本発明は、基板上に作られた共振マイクロジャイロスコープの連結構造（５）に関し、連結構造は、励起手段（３，４）によって与えられた振動運動が第１軸に沿って検出されることを可能にし、かつ第１軸を含む平面に載置された振動質量体（１，２）に伝達されることを可能にする。連結構造は、振動質量体にのみ固定されるような、振動質量体に接続されたビーム（５）の閉じた組立体を含み、励起手段によって与えられた振動運動を検出するように、かつ前記平面に収容される少なくとも第２軸に沿って振動質量体（１，２）に伝達するように組立体は配置され、連結構造は、固定点を有しない。
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【課題】偏光解消ジャイロのＡＲＷ性能を向上させるための、効果的な相対強度雑音（ＲＩＮ）除去システム及び方法を提供する。
【解決手段】光がデポラライザ２４０及びコイルを通過した後であるが、カウンタ伝搬光波と結合する前に、検知ループ２５０においてＲＩＮ検出器光２７０をタップする。ＲＩＮ検出器が速度検出器のスペクトルと実質的に同一のスペクトルをもつ光波を受信し、より効果的なＲＩＮ除去をもたらすように、タップされたＲＩＮ光波は、ＩＯＣの通過軸と同じ方向に配向された通過軸を用いて偏光される。 （もっと読む）

【課題】光ファイバセンサ、光ファイバセンサを構成する方法、および光ファイバセンサを使用する方法が提供される。
【解決手段】光ファイバセンサは、ある長さを有する光ファイバコイルと、コイルに光結合されたレーザ源とを含む。レーザ源は、あるコヒーレンス長を有する。レーザ源からの光は、コイルに沿って第１の方向に伝播する第１の信号、およびコイルに沿って第１の方向と反対の第２の方向に伝播する第２の信号としてコイルに伝達される。第１の信号および第２の信号の光路は互いにほぼ可逆的であり、第１の信号および第２の信号は、コイルを通って伝播した後で互いに合成され、第３の信号を生成する。コヒーレンス長は、１メートルより大きいか、または２００ミクロン〜１０センチメートルの範囲である。 （もっと読む）

【課題】検出回路において電源電圧の制限を受けずに検波前利得を高め、検出信号の波形歪みの発生を避ける。
【解決手段】振動子を振動させ、この振動子に印加された角速度を検出する振動型ジャイロセンサにおいて、振動子の検出電極で検出される検出信号から角速度信号を生成する検出回路２０を備える。検出回路は、電源電圧に依存する信号処理を電流モードで行い、信号処理を電圧モードに代えて電流モードで行うことによって電源電圧による影響を避け、検波前利得を高めて、出力信号の雑音を低下させてＳ／Ｎ比を向上させ、検出回路の信号処理において電源電圧の制限による検出信号の波形歪みの発生を避ける。 （もっと読む）

【課題】寄生容量によるクロストークノイズを除去可能な振動子の駆動回路において、角速度出力の検出感度を向上させること。
【解決手段】駆動回路１２０は、振動子４１２の共振周波数とほぼ同一の周波数ｆｒの交流電圧である変調波を発生する変調波発生回路１２１と、振動子４１２の共振周波数よりも高い周波数ｆｃの交流電圧である搬送波を発生する搬送波発生回路１２２と、搬送波を変調波により振幅変調して、駆動用固定電極４１６に駆動信号を出力する振幅変調回路１２３と、搬送波の直流電圧を調整して、振動子４１２に、調整された搬送波を出力する直流電圧調整回路１２４とを備える。駆動回路１２０の搬送波発生回路１２２の出力信号が、直流電圧調整回路１２４を通り、固定部４１３を通じて振動子４１２へ印加される。駆動用固定電極４１６に加えられる駆動信号Vkが図２(a)に示されており、振動子４１２に印加される電圧Vmassが図２(ｂ)に示されるものである。 （もっと読む）

