提供すること。
【解決手段】長尺体（１５）の直線度を調整する調整装置（１８）は、第１の所定の方向（Ｘ）に長尺であり、ベース部（５１）に対して取り付けられた長尺体（１５）と、該長尺体にガイドされて移動する移動体（１４）と、該移動体に設けられた角速度センサー（３４）と、該角速度センサーが前記移動体と共に移動した際の該角速度センサーの姿勢の変化の情報と前記長尺体における移動中の前記角速度センサーの位置との関係を、関連づけして情報処理する情報処理部３９と、前記長尺体に対して前記第１の所定の方向と交差する方向に力を作用させて該長尺体の直線度を調整可能な調整手段（４１）と、前記調整手段により調整された後に、再度前記移動体が移動した際の前記関係についての前記情報処理された結果を、前記調整手段を操作する操作者に対して、知らせる通知手段（１９）と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ジャイロメータは、基板と、基板の上に懸架された慣性質量部（２）であって、励振部（６）および検出部（８）を含む慣性質量部（２）と、前記慣性質量部（２）の平面内に含まれる、励振部（６）を少なくとも１つの方向（Ｘ）に移動させる手段と、前記質量部の平面の外側での前記検出部（８）の移動を検出する静電容量検出手段とを含む。
【解決手段】前記静電容量検出手段は、前記検出部（８、１０８）と共に可変コンデンサを形成するように、基板に面して位置する検出部（８）の上に配置された、少なくとも１つの懸架電極（１６）を含み、前記電極（１６）は、慣性質量部（２）を貫通する少なくとも１つの柱状体（２２）によって、前記検出部（８）の上に保持される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検出素子を基板や筐体等に接着剤を用いて実装、固定する場合に、この接着剤を所定の位置に規制でき、角速度や加速度等の物理量を安定して検出できる物理量センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の物理量センサは、角速度検出素子の固定部２２ａ、２２ｂと外側梁部２３ａ、２３ｂの接続部分に金属バンプ７２を設けることにより、アンダーフィル剤等の接着剤流れを抑制したものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、支持部に接続された振動片の上面に下部電極、圧電体層、上部電極を設け、上部電極と下部電極との間に制御電圧を印加することで振動片を側方に振動させる振動子に関し、振動子の生産性を高めることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために本発明は、支持部１６と、支持部１６に接続された振動片１７と、振動片１７の上面に設けられた下部電極２１と、下部電極２１上に設けられるとともに外周端が下部電極２１の外周端より内側となる圧電体層２２と、圧電体層２２上に設けられるとともに外周端が圧電体層２２の外周端より内側となる上部電極２０を有する振動子１２において、圧電体層２２を振動片１７の振動方向に偏倚させることで振動片１７の振動方向を調節する構成とした。 （もっと読む）

【課題】長尺体の直線度を容易に測定することを考慮した方法を提供すること。
【解決手段】長尺体の直線度を測定する測定方法は、角速度センサーが取り付けられた移動体を、長尺体にガイドされながら移動させる移動工程（Ｓ２）と、前記移動体が移動した際の前記角速度センサーの姿勢の変化の情報を前記角速度センサーが取得する取得工程（Ｓ３）と、前記角速度センサーの姿勢の変化の情報と前記長尺体における移動中の前記角速度センサーの位置との関係を、情報処理部が関連づけして情報処理する情報処理工程（Ｓ４）と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＰＺＴ膜からのＰｂ拡散を抑制し、圧電特性を安定化した圧電薄膜構造および当該圧電薄膜構造を適用し、振動ノイズによる影響を低減できる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】基板４０上に配置された酸化シリコン膜４１と、酸化シリコン膜４１上に配置された第１の酸化アルミニウム膜４８と、第１の酸化アルミニウム膜４８上に配置された下部電極層３０１と、下部電極層３０１上に配置された圧電体膜層３０２と、圧電体膜層３０２上に配置された上部電極層３０３とを備える圧電薄膜構造、および振動アーム及び検出アームに、この圧電薄膜構造を有する角速度検出装置。 （もっと読む）

