【課題】低駆動電圧化を図りつつ、物理量（例えば速度、加速度等）を高精度に検出することができる物理量センサー素子片、物理量センサー素子および物理量センサーを提供すること。
【解決手段】物理量センサー素子片２は、電圧の印加により捩り振動する４つの駆動用振動腕２２、２３と、駆動用振動腕２２、２３とは別体として設けられ、駆動用振動腕２２、２３が屈曲振動したときにその屈曲振動に伴って屈曲振動し、その屈曲振動の状態に応じた電荷を生じさせる２つの検出用振動腕１００とを有し、検出用振動腕１００で生じた電荷に基づいて、所定の物理量を検出し得る。 （もっと読む）

【課題】センサを密封する、MEMSセンサ・パッケージを提供する。
【解決手段】MEMSセンサ・パッケージは、MEMSセンサと、第1のリーク・レートでガスリークに浸透するセンサボディと、埋め戻し圧力までセンサボディに加圧する埋め戻しガスと、を有し、埋め戻し圧力は、MEMSセンサの減衰を提供し、埋め戻し圧力は、ガスリークのためのセンサボディ内の圧力の増加が、MEMSセンサ・パッケージに関する少なくとも特定の設計サービス寿命に関する所定の範囲を越えて、MEMSセンサのQ値の偏差に生じさせないようにセットされる。 （もっと読む）

【課題】複数の検出軸まわりの回転の角速度を検出することが可能な振動片、それを用い
た角速度センサー、およびそれを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】第１基部６Ａと、第１基部６Ａの第１軸方向の両端部から略同じ長さで延出
された第１駆動アーム２Ａおよび第２駆動アーム３Ａと、第１基部６Ａの第１軸方向と直
交する第２軸方向の一方の端部から延出された第１検出アーム４Ａと、第１基部６Ａの第
１検出アーム４Ａが延出された一端部とは反対側の他端部から延出された接続部５と、接
続部５に一端部が接続された第２基部６Ｂと、第２基部６Ｂの接続部５と接続された一端
部とは反対側の他端部から第１検出アーム４Ａと略同じ長さで延出された第２検出アーム
４Ｂと、第２基部６Ｂの第１軸方向の両端部から第１および第２駆動アーム２Ａ，３Ａと
略同じ長さで延出された一対の第３および第４駆動アーム２Ｂ，３Ｂと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】振動型ジャイロスコープのノイズ信号のノイズレベルを低減する。
【解決手段】振動子２が、一対の主面と側面と振動子の周縁から突出する突出部２４とを備えている。振動型ジャイロスコープが、振動子の少なくとも側面上に形成されている駆動電極１１Ｊ−１１Ｑ、振動子の少なくとも側面上に形成されている検出電極１４Ｅ−１４Ｈ、側面上に形成されており、駆動電極に接続されている第一の導電膜１８、２０、および側面上に形成されており、検出電極に接続されている第二の導電膜１９、２１を備えている。突出部２４において、第一の導電膜１８、２０と第二の導電膜１９、２１とが絶縁されている。 （もっと読む）

【課題】固定部と該固定部の外径側を囲むように配設された錘とを複数の梁で連結してなる振動体を備えたセンサ素子を例えばＳＯＩウェハを用いたＳｉウェハ一括プロセス処理で形成できるようにした振動体型力学量センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】振動体１１を備えたセンサ素子よりなる振動体型力学量センサにおいて、前記センサ素子は半導体部材から形成されたものであるとともに、振動体１１は固定部１２と固定部１２の外径側を囲むように配設された錘１４とを複数の梁１３で連結したものであり、さらに、前記センサ素子の一方の面にガラス基板１０１が接合され、固定部１２がガラス基板１０１側と接合されることにより振動体１１がガラス基板１０１で機械的に支持されてなる構成としている。 （もっと読む）

【課題】角速度を検出するための半導体素子へ印加する応力を低減しつつ、耐電磁波ノイズ性，耐湿性を向上した実装構造を有する、高信頼性角速度検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】金属板を用いたコアメタル層と配線構造を備えた配線層とを有するメタルコア基板とコアメタル層上に固定された角速度を検出するための半導体素子と配線層に固定されたキャップとそのキャップとメタルコア基板とで構成される中空室内に角速度を検出するための半導体素子が配設され、これらを樹脂によりモールドするようにすることで、角速度を検出するための半導体素子へ印加する応力を低減しつつ、耐電磁波ノイズ性，耐湿性を向上した実装構造を有するようにした。 （もっと読む）