【課題】表面層の一部が２軸(ｘ,ｚ軸)に変位する装置においてｘ軸方向の変位がｚ軸方向の変位に影響しづらい構造を提供する。
【解決手段】表面層は、中間層を介して基板に固定されている固定範囲１４１〜１４４と、基板から遊離している遊離範囲を備えている。遊離範囲は、第１ばね範囲１３１〜１３４と、第１可動範囲１５１,１５２と、第２ばね範囲１２１〜１２４と、第２可動範囲１１０を備えている。第１ばね範囲では、ｚ軸方向のばね係数がｘ，ｙ軸方向のばね係数よりも低く、第２ばね範囲では、ｘ軸方向のばね係数がｙ，ｚ軸方向のばね係数よりも低い。固定範囲と第１ばね範囲と第２ばね範囲が、第１可動範囲の図心位置を通るｘ,ｙ軸に対して対称な位置に配置されている。第１可動範囲は、第２可動範囲のｘ軸方向の変位の影響を受けず、ｚ方向にのみ変位する。 （もっと読む）

【課題】回転検知のために行われる変調による歪みを低減する。
【解決手段】共振型光ファイバ・ジャイロスコープ２００は、時計回り（ＣＷ）及び反時計回り（ＣＣＷ）系統それぞれに、エラー制御回路２１０、２２０を備え、これらエラー制御回路のＡＭＳＨＧ部は、ＣＷ及びＣＣＷ変調生成器２０、３０によって生成された共振追尾変調信号の第２高調波での変調信号と共振追尾変調と調和関係にない周波数で変調された振幅を出力する。これらの出力信号は、ＣＷ及びＣＣＷ変調生成器２０、３０で生成された信号と共に、ＭＣ部の利得素子によって増幅され、かつＣＷ及びＣＣＷ光検出器１８、２８からの信号と器２６、３６によって加算される。これら加算機の出力により、ＣＷ及びＣＣＷレーザ周波数制御部３８、４０が制御され、これにより歪みを低減する。 （もっと読む）

デバイス１１０は、駆動ノード３４，３６および感知ノード４２，４４を有する感知素子２６を備えている。駆動ノード３４および感知ノード４２との間には寄生容量２２が存在する。同様に、駆動ノード３６と感知ノード４４との間には寄生容量２４が存在する。駆動信号５６が駆動ノード３４、３６との間に印加されると、駆動ノード３４と感知ノード４２との間の寄生電流７０および駆動ノード３６と感知ノード４４との間の寄生電流７２が寄生容量２２，２４のおかげで生成される。容量性ネットワーク１１２を介して寄生電流７０を打ち消す補正電流１３４を生成するために、駆動ノード３６と感知ノード４２との間に容量ネットワーク１１２が接続される。同様に、容量性ネットワーク１１２を介して寄生電流７２を打ち消す補正電流１３８を生成するために、駆動ノード３４と感知ノード４４との間に容量性ネットワーク１１４が接続される。
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【課題】振動ノイズによる影響を低減できる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】空洞５０を有する基板４０と、対向する互いの端部を連結されて空洞５０内で並列に配置され、長軸方向に直交する方向であって基板４０の厚さ方向と垂直な駆動振動方向に沿って互いに逆方向に振動する一対の振動アーム１１、１２と、一対の振動アーム１１、１２の連結部分にそれぞれの一方の端部が接続し、他方の端部が基板４０の空洞５０を囲む周辺部に固定された２本の検出アーム２１、２２と、長軸方向に沿った振動アーム１１、１２の振動によって生じる検出アーム２１、２２の形状の歪みを検知して、振動アーム１１、１２に加わった角速度を検出する検出回路６００とを備える。 （もっと読む）

【課題】光ファイバージャイロスコープ（ＦＯＧ）のための環境変動に強いファイバーデポラライザを提供する。
【解決手段】デポラライザは、実質的に、時計回りの伝播レッグ３２と反時計回りの伝播レッグ３４とを含み、ジャイロスコープの検出コイル３６の端部のところで離れて連結される。ファイバーデポラライザは、セグメント結合された高複屈折フォトニック結晶ファイバーから形成される。ファイバーデポラライザは、ＦＯＧ２０におけるシュッペ効果を低減し、および／または、ＦＯＧの光学回路におけるいずれの位置でも光を脱偏光させる。シュッペ効果を低減するデポラライザは、ＦＯＧ検出コイルから離れてパッケージでき、またはＦＯＧ検出コイルの外径上に対称なパターンで巻くことができる。 （もっと読む）