【課題】振動型ジャイロスコープにおいて、励振レベルを定める参照電圧の誤差や外来振動の影響を受けにくくして精度の向上を図る。
【解決手段】同期検波回路７２は、センサ素子の検出信号に基づく信号Ｘ、駆動回路からの発振信号Ｙ、及び参照電圧生成回路からの参照電圧Ｖrefを入力される。Ｖ／Ｉ変換回路１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃはそれぞれ信号Ｘ，Ｙ，Ｖrefを入力され、それら電圧信号Ｘ，Ｙ，Ｖrefを電流信号Ｉx，Ｉy，Ｉrefに変換してトランスリニア回路１１２へ入力する。トランスリニア回路１１２は（Ｉx・Ｉy／Ｉref）を演算することにより信号Ｘに対する同期検波を行い、演算結果の電流信号Ｉoutを出力する。当該Ｉoutに基づいて検波出力を得て、角速度信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】逆相駆動変位する駆動質量体、及び逆相変位で検出する検出質量体のそれぞれの共振周波数を一意に定めることができ、かつ検出質量体が駆動振動により駆動変位相当の変位を伴わないようにした容量検出型の振動型ジャイロの提供。
【解決手段】左右の駆動質量体４及び６がそれぞれ、Ｘ方向に可動となるように、Ｘ方向の剛性が他方向の剛性に比べ低くなるように構成された少なくとも１つの第１の支持梁８及び１０の一端に接続され支持されている。左右の駆動質量体４及び６は、第１の連結ばね１２により互いに結合されている。連結ばね１２は、少なくともＸ方向及びＹ方向についてその剛性が調整されており、Ｘ方向の剛性は左右の駆動質量体４及び６が逆相振動モードを有し、Ｙ方向の剛性は連結ばね２６と協働して左右の検出質量体１４及び１６が逆相振動モードを有するように調整されている。 （もっと読む）

【課題】対称回路の評価を適正に行うことができるとともに小型化が容易な慣性センサーを提供すること。
【解決手段】ジャイロセンサー１（慣性センサーの一例）は、信号処理ＩＣ１０とセンサー素子２０を含む。信号処理ＩＣの半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向して設けられた複数の再配置配線３０の少なくとも１つは、半導体基板に形成された電極とセンサー素子に形成された電極を電気的に接続する。半導体基板の第１の面には、対称性を有する第１，第２の信号をそれぞれ生成するＱＶアンプ１１０，１２０（第１，第２の回路の一例）、配線１１２，１２２（第１，第２の配線の一例）、配線１１２，１２２を介して第１，第２の信号がそれぞれ供給されるパッド７０−１（第１の電極の一例），７０−ｎ（第２の電極の一例）がさらに形成され、半導体基板の第１の面に直交する方向から視た平面視において、配線１１２の形状と配線１２２の形状が対称性を有する。 （もっと読む）

【課題】単一の機械的な共振構造で構成できる、２軸ヨーレート検知ユニットを提供する。
【解決手段】反対に位置する２つの対を成して同一平面上に配置される４つの開放端音叉Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３、Ｆ４を含み、第１の対の開放端音叉は第１の軸に沿って互いに反対の位置に配置され、第２の対の開放端音叉は第２の軸に沿って互いに反対の位置に配置され、第１の軸及び第２の軸は互いに対して垂直である。４つの開放端音叉は、４つの開放端音叉が全て周波数及び位相に関して同じように振動するように、機械的に互いに結合される。 （もっと読む）