【課題】 小型かつ低価格でありながら、誤差の少ない信頼性の高い検出を可能にする。
【解決手段】 装置筐体３０内に、２つの重錘体１０Ａ，１０Ｂを収容し、それぞれを可撓性をもった接続部材２０によって装置筐体３０に接続する。各重錘体１０Ａ，１０Ｂは所定の自由度をもって各座標軸Ｘ，Ｙ，Ｚの方向に移動できる。重錘体１０Ａ，１０Ｂ間は、可撓性をもった接続部材２５によって相互接続する。各重錘体１０Ａ，１０Ｂを互いに逆位相となるようにＸ軸方向に往復運動させた状態とし、所定の検出時において、各重錘体１０Ａ，１０Ｂに作用したＺ軸およびＹ軸方向のコリオリ力をＺ軸およびＹ軸方向への変位として検出する。両重錘体１０Ａ，１０Ｂに作用したＺ軸およびＹ軸方向のコリオリ力の差により角速度を求め、和により加速度を求める。 （もっと読む）

【課題】外乱振動に対する優れた耐振・耐衝撃性能を有する圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】本発明によるヨーレートセンサ装置１は、圧電素子２を有するセンサ部を含むセンサ保持体５と、センサ保持体５の外周の少なくとも一部に近接して配置されたセンサ保持体の所定方向の変位を抑制する抑制体４とを備える。センサ保持体５は、底面１４の延在方向と平行な方向に延在し厚さｔを有する、ステンレスやシリコン等からなる一枚の板である。 （もっと読む）

【課題】小型化、特性向上、コスト低減を図って２軸の振動検出を可能とする。
【解決手段】振動型ジャイロセンサは、複数の端子部が形成された基部を有し、それぞれ異なる軸方向の振動を検出する少なくとも２個の振動素子と、前記少なくとも２個の振動素子の駆動検出を行う単数のＩＣ部品と、前記各振動素子の前記複数の端子部、および前記ＩＣ部品と接続される複数個のランドを有する配線パターンが形成された第１の面と、前記第１の面の裏側であって、外部の基板と対向し前記外部の基板のランドへ前記振動型ジャイロセンサをリフロー表面実装するための複数個の外部接続端子が形成された第２の面とを有する１個の支持基板とを備え、前記少なくとも２個の振動素子のうち少なくとも一方の基部は、前記支持基板のコーナ部位に実装され、前記支持基板の第１の面を第１〜第４の象限に分けたとき、各象限に前記ＩＣ部品の実装領域の一部が属する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサユニットに関し、角速度の検出精度の向上を目的とする。
【解決手段】本発明は角速度センサ素子２をパッケージ１の内部空間に防振部材８を介して懸架する角速度センサユニットにおいて、防振部材８をパッケージ１との接続部８ｃと台座９との接続部８ｄとこれら接続部８ｃ，８ｄ間に位置する懸架部８ｅとに分け、懸架部８ｅの重心位置１２の高さを角速度センサ素子２、台座９および防振部材８における台座９との接続部８ｄからなる複合体の重心位置１３の高さと一致させた構造とした。 （もっと読む）

本発明の目的は、微小電気機械（ＭＥＭＳ）共振器の改良された構造を提供することである。本発明の第１の態様によれば、本発明による共振器構造は、所与の機械的振動と組み合わせて振動の特性周波数を有し、それにより、共振器構造基板の所与のポイントに配置された係留点（Ａ）での係留により、共振器構造内で機械的振動を設定し、第１の要素及び第２の要素のうちの少なくとも一方が、前記係留点（Ａ）に関して同期して振動するように構成されるように、前記第１の要素（１）及び前記第２の要素（２）が振動的に適合され、それにより、前記係留点（Ａ）の位置が実質的に、前記第１の要素（１）及び前記第２の要素（２）の寸法により画定される結合突出部内にあるように選択される。 （もっと読む）

【課題】従来に比して高感度且つ高精度であり、しかも、耐久性を向上させることができる角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】本発明による角速度センサ装置１は、正多角形状の枠体６と、その枠体６に接続された複数のマス７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄとを有する駆動部を備えている。枠体６は、多角形の辺に相当する複数の駆動梁５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄから構成されており、角速度センサ装置１は、多角形の中心点に相当する中心基部２と、多角形の頂点とを結ぶ直線に相当する複数の検出梁３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを含む検出部を更に有している。 （もっと読む）