【課題】加速度ノイズを低減し、感度のよい振動ジャイロを実現する。
【解決手段】弾性固定要素８ａ’により基板に固定され、平面内ｘｙで駆動運動されるように設計された駆動質量３と、駆動運動中の駆動質量３に固定されるように且つ角速度に応答してそれぞれの検出運動を行うように、駆動質量３の内部に懸垂支持され、それぞれの弾性支持要素１８により駆動質量３に結合された第１の感知質量１５ａおよび第２の感知質量１５ｂと備える集積微小電気機械構造３０である。特に、第１の感知質量１５ａおよび第２の感知質量１５ｂは、それらの振動モードを結合するように弾性結合要素３２ａ，３２ｂにより互いに結合されている。 （もっと読む）

【課題】最適な信号利得と雑音除去との制御法を提供する。
【解決手段】共振器光ファーバージャイロスコープは、光信号を発生させるよう配列された第1光源１２、１４を含む。共振器素子１６は、光信号に基づき光学信号を発生させるよう配列されている。光検出器１８、２８は、光学信号に基づき第１電気信号を発生させるよう配列されている。第1電気信号は、周波信号、直流（DC）信号、周波信号の偶数倍音での成分を含む偶数倍音信号、および周波信号の奇数倍音での成分を含む奇数倍音信号を含む。フィルタリング素子２１０、２２０は、第2電気信号を発生させるため、DC信号、少なくとも1つの偶数倍音成分、および1つの奇数倍音成分を減衰させるよう配列されている。増幅器２３０、２４０は第２電気信号を増幅させるよう配列されている。アナログ-デジタルコンバーター（ADC）３６は、増幅された第2電気信号をデジタル化するよう配列されている。 （もっと読む）

【課題】 ２軸周りの角速度を高精度かつ高感度に検出する。
【解決手段】 基板２の表面には、駆動質量部４〜７を基板２から離間して設ける。駆動質量部４〜７は中心点Ｏに対して点対称な位置に配置する。駆動質量部４〜７は連結梁８を用いて互いに連結すると共に、連結梁８には検出部１３〜１６を接続する。検出部１３〜１６は、２軸方向に捩れ変形する検出梁１７〜２０を用いて基板２上の支持部３に支持される。そして、周方向で隣合う駆動質量部４〜７は、振動発生部９〜１２によって互いに逆位相で振動する。この状態で、角速度Ω1，Ω2が加わると、検出部１３〜１６は、Ｘ軸、Ｙ軸を中心として基板２の厚さ方向に変位して振動する。変位検出部２１〜２４は、検出部１３〜１６の厚さ方向の変位を検出する。 （もっと読む）

【課題】共振器光学ジャイロスコープ内の強度変調により引き起こされる回転速度の測定誤差を低減させるシステムおよび方法を提供すること。
【解決手段】この方法は、強度変調された光ビームを取り出すステップと、取り出した光ビームの一部分を光検出器の方へ誘導するステップと、光ビームの振幅変動に比例する信号を光検出器から出力するステップと、この信号を増幅させるステップと、この信号を強度変調器に制御入力として提供するステップとを含む。強度変調により引き起こされる誤差は、フィードバックループの利得に比例する量だけ低減される。 （もっと読む）