【課題】ＱＶアンプの特性変動を低減させるとともに小型化が容易な慣性センサーを提供すること。
【解決手段】ジャイロセンサー１（慣性センサーの一例）は、信号処理ＩＣ１０とセンサー素子２０を含む。信号処理ＩＣ１０は、半導体基板１１の第１の面１１Ａに集積回路と電極とが形成されている。センサー素子２０は、振動部を有し、半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向する面に電極が形成されている。半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向して１又は複数の再配置配線３０が設けられ、再配置配線３０の少なくとも１つは、半導体基板１１に形成された電極とセンサー素子２０に形成された電極を電気的に接続する。ＱＶアンプ１１０，１２０は、センサー素子２０の検出信号が入力され、半導体基板１１の第１の面１１Ａに直交する方向から視た平面視において、センサー素子２０の振動部と重ならないように配置されている。 （もっと読む）

【課題】 回路の大規模化を抑えながらオフセット調整を実現できる検出装置等の提供。
【解決手段】 検出装置は駆動回路と検出回路を含み、検出回路は、振動子からの出力信号を増幅する増幅回路を含む。増幅回路は、出力信号に対応する差動信号の差動増幅を行う差動増幅回路７６と、差動増幅回路７６が有する少なくとも１つの抵抗の抵抗値を可変に制御することで、オフセット調整を行うオフセット調整回路７８を含む。差動増幅回路７６は、第１〜第４の抵抗ＲＢ１〜ＲＢ４とオペアンプＯＰＢを含む。オフセット調整回路７８は、第１、第３の抵抗ＲＢ１、ＲＢ３の少なくとも一方の抵抗値を可変に制御することにより、差動信号を構成する第１、第２の信号にそれぞれ重畳される第１、第２の不要信号の少なくとも一方を増幅して、オフセット調整を行う。 （もっと読む）

【課題】高線形性信号処理増幅器を提供する。
【解決手段】クランプポイント能動回路が提供される。クランプポイント能動回路は、少なくとも２つのレベル間で遷移する装置から出力を受信するように構成されたレート増幅器を含む。クランプポイント能動回路は、レート増幅器から出力を受信するように構成された少なくとも１つのスイッチ素子を有する。少なくとも１つのスイッチ素子は、レート増幅器の少なくとも１つのそれぞれのフィードバックループにある。少なくとも１つのスイッチ素子のスイッチングは、レート増幅器に、所望の動作範囲で高い線形性をもって増幅させ、所望の動作範囲の外にある遷移装置から受信された出力を一定レベルに固定させる。 （もっと読む）

【課題】従来よりも低ノイズ化が可能な検出回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】同期検波回路３２６（同期検波部）は、振動子１００の検出信号３２，３４を含む信号（アンプ３２４の出力信号）に対して同期検波を行う。スイッチトキャパシタフィルター（ＳＣＦ）回路３３０は、同期検波回路３２６により同期検波された信号（可変ゲインアンプ３２８の出力信号）をフィルター処理する。出力バッファ３３２は、ＳＣＦ回路３３０によりフィルター処理された信号をバッファリングして外部に出力する。ＳＣＦ回路３３０ゲインは１よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】回路面積の増加を抑えながら従来よりも低ノイズ化が可能な信号処理回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】Ｉ／Ｖ変換回路２００（電流電圧変換部）は、振動子１００の発振電流を電圧に変換する。ＲＣフィルター２２０（位相シフト部）は、Ｉ／Ｖ変換回路１００の出力信号を位相シフトする。全波整流回路２４０（駆動振幅制御部の一部）は、位相シフトされた信号を２値化して切り替え制御信号２７を生成する。コンパレーター２６０（参照信号生成部）は、Ｉ／Ｖ変換回路１００の出力信号に基づいて、同期検波用の参照信号２６を生成する。排他的論理和回路２７０（クロック信号生成部）は、参照信号２６と切り替え制御信号２７との位相差に基づいて、駆動信号２２の周波数の２倍の周波数を有するスイッチトキャパシタフィルター（ＳＣＦ）用のクロック信号２８を生成する。 （もっと読む）