【課題】小型で且つ振動漏れの少ない振動素子、およびそれを用いたセンサーを提供する
。
【解決手段】振動素子１００は、第１支持部２０ａおよび第２支持部２０ｂと、第１支持
部２０ａに一端が接続され、Ｙ軸に沿って延出する第１振動腕１０ａと、第２支持部２０
ｂに一端が接続され、Ｙ軸に沿って延出する第２振動腕１０ｂと、第１振動腕１０ａおよ
び第２振動腕１０ｂの他端に接続され、第１振動腕１０ａと第２振動腕１０ｂとの間に配
置された揺動体３０と、開口部３０ｂ、３０ｃを備えた揺動体３０の開口部３０ｂ、３０
ｃの内壁３０ａからＹ軸に直交するＸ軸に沿って延出する検出腕４０ａ、４０ｂと、を備
えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プロセス変動、温度変動、周波数変動による特性の変動が小さく、回路規模が小さいπ／２位相シフト回路を提供する。
【解決手段】一対の差動入力端子を構成する反転入力端子２０３ａ、非反転入力端子２０３ｂを有し、差動入力端子の一方に入力信号が、他方に基準電圧が与えられるコンパレータ２０３、コンパレータ２０３から出力される出力信号を積分し、積分信号である第１出力信号と基準電圧に係る第２出力信号とを出力する積分器２０４と、積分器２０４から出力された第１出力信号と、第２出力信号とを入力し、入力信号に対してπ／２位相をシフトしたシフト信号を出力するコンパレータ２０５と、によってπ／２位相シフト回路を構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、タイミング信号にジッタを持つことにより、そのジッタ分だけセンス回路における検波動作に位相ズレΦが発生しても、出力信号が変動するということのない、出力特性の安定した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、ＰＬＬ回路１２１に位相監視手段１２６を設けてタイミング信号の位相の変動を監視するとともに、タイミング信号の位相の変動により生じる出力信号の変動値をキャンセルするジッタキャンセル値算出回路１３０を設ける構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】光位相雑音誤差低減器を提供する。
【解決手段】共振器ジャイロスコープは、参照光を生成する参照レーザ発生器と、参照光にロックされた第１のスレーブ光を生成する第１のスレーブ光源と、参照光にロックされた第２のスレーブ光を生成する第２のスレーブ光源と、第１及び第２のスレーブ光源のうち少なくとも１つに結合されて第１及び第２のスレーブ光の高周波の変動を取り除く第１の光フィルタキャビティと、第１及び第２の光源に結合され、第１及び第２の反対伝播方向を有する共振器と、共振器に結合されて第１のビート周波数、第２のビート周波数、及び第３のビート周波数を生成する共振追跡電子装置とを具備し、共振器ジャイロスコープの回転速度は第１、第２及び第３のビート周波数の関数である。 （もっと読む）

本発明はセンサ装置に関する。このセンサ装置は、チップ構造体（１４０、１４１、１４５）用の固定部分（１２０、１２１）を備えた柔軟なプリント回路基板（１１１）と、柔軟なプリント回路基板（１１１）の固定部分（１２０、１２１）上に配置されているチップ構造体（１４０、１４１、１４５）と、このチップ構造体（１４０、１４１、１４５）を機械的な影響から保護するための緩衝部材（１６０）とを有している。柔軟なプリント回路基板（１１１）の固定部分（１２０、１２１）と、チップ構造体（１４０、１４１、１４５）と、緩衝部材（１６）とが相互に重なって配置されている。
（もっと読む）

【課題】信頼性が高くかつ効率的な測定が可能となる、角速度についての振動マイクロ−メカニカルセンサーを提供する。
【解決手段】震動質量１、２がバネによってまたはバネと堅固な補助構造によって支持領域に接続され、これによって、震動質量によって形成されるウェハーの平面に垂直な回転軸に関する自由度、および、該ウェハーの平面に平行な少なくとも１つの回転軸に関する自由度が、震動質量１、２に与えられる。 （もっと読む）

【課題】外乱の大きさに影響されない態様で錘の特性差を補償することができる角速度検出装置の調整方法の提供。
【解決手段】互いに逆相に駆動される２つの錘の駆動方向に垂直な方向の振動に基づいて角速度を検出する角速度検出装置の調整方法であって、２つの錘を互いに逆相に駆動する駆動ステップと、駆動中に、２つの錘の検出電極に、振幅変調用のキャリア信号を印加する作動ステップと、作動ステップ中に、駆動方向に垂直な方向で２つの錘が互いに同相に振動するように、同一の加速度を作用させる加振ステップと、加振ステップ中に２つの錘から得られる電気信号から、駆動方向に垂直な方向での振動成分を表す信号を抽出する信号抽出ステップと、信号抽出ステップで得られる２つの錘に係る信号の振幅が同一になるように、振幅変調用のキャリア信号の振幅を調整する振幅調整ステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな角速度の振動マイクロ−メカニカルセンサーにおいて、信頼性が高くかつ効率的な測定を可能とする。
【解決手段】震動質量１、２がバネによってまたはバネと堅固な補助構造によって支持領域に接続され、これによって、震動質量によって形成されるウェハーの平面に垂直な回転軸に関する自由度、および、ウェハーの平面に平行な少なくとも１つの回転軸に関する自由度が、震動質量１、２に与えられる。 （もっと読む）