【課題】小型でＳ／Ｎ比のよい振動ジャイロを提供する。
【解決手段】振動ジャイロは、リング状振動体１１と、リング状振動体１１を柔軟に支持するレッグ部１５と、上層金属膜及び下層金属膜により圧電体膜を厚み方向に挟む複数の電極１３ａ〜１３ｄ及び固定電位電極１６とを備えている。複数の電極１３ａ〜１３ｄは、ｃｏｓＮθの振動モードでリング状振動体１１の一次振動を励起する、駆動電極１３ａと、駆動電極１３ａから（９０／Ｎ）°離れた角度に配置され、かつリング状振動体１１に角速度が与えられたときに発生する二次振動を検出する検出電極１３ｂと、駆動電極１３ａから（９０／Ｎ）°離れた角度あるいは検出電極１３ｂから（１８０／Ｎ）°離れた角度に配置され、検出電極１３ｂからの電圧信号に基づいてその二次振動を抑制する抑制電極１３ｄとを含み、電極１３ａ、１３ｂ、１３ｄは、リング状振動体１１の外周及び／又は内周に配置されている。 （もっと読む）

【課題】共振器光ファイバジャイロスコープにおいてスプリアスな２重反射経路から生じる誤差を削減する。
【解決手段】共振器光ファイバジャイロスコープの回転検知誤差を削減するためのシステム及び方法を提供する。一例の方法は、光ファイバと、この光ファイバの第１の端部を出る光波を後方の光ファイバの反対端部へ方向付けるための複数の光学表面とを有する共振器に１次光波を伝搬させる。光ファイバは、圧電トランスデューサ（ＰＺＴ）チューブに巻き付けられている。正弦波電圧がＰＺＴチューブに印加されて、光ファイバ内のファイバキャビティの長さが調節される。ファイバキャビティ長変調の振幅と周波数は、１次光波と２重後方反射光波との間の相対位相変調であって、２重後方散乱に起因する回転検知誤差が対象周波数帯域を超える周波数になるような相対位相変調、を生み出すように選択される。これによって、関連した誤差を回転速度信号からフィルタリングすることが可能になる。 （もっと読む）

本発明は、角速度を測定するために使用される測定装置に関するものであり、特に、角速度の振動微細機械センサに関するものである。本発明の角速度のセンサは、少なくとも２つの振動質量構造（１）（２）、励起構造（３）（４）および、連結シーソータイプのバネ（６）（７）を含む。本発明の目的は、特に小さな角速度の振動微細機械センサの解決法において、良好な効率で信頼性が高い測定を可能にする改良されたセンサ構造物を提供することである。 （もっと読む）

本発明は、バネ構造が少なくとも質量に連結した第１のバーと動作軸方向において延長している第２のバーとを連結するバネを含み、前記バネが動作軸の動作方向に対して垂直方向に屈曲するように配置されたバネ構造によって共通の軸の方向に連結される２つの質量を含む微小機械共振器を示す。本発明は、微小機械共振器マトリクス、センサおよびナビゲ−ション装置にも関連するものである。 （もっと読む）

【課題】微小な静電容量の変化を検出可能で、静電気力による共振周波数の調整機能を追加可能で、加振回路からの影響を低減できる高感度且つＳＮ比の高い容量式センサを提供する。
【解決手段】物理量の変化に応じて静電容量が変化する物理量検出素子と、前記物理量検出素子に交流信号を印加する交流信号発生手段と、前記物理量検出素子に前記交流信号発生手段により充放電される電荷に応じた交流電圧を発生させる容量検出器と、前記容量検出器の発生させる交流電圧の振幅に応じたΔΣ変調信号列を発生させるΔΣ変調器とを構成することで達成される。 （もっと読む）

【課題】一つの慣性力センサで複数の軸方向の角速度の検出を外部からの衝撃、振動による誤検出を防止しながら行うことを目的としている。
【解決手段】錘部７と、可撓性を有し錘部７を支持し同一平面内に形成された第１アーム２、第２アーム３とからなる連結部と、連結部を介して錘部７を保持する枠体６と、少なくとも異なる２方向を回転軸とする角速度を検出するための感知電極１０とを備えた慣性力検出素子１と、可撓性を有し慣性力検出素子１を支持する板状の支持体１２と、支持体１２を介して慣性力検出素子１を保持する収納体１１を備え、支持体１２は厚み方向の曲げ部１３を有するものである。 （もっと読む）